T-ZZB 3539-2023 單晶硅棒磨倒一體機

學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載ICS

25.080.50學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載CCS

J

55 T/ZZB

3539—2023單晶硅棒磨倒一體機Mono-silicon

and

chamfering

發(fā)布

浙江省質(zhì)量協(xié)會 發(fā)

布學(xué)ｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準兔兔ｗ下載學(xué)ｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準兔兔ｗ下載學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載T/ZZB

3539—學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載 前 言

.............................................................................II1

...............................................................................12 規(guī)范性引用文件

.....................................................................13 術(shù)語和定義

.........................................................................14 基本參數(shù)

...........................................................................15

...............................................................................26 基本要求

...........................................................................27 技術(shù)要求

...........................................................................38 試驗方法

...........................................................................49 檢驗規(guī)則

...........................................................................710 標志、包裝、運輸和貯存

............................................................811 質(zhì)量承諾

..........................................................................8附錄

A（規(guī)范性）

精度項目要求及檢驗方法............................................... 10學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載T/ZZB

3539—學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載 本文件按照GB/T

1.1—《標準化工作導(dǎo)則

第1草。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任。本文件由浙江省質(zhì)量協(xié)會歸口。本文件主要起草單位：天通日進精密技術(shù)有限公司。本文件參與起草單位：嘉興學(xué)院、嘉興嘉麟智能科技有限公司。王濤、朱一豪、何振衛(wèi)、周振峰、王銳。本文件評審專家組長：陳鋒。II學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載T/ZZB

3539—學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載1 范圍驗規(guī)則、標志、包裝、運輸和貯存及質(zhì)量承諾。本文件適用于加工邊距尺寸為

mm～

mm

2 規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，文件。GB/T

307.1—2017 滾動軸承向心軸承 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GB

2894 安全標志及其使用導(dǎo)則GB/T

3177 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS) 光滑工件尺寸的檢驗GB/T

—2019 機械電氣安全 機械電氣磨倒一體機 第

1

部分：通用技術(shù)條件GB/T

7344 交流伺服電動機通用技術(shù)條件GB/T

9969 工業(yè)產(chǎn)品使用說明書 GB/T

10610 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)

表面結(jié)構(gòu) 輪廓法 評定表面結(jié)構(gòu)的規(guī)則和方法GB/T

14264 半導(dǎo)體材料術(shù)語GB

15760—2004 金屬切削機床 安全防護通用技術(shù)條件GB/T

—1998 機床檢驗通則 第

1

:在無負荷或精加工條件下機床的幾何精度GB/T

—2017 滾珠絲杠副 第

3

部分：驗收條件和驗收檢驗JB/T

7665— 通用機械噪聲聲功率級現(xiàn)場測定 聲強法JB/T

—2014 無心外圓磨床 第

2

部分：技術(shù)條件3術(shù)語和定義GB/T

14264界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1單晶硅棒磨倒一體機 mono-silicon

grinding

and

chamfering

integrated

machine集磨面和棱邊倒角功能于一體的單晶硅棒加工設(shè)備。4基本參數(shù)磨倒一體機的基本參數(shù)應(yīng)符合表1的規(guī)定。≥3000每個砂輪可獨立控制/mm156

ｘｗｚｆ．ｂ學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｃｏｍ標準下載T/ZZB

3539—ｘｗｚｆ．ｂ學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｃｏｍ標準下載表1 基本參數(shù)5 型號磨倒一體機型號編制規(guī)則如下：XXMD XX X

MD

XX

MD

1000

6基本要求6.1 設(shè)計研發(fā)6.1.1應(yīng)采用計算機輔助軟件進行產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計,采用三維模擬裝配方法進行產(chǎn)品驗證。6.1.2 應(yīng)采用仿真軟件對磨頭、立柱、壓緊頭等主體結(jié)構(gòu)的強度、剛性特性進行分析、校核。6.1.3 應(yīng)具備滿足客戶個性化定制需求的模塊化、智能化設(shè)計研發(fā)能力。6.2 原材料與零部件6.2.1主軸用角接觸球軸承精度等級應(yīng)不低于

