《氧化銦錫靶材》編制說明（送審稿）

2《氧化銦錫靶材》一工作簡況1.1、任務(wù)來源根據(jù)國標(biāo)委發(fā)[2022]6號、項(xiàng)目編號20220979-T-610的文件要求，GB/T20510-2017《氧化銦錫靶材》國家標(biāo)準(zhǔn)的修訂任務(wù)由先導(dǎo)薄膜材料（廣東）有限公司負(fù)責(zé)完成，標(biāo)準(zhǔn)修訂參與單位為：株洲冶煉集團(tuán)股份有限公司、廣西晶聯(lián)光電材料有限責(zé)任公司、蕪湖映日科技有限公司、中山智隆新材料科技有限公司、株洲火炬安泰新材料有限公司、深圳市中金嶺南有色金屬股份有限公司、成都中建材光電材料有限公司、上海大學(xué)、廣東歐萊高新材料股份公司、河北恒博新材料科技股份有限公司、廣東先導(dǎo)稀材股份有限公司、福建阿石創(chuàng)新材料股份有限公司等。1、2標(biāo)準(zhǔn)修訂項(xiàng)目的和意義氧化銦錫（即IndiumTinOxide，簡稱ITO）靶材是將氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經(jīng)過一系列的生產(chǎn)工藝加工成型，再經(jīng)過高溫氣氛燒結(jié)形成的黑色陶瓷材料半導(dǎo)體，氧化銦錫靶材最主要的應(yīng)用是用于磁控濺射制備ITO透明導(dǎo)電薄膜的原料。這種透明導(dǎo)電薄膜對可見光透過率>85%，紅外光反射率>90%，且導(dǎo)電性好，有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性、熱穩(wěn)定性和刻蝕性，是一種用途十分廣泛的特種薄膜材料，廣泛應(yīng)用于平板顯示器、防輻射玻璃、太陽能光伏電池板等領(lǐng)域。氧化銦錫靶材的氧化銦和氧化錫按照不同的比例形成了不同的產(chǎn)品類型，現(xiàn)在市場主要的質(zhì)量比類型有90:10、93:7、97:3三種類型。產(chǎn)品的外形有平面型和管型兩種類型，一般稱為平面靶和旋轉(zhuǎn)靶。ITO靶材的純度、電阻率、外觀質(zhì)量、內(nèi)部缺陷、相對密度等指標(biāo)對最終產(chǎn)品質(zhì)量有著決定性影響。隨著我國的科技進(jìn)步及產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，以前ITO靶材市場幾乎由日、韓、美壟斷局面已改變?yōu)橛兄?、日、韓主導(dǎo)，其中我國的ITO靶材產(chǎn)量已占全球40%以上，產(chǎn)品覆蓋高中低端全范圍。ITO靶材主要應(yīng)用于平板顯示PFD市場和薄膜太陽能電池市場，在平板顯示面板的生產(chǎn)工藝中，LCD和OLED玻璃基板均需要多次濺射鍍膜形成ITO玻璃，是當(dāng)前ITO靶材的主要需求，占比將近50%。隨著全球平板顯示產(chǎn)業(yè)中心逐步向中國轉(zhuǎn)移，在各級地方政府的支持下，眾多平板顯示國內(nèi)外廠商加大了在我國3大陸投資建設(shè)面板新產(chǎn)線的力度。2016年我國大陸平板顯示產(chǎn)能首次超過我國臺灣地區(qū)，2019年又繼續(xù)超過韓國成為全球最大的平板顯示產(chǎn)能地區(qū)，占比34%。2018年至2020年，我國大陸顯示面板產(chǎn)能將持續(xù)大幅增加，至2022年，我國大陸產(chǎn)能占比達(dá)到80%，全球產(chǎn)能向我國大陸集中趨勢明顯。薄膜太陽能電池市場是ITO靶材需求的第二增長極。太陽能電池主要分為晶體硅太陽能電池和薄膜太陽能電池，ITO靶材應(yīng)用于后者。受限于晶體硅太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率已經(jīng)接近其理論值，而薄膜太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率在逐年提高，加之薄膜太陽能電池理論效率高、材料消耗少、制備能耗低，且產(chǎn)業(yè)化技術(shù)逐步成熟，未來發(fā)展前景看好。2016-2019全球薄膜太陽能電池產(chǎn)量從4832MW增長至2019年的6432WM，年復(fù)合增長率10%，預(yù)計2022年可達(dá)7256WM。中國薄膜太陽能電池產(chǎn)量呈現(xiàn)了欣欣向榮的發(fā)展趨勢。2019年，中國薄膜太陽能電池產(chǎn)量為862MW，增速12.7%，預(yù)計2020-2020也將以類似的增速增長，2022年產(chǎn)量達(dá)近1102MW。ITO靶材是我國明確要求發(fā)展的重點(diǎn)高新材料，工業(yè)與信息化部發(fā)布的《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄（2019版）》第192項(xiàng)的重點(diǎn)高新材料項(xiàng)目為“高密度ITO靶材，應(yīng)用領(lǐng)域太陽能光伏、電子信息”。國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會發(fā)布的《2021年國家標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)指南》第（二）章節(jié)強(qiáng)調(diào)：加強(qiáng)“碳達(dá)峰”標(biāo)準(zhǔn)化支撐力度，加快新能源開發(fā)利用、電力儲能、需求側(cè)等的管理，推進(jìn)能源互聯(lián)網(wǎng)標(biāo)準(zhǔn)化工作，推進(jìn)光伏能源標(biāo)準(zhǔn)體系建設(shè)，而氧化銦錫靶材就是極具前景的異質(zhì)結(jié)光伏電池產(chǎn)業(yè)的核心基礎(chǔ)材料。