2024年光伏年度策略：光伏產業(yè)周期尋底N型電池催生技術迭代

內容目錄TOC\o"1-2"\h\z\u投資建議 5市場表現(xiàn)與估分析 6市場表現(xiàn)：指數(shù)承壓，全年收跌 6估值情況：市盈率處于歷史底部 7估值分析：PB-ROE的估值分位數(shù)處于合理水平 8公司業(yè)績及資狀況 10業(yè)績表現(xiàn)：2023Q3進入拐點，單季度業(yè)績首現(xiàn)同比下降 10經(jīng)營周轉：硅片環(huán)節(jié)庫存積累明顯增加，行業(yè)經(jīng)營周轉放緩 資產狀況：整體資產開支擴張不減，玻璃膠膜在建工程下降 12行業(yè)供需與量盈利 16需求：2024年預計全球裝機量達到500GW，碳中和目標支撐長期空間 16價格：產業(yè)鏈主材價格續(xù)降，輔料耗材價格企穩(wěn) 18供給：2024年行業(yè)產能預計達到TW級別 19盈利：利潤空間壓縮，2023四季度降至歷史低位 21產業(yè)發(fā)展及技趨勢 23N型技術路線加速滲透，2024年迎來TOPCON大擴產 23N型硅片占比提升，TOPCON帶動低氧硅片需求量 27N型銀漿耗量增加，金屬化工藝升級助力降本增效 29風險提示 32圖表目錄圖1：主市指、sw光伏備數(shù)市表現(xiàn) 6圖2：主市指、sw行業(yè)數(shù)市表現(xiàn) 6圖3：主指、sw分類數(shù)、sw光設數(shù)的值況比 7圖4：市率對值化 8圖5：市率對值8圖6：市率對值8圖7：市率對值化 8圖8：主指、sw分類數(shù)、sw光設數(shù)的PB-ROE分圖 9圖9：ROE位相業(yè)與sw伏備 9圖10：PB位相業(yè)與sw伏備 9圖11：2023Q3行業(yè)體季度收現(xiàn)億） 10圖12：2023Q3業(yè)單季利表（元） 10圖13：2023三度整體轉化況 圖14：2023三度環(huán)節(jié)轉化況 圖15：2023季行體資規(guī)（元與桿率 12圖16：2023季行體有負率（%） 12圖17：2023季各固定產況 14圖18：2023季行定資和建程長況 14圖19：2023三度節(jié)資開情況 15圖20：2023三度節(jié)吸投情況 15圖21：2023三度節(jié)資開變情況 15圖22：2023三度節(jié)吸投變情況 15圖23：年各節(jié)開支/收資化況 16圖24：環(huán)前季資產益（%）化 16圖25：球伏本化 16圖26：國伏本化 16圖27：類再能源LCOE成降（2010-2022年） 17圖28：需國內裝量況（月） 17圖29：需出口規(guī)情（當值） 17圖30：2022-2030國外光新裝量期 18圖31：2022-2030可生能裝量期 18圖32：料格勢 18圖33：片格勢 18圖34：池價趨勢 19圖35：價格勢 19圖36：料格勢 19圖37：材格勢 19圖38：料量況月值） 20圖39：片量況月值） 20圖40：料能 20圖41：片能 20圖42：池產能 21圖43：件能 21圖44：產鏈節(jié)分布算 21圖45：池產利率 21圖46：產鏈節(jié)利潤布測數(shù)） 22圖47：產鏈節(jié)利潤布財數(shù)） 22圖48：產鏈環(huán)資金額 22圖49：產鏈環(huán)資回期算 22圖50：種流術的電結及數(shù) 23圖51：種術線片產變趨勢 25圖52：種術線片產占趨勢 25圖53：球N電產占比化勢 27圖54：球晶N硅產量比勢 27圖55：種流術的非成比較 29圖56：柵量化和變趨勢 30圖57：種池術主柵副的耗量 30圖58：網(wǎng)刷藝圖 31圖59：光印藝圖 31圖60：網(wǎng)刷線 31圖61：次光印線 31表1：2023前季公營收利表現(xiàn) 6表2：2023三度司收及潤現(xiàn) 6表3：2023Q3環(huán)節(jié)業(yè)周變化 表4：2023Q3環(huán)節(jié)周轉數(shù) 12表5：2023Q3環(huán)節(jié)負債率 13表6：2023三末環(huán)在建程模 14表7：主技路的池工對比 24表8：主技路的池工對比 25表9：TOPCon備供商 26表10：TOPCon核熱程/鍍設供商 27表種池的選擇求 28表12：低片含機理設備 28表13：氧晶相備制商 29表14：主及光相關司 32投資建議2023Q42024202340%，。