GB/T

307.1—2017

中

5

級的要求。6.2.2滾珠絲杠精度應(yīng)不低于

17587.3—2017

中

7

級的要求。6.2.3 伺服電機應(yīng)符合

GB/T

的規(guī)定。6.3 工藝與裝備6.3.1磨倒一體機各部件應(yīng)采用專用工裝、夾具進行組裝。學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載T/ZZB

3539—學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載6.3.2 壓緊立柱、立柱部件應(yīng)采用精度不低于

0.01

的數(shù)控機床或加工中心進行加工。6.4 檢驗檢測6.4.1 應(yīng)具備幾何精度、加工精度、安全防護及功能要求等項目檢測能力。6.4.2 應(yīng)配備三坐標測量儀、硬度測試儀、振動測試儀、聲級計等檢測設(shè)備。7 技術(shù)要求7.1 外觀7.1.1 外表面不應(yīng)有凸起、凹陷、粗糙不平、磕碰、劃傷和銹蝕。7.1.2 非機械加工的金屬外表面應(yīng)具有涂層防護。7.1.3 電氣、氣動、潤滑和冷卻等管道的外露部分應(yīng)布置緊湊，排列整齊，必要時應(yīng)用管夾固定。管子不應(yīng)產(chǎn)生扭曲、折疊與撕裂現(xiàn)象。7.1.4 外露的焊縫應(yīng)平直、均勻，不應(yīng)有裂紋、雜渣、焊瘤、燒穿等外觀缺陷。7.1.5 涂層應(yīng)光滑、平整，顏色、表面光澤應(yīng)均勻一致，不應(yīng)有明顯的刷痕、桔皮、起皺等缺陷。7.1.6 各種標牌應(yīng)清晰、耐久，并應(yīng)固定在明顯位置，牢固、平整、不歪斜。7.2 功能要求7.2.1 控制系統(tǒng)應(yīng)具有程序參數(shù)設(shè)置、手動和自動操作的功能，顯示裝置應(yīng)能正確顯示工作參數(shù)。7.2.2 控制系統(tǒng)應(yīng)具有故障報警顯示功能。7.2.3 應(yīng)具有自動上下料、自動對接、自動工序轉(zhuǎn)移等功能。7.2.4 裝夾應(yīng)準確、可靠，并有到位自鎖功能。7.2.5 運動部件在中等進給速度時，正、負向啟動、停止的控制應(yīng)靈活、可靠、準確。7.2.6 7.2.7 氣動裝置密封性和潤滑性能良好，控制動作靈活、準確，且無滲（泄）漏現(xiàn)象。7.2.8 安全、保險、防護裝置以及電氣系統(tǒng)的控制、聯(lián)鎖、保護功能應(yīng)可靠，動作應(yīng)靈活、準確。7.2.9 在操作界面中應(yīng)具有自動磨削模式設(shè)置功能，能設(shè)置或修改砂輪轉(zhuǎn)速、磨削量、進給速度、進給行程等參數(shù)。7.3 整機性能7.3.1 空載性能7.3.1.1 軸承溫升不應(yīng)超過

K。7.3.1.2 運動部件移動應(yīng)平穩(wěn)、靈活，無明顯爬行和振動，限位應(yīng)可靠。7.3.1.3 磨倒一體機的空運轉(zhuǎn)噪聲聲壓級應(yīng)不大于

80

（A）。7.3.2 負載性能7.3.2.1 震動、異響等不良現(xiàn)象。7.3.2.2 氣動系統(tǒng)、潤滑系統(tǒng)工作應(yīng)穩(wěn)定可靠，各聯(lián)結(jié)處無滲漏現(xiàn)象。7.4 生產(chǎn)效率7.4.1 長度為

700

mm

mm×182

mm

min。/mm±0./mm0.05a

≤0.