原國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T20510-2017《氧化銦錫靶材》是我國在氧化銦錫靶材方面制定的推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)，因?yàn)樵摌?biāo)準(zhǔn)制定時我國的ITO靶材生產(chǎn)尚處于加速發(fā)展的初步階段，ITO靶材生產(chǎn)仍然有許多的認(rèn)識需要填補(bǔ)和加強(qiáng)，而現(xiàn)在我國的ITO靶材生產(chǎn)已進(jìn)入高端化大規(guī)?；纳a(chǎn)階段，對產(chǎn)品的認(rèn)識也水漲船高，原標(biāo)準(zhǔn)中已有不符合現(xiàn)在生產(chǎn)的實(shí)際情況或不能完整體現(xiàn)現(xiàn)在的實(shí)際情況，如牌號的劃分和物理規(guī)格品種已等；現(xiàn)在一般實(shí)際生產(chǎn)情況以In2O3和SnO2的質(zhì)量比作為類型牌號的區(qū)別，而不會用相對密度作為牌號的區(qū)別，因?yàn)橄鄬γ芏却笥?9.6%已是行業(yè)基本要求，隨著ITO應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，能夠提供多種的氧化銦和氧化錫的配比的產(chǎn)品已是生產(chǎn)企業(yè)的日常要求；原標(biāo)準(zhǔn)中只強(qiáng)度了平面型一種規(guī)格類型，而現(xiàn)在的產(chǎn)品規(guī)格除了平面型，管狀型也已是常規(guī)產(chǎn)品。因而順應(yīng)我國日新月異的科技進(jìn)步能力，修訂可以反映行業(yè)最新要求和狀況，修訂后的氧化銦錫靶材國家標(biāo)準(zhǔn)將在產(chǎn)業(yè)引和升級方面起到助推作用，這對于加快建設(shè)太陽能及顯示技術(shù)現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系，加速壯大高端裝備戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，有重要作用。1.3工作單位簡介1.3.1先導(dǎo)薄膜材料（廣東）有限公司成立于2003年5月，坐落在山清水秀的清遠(yuǎn)市清新區(qū)禾云鎮(zhèn)工業(yè)區(qū)，4緊鄰清連高速，距廣州市區(qū)僅90分鐘車程，地理位置環(huán)境優(yōu)越，交通便利。是一家集硒、碲、鉍、鎵、銦、鍺等稀有金屬及其化合物的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的大型高新技術(shù)企業(yè)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于玻璃、陶瓷、電解錳、飼料、電子、通訊、光電半導(dǎo)體材料、熱成像、探測器及太陽能光伏材料等行業(yè)。稀散金屬硒、碲、銦、鎵、鍺等以金屬量計占全球35%以上的市場份額。先導(dǎo)薄膜材料（廣東）有限公司是國家高新技術(shù)企業(yè)，是國家工程技術(shù)中心的所在單位，公司有多項(xiàng)產(chǎn)品如硒化鋅紅外激光材料和鏡片、半導(dǎo)體砷化鎵、ITO靶材、碲鋅鎘靶材、碲鋅鎘晶體窗口材料等均是填補(bǔ)了國家戰(zhàn)略新型材料空白的產(chǎn)品，并且產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量均和中國的發(fā)展趨勢一般節(jié)節(jié)攀升。公司注冊資金約1000萬美元，占地面積1000余畝，建筑面積50000余平方米，大型生產(chǎn)設(shè)備500余臺，員工3000余人，其中專業(yè)技術(shù)人員600多名，配有等離子體發(fā)射光譜儀、等離子質(zhì)譜儀、輝光放電質(zhì)譜儀、電子掃描電鏡、原子吸收光譜儀、測氧儀、粒度儀、差熱儀、X衍射儀、X熒光儀、紅外光譜儀、高效氣相質(zhì)譜儀、液相質(zhì)譜儀、離子色譜儀等先進(jìn)的檢測儀器，可進(jìn)行多種化學(xué)元素的分析檢測，公司的產(chǎn)品檢測能力在國內(nèi)外處于領(lǐng)先水平。公司先后通過了ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證，歐盟飼料添加劑FAMI-QS認(rèn)證，并建立了ISO14001環(huán)境管理體系，OHSASl8001職業(yè)健康管理體系，GMP良好操作規(guī)范和ISO22000食品安全管理體系。株洲冶煉集團(tuán)股份有限公司：廣西晶聯(lián)光電材料有限責(zé)任公司：蕪湖映日科技有限公司：中山智隆新材料科技有限公司：株洲火炬安泰新材料有限公司：深圳市中金嶺南有色金屬股份有限公司：成都中建材光電材料有限公司：上海大學(xué)：廣東歐萊高新材料股份公司：河北恒博新材料科技股份有限公司：廣東先導(dǎo)稀材股份有限公司：福建阿石創(chuàng)新材料股份有限公司:51.3.12標(biāo)準(zhǔn)主要起草人及工作職責(zé)見表1。表1主要起草人及工作職責(zé)123451.4主要工作過程1.4.1預(yù)研和試驗(yàn)工作簡介2022年-2023年，先導(dǎo)薄膜材料（廣東）有限公司作為主編單位對國內(nèi)國內(nèi)外氧化銦錫靶材市場情況、生產(chǎn)情況及使用情況進(jìn)行了詳細(xì)的調(diào)研，了解了國內(nèi)國內(nèi)外氧化銦錫靶材生產(chǎn)的技術(shù)水平、應(yīng)用情況及相關(guān)的研發(fā)拓展情況及未來相關(guān)的趨勢，與行業(yè)內(nèi)的相關(guān)人員深入討論標(biāo)準(zhǔn)修訂工作的技術(shù)要求、試驗(yàn)要求、建議要求等各環(huán)節(jié)的標(biāo)準(zhǔn)的具體技術(shù)要求，通過整理歸納相關(guān)企業(yè)的制造水平、產(chǎn)品規(guī)格、檢測手段、應(yīng)用要求等，同時也考慮了國外能夠涉及到和收集到的各類情況，由主編單位整理并編制形成了《氧化銦錫靶材》（修訂）標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目建議書、標(biāo)準(zhǔn)草案及標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)說明等材料。