高端光芯片晶圓和光器件研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目環(huán)評可研資料環(huán)境影響

12306-320214-89-01-7367 改建擴(kuò)建技術(shù)改造不予批準(zhǔn)后再次申報(bào)項(xiàng)目超五年重新審核項(xiàng)目重大變動重新報(bào)批項(xiàng)目否2）2.環(huán)境空氣保護(hù)目標(biāo)指自然保護(hù)區(qū)、風(fēng)景名勝區(qū)、居住區(qū)、文化區(qū)和農(nóng)村地區(qū)中人本項(xiàng)目有毒有害和易燃易爆危險物質(zhì)存儲量超過臨界量，設(shè)置環(huán)境231.規(guī)劃及規(guī)劃環(huán)境影響評價符合性分析（1）與無錫市新吳區(qū)梅村工業(yè)集中區(qū)規(guī)劃相符性水域：近期規(guī)劃用地面積0.062km2，占規(guī)劃總面積的1.174規(guī)劃形成“一心、兩廊、兩脈”的空間結(jié)構(gòu)和“3+3+4”的功能片區(qū)。一心為梅里5位及方向也保持了較好的一致性。本項(xiàng)目與《無錫市新吳區(qū)梅村街道總體規(guī)劃錫市新區(qū)規(guī)劃建設(shè)環(huán)保局的批復(fù)（錫新管建發(fā)[2007]43號建設(shè)項(xiàng)目與梅村鎮(zhèn)工業(yè)集表1-2本項(xiàng)目與規(guī)劃環(huán)境影響評價和環(huán)境保護(hù)規(guī)劃報(bào)告書審查意見的對照表見以科學(xué)發(fā)展觀指導(dǎo)工業(yè)集中區(qū)建設(shè)和環(huán)境管理，實(shí)區(qū)域經(jīng)濟(jì)和環(huán)境的可持續(xù)發(fā)展。工業(yè)集中區(qū)建設(shè)須堅(jiān)持環(huán)高標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)、高水平管理。推行循環(huán)經(jīng)濟(jì)理念和清潔生產(chǎn)環(huán)境管理體系，努力將工業(yè)集中區(qū)建成生態(tài)型工業(yè)園區(qū)。鼓勵與扶持企業(yè)內(nèi)部和企業(yè)之間副產(chǎn)品與能源梯級利用，本項(xiàng)目從事高端光芯片晶圓入?yún)^(qū)。工業(yè)集中區(qū)引進(jìn)項(xiàng)目須嚴(yán)格對照《關(guān)于進(jìn)一步加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)政策和信貸政策協(xié)調(diào)配合控制信貸風(fēng)險有關(guān)問題的通關(guān)政策和規(guī)定的要求。入?yún)^(qū)項(xiàng)目須采用國內(nèi)外先進(jìn)水平的生產(chǎn)工藝、設(shè)備并配套技術(shù)可靠、經(jīng)濟(jì)合理的污染防治措清潔生產(chǎn)國內(nèi)甚至國外先進(jìn)水平，并嚴(yán)格執(zhí)行建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評價和“三同時”制度。禁止引進(jìn)有持久性有機(jī)污染、排放惡臭及其他有毒氣體的項(xiàng)目，杜絕高污染、高風(fēng)險和高投入、低產(chǎn)出的項(xiàng)目入?yún)^(qū)。入?yún)^(qū)企業(yè)應(yīng)嚴(yán)格執(zhí)行環(huán)本項(xiàng)目從事高端光芯片晶圓落實(shí)環(huán)境影響評價和“三同時”制6針對區(qū)域存在的環(huán)境問題，加強(qiáng)環(huán)境綜合整治，落實(shí)重點(diǎn)污染源綜合整治方案，對現(xiàn)有廢氣、廢水不能穩(wěn)定達(dá)配套廢氣處理設(shè)施處理后達(dá)標(biāo)污水管網(wǎng)建設(shè)進(jìn)度。區(qū)內(nèi)各企業(yè)產(chǎn)生的污水須經(jīng)預(yù)處理達(dá)接管標(biāo)準(zhǔn)后方能接入污水處理廠集中處理。污水處理廠尾一級B標(biāo)準(zhǔn)。規(guī)劃并落實(shí)中水回用的基礎(chǔ)設(shè)下水、污水處理廠尾水須盡可能用作綠化用水、地面沖洗電等清潔能源。入?yún)^(qū)企業(yè)生產(chǎn)廢氣須經(jīng)有效處理后達(dá)標(biāo)排鍋爐煙氣執(zhí)行《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》中相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)，工業(yè)窯爐廢氣執(zhí)行《工業(yè)窯爐大氣污染物排廢處置系統(tǒng)，鼓勵工業(yè)固體廢物在區(qū)內(nèi)綜合利用。區(qū)內(nèi)危險廢物的收集、貯存、處置須符合國家《危險廢物貯存污本項(xiàng)目各類廢水分類分質(zhì)化糞池預(yù)處理后和純水制備廢本項(xiàng)目危險廢物均委托有企業(yè)生產(chǎn)運(yùn)營管理中須制定并落實(shí)嚴(yán)格的環(huán)境風(fēng)險防范措施和事故應(yīng)急預(yù)案，區(qū)內(nèi)各使用危險化學(xué)品的生產(chǎn)裝置周并儲備事故應(yīng)急設(shè)備物資，定期組織實(shí)戰(zhàn)演練，確保工業(yè)園區(qū)環(huán)境安全。