2022六氟化硫氣體中顆粒含量的測定方法光散射法

六氟化硫氣體中顆粒含量的測定方法光散射法目 次范圍 1規(guī)范性引用文件 1術(shù)語和定義 1方法概述 2儀器與設(shè)備 2試驗步驟 2測試結(jié)果 3精密度 3報告 3I六氟化硫氣體中顆粒含量的測定方法光散射法范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了光散射法測定六氟化硫氣體中顆粒含量的原理、儀器與設(shè)備、試驗步驟、測試結(jié)果與精密度。本標(biāo)準(zhǔn)適用于六氟化硫氣體中顆粒含量的測定，其檢測范圍為0.1μm～5μm，其他氣體中的顆粒含量的測定可參照本方法進(jìn)行。規(guī)范性引用文件下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T26570.1—2011 氣體中顆粒含量的測定 光散射法 第1部分：管道氣體中顆粒含量測定JJF塵埃粒子計數(shù)器計量校準(zhǔn)規(guī)范ISO21501-4：2007粒度分布的測定-單粒子光交互方法-第4部分：用于潔凈空間的光散射塵埃粒子計數(shù)器（Determinationofparticlesizedistribution-SingleparticlelightinteractionmethodsPart4:Lightscatteringairborneparticlecounterforcleanspaces）術(shù)語和定義GB/T26570.1—2011界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1背景測定值 backgroundcount不含有等于或大于規(guī)定粒徑的被測氣體通過粒子計數(shù)器時儀器的測定值。注：改寫GB/T26570.1—2011，定義3.1。3.2樣品體積 gassamplevolume每次測定時通過顆粒計數(shù)器的樣品體積，以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下體積表示（標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：0℃，1.01×15a。注：改寫GB/T26570.1—2011，定義3.2。3.3顆粒含量 particleconcentration測得的等于或大于規(guī)定粒徑的顆粒總數(shù)除以樣品體積而得出的值。［GB/T26570.1—2011，定義3.3］3.4粒度/顆粒直徑 particlesize/particlediameter通過光散射顆粒計數(shù)器測定得到的光學(xué)當(dāng)量直徑。［GB/T26570.1—2011，定義3.4］1方法概述光在行進(jìn)過程中遇到粉體顆粒（障礙物）時，將偏離原來的傳播方向傳播，這種現(xiàn)象稱為光的散射。光散射顆粒計數(shù)器就是根據(jù)光的散射原理檢測氣體中顆粒的含量。光散射顆粒計數(shù)器主要由氣路系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。其工作原理是：氣體中的顆粒對入射光有散射作用，散射光的強(qiáng)度與顆粒粒徑有關(guān)，當(dāng)含有顆粒的氣體從計數(shù)器的采樣口進(jìn)入，通過光敏感區(qū)時，受光照射，散射出與粒徑成一定關(guān)系的光脈沖信號，該信號被光敏器件接受并轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電脈沖信號，通過對一個檢測周期內(nèi)電脈沖的計數(shù)，得到單位體積氣體中顆粒的數(shù)量及粒度分布。儀器與設(shè)備顆粒計數(shù)器根據(jù)光散射原理設(shè)計的顆粒計數(shù)器，顆粒計數(shù)器的校準(zhǔn)和量值溯源應(yīng)符合JJF1190或者ISO21501-4：2007的要求，并滿足下列要求：a）0.1μm；b）2個最高工作壓力應(yīng)大于設(shè)備內(nèi)氣體壓力，或加裝減壓裝置；應(yīng)具備耐蝕功能。減壓裝置對于只能在大氣壓力下工作的顆粒計數(shù)器，應(yīng)用減壓裝置將設(shè)備內(nèi)的氣體減壓至大氣壓。該裝置不應(yīng)對氣體內(nèi)的顆粒起阻隔或積聚作用，更不應(yīng)產(chǎn)生顆粒。推薦使用通過小孔使氣體膨脹的減壓裝置。過濾器過濾孔徑小于0.1μm。取樣管長度一般不超過2m，內(nèi)徑應(yīng)不小于2mm，具備防靜電功能。試驗步驟儀器背景值的測定將顆粒計數(shù)器與干凈的氣源相連。氣源應(yīng)不含有等于或大于規(guī)定粒徑的顆粒。推薦的氣源準(zhǔn)備方法為：在顆粒計數(shù)器前加裝氣體過濾器，其過濾的最小顆粒粒徑應(yīng)小于0.1μm。80.1μm2個/25L。系統(tǒng)連接對于電氣設(shè)備、鋼瓶、儲罐中六氟化硫氣體檢測，氣體經(jīng)取樣閥門，通過減壓閥減壓再與檢測儀器連接，并確保系統(tǒng)無泄漏。2樣品測定系統(tǒng)連接完成后，設(shè)置進(jìn)樣流量、進(jìn)樣時間，啟動測試程序，至少進(jìn)行2次平行測試，記錄測試結(jié)果。儀器的自潔測試結(jié)束后，將顆粒計數(shù)器與干凈的氣源相連，開始自潔程序，直至背景測試大于0.1μm背景顆粒含量不大于2個/25L。測試結(jié)果0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm、1μm、5μm的累積和差分顆粒含量兩次測試結(jié)果的平均值作為測試結(jié)果。精密度0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm、1μm、5μm的累積和差分顆粒含量大于100個/L時，平行測試相對標(biāo)準(zhǔn)偏差小于10%。報告報告中至少應(yīng)包括以下內(nèi)容：有關(guān)樣品的全