根據(jù)此次調(diào)研情況，由主編單位整理并完善形成標(biāo)準(zhǔn)草案稿。1.4.2標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)2021年11月中國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化委員會年會在常州召開，先導(dǎo)薄膜材料（廣東）有限公司在會上提交了修訂申請報告，會上針對當(dāng)前國內(nèi)氧化銦錫靶材生產(chǎn)經(jīng)營使用的實(shí)際情況，廣泛征求參會人員的意見，會上經(jīng)討論后同意向國標(biāo)委提交申報，經(jīng)過公示后同意決定由先導(dǎo)公司修訂《氧化銦錫靶材》標(biāo)準(zhǔn)，并向國標(biāo)委提報修訂申請。。在2022年10月，國標(biāo)委批準(zhǔn)了由先導(dǎo)公司起草修訂國家標(biāo)準(zhǔn)《氧化銦錫靶材》，并確認(rèn)了株洲冶煉集團(tuán)股份有限公司、廣西晶聯(lián)光電材料有限責(zé)任公司、蕪湖映日科技有限公司、中山智隆新材料科技有限公司、株洲火炬安泰新材料有限公司、深圳市中金嶺南有色金屬股份有限公司、成都中建材光電材料有限公司、上海大學(xué)、廣東歐萊高新材料股份公司、河北恒博新材料科技股份有限公司、廣東先導(dǎo)稀材股份有限公司、福建阿石創(chuàng)新材料股份有限公司等參與修訂。1.4.3標(biāo)準(zhǔn)起草階段6本標(biāo)準(zhǔn)為修訂標(biāo)準(zhǔn)，先導(dǎo)薄膜材料（廣東）有限公司在起草階段進(jìn)行了大量的數(shù)據(jù)收集，同時結(jié)合全國內(nèi)氧化銦錫靶材的生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)現(xiàn)狀及技術(shù)水平及用戶的實(shí)際要求，進(jìn)行了以下工作：1）2022年12月，成立標(biāo)準(zhǔn)編制組，初步制定了工作計劃和進(jìn)度安排，明確了各參與單位的工作職能和任務(wù)。2）20231月～2023年2月，編制小組對氧化銦錫靶材相關(guān)資料的收集和總結(jié)，并對相關(guān)的技術(shù)資料進(jìn)行了對比分析。3）2023年3月8日—9日，由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會稀有金屬分技術(shù)委員會組織，在浙江湖州召開了重金屬標(biāo)準(zhǔn)工作會議，在會上對標(biāo)準(zhǔn)征求意見稿1稿進(jìn)行廣泛的討論。4）2023年12月18日-20日，由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會稀有金屬分技術(shù)委員會組織，在成都市召開了重金屬標(biāo)準(zhǔn)工作會議，在會上對標(biāo)準(zhǔn)征求意見稿2稿進(jìn)行廣泛的討論本標(biāo)準(zhǔn)以召開專題會議、發(fā)送標(biāo)準(zhǔn)郵件、標(biāo)委會網(wǎng)站上公開掛網(wǎng)等多種形式和辦法進(jìn)行了廣泛的征求意見，2023年2月，根據(jù)各生產(chǎn)企業(yè)、用戶、相關(guān)行業(yè)的專家意見等的相關(guān)資料進(jìn)行歸納和總結(jié)，確認(rèn)了標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)主要的技術(shù)要求如牌號、物理性能、規(guī)格、表面質(zhì)量、內(nèi)部質(zhì)量、分析方法等的修訂要求的具體內(nèi)容，形成了《氧化銦錫靶材》（修訂）的討論稿，并進(jìn)行了相關(guān)廣泛的征求意見工作。二標(biāo)準(zhǔn)修訂原則2.1被修訂的GB/T20510-2017《氧化銦錫靶材》國家標(biāo)準(zhǔn)是推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)，應(yīng)按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草，有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會針對最新版的標(biāo)準(zhǔn)起草要求做了深入的培訓(xùn)，按照培訓(xùn)要求及編寫實(shí)力、示例編寫本標(biāo)準(zhǔn)。2.2（本次修訂應(yīng)重點(diǎn)關(guān)注和解決在生產(chǎn)和經(jīng)營使用實(shí)際情況中的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)要求，準(zhǔn)確體現(xiàn)和反應(yīng)行業(yè)現(xiàn)狀和要求及發(fā)展要求，對氧化銦錫靶材生產(chǎn)、貿(mào)易、使用企業(yè)的方方面面的各項(xiàng)工作要求起到指導(dǎo)作用。