排放工業(yè)廢水的企業(yè)須設(shè)置足夠容量的事本項(xiàng)目建成后將建立突發(fā)設(shè)置建設(shè)容積不小于150m3的園區(qū)污染物總量指標(biāo)納入無錫新區(qū)總量指標(biāo)內(nèi)，其中水污染物總量指標(biāo)納入梅村污水處理廠指標(biāo)計(jì)劃內(nèi)，大氣污染物排放總量指標(biāo)在無錫市友聯(lián)熱電有限公司指標(biāo)計(jì)劃內(nèi)平衡。非常規(guī)污染物排放總量可根據(jù)環(huán)境要求和入?yún)^(qū)企業(yè)實(shí)7表1-3建設(shè)項(xiàng)目與無錫市新吳區(qū)梅村工業(yè)集中區(qū)跟蹤評價審核意見對照表見集中區(qū)重點(diǎn)發(fā)展機(jī)械、輕紡、電子、服裝等輕湖水污染防治條例》等產(chǎn)業(yè)政策、法律法規(guī)和集中區(qū)產(chǎn)業(yè)發(fā)展負(fù)面清單的要求；集中區(qū)在后續(xù)發(fā)展過對于區(qū)內(nèi)現(xiàn)有的不符合產(chǎn)業(yè)定位及相關(guān)產(chǎn)業(yè)政業(yè)符合國家、江蘇省、無錫市的環(huán)境保護(hù)要求，并本項(xiàng)目屬于鼓勵類，符合國家和地方的產(chǎn)業(yè)政策。本項(xiàng)目位于太湖流域三新型戰(zhàn)略行業(yè)，排放含氮、磷的研發(fā)廢水按《江蘇省太湖流域建設(shè)項(xiàng)目重點(diǎn)水污染物排放總量指標(biāo)減量替代管理暫行用地布局及產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)，提高單位土地利用率。對于調(diào)整后擬開發(fā)的用地，在今后開發(fā)過程中，應(yīng)嚴(yán)格本項(xiàng)目位于無錫市新吳區(qū)梅村新華政復(fù)[2022]4號，建設(shè)項(xiàng)目地塊屬于生產(chǎn)梅村水處理廠的擴(kuò)建，加快污水處理廠再生水回用范圍內(nèi)的自備鍋爐及工業(yè)爐窯應(yīng)使用天然氣等清潔/確保工藝廢氣均通過有效處理后達(dá)標(biāo)排放；對新入須規(guī)劃設(shè)置暫存場所，并委托有相應(yīng)處置資質(zhì)的單本項(xiàng)目危險廢物均委托有資質(zhì)單險防范措施，設(shè)置的事故池須滿足事故廢水收集處本項(xiàng)目建成后將建立突發(fā)環(huán)境時防止事故排水對區(qū)域水環(huán)境造成不良加強(qiáng)集中區(qū)的環(huán)境監(jiān)督管理，建立環(huán)境監(jiān)測計(jì)劃，對地表水、環(huán)境空氣、環(huán)境噪聲、地下水、土/總量控制指標(biāo)在接管的污水處理廠指標(biāo)內(nèi)平衡，大氣污染物排放總量控制指標(biāo)在供熱的電廠指標(biāo)內(nèi)平本項(xiàng)目新增水污染物在梅村水處理廠平衡，新增的廢氣在梅村街道范由上表可知，本項(xiàng)目建設(shè)與梅村工業(yè)集中區(qū)的規(guī)劃和跟蹤審查意見相符。82.其他符合性分析2.1產(chǎn)業(yè)政策的相符性分析），2.2“三線一單”相符性分析①生態(tài)保護(hù)紅線規(guī)劃相符性線9業(yè)集中區(qū)規(guī)劃內(nèi)容以及《無錫市新吳區(qū)梅村表1-5本項(xiàng)目與梅村工業(yè)集中區(qū)產(chǎn)業(yè)發(fā)展負(fù)面清單的相符性分析類型梅村工業(yè)集中區(qū)“三線一單”生態(tài)準(zhǔn)環(huán)境準(zhǔn)入清單本項(xiàng)目相符性分析園區(qū)制革、釀造、染料、印染、電鍍以及其他排放含磷、氮等污染物的企業(yè)和項(xiàng)目，城鎮(zhèn)污水集中處理等環(huán)境基礎(chǔ)設(shè)施項(xiàng)目和《江蘇省太湖水污染防治條例》第四十六條規(guī)定的情測點(diǎn)和提升安全、環(huán)保、節(jié)能水平及油品質(zhì)化工企業(yè)只允許在原有生產(chǎn)產(chǎn)品種類、產(chǎn)能規(guī)模、排放總量不增加的前提下進(jìn)行安全隱患改造、節(jié)能環(huán)保設(shè)施改造和智能化提升改造，現(xiàn)有化工企業(yè)嚴(yán)格按照《省政府辦公廳關(guān)于開展全省化工企業(yè)“四個一批”專項(xiàng)行工業(yè)和信息產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2012年《無錫市內(nèi)資禁止投資項(xiàng)目目錄（2015年控類型梅村工業(yè)集中區(qū)“三線一單”生態(tài)準(zhǔn)環(huán)境準(zhǔn)入清單本項(xiàng)目相符性分析要求書省太湖流域建設(shè)項(xiàng)目重點(diǎn)水污染物排放總量指標(biāo)減量替代管目類型梅村工業(yè)集中區(qū)“三線一單”生態(tài)準(zhǔn)環(huán)境準(zhǔn)入清單本項(xiàng)目相符性分析禁止引進(jìn)VOCs收集及去除效率達(dá)梅村工業(yè)集中區(qū)環(huán)境管控單元的生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入清單要求以及梅村工業(yè)集中區(qū)規(guī)劃環(huán)評2.3太湖水污染防治條例有關(guān)規(guī)定（1）本項(xiàng)目與太湖流域保護(hù)區(qū)的區(qū)位關(guān)系（2）《太湖流域管理?xiàng)l例》相關(guān)要求（3）《江蘇省太湖水污染防治條例》物的企業(yè)和項(xiàng)目，城鎮(zhèn)污水集中處理等環(huán)境基礎(chǔ)設(shè)施項(xiàng)目和第四十六條規(guī)定的情形除得的指標(biāo)中取得，且按照不低于該項(xiàng)目新增年排“前款規(guī)定中新建、改建、擴(kuò)建以及技術(shù)改造項(xiàng)目的環(huán)境影響報(bào)告書，除由國務(wù)院機(jī)關(guān)?！