20202020Q22020Q32060142023Q31元/w202410%-20%，2024年資產負債表依然穩(wěn)健，關注玻璃環(huán)節(jié)率先放緩擴表步伐2023Q3ROE（庫存PB-ROE區(qū)間，反映ROE光伏行業(yè)指數(shù)的PEPBPB-ROEPBROE（4分ROEROE2018ROEN型TOPCon2023TOPCon2024200GWTOPCon2024TOPCon60%NTOPConTOPConHJTN（）受益PCon30026884082（受益PonN00316（68510025830044（（30751、先導智能（3045、宇邦新材（3026、帝爾激光（3077（4）擴表（686。市場表現(xiàn)與估值分析市場表現(xiàn)：指數(shù)承壓，全年收跌20231226sw42.9%sw5013.7%30013.5%5009.4%。圖1：主要市場指數(shù)、sw光伏設備指數(shù)的市場表現(xiàn)資料來源：，wind 數(shù)據(jù)截止到12月26日圖2：主要市場指數(shù)、sw行業(yè)指數(shù)的市場表現(xiàn)資料來源：，wind 數(shù)據(jù)截止到12月26日估值情況：市盈率處于歷史底部sw201226sw0.4%swERPsw光伏設2.3919.34%sw光伏設圖3：主要指數(shù)、sw一級分類指數(shù)、sw光伏設備指數(shù)的估值情況對比資料來源：，wind 數(shù)據(jù)截止到12月26日全A2.76%sw數(shù)市凈率與萬得全A1.7159.84%圖4：市盈率絕對估值變化 圖5：市凈率絕對估值變化資料來源：，wind數(shù)據(jù)截止到12月26日

資料來源：，wind數(shù)據(jù)截止到12月26日圖6：市盈率相對估值變化 圖7：市凈率相對估值變化 資料來源：，wind數(shù)據(jù)截止到12月26日

資料來源：，wind數(shù)據(jù)截止到12月26日估值分析：PB-ROE的估值分位數(shù)處于合理水平PB-ROEswsw光伏設備指數(shù)及主要市場基準指數(shù)的ROEPB歷史分位數(shù)和ROEPBROE（R=0.0w光伏設備的PBOE圖8：主要指數(shù)、sw一級分類指數(shù)、sw光伏設備指數(shù)的PB-ROE分布圖資料來源：，wind光伏指數(shù)PB分位數(shù)反映了ROE下移的預期ROE（ttm）分94%，PB19%PB分位數(shù)相近（（R（20%至40RE分位數(shù)相近（觀察，其PBPB25%色金屬指數(shù)PB10%可以認為PBOE降至輕工和機械指數(shù)OE約56OE影響PB運動的中樞，相似EPB樣，假設光伏指數(shù)未來能維持ROEPB圖9：ROE分位數(shù)相近行業(yè)與sw光伏設備 圖10：PB分位數(shù)相近行業(yè)與sw光伏設備資料來源：，wind 資料來源：，wind公司業(yè)績及資產狀況業(yè)績表現(xiàn)：2023Q3進入拐點，單季度業(yè)績首現(xiàn)同比下降2023Q3sw5282023Q3單季度行業(yè)整體營收2694.7億元，同比增速7.6%，相比2023Q2增速降速約172023Q3279.920.0%2021圖11：2023Q3行業(yè)整體單季度營收表現(xiàn)（億元） 圖12：2023Q3行業(yè)整體單季度利潤表現(xiàn)（億元）資料來源：，wind 