2.3《氧化銦錫靶材》修訂標(biāo)準(zhǔn)的要求和內(nèi)容，要統(tǒng)一考慮國際、國內(nèi)兩個市場的供需情況，標(biāo)準(zhǔn)的制定盡量采用國際國外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，與國際接軌，制定出的標(biāo)準(zhǔn)既可以給行業(yè)提供執(zhí)行和規(guī)范要求并且執(zhí)行和使用清晰明了，也可以讓行業(yè)之外的其他部門了解行業(yè)狀況。三標(biāo)準(zhǔn)制定工作的時間安排3.1標(biāo)準(zhǔn)工作的時間安排72022年12月～2023年2月：完成調(diào)研工作，形成討論稿；2023年3月：召開討論會；2023年12月：召開預(yù)審會；2023年12月～2024年2月：召開審定會。3.2標(biāo)準(zhǔn)工作的任務(wù)安排任務(wù)落實(shí)會議結(jié)束后，先導(dǎo)薄膜材料（廣東）有限公司牽頭隨即成立了《氧化鋅鋁靶材》國家標(biāo)準(zhǔn)編制組，并對標(biāo)準(zhǔn)編制工作組成員進(jìn)行了職責(zé)分工。各起草單位及起草人員的工作分在2022年12月進(jìn)行的任務(wù)落實(shí)會議上，根據(jù)各起草單位的實(shí)際情況和要求，確定了起草單位和參與起草單位，各家單位的工作任務(wù)如下表1。表1起草單位和驗(yàn)證單位的工作任務(wù)序號單位名稱工作任務(wù)123456參與起草單位，提出該單位的相關(guān)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)和建7參與起草單位，對標(biāo)準(zhǔn)的文本及結(jié)構(gòu)提供相關(guān)建8參與起草單位，對標(biāo)準(zhǔn)的文本及結(jié)構(gòu)提供相關(guān)建9參與起草單位，對標(biāo)準(zhǔn)的文本及結(jié)構(gòu)提供相關(guān)建8參與起草單位，對標(biāo)準(zhǔn)的文本及結(jié)構(gòu)提供相關(guān)建參與起草單位，對標(biāo)準(zhǔn)的文本及結(jié)構(gòu)提供相關(guān)建參與起草單位，對標(biāo)準(zhǔn)的文本及結(jié)構(gòu)提供相關(guān)建參與起草單位，對標(biāo)準(zhǔn)的文本及結(jié)構(gòu)提供相關(guān)建參與起草單位，對標(biāo)準(zhǔn)的文本及結(jié)構(gòu)提供相關(guān)建3.3標(biāo)準(zhǔn)工作主要起草人及工作職責(zé)：各起草人在本文件編制過程中的工作職責(zé)見表2所示：3.42023年2月27日，標(biāo)準(zhǔn)編制組向與本標(biāo)準(zhǔn)有關(guān)的單位和部門發(fā)出了《氧化鋅鋁靶材》國家標(biāo)準(zhǔn)（討論稿）。四、外文版要求國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會要求在新修訂的《氧化銦錫靶材》發(fā)布實(shí)施后，同步發(fā)布實(shí)施外文版《氧化銦錫靶材》，圍繞外文版的標(biāo)準(zhǔn)工作要求，將按照以下要求及安排進(jìn)行：五、標(biāo)準(zhǔn)修訂的主要內(nèi)容和修訂依據(jù)5.1氧化銦錫靶材是化合物陶瓷靶材，其卓越的應(yīng)用價值取決于材料的固有特性，隨著我國經(jīng)濟(jì)發(fā)展和科技進(jìn)步，我國已成為全球主要的氧化銦錫靶材的生產(chǎn)國家，產(chǎn)品質(zhì)量已居于全球領(lǐng)先水平，標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)內(nèi)9容的修訂需要據(jù)于各生產(chǎn)企業(yè)的實(shí)際情況以真實(shí)反映行業(yè)現(xiàn)狀，以下表圖是國內(nèi)多家企業(yè)的氧化銦錫靶材的技術(shù)指標(biāo)的統(tǒng)計。5.1.1以下統(tǒng)計表是各企業(yè)的技術(shù)指標(biāo)的統(tǒng)計表，表7為綜合統(tǒng)計表表2先導(dǎo)薄膜材料（廣東）有限公司氧化銦錫靶材技術(shù)指標(biāo)統(tǒng)計表相對密（10Ω·c殘余應(yīng)力MPa晶粒尺寸(μm）單位面積氣外觀質(zhì)量556927150726918354627945143607928190748362894748935344826153807162628566538482917384628481636471839473826284748353448463538374647354.9*10-664.9*10-634.8*10-64214.9*10-634.9*10-644.8*10-6241341343224433443334434.9*10-654.5*10-664.2*10-6344.7*10-62134.7*10-6424.9*10-644.5*10-614.2*10-6344.9*10-614.4*10-634324.9*10-624.5*10-644.2*10-6434.7*10-63444.7*10-6334.9*10-634.4*10-6444.7*10-636789565676767895656767表3蕪湖映日科技股份有限公司氧化銦錫靶材技術(shù)指標(biāo)統(tǒng)計表度（%）晶粒尺寸(μm）量//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0//0表4株洲火炬安泰新材料有限公司氧化銦錫靶材技術(shù)指標(biāo)統(tǒng)計表相對密（10Ω·c殘余應(yīng)力MPa晶粒尺寸(μm）單位面積氣外觀質(zhì)量////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////RD90/////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////表5河北恒博新材料科技股份有限公司