北緱l所指排放含磷、氮等污染物的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)具體類別根據(jù)《江蘇省太湖流域建設(shè)項(xiàng)目重點(diǎn)水污染物排放總量染物排放總量應(yīng)當(dāng)從減量替代指標(biāo)中取得，且按照不低于該項(xiàng)目新增年排放總量的1.1倍實(shí)施減量替代。戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)改建項(xiàng)目應(yīng)當(dāng)實(shí)現(xiàn)項(xiàng)目重點(diǎn)水污染物年排2.4本項(xiàng)目與上述條例的符合性分析端光芯片晶圓和光器件研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目屬于江蘇省太湖流域戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)類別的2.5選址合理性分析15500m2，項(xiàng)目所在園區(qū)周邊均為梅村工業(yè)集中區(qū)的研發(fā)和生產(chǎn)用地。本項(xiàng)目廠房東側(cè)（2)、外環(huán)境對本項(xiàng)目影響邊無振動類及高污染類等可能對本項(xiàng)目產(chǎn)生影響的企業(yè)及設(shè)施，不會對本項(xiàng)目形成制2.6與《江蘇省揮發(fā)性有機(jī)物污染防治管理辦法》符合性“管理辦法”中規(guī)定：“產(chǎn)生揮發(fā)性有機(jī)物廢氣的生產(chǎn)經(jīng)營活動應(yīng)當(dāng)在密閉空間或者間，廢氣通過密閉設(shè)備配套管道及車間負(fù)壓系統(tǒng)收集，采表1-6本項(xiàng)目揮發(fā)性有機(jī)物清潔原料相符性量NDNDNDNMP///NDNDNDND/ND/////////////本項(xiàng)目使用的銀膠、UV膠、密封膠均符合《膠粘劑揮發(fā)性有機(jī)化合物限量GB通過密閉設(shè)備配套的管道及車間負(fù)壓系統(tǒng)收集，捕集率能達(dá)到100%，采用二級活性炭2.8與《關(guān)于印發(fā)<2020年揮發(fā)性有機(jī)物治理攻堅(jiān)方案>的通知》相符性和重點(diǎn)企業(yè)為重點(diǎn)管控對象，全面加強(qiáng)對光化學(xué)反應(yīng)活性強(qiáng)的VOCs物質(zhì)控制；堅(jiān)持達(dá)VOCs原輔材料生產(chǎn)和替代，全面加強(qiáng)無組織排放管控，強(qiáng)化精細(xì)化管理，提高企業(yè)綜相符性分析：本項(xiàng)目研發(fā)生產(chǎn)時建立原輔材料臺賬及VOCs設(shè)備運(yùn)氣情況，有機(jī)廢本項(xiàng)目與《2020年揮發(fā)性有機(jī)物治理攻堅(jiān)方案表1-7與《2020年揮發(fā)性有機(jī)物治理攻堅(jiān)方案》的相符性分析12進(jìn)一步明確無組織排放控制要求。3提高VOCs治理效率。組織專家對重導(dǎo)致排放濃度與去除效率不達(dá)標(biāo)的完成改造并通過屬地生態(tài)環(huán)境部門表1-8建設(shè)項(xiàng)目長江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單管理表1建設(shè)不符合《長江干線過江通道布局規(guī)劃》的過長234挖沙、采礦，以及任何不符合主體功能定位的投資建56禁止未經(jīng)許可在長江干支流及湖泊新設(shè)、改設(shè)或擴(kuò)78江干支流一公里按照長江千支流岸線邊界(即水利部門河道管9行,2022年版)〉江蘇省實(shí)施細(xì)則合規(guī)禁止在化工企業(yè)周邊建設(shè)不符合安全距離規(guī)定的勞動密集型的非化表1-9<長江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單指南>江蘇省實(shí)施細(xì)則管理表1234明令禁止的落后產(chǎn)能項(xiàng)目，以及明令淘汰的安全生產(chǎn)落后工藝及裝備項(xiàng)目。52.11與《關(guān)于在環(huán)評審批階段開展“源頭管控行動”表1-10本項(xiàng)目與《關(guān)于在環(huán)評審批階段開展“源頭管控性代空調(diào)冷凝水回用，可減少自來水使用性有條件的揮發(fā)性有機(jī)物排放企業(yè)(如印等技術(shù)實(shí)現(xiàn)物料回用強(qiáng)化固體廢物源頭減量和綜合利用，配套的回收利用設(shè)施必須達(dá)到主生產(chǎn)裝置同樣的設(shè)計(jì)水平和處置固體廢物和危險廢物的，在本市應(yīng)率產(chǎn)過程有機(jī)廢氣均為密閉設(shè)備配套管2.12與《關(guān)于印發(fā)大運(yùn)河江蘇段核心監(jiān)控區(qū)國土空間管控暫行辦法的通知》(蘇政發(fā)：（（二）由政府組織實(shí)施的能源、交通、水利、通信、郵政等基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)需要用地的；：（；（；（2.13本項(xiàng)目與《無錫市新吳區(qū)生態(tài)文明建設(shè)規(guī)劃》的相符性含氟廢水收集處理體系建設(shè)，新建企業(yè)含氟廢水不得接入城鎮(zhèn)污水處理廠，已接管的企業(yè)開原則上不得設(shè)置入河入海排污口，應(yīng)進(jìn)入具備產(chǎn)業(yè)定位的工業(yè)園區(qū)。存在國省考斷面氟化物超標(biāo)的區(qū)域，要針對性提出相應(yīng)的氟化物區(qū)域產(chǎn)不增污”原則。