RaRa0.1Ra0.2590±0./mm≤0.

/700a

方棒邊距極差針對于同一根硅棒。ｗｗ兔ｗ學(xué)兔．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載T/ZZB

3539—ｗｗ兔ｗ學(xué)兔．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載7.4.2長度為

700

mm

mm×182

mm

min。7.5 安全防護7.5.1 電氣系統(tǒng)布線符合

GB/T

5226.1—2019

章的規(guī)定7.5.2 指示燈和顯示器應(yīng)符合

5226.1—2019

中

10.3

的規(guī)定。7.5.3 光標按鈕應(yīng)符合

GB/T

—2019

中

10.4

的規(guī)定。7.5.4 電氣系統(tǒng)標記、警告標示和參照代號應(yīng)符合

GB/T

5226.1—2019

章的規(guī)定。7.5.5 磨倒一體機外露可導(dǎo)電部分應(yīng)按照

5226.1—2019中8.2.1的要求連接到保護聯(lián)結(jié)電路上。保護聯(lián)結(jié)電路的連續(xù)性應(yīng)符合

GB/T

5226.1—2019

中

8.2.3

的規(guī)定。

端子和各保護聯(lián)結(jié)電路部件的有關(guān)點之間的每一個保護聯(lián)結(jié)電路的電阻應(yīng)不大于

0.1

7.5.6 在動力電路導(dǎo)線和保護聯(lián)結(jié)電路間施加

Vd.c

時測得的絕緣電阻應(yīng)不小于

1

M7.5.7在動力電路導(dǎo)線和保護接地電路之間應(yīng)經(jīng)受

Hz，1000

V

1

s

和擊穿現(xiàn)象。7.5.8 磨倒一體機的安全防護應(yīng)符合

15760—2004

中

5.5.1

的規(guī)定。7.6 精度7.6.1 幾何精度磨倒一體機的幾何精度應(yīng)符合附錄A中表的規(guī)定。7.6.2 進給精度磨倒一體機的進給精度應(yīng)符合附錄A中表的規(guī)定。7.6.3 上料定位精度磨倒一體機的工件上料定位精度應(yīng)不大于0.02

mm。7.6.4 工件精度磨倒一體機的工件精度應(yīng)符合表2的規(guī)定。表2 工件精度8 試驗方法8.1 外觀采用感官法進行。mmrpmmmmm/min200#800#40030000.02800兔ｗ兔學(xué)ｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載T/ZZB

3539—兔ｗ兔學(xué)ｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載8.2 功能要求8.2.1 對磨倒一體機進行程序參數(shù)設(shè)置、手動和自動操作，并檢查顯示裝置工作參數(shù)是否顯示正確。8.2.2 目測檢查控制系統(tǒng)是否有故障報警顯示功能。8.2.3 設(shè)置一個工作程序，進行空運轉(zhuǎn)，核查磨倒一體機是否有自動上下料、自動對接、自動工序轉(zhuǎn)移等功能。8.2.4 對磨倒一體機進行裝夾操作，檢查是否準確、可靠，并檢查是否有到位自鎖功能。8.2.5

試驗，并選擇適當(dāng)?shù)脑隽窟M給進行正、負向操作試驗，動作應(yīng)靈活、可靠、準確。手動功能用目測法、觸摸法進行。8.2.6 對磨倒一體機數(shù)字控制的各種指示燈、控制按鈕、機械按鈕等進行操作及運轉(zhuǎn)試驗，動作應(yīng)靈活、可靠。8.2.7 漏現(xiàn)象。8.2.8 動作應(yīng)靈活、準確。8.2.9 在操作界面中選擇自動切割模式，并設(shè)置砂輪轉(zhuǎn)速、磨削量、進給速度、進給行程等參數(shù)進行模擬切割試驗，整個操作過程能順利完成。8.3 整機性能8.3.1 空載性能8.3.1.120±2