氧化銦錫靶材技術(shù)指標(biāo)統(tǒng)計表相對密（10Ω·c殘余應(yīng)晶粒尺寸(μm）單位面積氣孔個數(shù)/孔直徑<//////表6廣東歐萊高新材料股份有限公司氧化銦錫靶材技術(shù)指標(biāo)統(tǒng)計表相對密（10Ω·c殘余應(yīng)力MPa晶粒尺寸(μm）單位面積氣外觀質(zhì)量//////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////值///////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////值////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////值/////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////////值////////////////////////表75家生產(chǎn)企業(yè)氧化銦錫靶材技術(shù)綜合指標(biāo)統(tǒng)計表相對密（10Ω·cm)10）殘余應(yīng)晶粒尺寸(μm）個表面粗954062964173613613956957蕪湖映股份有限公司////株洲火炬安泰新材料有限公司河北恒博新材料科技股份有限公司廣東歐萊高新材料股份有限公司9540629641736136139569575.1.2以下是各個牌號的技術(shù)指標(biāo)的統(tǒng)計圖ITO90的技術(shù)指標(biāo)統(tǒng)計圖圖1ITO90相對密度統(tǒng)計圖圖2ITO90電阻率統(tǒng)計圖圖3ITO90線膨脹系數(shù)統(tǒng)計圖圖4ITO90抗彎曲強(qiáng)度統(tǒng)計圖圖5ITO90殘余應(yīng)力統(tǒng)計圖圖6ITO90平均晶粒尺寸統(tǒng)計圖ITO93的技術(shù)指標(biāo)統(tǒng)計圖圖7ITO93相對密度統(tǒng)計圖圖8ITO93電阻率統(tǒng)計圖圖9ITO93線膨脹系數(shù)統(tǒng)計圖圖10ITO93抗彎曲強(qiáng)度統(tǒng)計圖圖11ITO93殘余應(yīng)力統(tǒng)計圖圖12ITO93平均晶粒尺寸統(tǒng)計圖ITO95的技術(shù)指標(biāo)統(tǒng)計圖圖13ITO95相對密度統(tǒng)計圖圖14ITO95電阻率統(tǒng)計圖圖15ITO95線膨脹系數(shù)統(tǒng)計圖圖16ITO95抗彎曲強(qiáng)度統(tǒng)計圖圖17ITO95殘余應(yīng)力統(tǒng)計圖圖18ITO95平均晶粒尺寸統(tǒng)計圖ITO97的技術(shù)指標(biāo)統(tǒng)計圖圖19ITO97相對密度統(tǒng)計圖圖20ITO97電阻率統(tǒng)計圖圖21ITO97線膨脹系數(shù)統(tǒng)計圖圖22ITO97抗彎曲強(qiáng)度統(tǒng)計圖圖23ITO97殘余應(yīng)力統(tǒng)計圖圖24ITO97平均晶粒尺寸統(tǒng)計圖ITO98的技術(shù)指標(biāo)統(tǒng)計圖圖25ITO98相對密度統(tǒng)計圖圖26ITO98電阻率統(tǒng)計圖圖27ITO98線膨脹系數(shù)統(tǒng)計圖圖28ITO98抗彎曲強(qiáng)度統(tǒng)計圖圖29ITO98殘余應(yīng)力統(tǒng)計圖圖30ITO98平均晶粒尺寸統(tǒng)計圖ITO99的技術(shù)指標(biāo)統(tǒng)計圖圖31ITO99相對密度統(tǒng)計圖圖32ITO99電阻率統(tǒng)計圖圖33ITO99線膨脹系數(shù)統(tǒng)計圖圖34ITO99抗彎曲強(qiáng)度統(tǒng)計圖圖35ITO99殘余應(yīng)力統(tǒng)計圖圖36ITO99平均晶粒尺寸統(tǒng)計圖5.1.3各牌號技術(shù)指標(biāo)的統(tǒng)計表和統(tǒng)計圖的情況分析從上表和上表可以得到個牌號ITO靶材的技術(shù)指標(biāo)的綜合統(tǒng)計可以以以下表得到下表8的綜合情況，以下表的要求作為ITO靶材的標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)要求。表8ITO物理性能的綜合要求電阻率(×線膨脹系數(shù)(℃）(≤)抗彎曲強(qiáng)殘余應(yīng)力（MPa<）尺寸(μm）(≤)9999995.2范圍的修訂5.2.1修訂前的適用范圍：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氧化銦錫（簡稱ITO）靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸與貯存、質(zhì)量證明書、訂貨單（或合同）等內(nèi)容。5.2.2修訂后的適用范圍：本文件適用于由In2O3和SnO2按照一定比例混合的氧化銦錫靶材，是制作透明導(dǎo)電膜的核心材料。5.2.3修訂的依據(jù)：隨著ITO靶材應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，除傳統(tǒng)的顯示面板市場，在薄膜太陽能電池市場已成為ITO靶材的第二大應(yīng)用領(lǐng)域。在該應(yīng)用領(lǐng)域內(nèi)ITO靶材的需求出現(xiàn)了多種比例要求，如93:7、98:2、99:1等等。然而對于這些比例的靶材，還沒有進(jìn)行相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)定義，而靶材組分指標(biāo)在下游應(yīng)用環(huán)節(jié)的膜性能方面有著至關(guān)重要的影響。另外隨著我國ITO靶材制造工藝的提升，RD90的牌號相對密度大于99.6%已是行業(yè)的基本要求，因此提出修改ITO靶材的牌號劃分，由相對密度指標(biāo)更改為組分指標(biāo)更符合實(shí)際狀況。