有限選擇涉氟重點(diǎn)區(qū)域開展村工業(yè)集中區(qū)產(chǎn)業(yè)定位。本項(xiàng)目含氟廢水經(jīng)預(yù)處理達(dá)標(biāo)后接管梅村水處理廠集中處理，不涉及入河入海排污口。根據(jù)個斷面氟化物均能滿足《地表水環(huán)境質(zhì)建成后將完善建設(shè)單位清潔生產(chǎn)審核制超標(biāo)排放、設(shè)施不正常運(yùn)行，雨污（清污）不活污水分類收集、分質(zhì)處理。新建企業(yè)含氟廢管城鎮(zhèn)污水集中收集處理設(shè)施的須組織排查評后接管梅村水處理廠。待配套的工業(yè)污水處理廠建成后，本項(xiàng)目生產(chǎn)廢水將同極推進(jìn)涉氟污水處理廠及涉氟企業(yè)雨水污水排放口、部分重點(diǎn)國省考斷面安裝氟化物自動監(jiān)實(shí)時監(jiān)控。強(qiáng)化對重點(diǎn)時期、重點(diǎn)區(qū)域、重點(diǎn)斷面的加密監(jiān)測，一旦發(fā)現(xiàn)異常，及時調(diào)查處國省考斷面試點(diǎn)安裝氟化物在線監(jiān)控裝置并聯(lián)由上表可知，本項(xiàng)目符合《關(guān)于印發(fā)<江蘇省地表水氟化物污染治理工作方案表1-12《關(guān)于進(jìn)一步加強(qiáng)重金屬污染防控的意見》相符性1鎘、鉻、砷、鉈和銻，并對鉛、汞、鎘、鉻和砷鉻鹽制造、以工業(yè)固體廢物為原料的鋅無機(jī)鼓勵地方根據(jù)本地生態(tài)環(huán)境質(zhì)量改善目標(biāo)和重2推行企業(yè)重金屬污染物排放總量控制制度。成后將依法申請排污放濃度、許可排放量3規(guī)劃環(huán)評和行業(yè)環(huán)境4《限期淘汰產(chǎn)生嚴(yán)重污染環(huán)境的工業(yè)固體廢產(chǎn)工藝設(shè)備名錄》等要求，推動依法淘汰涉產(chǎn)能和化解過剩產(chǎn)能。嚴(yán)格執(zhí)行生態(tài)環(huán)境保規(guī)標(biāo)準(zhǔn)，推動經(jīng)整改仍達(dá)不到要求的產(chǎn)能依優(yōu)化重點(diǎn)行業(yè)企業(yè)布局。推動涉重金屬產(chǎn)業(yè)集擴(kuò)建的重有色金屬冶煉、電鍍、制革企業(yè)優(yōu)先力爭到2025年底專業(yè)電鍍企業(yè)入園率片晶圓和光器件的制造、集成電路制造項(xiàng)5物特別排放限值。根據(jù)排放標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定和2.16本項(xiàng)目與《關(guān)于印發(fā)<江蘇省工業(yè)廢水與生活污水分質(zhì)處理工作推進(jìn)方表1-13《江蘇省工業(yè)廢水與生活污水分質(zhì)處理工作推進(jìn)方案》相符性評價中參照評估指南評估納管的可行性。企業(yè)環(huán)境部門申請領(lǐng)取排污許可證的同時，應(yīng)向城2.17項(xiàng)目與《關(guān)于在全國開展“三區(qū)三線”劃定工作的函》的相符性表1-14《關(guān)于在全國開展“三區(qū)三線”劃定工作的函》相符性分析2.落實(shí)耕地保護(hù)目標(biāo)任務(wù)和生態(tài)保護(hù)紅線劃定方案，避讓連3.避讓地質(zhì)災(zāi)害極高和高風(fēng)險區(qū)、蓄滯洪區(qū)、地震4.加強(qiáng)歷史文化遺產(chǎn)保護(hù)，避讓大遺址保護(hù)區(qū)和地下文物埋5.貫徹“以水定城、以水定地、以水定人、6.基于資源環(huán)境承載能力和國土空間開發(fā)適宜量在梅村街道范圍內(nèi)平包括FMCW激光器雷達(dá)可調(diào)光源及時間飛行激光雷達(dá)（To運(yùn)營豐富經(jīng)驗(yàn)。核心創(chuàng)始人在行業(yè)工作20年，在工發(fā)-驗(yàn)證-量產(chǎn)-再研發(fā)-再驗(yàn)證-量產(chǎn)”核心技術(shù)閉環(huán)升級，從而保證光芯片晶圓處于國際目環(huán)境保護(hù)管理?xiàng)l例》，該項(xiàng)目應(yīng)開展環(huán)境影響評價工作。按照《國民經(jīng)濟(jì)行業(yè)分類》中“三十六、計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)”中“80、電子器件制造——集成電路線間·高碼率、高通道數(shù)的摻·相干技術(shù)以廣泛應(yīng)用于緣接入網(wǎng)(<100km)。另外相干技術(shù)也已經(jīng)成為數(shù)據(jù)4英寸GaAs膠配套新增一套18MΩ.cm超純水系統(tǒng)統(tǒng)///25米（FQ-01）排放WS-002排放1.4.1原輔材料及產(chǎn)品的儲運(yùn)方式（1）.原輔材料運(yùn)輸本工程全程使用的原輔材料對運(yùn)輸條件要求較高，市區(qū)內(nèi)運(yùn)輸由專業(yè)運(yùn)輸公司承（2）.原輔材料儲存①化學(xué)品儲存間（化學(xué)品庫、甲類化學(xué)品暫存柜、一般化學(xué)品庫、中間庫）化學(xué)品庫、甲類化學(xué)品暫存柜的溫度控制為20±10℃,相對濕度為30%~70%，保劇毒腐蝕氣體房、氯氣房、易燃易爆庫、砷烷磷烷間的溫度控制為24±4℃,保持（3）.原輔材料供應(yīng)①化學(xué)品儲存間（化學(xué)品庫、甲類化學(xué)品暫存柜、一般化學(xué)品庫、中間庫）1.4.2公用工程及配套設(shè)施（1）.