資料來源：，wind表1：2023Q3各環(huán)節(jié)單季度利潤增速變化2022Q12022Q22022Q32022Q42023Q12023Q22023Q3變化趨勢一體化組件39.2355.94111.92159.22121.3195.526.62硅片83.9769.8981.14-5.1063.75-18.27-40.22硅料565.07231.13184.74128.5821.10-49.49-75.31電池組件193.03-351.16219.95-175.25184.75107.7961.91輔料-39.9962.07-3.44-40.216.73-21.5526.21耗材114.55122.79131.91187.30153.26208.01185.81逆變器17.5465.81106.53455.13262.86245.6747.26光伏設備38.2160.1870.0650.1855.1360.8056.63資料來源：，wind經(jīng)營周轉：硅片環(huán)節(jié)庫存積累明顯增加，行業(yè)經(jīng)營周轉放緩整體經(jīng)營周轉放緩，硅片環(huán)節(jié)庫存周轉天數(shù)明顯增加+存貨2023Q387（+2192023Q3硅片（+242+312電池組件63天（+66+硅料輔料圖13：2023前三季度行業(yè)整體周轉變化情況 圖14：2023前三季度硅片環(huán)節(jié)周轉變化情況資料來源：，wind 資料來源：，wind表2：2023Q3各環(huán)節(jié)凈營業(yè)周期變化（單位：天）2022Q12022Q22022Q32022Q42023Q12023Q22023Q3環(huán)比同比一體化組件198.93162.51155.30110.00176.30154.29160.093.763.08硅片43.2225.4821.1214.2727.6317.5572.30312.02242.35硅料23.6825.0629.2034.1764.6127.6110.42-62.24-64.30電池組件40.9047.8938.2449.2680.1657.5463.4510.2865.94輔料188.58187.60230.52202.48204.66216.60187.88-13.26-18.50耗材254.83255.91303.65260.54293.91300.87301.000.04-0.87逆變器460.18356.46331.31184.43292.88287.46301.724.96-8.93光伏設備768.53704.51778.87700.51930.37849.78893.395.1314.70資料來源：，wind表3：2023Q3各環(huán)節(jié)存貨周轉天數(shù)2022Q12022Q22022Q32022Q42023Q12023Q22023Q3環(huán)比同比一體化組件178.09159.41156.75119.09156.47149.67152.391.82-2.78硅片75.2061.2563.1772.7391.2596.63135.5440.28114.58硅料64.8850.8956.4965.04113.3469.7754.41-22.02-3.69電池組件84.4487.7184.8186.13106.3389.39104.8317.2723.61輔料102.6588.30107.22101.20104.27105.5290.94-13.82-15.18耗材193.25166.70192.78169.59197.58218.53229.625.0819.11逆變器416.30338.27341.00222.57306.40283.42307.728.57-9.76光伏設備690.05672.88732.64681.11876.99817.75888.308.6321.25資料來源：，wind資產狀況：整體資產開支擴張不減，玻璃膠膜在建工程下降20236328.6+5，增幅+11.5+31的資產負債率58.6%，同比增加1.04pcts，行業(yè)整體的有息負債率18.46%，同比增加2.46pcts。