5.3規(guī)范性引用文件的修訂4.3.1增加了規(guī)范性引用文件GB/T38389氧化銦錫靶材化學(xué)分析方法。5.3.2增加的依據(jù)：氧化銦錫靶材是由In2O3和SnO2按照一定比例混合制造而成的靶材材料，既有In2O3和SnO2的重量比例要求，也有靶材在生產(chǎn)過程中帶人或引入的雜質(zhì)控制要求，需要在實(shí)際生產(chǎn)中對相關(guān)工藝和指標(biāo)進(jìn)行控制，因而需要對主成分和雜質(zhì)含量進(jìn)行測定，在測試過程中就要按照相關(guān)的國家標(biāo)準(zhǔn)要求進(jìn)行，GB/T38389氧化銦錫靶材化學(xué)分析方法滿足測試要求。5.4術(shù)語和定義的修訂5.4.1刪除了原標(biāo)準(zhǔn)的術(shù)語有開爾文電橋的術(shù)語定義，在修訂版中刪除了該術(shù)語和定義內(nèi)容。5.4.2刪除該術(shù)語的依據(jù)：因?yàn)樵谖募膬?nèi)容中不涉及該術(shù)語，而且該術(shù)語是一種常規(guī)術(shù)語。5.5分類的修訂5.5.1修訂前的氧化銦錫靶材分為三個牌號：RD90、RD95、RD97，修訂后氧化銦錫靶材的牌號以ITO表示，按In2O3和SnO2的比例分為六個牌號：ITO90、ITO93、ITO95、ITO97、ITO98、ITO99。5.5.2修訂的依據(jù)：信息社會一定程度上是顯示信息技術(shù)的社會，隨著信息社會的巨大擴(kuò)展和發(fā)展，ITO靶材應(yīng)用領(lǐng)域廣度和寬度日益擴(kuò)大，而且除傳統(tǒng)的顯示面板市場，在薄膜太陽能電池市場也已成為ITO靶材的第二大應(yīng)用領(lǐng)域，所以在各應(yīng)用領(lǐng)域內(nèi)ITO靶材的需求出現(xiàn)了多種比例要求，如93:7，95:5，97:3，98:2，99:1等等。然而對于這些比例的靶材，還沒有進(jìn)行相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)定義。并且靶材組分指標(biāo)在下游應(yīng)用環(huán)節(jié)的膜性能方面有著至關(guān)重要的影響。另外隨著我國ITO靶材制造工藝的提升，相對密度大于99.6%已是行業(yè)的基本要求，因此提出修改ITO靶材的牌號劃分，由相對密度指標(biāo)更改為組分指標(biāo)。而提出和反應(yīng)市場的產(chǎn)品類型是標(biāo)準(zhǔn)的全面性和準(zhǔn)確性及代表性的要求。牌號的更改是適用普遍的表示方法執(zhí)行的。5.6主要化學(xué)成分的修訂5.6.1主要化學(xué)成分前后的內(nèi)容變化如下表9表9修訂前后的主要化學(xué)成分變化內(nèi)容修訂前主要化學(xué)成分的氧化銦和氧化錫的質(zhì)量5.6.2修訂的依據(jù)：原標(biāo)準(zhǔn)僅對RD90的產(chǎn)品類型做了主要化學(xué)成分的要求，并且沒有明確允許的偏差±0.5%是針對In2O3還是SnO2的允許偏差；也沒有對其他產(chǎn)品產(chǎn)品類型的主要化學(xué)成分做要求，是原標(biāo)準(zhǔn)中的缺陷，所以增加了相應(yīng)牌號的主要化學(xué)成分的要求。因?yàn)殡S著氧化錫含量的降低，允許的氧化錫含量的允許差也相應(yīng)降低以滿足材料性能的要求，結(jié)合檢測允許差，所以相應(yīng)的牌號的偏差規(guī)定為：RD93的質(zhì)量比In2O3:SnO2=93:7，SnO2的允許偏差為±0.4；RD95的質(zhì)量比In2O3:SnO2=95:5，SnO2的允許偏差為±0.3；牌號RD97的質(zhì)量比In2O3:SnO2=97:3，SnO2的允許偏差為±0.3；牌號RD98的質(zhì)量比In2O3:SnO2=98:2，SnO2的偏差為±0.2；牌號RD99的質(zhì)量2O3:SnO2=99:1，SnO2的偏差為±0.1。5.7物理性能的修訂原標(biāo)準(zhǔn)僅對相對密度、電阻率、線膨脹系數(shù)做了規(guī)定，修訂后增加了抗折強(qiáng)度、殘余應(yīng)力、晶粒尺寸等的規(guī)定，同時也修訂了原物理性能的部分參數(shù)，增加了各個牌號的物理性能的要求，修訂前后的物理性能的變化見下表10：10修訂前后ITO物理性能的變化比較修訂前相對修訂后相對修訂前線膨脹系數(shù)(℃）修訂后線膨脹系數(shù)(℃）修訂前抗彎修訂后抗彎修訂前殘余應(yīng)力修訂后殘余應(yīng)力修訂前平均晶粒尺寸(μm）修訂后平均晶粒尺寸(μm）無無無無無無無無無無無無無無無無無無5.7.2修訂的依據(jù)：5.7.21密度的修訂依據(jù)：原標(biāo)準(zhǔn)中的三個牌號RD90、RD95、RD97的相對密度分別規(guī)定為≥99.0%、≥99.5%、≥99.7%。RD90牌號是市場主體生產(chǎn)牌號、占市場60%以上的產(chǎn)量，該指標(biāo)是最主要的物理性能指標(biāo)之一，之所以當(dāng)時規(guī)定為≥99.0%是因?yàn)楫?dāng)時的我國實(shí)際生產(chǎn)水平不是太高，生產(chǎn)的產(chǎn)品的相對密度偏低，市場競爭力也低，隨著我國經(jīng)濟(jì)發(fā)展和科技進(jìn)步，產(chǎn)品質(zhì)量已普遍達(dá)到國際先進(jìn)水平，R90牌號氧化銦錫靶材的相對密度也已達(dá)到了市場普遍要求，因而也將標(biāo)準(zhǔn)中的要求更改為實(shí)際生產(chǎn)水平的要求≥99.6%。原標(biāo)準(zhǔn)中的RD95、RD97的相對密度分別規(guī)定為≥99.5%、≥99.7%，該密度的規(guī)定不是真實(shí)反映生產(chǎn)實(shí)際，根據(jù)實(shí)際情況更改為≥98.6%、≥98.6%。