給水系統(tǒng)——原水預(yù)處理——二級反滲透預(yù)脫鹽■————拋光混床終端脫鹽W——廢水純水系統(tǒng)工藝說明：原水預(yù)處理：為保證反滲透系統(tǒng)穩(wěn)定安全運(yùn)行，在進(jìn)入反滲透系統(tǒng)前需進(jìn)行預(yù)處理＜2mg/1(Mn法)；原水預(yù)處理的目的是解決如下問題：1）、防止膠體物質(zhì)及懸浮固體微粒對反滲透膜的污堵；4）、防止氧化物質(zhì)對反滲透膜的氧化破壞；基于上述反滲透設(shè)計(jì)導(dǎo)則的考慮，設(shè)定了該安全可靠的處理系統(tǒng)，預(yù)處理部分主要由原水箱、原水泵、疊片過濾器、超濾裝置、超濾產(chǎn)水箱、超濾反洗泵等設(shè)備組成。超濾反沖洗過程產(chǎn)生反沖洗廢水W1（純水制備廢水接管WS-001排放口排放。二級反滲透預(yù)脫鹽：反滲透又稱逆滲透，一種以壓力差為推動力，從溶液中分離出溶劑的膜分離操作。對膜一側(cè)的料液施加壓力到濃縮的溶液，即RO濃水W2，回用于冷卻塔補(bǔ)水。EDI深度除鹽：EDI利用混和離子交換樹脂吸附水中的陰陽離子，同時這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下，分別透過陰陽離子交換膜而被去除。本系統(tǒng)采用的模塊，無需加鹽和濃水循環(huán)，操作方便，結(jié)構(gòu)簡單，特別是由于膜塊采用了最新技術(shù)的結(jié)構(gòu)與影響的可能性，也極大提高了電能效率，降低能耗。拋光混床終端脫鹽系統(tǒng)：拋光混床及超純水供給系統(tǒng)主要包括氮封水箱、超純水泵、TOC消解儀、拋光混床、UV殺菌器、終端UF等。EDI產(chǎn)水可自行進(jìn)入該水箱暫存，并為外網(wǎng)供水提供充足的超純水。由于通過混合離子交換后進(jìn)入水中的氫離子與氫氧離子，立即生成電離度很低的水分子（H2O很少可能形成陽離子或陰離子交換時的反床，出水含鹽率在1ppm/L以下，電導(dǎo)率小于0.1-0.2μS/cm二氧化硅泄露量在20ppb/L左右，出水pH值顯中性。對水源設(shè)置0.1μm精濾，目的是防止小的顆粒、膠體、細(xì)菌等進(jìn)入后續(xù)設(shè)備中，產(chǎn)水經(jīng)過過濾精度為0.2um的電子級微濾膜，截留純水中微米及亞微米級的細(xì)小懸浮物、微生物、微粒、細(xì)菌和膠體物質(zhì)等雜質(zhì)。保證產(chǎn)水出水指標(biāo)要求。當(dāng)水中有機(jī)物含量高，可能引起濾膜受到有機(jī)物污染。并且當(dāng)條件有利于生物生存時，一些細(xì)菌和藻類也將在膜組件中產(chǎn)生，由此引起生物污染。因此UF膜、RO膜、離子交換裝置膜需定期更換，產(chǎn)生廢膜組件。1m3623%4℃ppbppb硅ppbpcs/mlpcs/mlppbppbppbppbppbppbCa,Cd,Co,Cr,Cu,Fe,Ga,Ge,K,Li,Mg,Na,Ni,Nb,Pb,Sb,Ta,Sn,Sr,Ti,Tl.V,Zn,Zrppb5/m26/支個67/支6個38EDI裝置/個239床臺1L床臺1L支3（2）.排水系統(tǒng)排水系統(tǒng)組成：生活污水系統(tǒng)，不含氮、磷生產(chǎn)廢水，含氮、磷生產(chǎn)廢水系統(tǒng)，雨水①生活污水系統(tǒng)及不含氮、磷生產(chǎn)廢水：生活污水經(jīng)生活污水化糞池預(yù)處理后和冷卻（3）.供電系統(tǒng)（4）.供氣系統(tǒng)本項(xiàng)目不涉及燃?xì)獾氖褂?，新?臺空壓機(jī)用于生產(chǎn)。（5）.凈化空調(diào)系統(tǒng)更潔凈服排水排氣處理去離子水、織氣等更潔凈服緩沖區(qū)（6）.工藝真空工藝真空系統(tǒng)為滿足工藝生產(chǎn)過程中生產(chǎn)設(shè)備、吸附硅片等對真空的需求而設(shè)置的系其它原輔材料儲存原料庫、冷卻系統(tǒng)、環(huán)保系統(tǒng)、冷凍站、純水系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、凈化空類別主要組分、規(guī)格、指標(biāo)單位材料片片2kg11458431282Au靶材8131282813131Ni靶材21Al2O32O5類別類別主要組分、規(guī)格、指標(biāo)單位Au05AlN0pcs0pcs0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs氣體0m3m3氨氣(NH3)4類別類別主要組分、規(guī)格、指標(biāo)單位硅烷(SiH4)/氫氣4428m399.999%磷烷(PH3)5化學(xué)藥品LLL柜無水乙醇（C2H6O）L柜異丙醇(C3H8O)L柜L硫酸（H2SO4）LNMP磷酸（H3PO4）LL檸檬酸（C6H8O7）L雙氧水（H2O2）L氨水（NH3H2O）LL類別類別主要組分、規(guī)格、指標(biāo)單位LL48%HBrL1199%亞硫酸金鈉Na3Au(SO3)21111LAl2O3002,2’-[1,4-丁二基二（氧亞甲基）]二-060L0L表2-7本項(xiàng)目涉及的原輔材料理化性質(zhì)和危險性情況表LD50（mg/kg）LC50（mg/m3）無色、有強(qiáng)烈的刺激氣味，分子式：NH3，熔點(diǎn)-77.75℃,沸點(diǎn)-33.5℃,密4，熔點(diǎn)185℃,沸點(diǎn)-112℃,密度0.68g/cm3下無色氣體。熔點(diǎn)(℃)：-87℃,沸點(diǎn)(℃)：-67℃,密度3.307kg/m3（氣LD50（mg/kg）LC50（mg/m3）8000ppm（-186℃),微溶于水。無色無臭的惰性氣體，分子式：He，熔點(diǎn)-272.1℃,沸點(diǎn)-268.9℃,密度3體，液態(tài)氯呈金黃色。密度3.214kg/5Pa氯可從溴或碘的鹽中將它們置換出來。能與有機(jī)物和無成反應(yīng)。