3000

rpm

30

溫度，并在靠近軸承處用紅外測溫儀檢測。8.3.1.2 在室溫（20±2）℃條件下，砂輪轉(zhuǎn)速

3000

rpm，連續(xù)運行

30

條件下，運動部件高速進

2/3

要求。8.3.1.3 噪聲聲壓級按

JB/T

7665—2007

進行測量。8.3.2負載性能采用表3規(guī)定的的試驗參數(shù)進行負載試驗，檢查運行情況。表3 試驗參數(shù)8.4 生產(chǎn)效率8.4.1 在表

3

試驗參數(shù)下運行磨倒一體機，對長度為

700

，規(guī)格為

182

×

的硅方，當(dāng)砂輪際時間。8.4.2在表

3

試驗參數(shù)下運行磨倒一體機，對長度為

700

，規(guī)格為

182

×

的硅方，當(dāng)砂輪際時間。學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載T/ZZB

3539—學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載8.5 安全防護8.5.1

電氣系統(tǒng)布線按

GB/T

—2019

中第

13

章規(guī)定的試驗方法進行。8.5.2

指示燈和顯示器按

GB/T

5226.1—2019

中

10.3

規(guī)定的試驗方法進行。8.5.3

按鈕按

GB/T

5226.1—

中

10.4

規(guī)定的試驗方法進行。8.5.4

電氣系統(tǒng)的標記、警告標志和參照代號按

GB/T

—2019

中第

16

章規(guī)定的試驗方法進行。8.5.5

保護聯(lián)接電路的連續(xù)性按

GB/T

—2019

中

規(guī)定的試驗方法進行。8.5.6

絕緣電阻按

GB/T

5226.1—2019

中

18.3

規(guī)定的試驗方法進行。8.5.7

耐壓試驗按

GB/T

5226.1—2019

中

18.4

規(guī)定的試驗方法進行。8.5.8

安全防護按

GB

15760—

5

章規(guī)定的方法進行。8.6 精度8.6.1 幾何精度按本文件附錄A中表的規(guī)定進行。8.6.2 進給精度按本文件附錄A中表的規(guī)定進行。8.6.3上料定位精度試驗具體步驟如下：a) 取工件上同一高度的四個面進行測量；3 4Y Yb) 如圖

1

1、

3 4Y Yc)

1

3

高度，讀出

3

面的數(shù)值。同一樣測量工件的

2、4

面，得出的差值即為實際的工件在加工臺面上

X、

X、

軸的偏心值與磨倒一體機自帶的檢測的偏心值進行對比，得出結(jié)論。圖1 工件上料測量示意圖8.6.4 工件精度7.18.17.28.27.3.18.3.17.3.28.3.27.48.4×7.5.18.5.17.5.28.5.27.5.38.5.37.5.48.5.47.5.58.5.5107.5.68.5.6117.5.78.5.7×127.5.88.5.8137.6.18.6.1147.6.28.6.2×157.6.38.6.3×167.6.48.6.4×ｏｍ標準．ｃｘｗｚｆ．ｂｗｗ兔ｗ學(xué)兔下載T/ZZB

3539—ｏｍ標準．ｃｘｗｚｆ．ｂｗｗ兔ｗ學(xué)兔下載8.6.4.1 邊距、直徑按

GB/T

3177

規(guī)定的方法進行檢驗，用精度為

0.01

mm

的游標卡尺測量方棒的對邊距離，測量部位至少包括頭、中、尾三個測量部位。8.6.4.2 粗糙度按

10610

規(guī)定的方法進行。8.6.4.3 鄰面夾角采用分辨率為

°，精度為±0.03°的相應(yīng)檢具進行。8.6.4.4平面度采用精度等級為

1

級規(guī)格不小于

1000

×

mm

的大理石平臺和精度為

0.01

的按表

3

的試驗參數(shù)進行方棒檢測。9 檢驗規(guī)則9.1檢驗分類產(chǎn)品檢驗分出廠檢驗和型式檢驗。檢驗項目見表4。表4 檢驗項目9.2 出廠檢驗9.2.1 出廠檢驗由公司質(zhì)檢部門負責(zé)，出廠檢驗應(yīng)逐臺檢驗，出廠檢驗項目見表