圖三季末行業(yè)整體資產規(guī)（億元與杠桿率 圖16：2023三季末行業(yè)整體有息負債率（%）資料來源：，wind 資料來源：，wind2023Q32.2pcts，302023Q318.46%3.2pcts3330%-40%。表4：2023Q3各環(huán)節(jié)資產負債率2016年2017年2018年2019年2020年2021年2022年2023Q3較年初變化一體化組件67.0765.2463.7565.5764.4267.0163.7165.471.76pcts硅片51.2555.7459.4057.0652.2447.5753.5450.63-2.91pcts硅料48.5748.2458.8861.7050.5747.5039.8645.085.22pcts電池組件63.4958.8855.7163.3659.6167.1471.9371.07-0.86pcts輔料42.9244.8947.7846.5539.6739.3946.9846.60-0.38pcts耗材24.3534.1631.7537.5722.1333.0130.7429.63-1.10pcts逆變器51.4057.5559.8160.3357.4054.2761.4759.95-1.52pcts光伏設備40.3748.4247.1650.9256.0451.6760.4369.348.91pcts資料來源：，wind表5：2023Q3各環(huán)節(jié)有息負債率2016年2017年2018年2019年2020年2021年2022年2023Q3較年初變化一體化組件2.4311.9613.808.2413.9117.6312.7416.083.34pcts硅片25.7436.1031.5334.4927.8823.2422.4929.126.63pcts硅料18.1518.2015.0520.3818.8313.0016.1619.173.01pcts電池組件29.2030.1331.5122.1022.3621.1021.0122.151.13pcts輔料4.497.2615.4211.2518.4816.5422.6728.045.37pcts耗材0.123.775.136.005.508.354.484.41-0.07pcts逆變器3.744.828.887.645.446.4812.3917.024.62pcts光伏設備5.054.064.843.473.813.353.755.882.12pcts資料來源：，wind行業(yè)在建工程整體高增長，僅有玻璃環(huán)節(jié)在建工程下降。2023387.8（+6002.6+764+247274同比+1576724圖17：2023三季末各環(huán)節(jié)固定資產情況 圖18：2023三季末行業(yè)固定資產和在建工程增長情況資料來源：，wind 資料來源：，wind表6：2023三季末各環(huán)節(jié)在建工程規(guī)模（單位：億元）9M20179M20189M20199M20209M20219M20229M2023變化趨勢一體化組件28.9624.3236.3563.7394.97106.72274.00硅片51.4969.1466.06126.0179.26146.96188.23硅料20.2454.999.2922.81126.6862.08195.53電池組件20.4224.4339.9422.7146.8047.15163.69輔料10.0511.4823.7425.8651.3387.8366.56耗材1.222.762.224.387.5211.7921.89逆變器0.513.881.464.2014.3227.7142.83光伏設備3.344.384.954.7710.2419.2349.84資料來源：，wind新增資本開支增加，但融資端吸收資金下降。