干的氯稍不活潑，濕氯能直接與大多數(shù)634NMP(2H6O，熔點(diǎn)-114.1℃,沸點(diǎn)78.3℃,密度0.79g/cm3，LD50（mg/kg）LC50（mg/m3）無色透明的液體，有強(qiáng)烈的刺鼻氣味，具有較高的腐蝕性。分?jǐn)?shù)約為37%）具有極強(qiáng)的揮發(fā)性，熔點(diǎn)-27.32℃,沸點(diǎn)48℃。3124ppm3PO4，熔點(diǎn)42.4℃,沸點(diǎn)260℃,飽和蒸汽壓0.67(25℃)，密度1.87g/cm3，氟化銨。3碘溴表2-8廢氣、廢水處理裝置藥劑使用量1923456678表2-9高端光芯片晶圓生產(chǎn)線主要設(shè)備一覽表162/23/14X射線衍射儀/25/16/271819/62/4/3/2/32/2/13/2Bruker5/1/1/1/1//1/1/2/1/2/3/2/2/1/3/2/1/1/2/2/1/1/2/2/2/2/1/2/2/1/1/2/1/2/5/5/2/1/1/1/1/1/1/1//1/1/1/1室/2/21/22/43/44/15/16/17/18/19/1/1/1/12體房、甲類庫、特氣站、污水處理站等公輔工程均位于一層北側(cè)；二層主要為一條光器件生序號建筑面積（m2）1/40/2/13/14/15/16/17/18/19/1/1/1/1/1本項(xiàng)目所在園區(qū)東側(cè)隔新華路為菲沃泰納米科技園區(qū)，南側(cè)為江蘇鳴騰科技有限公司廠限公司、無錫市惠連海機(jī)械制造有限公司、無錫和睿宏精密機(jī)械有限公司等工業(yè)企業(yè)，北側(cè)2.1工藝流程簡述學(xué)品使用比例等，研發(fā)制備可靠性更高、功耗更低、良率更高的激光器芯片，實(shí)現(xiàn)“研發(fā)-驗(yàn)證-量產(chǎn)-再研發(fā)-再驗(yàn)證-量產(chǎn)”核心技術(shù)閉環(huán)升級。芯片精度或物料配方等途徑，實(shí)現(xiàn)對產(chǎn)品的迭代更新，制備出可靠性更高、功耗更低、良品率更體技術(shù)路線作具體的闡述，實(shí)際研發(fā)過程涉及的調(diào)整細(xì)節(jié)以及生產(chǎn)過程中涉及到的反復(fù)、迭G1-2煙塵2L1-2廢光刻膠G1-2煙塵2L1-2廢光刻膠砷化氫、氫氣、C2H6砷化氫、氫氣、C2H6 L1-3廢顯影液2W1-3含氮有機(jī)清洗廢水2W1-3含氮有機(jī)清洗廢水L1-4廢堿液W1-2含氮清洗廢水W1-2含氮清洗廢水LL1-5廢有機(jī)溶劑L1-6廢酸L1-7廢酸2222W1-4含砷清洗廢水 W1-5酸性清洗廢水W1-6含氟酸性清洗廢水 L1-8含金廢液L1-9減薄廢液W1-7含砷清洗廢水（砷化鎵基底）L1-8含金廢液L1-9減薄廢液W1-7含砷清洗廢水（砷化鎵基底）N222W——廢水 相外延，形成薄層單晶材料。通常MOCVD系統(tǒng)中的晶體生長都是在常壓或低壓物源，以鼓泡方式攜帶至管路，與氣態(tài)Ⅴ族氫化物混合，共同抵達(dá)生長區(qū)，在晶圓表面（DEZn）和乙硅烷（Si2H6）作為摻PH3+In(CH3)3+Si2H6→InSiP↓+PH3+In(CH3)3+Ga(CH3)3+Al(CH四溴化碳作為每次外延片生長工序結(jié)束后清潔使用，清潔過程產(chǎn)生沾染砷的固體材料，接觸面布置有密封圈用于隔離外部空氣，運(yùn)行過程外部空氣漏入真空腔室的漏射頻將氣體電離形成高活性的O2/Ar等離檬酸、雙氧水、氫溴酸、溴、硝酸，浸泡3-5min，80~120℃),工藝腐蝕材料為介質(zhì)膜熱力型氮氧化物形成溫度1500℃,因此該工序無廢氣產(chǎn)生。Na3Au(SO3)2→3Na++Au(SO3)23-Au(SO3)23-→Au+2(SO3)22-2Au+I2→2AuI；AuI+KI減薄后利用純水進(jìn)行沖洗，最后由N2吹除表面殘留水分，根據(jù)外延片砷化鎵擊金屬靶材（Ti、Pt、Au靶材），金屬粒子與氬離子發(fā)生非彈性碰撞，獲得動能離開 項(xiàng)目在這個理論基礎(chǔ)上，在一定溫度（高于363℃,電加熱）和一定壓力下將激光器芯兩個固相形成一個液相；冷卻后，當(dāng)溫度低于金硅共熔點(diǎn)（363℃)時，由液相形成的晶粒形式互相結(jié)合成機(jī)械混合物金-硅共融晶體，從而使硅芯片牢固地焊接在底座上，加壓力來實(shí)現(xiàn)焊接的一種壓焊方法。其原理是通過超聲波設(shè)備把超聲波能力傳送到焊熔點(diǎn)為1064.43℃)較穩(wěn)定，因此無焊接煙塵產(chǎn)生。最終利用超聲波熱壓焊接利用自動光學(xué)檢測設(shè)備檢驗(yàn)光器件的性能，挑出尾纖耦合：利用UV膠將陣列波導(dǎo)光柵、尾纖耦合成一體，該工序產(chǎn)生有機(jī)廢氣），表進(jìn)行各項(xiàng)測試（LIV，波長，噪聲等篩選出不合格品S態(tài)的環(huán)氧樹脂加熱至180℃,并注入測試材料中，冷卻形成固體后使用切割機(jī)、拋光機(jī)產(chǎn)生的主要污染物種類W1-4組W1-7W1-1W1-3W1-2W1-5W1-6W1-8/////////G1-2析G1-3G1-5G1-6G1-7G2-1G2-22-5G2-32-8G2-4G2-6G2-7G2-9///G1-1G1-4G1-8產(chǎn)生的主要污染物種類G1-9N機(jī)減S1-1S1-10/2-10S1-11///L1-1L1-5L1-2L1-3L1-4L1-8L1-6L1-9//////////①晶圓清洗后清洗用水②堿法刻蝕后清洗用水本項(xiàng)目使用氫氧化鉀、氨水、雙氧水刻蝕后需使用純水進(jìn)行清洗，每次沖洗水量④濕法腐蝕后清洗用水本項(xiàng)目新增2臺冷卻塔，循環(huán)冷卻水系統(tǒng)循環(huán)流量均為1050t/h，年工作時間為③酸堿洗滌塔補(bǔ)水系統(tǒng)⑤氟離子樹脂再生用水2.3元素及物料平衡分析稱格品Au靶材Au000Au000鈉蝕000000Au靶材 圖2-7本項(xiàng)目金元素平衡圖（kg/含鉑物質(zhì)主要有Pt靶材、Pt蒸發(fā)料。