4。9.2.2 產(chǎn)品應(yīng)出廠檢驗合格后方可出廠，并附有產(chǎn)品合格證。9.3 型式檢驗9.3.1 當(dāng)出現(xiàn)下列情況之一時,應(yīng)進行型式檢驗：——試制的新產(chǎn)品或老產(chǎn)品轉(zhuǎn)廠生產(chǎn)時；——當(dāng)產(chǎn)品的設(shè)計、工藝或所用材料有重大改變時；學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載T/ZZB

3539—學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載——產(chǎn)品停產(chǎn)

1

年以上恢復(fù)生產(chǎn)時；——出廠檢驗結(jié)果與上次型式檢驗有較大差別時。9.3.2 應(yīng)從出廠檢驗合格成品中隨機抽取

1

臺進行型式檢驗，型式檢驗項目見表

4

規(guī)定。9.3.3 型式檢驗存在不合格項時，判為不合格。10 標志、包裝、運輸和貯存10.1 標志10.1.1 磨倒一體機都應(yīng)有銘牌。銘牌應(yīng)固定在明顯易見的位置上。10.1.2 對易造成人體傷害的位置應(yīng)設(shè)置符合

GB

2894

“當(dāng)心機械傷人”等標志。10.1.3 磨倒一體機的銘牌上應(yīng)標出下列各項：——產(chǎn)品的型號和名稱；——產(chǎn)品編號；——制造日期；——產(chǎn)品標準號；——生產(chǎn)廠名稱及地址。10.2 包裝及說明書10.2.1 磨倒一體機的包裝應(yīng)有防銹、防潮措施。10.2.2 包裝箱上應(yīng)有怕雨、向上、小心輕放等字樣或標志。10.2.3 使用說明書的編寫應(yīng)符合

GB/T

9969

的要求，至少應(yīng)包括：——產(chǎn)品名稱；——產(chǎn)品概述（用途、特點、使用環(huán)境及主要使用性能指標和額定參數(shù)等）；——線路圖、接地說明；——安裝和使用要求，維護和保養(yǎng)注意事項；——產(chǎn)品附件名稱、數(shù)量、規(guī)格；——常見故障及處理辦法一覽表，售后服務(wù)事項和生產(chǎn)者責(zé)任；——生產(chǎn)廠名和地址。10.3 運輸?shù)雀g物品混運。10.4 貯存10.4.1

或側(cè)放。10.4.2 對臨時露天存放的包裝箱應(yīng)采取防雨、防潮和防止碰撞等措施。11 質(zhì)量承諾11.1 在符合使用說明書的條件下，產(chǎn)品自到貨之日起質(zhì)保期

個月，在質(zhì)保期內(nèi)如出現(xiàn)因產(chǎn)品質(zhì)量問題造成的磨倒一體機故障，生產(chǎn)廠應(yīng)進行免費維修。學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載T/ZZB

3539—學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標準下載11.2如出現(xiàn)產(chǎn)品質(zhì)量訴求時，生產(chǎn)廠應(yīng)在

4

小時內(nèi)做出響應(yīng)，24

小時內(nèi)提供解決處理方案。準ｚｆ．ｂｘｗ學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｃｏｍ標下載T/ZZB

3539—準ｚｆ．ｂｘｗ學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｃｏｍ標下載AA附 錄 A（規(guī)范性）精度項目要求及檢驗方法A.1 幾何精度檢驗幾何精度檢驗項目、允差及檢驗方法見表A.1。表A.1檢驗項目 G1簡圖