前三季度的行業(yè)整體資本開支維持上行，采用“構建固定資產、無形資產和其他長期資65%90/支/3.812021-2022圖19：2023前三季度各環(huán)節(jié)資本開支情況 圖20：2023前三季度各環(huán)節(jié)吸收投資情況資料來源：，wind 資料來源：，wind圖21：2023前三季度各環(huán)節(jié)資本開支變化情況 圖22：2023前三季度各環(huán)節(jié)吸收投資變化情況資料來源：，wind 資料來源：，wind較強的凈資產收益率疊加二級市場融資，支撐資本開支上行2022220056.9%57.9%17.6%18.6%20221500IPO2023ROE17.1%sw分類的2023前三季度的ROE（ttm）中位居第二。圖23：歷年來各環(huán)節(jié)資本開支吸收投資變化情況 圖24：各環(huán)節(jié)前三季度凈資產收益率（%）變化資料來源：，wind 資料來源：，wind行業(yè)供需與量價盈利需求：2024年預計全球裝機量達到500GW，碳中和目標支撐長期空間20233.79元/W0.27元/kwh20243.28元/WLCOE降至0.24元/kwh以下。圖25：全球光伏成本變化 圖26：中國光伏成本變化資料來源：，IRENA備注：加權平均數(shù)，按照7.2CNY/USD匯率換算

資料來源：，CPIA備注：地面電站，1200h等效，不含儲能圖27：各類可再生能源LCOE成本降幅（2010-2022年）資料來源：，IRENA內外需提振，短期需求超預期增長。2023前十月，國內新增裝機量142.6GW，同比+14419G1GW。2023210GW+24%3883.05G（212023440GW500GW。圖28：內需-國內裝機量情況（當月值） 圖29：外需-出口規(guī)模情況（當月值） 資料來源：，硅業(yè)分會，pvinfo 資料來源：，海關IEA203030%（2030）IRENA20301.5（2030）55GW353W20232030550GW320GW2030900GW/年，CAGR。預計02450+462。20+55G。圖30：2022-2030年國內外光伏新增裝機量預期 圖31：2022-2030年可再生能源裝機量預期資料來源：，CPIA，IEA，IRENA，EnergyTrend 資料來源：，IRENA價格：產業(yè)鏈主材價格續(xù)降，輔料耗材價格企穩(wěn)。截止12\\\6.02萬元/2.10元/0.38元/w1.00元80%\58%\60%\45%2023Q4\\.70萬元2.2元0.47元1.8元8515044。2020Q22023Q4正銀/背銀/玻璃/膠膜價格較年初變化為+6.7%/+7%/-5.4%/-8.7%，熱場價格預計四季度略回升。圖32：硅料價格趨勢 圖33：硅片價格趨勢資料來源：，硅業(yè)分會，pvinfo 資料來源：，硅業(yè)分會，pvinfo圖34：電池片價格趨勢 圖35：組價價格趨勢資料來源：，硅業(yè)分會，pvinfo 資料來源：，硅業(yè)分會，pvinfo圖36：輔料價格趨勢 圖37：耗材價格趨勢資料來源：，硅業(yè)分會，pvinfo，SMM 資料來源：，CPIA，SMM供給：2024年行業(yè)產能預計達到TW級別70%。2023130.4146.4590GW+77.3%10404GW、367GW74%72%2023101.3圖38：硅料產量情況（當月值） 圖39：硅片產量情況（當月值）資料來源：，硅業(yè)分會，pvinfo，cpia 資料來源：，硅業(yè)分會，pvinfo，cpia900GW20231000GW930GW840GW900GW202450%20%1000GW。圖40：硅料產能 圖41：硅片產能資料來源：，CPIA，pvinfolink，SMM 資料來源：，CPIA，pvinfolink，SMM圖42：電池片產能 圖43：組件產能資料來源：，CPIA，pvinfolink，SMM 資料來源：，CPIA，pvinfolink，SMM盈利：利潤空間壓縮，2023四季度降至歷史低位2023Q40.03元80%。