稱格品70003330000007333圖2-8本項(xiàng)目鉑元素平衡圖（kg/稱品廢氣鎳鎳22000200022Ni靶材22圖2-9本項(xiàng)目鎳元素平衡圖（kg/量副產(chǎn)品00000900500化銨＋70%水3000000格量量副產(chǎn)品0050000000SF6稱序品六氟化硫六氟化硫蝕00蝕30000有關(guān)說明號廢氣捕集與處理據(jù)捕集方式/量織織算00/烘烤--G1-7算0000點(diǎn)膠--G2-7VOC含000耦合--G2-6VOC含000封膠--G2-9VOC含000////0稱格0000000稱量品0氣10稱量品氣0000氯化氫氣體，進(jìn)入水洗裝置處理。其余大部分進(jìn)入稱品50000稱品003000稱量品0000/氫氣（H2）000000003.與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問題江蘇鳴騰科技有限公司成立于2006年2月，位于無錫市新吳區(qū)梅村街道新華路1352022年10月8日-2023年11月33.各類工程富余能力分析4.本項(xiàng)目租用場地的遺留環(huán)境問題本項(xiàng)目租賃江蘇鳴騰科技有限公司位于無錫市新吳區(qū)梅村街道新華路135號標(biāo)準(zhǔn)廠房15500m2。廠房自建成以來一直空置，在作為本項(xiàng)目生產(chǎn)車間前未使用過，因此無遺（1）項(xiàng)目所在區(qū)域環(huán)境質(zhì)量達(dá)標(biāo)情況8NO2PM10PM2.5（2）特征污染因子環(huán)評質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測數(shù)據(jù)分析位于本項(xiàng)目相對位置XY南南（3）環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀評價數(shù)ND0/ND~0.006/VOCs0ND~0.00080ND0/氨0ND0/（1）項(xiàng)目所在區(qū)域地表水達(dá)標(biāo)情況夏“兩個確?！蹦繕?biāo)。全市6個“十四五”地下水環(huán)境質(zhì)量國考區(qū)域點(diǎn)位水質(zhì)達(dá)標(biāo)率（2）地表水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測（2）地表水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀評價sisiiiisisif=468/（31.6+T），對于鹽pH,j7.0?pHsdSpH,j pHj?7.0SpH，j—第j個站位的pH值評價指數(shù)；pHj—第j個站位的pH監(jiān)測值pHsd—pH標(biāo)準(zhǔn)值的下限值；pH—pH標(biāo)準(zhǔn)值的上限值。su間游547////////////游769////////////—//根據(jù)《無錫市區(qū)聲環(huán)境功能區(qū)劃分調(diào)整方案》(錫政辦發(fā)【2018】157號文件)，本項(xiàng)目廢水接管梅村水處理廠，尾水排入梅花港，最象系m高差mXYXY00XY/////地公園//號）濕地生態(tài)系統(tǒng)保護(hù)3.污染物排放控制標(biāo)準(zhǔn)3.1環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)《無錫市環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)劃的通知》（錫政辦[2011]300號文），本項(xiàng)PM102.5二級標(biāo)準(zhǔn)，氯化氫、硫酸霧、氯、氨、TVOC執(zhí)行《環(huán)境影響評價技術(shù)導(dǎo)則大氣環(huán)PM10PM2.5200μg/m3氮氧化物(NOx)250μg/m3氯氨200μg/m32mg/m3//pH/5NH3-N113.2污染物排放標(biāo)準(zhǔn)本項(xiàng)目工藝廢氣中有組織排放的氟化物、氯化氫、氯氣、氨、異丙醇////氨/////////無組織//氨//////非甲烷總烴廠區(qū)內(nèi)無組織排放限值執(zhí)行《揮發(fā)性有機(jī)物無組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》無組織排放監(jiān)控位置NMHC6產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量限值要求(≤6英寸芯片生產(chǎn)）。具體指標(biāo)見下表。pH311pH值2嗅/3化學(xué)需氧量（CODCrmg/L）/4懸浮物（SSmg/L）/5//6//7溶解性總固體（TDSmg/L）12345pH6BOD5473一般工業(yè)固廢執(zhí)行《一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標(biāo)準(zhǔn)》4.本項(xiàng)目污染物總量控制指標(biāo)表3-16全廠污染物排放量一覽表（t廢氣氨9.5×10-59.5×10-6氨2.6×10-402.6×10-45×10-605×10-60氨廢水/0000固廢05511033115501.施工期環(huán)境保護(hù)措施2.運(yùn)營期環(huán)境影響和保護(hù)措施2.1.1大氣污染物產(chǎn)生及排放情況②光刻膠涂覆、烘烤廢氣④組裝、貼裝、點(diǎn)膠、烘烤廢氣⑤透鏡耦合、尾纖耦合廢氣反應(yīng)生成的非甲烷總烴主要為C2H6，由參與反應(yīng)的磷烷、二乙基鋅、二乙基銻反設(shè)備處理后再經(jīng)二級堿液噴淋塔處理后由25米高排氣筒FQ-02排放。