原標(biāo)準(zhǔn)中無RD93、RD98、RD99，根據(jù)生產(chǎn)實(shí)際情況和市場要求規(guī)定為：≥98.7%、≥98.0%、≥98.0%。電阻率的修訂依據(jù)原標(biāo)準(zhǔn)中的三個牌號RD90、RD95、RD97的電阻率均規(guī)定為≤1.6*10-4Ω·cm，主要原因是其他牌號的生產(chǎn)規(guī)模有限，相關(guān)統(tǒng)計不全面，所以以市場主體產(chǎn)品RD99的要求作為其他牌號的要求。而實(shí)際情況是有差別的，隨著我國生產(chǎn)技術(shù)水平的進(jìn)步，其他的牌號也規(guī)模化生產(chǎn)，根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)狀況和市場要求，將RD95、RD97牌號電阻率更改為≤1.8*10-4Ω·cm、≤1.9*10-4Ω·cm。原標(biāo)準(zhǔn)中無RD93、RD98、RD99，根據(jù)生產(chǎn)實(shí)際情況和市場要求規(guī)定為：≤1.7*10-4Ω·cm、≤3.0*10-4Ω·cm、≤16*10-4Ω·cm。線膨脹系數(shù)的修訂依據(jù)氧化銦錫靶材是氧化物陶瓷靶材，是經(jīng)過高溫?zé)Y(jié)后形成的陶瓷材料，靶材是綁定在背板或背管上使用的，靶材濺射時經(jīng)受高溫、高速氬離子的轟擊，靶材需要承載一定的熱沖擊和熱膨脹，線膨脹系數(shù)的大小影響靶材在使用過程中的穩(wěn)定性，而陶瓷材料的生產(chǎn)方法決定了隨著溫度升高的變化而產(chǎn)生線性尺寸的變化是陶瓷材料的固有特性，為滿足靶材濺射的使用要求，需要對線膨脹系數(shù)的要求進(jìn)行控制。原標(biāo)準(zhǔn)中的三個牌號RD90、RD95、RD97的線膨脹系數(shù)均規(guī)定為6～9℃-1，這是一種相對簡單的規(guī)定，沒有真實(shí)反映實(shí)際情況，隨著我國科技進(jìn)步和生產(chǎn)技術(shù)水平的提供，氧化銦錫靶材的生產(chǎn)質(zhì)量得到大幅提高、產(chǎn)品種類也齊全。需要根據(jù)現(xiàn)在的實(shí)際狀況相應(yīng)對線膨脹系數(shù)進(jìn)行修訂或規(guī)定，根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)狀況和市場要求，將牌號RD90、RD95、RD97的線膨脹系數(shù)修訂為≤9℃-1，將牌號RD93、RD98、RD99的線膨脹系數(shù)規(guī)定為≤9℃-1。在修訂后的標(biāo)準(zhǔn)中線膨脹系數(shù)由范圍要求更改為小于等于要求，是因?yàn)閷?shí)際使用中，只需要規(guī)定為小于等于即可，而且線膨脹系數(shù)在一定范圍內(nèi)是越低越好的。增加的抗彎曲強(qiáng)度、殘余應(yīng)力、晶粒尺寸的依據(jù)ITO靶材應(yīng)用于磁控濺射領(lǐng)域，在靶材濺射使用過程中，靶材綁定在背板/背管上，靶材本身需承載一定的重力以及微形變。同時靶材濺射時經(jīng)受高溫、高速氬離子的轟擊，靶材需要承載一定的熱沖擊和熱膨脹。靶材抗折強(qiáng)度過低，將會出現(xiàn)靶材的使用開裂，導(dǎo)致濺射應(yīng)用異常。靶材經(jīng)過一系列成型、燒結(jié)、加工制造工序后，內(nèi)部還存在沒有被消除的應(yīng)力，當(dāng)殘余應(yīng)力過大時，隨著靶材在濺射過程中自身在不斷變薄，靶坯自身強(qiáng)度在變低，殘余應(yīng)力的釋放易出現(xiàn)靶材的開裂，導(dǎo)致濺射應(yīng)用異常。晶粒尺寸越小，其靶材的致密性越高。在相同的濺射功率條件下，其濺射鍍膜越快，效率更高；隨著晶粒尺寸的增大，其晶粒之間的大小差異性也變大，導(dǎo)致濺射過程中小的晶粒被快速濺射，留下大的晶粒尺寸凸出而形成結(jié)瘤。因此提出增加以上物理性能指標(biāo)。根據(jù)我國生產(chǎn)工藝和生產(chǎn)指標(biāo)及質(zhì)量要求和市場要求，增加了相應(yīng)的氧化銦錫靶材的抗彎曲強(qiáng)度、殘余應(yīng)力、晶粒尺寸的技術(shù)要求，增加的指標(biāo)要求見上表9.5.8物理規(guī)格的修訂：5.8.1修訂前的內(nèi)容為：氧化銦錫靶材呈片狀或其他形狀，其規(guī)格尺寸及其偏差由供需雙方商定。修訂后的內(nèi)容為：氧化銦錫靶材分為平面型靶材和管狀型靶材，其規(guī)格尺寸及其偏差由供需雙方商定。5.8.2修訂的依據(jù)：氧化銦錫靶材的物理規(guī)格由磁控濺射機(jī)臺的規(guī)格決定。通常平面型靶材受磁場的局限，靶材利用率通常為30%左右。隨著磁控濺射鍍膜設(shè)備工藝的發(fā)展，出現(xiàn)管狀型靶材磁控濺射鍍膜設(shè)備。管狀型靶材在使用時進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，靶材利用率通常能夠達(dá)到75%左右。管狀型靶材的市場份額也逐步提升，日漸發(fā)展為常規(guī)產(chǎn)品。原標(biāo)準(zhǔn)中只規(guī)定了片狀或其他形狀，未明確體現(xiàn)管狀型靶材。因此提出修訂，氧化銦錫靶材物理規(guī)格分為平面型和管狀型。5.9表面質(zhì)量的修訂5.9.1將表面質(zhì)量更改為外觀質(zhì)量5.9.1更改的依據(jù):ITO靶材行業(yè)的通常定義將表面質(zhì)量定義為外觀質(zhì)量。5.10增加了內(nèi)部質(zhì)量的要求5.10.1增加的內(nèi)容：氧化銦錫靶材應(yīng)無裂紋，氣孔直徑不大于0.3mm，單位面積氣孔個數(shù)≤5。5.10.2增加內(nèi)部質(zhì)量要求的依據(jù)：在氬離子的濺射作用下，氧化銦錫靶材的內(nèi)部逐漸顯現(xiàn)。