02Q4.04元0；2023Q30.062023Q42023Q30.1元/2023Q4圖44：主產業(yè)鏈環(huán)節(jié)價差分布測算 圖45：電池片產能利用率資料來源：，硅業(yè)分會，pvinfo，wind 資料來源：，Heraeus圖46：主產業(yè)鏈環(huán)節(jié)企業(yè)利潤分布（測算數(shù)據(jù)） 圖47：主產業(yè)鏈環(huán)節(jié)企業(yè)利潤分布（財報數(shù)據(jù)）資料來源：，硅業(yè)分會，pvinfo，wind 資料來源：，wind1元/3（202023硅片pec8-9億元304-5ROE7%至8%ROE4%ROE圖48：主產業(yè)鏈各環(huán)節(jié)投資金額 圖49：主產業(yè)鏈各環(huán)節(jié)投資回收期測算資料來源：，CPIA，wind 資料來源：，CPIA，wind注：僅使用‘投資金額/利潤’計算產業(yè)發(fā)展及技術趨勢N型技術路線加速滲透，2024年迎來TOPCON大擴產更高的效率上限，TOPCon技術路線接力發(fā)展PERCTOPCon1N極不與硅片基底直接接觸，從而優(yōu)化歐姆接觸。由此單面TOPCon27.1面TPon理率極到287遠于PER（2406近圖50：三種主流技術路線的電池結構及參數(shù)資料來源：，wind，聚合材料招股說明書，solarplus，solarzoom，華晟新能源，隆基綠能PCNPCon對現(xiàn)有PERC+PERCTOPConGW0.5++摻磷的各類CVDTOPCon的單W1.6J3和B30.16-0.18元/wPERC2-4分/wPERC5分HJT0BB0.25元TOPCon2023年表7：主要技術路線的電池工序對比工序PERCTOPConHJTIBC1清洗制絨清洗制絨清洗制絨清洗制絨2磷擴散硼擴散非晶硅沉積背面磷擴散3激光SE激光SETCO膜制備4熱氧絲網(wǎng)印刷掩膜5隧穿+本征非晶硅銀漿固化激光開槽6堿拋磷擴散光注入刻蝕7退火去繞鍍測試分選背面硼擴8AIOx鈍化AlOx鈍化9減反膜(背面)減反膜(正面)雙面熱氧10減反膜(正面)減反膜(背面)減反膜(正面)11絲網(wǎng)印刷絲網(wǎng)印刷減反膜(背面12燒結燒結絲網(wǎng)印刷13光注入光注入燒結14測試分選測試分選光注入15測試分選資料來源：，wind，CPIA，Risen，Solarzoom2023TOPCon300GW-400GW500GW2024年TOPCon200GW2024700GWp型產Pon電池出貨量占比有望從0（223年提升至60（224年圖51：三種技術路線電池片產能變化趨勢 圖52：三種技術路線電池片產量占比趨勢資料來源：，ITRPV，pvinfo，CPIA 資料來源：，ITRPV，pvinfo，CPIALPCVD和PECVD兩大路線平分秋色。根據(jù)隧穿氧化層（TunnelOxide）和磷摻雜多晶（n-poly-Si）相沉積（PVD）和等離子體增強化學氣相沉積（PEVD。前者采用PVD設備，通入SiH4SiO2（非原位摻雜PECVDSiO2隧穿氧化層及磷摻雜非晶硅層（原位摻雜，其中磷摻雜非硅層（a-i）經(jīng)退火后形成磷摻雜多晶硅（pol-PVD+PEVD+AD等，但因鍍膜均勻性問題、鍍膜致密性問題或者成本較高而未廣泛使用。LPCVDITRPVPECVD203380%TOPConPECVD路線。表8：主要技術路線的電池工序對比工序TOPCon兩大類工藝路線1制絨2磷擴3激光SE4BSG刻蝕+背面拋光5LPCVDex-situ:TunnelOxide+a-Si(i)LPCVDin-situ:TunnelOxide+a-Si(n)PECVD/PEALDin-situ:TunnelOxide+a-Si(n)6磷擴退火退火7PSG刻蝕+繞鍍清洗繞鍍清洗繞鍍清洗8正面AlOx9正面+背面SiNx10絲網(wǎng)印刷11燒結12電注入/光注入資料來源：，wind，CPIA，Risen，Solarzoom熱制程及鍍膜設備價值量占比高，關注主要供應商。