風(fēng)機(jī)風(fēng)量為MVFP1111表4-2本項(xiàng)目污水處理構(gòu)筑物單位面積惡臭污染物排放源強(qiáng)NH3（mg/s.m2）H2S（mg/s.m2）表4-3本項(xiàng)目污水處理主要構(gòu)筑物惡臭氣體產(chǎn)生源強(qiáng)匯總表NH3H2S3///0FQ-0100000FQ-020氨0FQ-020000000000氨0氨FQ-01///表4-5本項(xiàng)目廢氣污染源強(qiáng)核算結(jié)果及相關(guān)參數(shù)一覽表（臭氣濃度無量綱）)時間FQ-01置是氨-4-6////氨/FQ-02是氨是氨塔是///氨膠///////氨/2.6×10-4/////-4//5×10-6/////5×10-6/表4-6正常工況本項(xiàng)目大氣污染物有組織排放情況一覽表FQ-01口///氨4.94×10-4/9.5×10-6////FQ-02口//氨//////表4-7本項(xiàng)目大氣污染物無組織產(chǎn)生及排放情況一覽表08站氨03×10-545×10-605×10-66×10-7////密閉設(shè)備配套密閉設(shè)備配套FQ-02達(dá)標(biāo)排放密閉設(shè)備配套密閉設(shè)備配套FQ-02達(dá)標(biāo)排放密閉設(shè)備配套2.1.2大氣污染物治理措施及有效性分析密閉設(shè)備配套氨氣、氟化物、氯氣、磷烷尾纖耦合、封膠 FQ-01量風(fēng)量筒24FQ-014434542414141424242400*200量風(fēng)量筒64FQ-02644414242434POU凈化裝置溫燃燒，產(chǎn)生固體廢物和可溶于水的氣體，再由水水反應(yīng)，生成沉積的物質(zhì)，達(dá)到有毒腐蝕的氣體完2）POU凈化裝置主要反應(yīng)方程及項(xiàng)目合理性分析①干式吸附POU—工藝尾氣（處理AsH3,PH3尾氣活性炭表面主要附著金屬氧化物層（如氧化銅等廢200L雙桶400L雙桶示劑的指示情況，定期更換。根據(jù)《排污許可證申請與核發(fā)技術(shù)規(guī)范電子工業(yè)》（HJ1031-2019）表.1-集成電路制造，二級干式吸附裝置屬于可行技術(shù)中的“本地處理統(tǒng)使用安全性最高及可處理的氣體已涵蓋了大部份半導(dǎo)體界常用的氣體。處理量為49513/h液位描述：洗滌塔循環(huán)水箱內(nèi)設(shè)置液位計(jì)，檢測洗滌塔水箱液位以保證能夠滿足洗滌塔的吸收效果并保護(hù)循環(huán)水泵。即：塔內(nèi)液位計(jì)設(shè)置磁閥，向塔內(nèi)自動補(bǔ)水至H點(diǎn)。當(dāng)洗滌塔內(nèi)液位檢測達(dá)到LL點(diǎn)時，關(guān)套12泵臺2錫新環(huán)竣（2015）字第（2015019）號在氧化處理工段產(chǎn)生的硫酸霧進(jìn)口濃度為蝕工段產(chǎn)生的氯化氫進(jìn)口濃度為32.93mg/m3，經(jīng)二級堿液噴淋處理后出口濃度為處理工段產(chǎn)生的氨氣進(jìn)口濃度為0.84mg/m3，經(jīng)二級酸噴淋進(jìn)行處理后出口濃度為題在設(shè)計(jì)過濾層時將活性炭層設(shè)計(jì)成夾層過濾，主要阻隔VOCs在運(yùn)動的速度，促使活性炭是一種多孔性的含炭物質(zhì),它具有高度發(fā)達(dá)的孔隙構(gòu)造,活性炭的多孔結(jié)構(gòu)123456789著火點(diǎn)(℃)2640（4.8m3）1本項(xiàng)目光刻、去膠、表面處理產(chǎn)生的有機(jī)廢氣經(jīng)密閉設(shè)備配套管道及車間負(fù)2本項(xiàng)目活性炭均為顆?；?本項(xiàng)目進(jìn)入吸附設(shè)備的廢4面積≥850m2/g，蜂窩活性炭橫向抗壓強(qiáng)度應(yīng)不低于表面積≥750m2/g。本項(xiàng)目活性炭均為顆粒活5本項(xiàng)目活性炭均為顆?；钚蕴?，有機(jī)廢氣年產(chǎn)生量活性炭量。更換周期可以比同類型企業(yè)，根據(jù)《廣州松達(dá)電機(jī)有限公司年產(chǎn)電動機(jī)1500保護(hù)驗(yàn)收監(jiān)測報(bào)告表》的監(jiān)測數(shù)據(jù)，該項(xiàng)目產(chǎn)生的有機(jī)廢氣號類FQ-01VOCs5、環(huán)境空氣質(zhì)量影響分析m度m度m徑m流速煙氣溫度℃hXY氫氫物物醇氨FQ-01/////////FQ-020/////表4-18本項(xiàng)目大氣面源參數(shù)調(diào)查清單（矩形面/m況XY00834氨3×10-56×10-7氮氧化物(NOx)250μg/m3氯氨200μg/m32mg/m3//本項(xiàng)目新增污染源對環(huán)境的影響采用《環(huán)境影響評價技術(shù)導(dǎo)則大氣環(huán)境》//表4-21有組織廢氣正常排放時估算模式計(jì)算結(jié)果表（1）氨0000000000000000000000000000000000000表4-22有組織廢氣正常排放時估算模式計(jì)算結(jié)果表（2）氨度率度率度率度率度率度度濃度度000//0000//0000//0000//0000//0000//0000//0000//0000//000表4-23無組織廢氣正常排放時估算模式計(jì)算結(jié)果表氨000000000000000000000000000000000氨由上表可知，廠界濃度氨、非甲烷總烴達(dá)到江蘇省《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》2)0.50?LDr—有害氣體無組織排放源所在生產(chǎn)單元的等效半徑，m，根據(jù)該生產(chǎn)單元LCm(mg/m3)ABCD站氨3×10-56×10-7//