當(dāng)靶材內(nèi)部出現(xiàn)裂紋或者孔洞、異物時，形成等離子異常放電，電壓異常以及導(dǎo)致結(jié)瘤產(chǎn)生。這些都是磁控濺射應(yīng)用領(lǐng)域的異常，因此提出增加內(nèi)部質(zhì)量的規(guī)定。六、標(biāo)準(zhǔn)中涉及專利的情況本標(biāo)準(zhǔn)不涉及專利問題。（若標(biāo)準(zhǔn)中涉及專利，需要在附件中提供必要專利信息披露表、已披露的專利清單、必要專利實(shí)施許可聲明表等材料。）七預(yù)期達(dá)到的社會效益等情況7.1項(xiàng)目的必要性ITO靶材是我國明確要求發(fā)展的重點(diǎn)高新材料，工業(yè)與信息化部發(fā)布的《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄（2019版）》第237項(xiàng)的重點(diǎn)高新材料項(xiàng)目為“高性能稀土發(fā)光材料”、第251項(xiàng)。家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會發(fā)布的《2021年國家標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)指南》第（二）章節(jié)強(qiáng)調(diào)：加強(qiáng)“碳達(dá)峰”標(biāo)準(zhǔn)化支撐力度，加快新能源開發(fā)利用、電力儲能、需求側(cè)等的管理，推進(jìn)能源互聯(lián)網(wǎng)標(biāo)準(zhǔn)化工作，推進(jìn)光伏能源標(biāo)準(zhǔn)體系建設(shè)，而氧化銦錫靶材就是極具前景的異質(zhì)結(jié)光伏電池產(chǎn)業(yè)的核心基礎(chǔ)材料。從全球精銦消費(fèi)的行業(yè)結(jié)構(gòu)看，銦的首要應(yīng)用仍是平板顯示領(lǐng)域（見圖4-1），包括傳統(tǒng)的ITO靶材以及新興的銦鎵鋅氧化物（IGZO）以及綁定用銦。2022年盡管全球面板市場仍處于低迷期、價格不振，但國內(nèi)面板產(chǎn)量保持增長，統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，2022年上半年中國面板廠商出貨量約8400萬片，全球市占率達(dá)67%，同比增長6.2%。其中，京東方出貨量超3000萬片，位居全球第一。銦在ITO靶材領(lǐng)域應(yīng)用占全球的78%左右，較上年基本持平，但中國占比在逐年上升，日韓增速有所下降.中國靶材的產(chǎn)能和產(chǎn)量正處于擴(kuò)張期，目前中國已經(jīng)成為全球靶材增產(chǎn)的主力?？傮w來看，全球銦消費(fèi)行業(yè)保持樂觀，不管是在傳統(tǒng)顯示行業(yè)還是新興光伏行業(yè)中ITO靶材均有一定的較大的市場容量及市場預(yù)期，下圖為近年來ITO靶材的市場規(guī)模及2023年和2024年的市場預(yù)期。另一方面，ITO靶材在光伏電池異質(zhì)結(jié)上的應(yīng)用已日新月異，將成為另一個重要的應(yīng)用市場，計2023年HJT出貨量將達(dá)15GW，而隨著擴(kuò)產(chǎn)產(chǎn)能的釋放，HJT后續(xù)將會進(jìn)入產(chǎn)能快速釋放階段，到2027年出貨量將達(dá)643GW，在2032年將有超過1000GW的市場需求，現(xiàn)有工藝中HJT的每GW銦需求量在3噸左右，短期銦需求量會在HJT的推動下，高速增長。下表10為全球HTJ全球市場及預(yù)期：表10異質(zhì)結(jié)的全球市場情況統(tǒng)計及預(yù)期7.2全球主要銦類靶材生產(chǎn)供應(yīng)商全球主要的銦類靶材生產(chǎn)供應(yīng)商有以下幾家：（1）、JX金屬株式會社（JXNipponMining&MetalsCorporation），成立于1992年，為引能仕控股株式會社全資子公司。引能仕控股總部位于日本，為東京證券交易所上市公司，2021年財富世界五百強(qiáng)排名第166位。JX金屬主要運(yùn)營金屬業(yè)務(wù)，主要產(chǎn)品包括鍛銅產(chǎn)品、特種鋼、銅箔、化合物半導(dǎo)體基板、金屬粉末、高純度金屬、濺射靶材等。其濺射靶材應(yīng)用領(lǐng)域覆蓋半導(dǎo)體、平板顯示器、磁性材料、光伏電池等行業(yè)，主要靶材產(chǎn)品包括銅靶材、鋁靶材、鈦靶材、鉭靶材、鎢靶材、ITO靶材等。（2）東曹東曹株式會社（TosohCorporation）成立于1935年，總部位于日本，為東京證券交易所上市公司。東曹的靶材產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、平板顯示器、磁記錄媒體等領(lǐng)域，主要靶材產(chǎn)品包括鋁靶材、銅靶材、鉭靶材、鈦靶材、鉻靶材、ITO靶材等。（3）三井礦業(yè)三井金屬礦業(yè)株式會社（MitsuiMining&SmeltingCo.,Ltd.）成立于1950年。擁有功能材料業(yè)務(wù)、金屬業(yè)務(wù)、汽車零部件業(yè)務(wù)等部門，主營業(yè)務(wù)包括功能材料和電子材料的制造與銷售、有色金屬冶煉、資源開發(fā)、貴金屬回收、材料相關(guān)業(yè)務(wù)、汽車零部件的制造與銷售等。三井礦業(yè)的靶材產(chǎn)品由功能材料業(yè)務(wù)部門負(fù)責(zé)，靶材產(chǎn)品主要為ITO靶材、IGZO靶材。（4）隆華科技隆華科技集團(tuán)（洛陽）股份有限公司成立于1995年7月。隆華科技主要業(yè)務(wù)由電子新材料、高分子復(fù)合材料、節(jié)能環(huán)保三大產(chǎn)業(yè)板塊構(gòu)成。其中，電