據(jù)晶科能源2023年2月的可轉債問詢函20236TOPConLPCVDPECVDTOPConGWPAD（PECVD）表9：TOPCon設備及供應商涉及設備濕法設備鍍膜設備高溫設備金屬化設備圖形化設備輔助設備傳輸系統(tǒng)檢測設備價值量占比12.7447.068.234.651.390.512.90PECVD+LPCVD+ALD涉及流程各類清洗+制絨+各類刻蝕+AlOx+SiNx硼擴+磷擴絲網(wǎng)印刷激光摻雜光注入均有涉及均有涉及檢查分選+氧化+退火+燒結捷佳偉創(chuàng)√√√√√√金辰股份√√√√北方華創(chuàng)√√海目星√√微導納米√帝爾激光√邁為股份√√奧特維√√√√羅博特科√√√√大族激光√√京山輕機√√資料來源：，wind，CPIA，pvinfo，晶科能源回復函公告表10：TOPCon核心熱制程/鍍膜設備供應商核心工藝設備其他熱制程及鍍膜重要設備硼擴散設備LPCVD設備PECVD設備磷擴散設備北方華創(chuàng)、拉普拉斯、捷佳偉創(chuàng)、紅太陽等少數(shù)廠家能批量供貨LPCVDPECVD商為捷佳偉創(chuàng)、紅太陽光電、北方華創(chuàng)、微導納米、拉普拉斯、大族光伏等目前主要廠商有北方華創(chuàng)、捷佳偉創(chuàng)、紅太陽光電、拉普拉斯等資料來源：，拉普拉斯招股說明書N型硅片占比提升，TOPCON帶動低氧硅片需求量新電池技術帶動N型硅片需求增長。根據(jù)今年3月份出版的光伏國際技術路線圖（TPVNPCon及JT00帶動NTOPCon使用硅片在N圖53：全球N型電池產量占比變化趨勢 圖54：全球單晶N型硅片產量占比趨勢資料來源：，ITRPV 資料來源：，ITRPVTOPCon的N型硅片氧含量要求更加嚴格。目前，TOPConPERCPN結都為同質結，由N型/P型硅片表面進行硼擴/磷擴制成。由于硼元素的擴散難度大，因此TOPConPERC更高。高溫下硅片中的氧元素移動，冷卻后沉淀形成氧環(huán)（同心圓，降低電池效率。HT電池的PN（低于1ppa要求比T（低于14paPC使用硅（16ppma）（800μs）PERC（大于70μ。表11：三種電池片的硅片選擇要求PERCTOPConHJT硅片類型P型-摻雜元素（鎵）N型-摻雜元素（磷）N型-摻雜元素（磷）電阻率（Ω.cm）0.4-1.10.4-1.60.3-2.1少子壽命（μs）≥70≥800≥800間隙氧含量（ppma）≤16≤11.7≤14資料來源：，CPIA，ITRPV，PVinfolink多種途徑降低硅片氧含量，引入半導體級磁場技術。單晶硅片中的氧元素，一方面來自（升晶體等因素都會產生對流。在硅熔點溫度（1420℃）下，石英坩堝（SiO2）與硅作用生成SiO-SiOSiOSiO會在熔硅冷卻結晶的過程中進入晶體，造成SiO氣體，部分與熱場的石墨加熱器反應形成的CO，CO氣體不易揮發(fā)，大多進入硅熔體與熔硅反應，又會造成晶棒的碳氧雜質含量增加。緩解以上問題的途徑有多種，包括熱場溫度的改進、采用電磁場抑制對流、加強氬氣吹掃、降低爐內壓力、增大石英坩堝直徑與硅棒直徑比例（增加液面揮發(fā)面積）等。以上途徑中，磁場方式是此前應用于半導體級硅片拉晶的技術，據(jù)晶升股份招股說明書，其型號SCG300MCZ采用+（2018年氧2.7pa2023年導5ppm1600（223年額外增加超導磁場，在36吋熱場拉制N10氧含量可控制在9-10ppma。表12：降低硅片氧含量的機理和設備氧雜質成因石英坩堝高溫反應產生SiO氧元素經(jīng)溫度梯度熱對流傳輸至硅溶液表面氧元素經(jīng)晶轉強迫對SiO觸碰石墨加熱器應對方式設備改進出量/外加磁場，利用洛倫茲力的作用抑制熔體熱對流，減少氧原子傳輸速度調節(jié)晶體和坩堝的轉速石墨加熱器表面鍍一層SiC隔離接觸降低爐內壓，加快氧原子揮發(fā)增大揮發(fā)面積，加快硅溶液界面上方氣流速度，盡快帶走揮發(fā)的氧原子增大揮發(fā)面積，加快硅溶液界面上方氣流速度，盡快帶走揮發(fā)的氧原子改進氬氣吹帶SiO接觸可控加熱器+大抽速真空泵調整坩堝尺寸+超導磁場+大抽速真空泵調整坩堝尺寸+單晶爐控制參數(shù)調節(jié)+大抽速真空泵單晶爐管路開口和走向改進+石墨加熱器改進+大抽速真空泵資料來源：，CPIA，中科院半導體所，晶升股份招股說明書及回復函，奧特維官網(wǎng)目前低氧單晶爐正處于逐步驗證及批次交付階段，采用超導磁場設備價格相對傳統(tǒng)單晶爐設備頗高。考慮當下產業(yè)鏈的