電子氣體 惰性稀有氣體 征求意見稿

2GB/TXXXX—XXXX電子氣體惰性稀有氣體本文件規(guī)定了電子用惰性稀有氣體的技術(shù)要求、采樣、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及安全信息的要求。本文件適用于以工業(yè)惰性稀有氣體為原料提純制得的電子用惰性稀有氣體。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件GB190危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志GB/T4842氬GB/T5099（所有部分）鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶GB/T5275.5氣體分析動(dòng)態(tài)體積法制備校準(zhǔn)用混合氣體第7部分熱式質(zhì)量流量控制器GB/T5832.3氣體中微量水分的測(cè)定第3部分：光腔衰蕩光譜法GB/T7144氣瓶顏色標(biāo)志GB/T8979純氮、高純氮和超純氮GB/T8984氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳?xì)浠衔锏臏y(cè)定氣相色譜法GB/T11640鋁合金無(wú)縫氣瓶GB/T14193液化氣體氣瓶充裝規(guī)定GB/T14194壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定GBl5258化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定GB/T16804氣瓶警示標(biāo)簽GB/T28726氣體分析氦離子化氣相色譜法GB/T43306氣體分析采樣導(dǎo)則TSG23氣瓶安全技術(shù)規(guī)程3術(shù)語(yǔ)和定義3.1惰性稀有氣體noblegas包括氪、氖、氙。4技術(shù)要求3GB/TXXXX—XXXX惰性稀有氣體的技術(shù)要求應(yīng)符合表1～表3的規(guī)定。表1氪技術(shù)要求氫(H)含量（摩爾分?jǐn)?shù)）/l0（氧+氬O+Ar）含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10氮(N)含量（摩爾分?jǐn)?shù)）/l0一氧化碳（CO）含量（摩爾分?jǐn)?shù)）/l0非甲烷總烴（以甲烷計(jì)）含量（摩爾分?jǐn)?shù)）/l0氙(Xe)含量（摩爾分?jǐn)?shù)）/l0水分(HO)含量（摩爾分?jǐn)?shù)）/l0雜質(zhì)總含量（摩爾分?jǐn)?shù)）/l0表2氖技術(shù)要求氖（Ne）純度(摩爾分?jǐn)?shù))/10氦（He）含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10（氧+氬O+Ar）含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10一氧化碳（CO）含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10總烴（以甲烷計(jì)）含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10水分（HO）含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10雜質(zhì)總含量（摩爾分?jǐn)?shù)）/l04GB/TXXXX—XXXX表3氙技術(shù)要求氫(H)含量（摩爾分?jǐn)?shù)）/l0（氧+氬O+Ar）含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10氮(N)含量（摩爾分?jǐn)?shù)）/l0非甲烷總烴（以甲烷計(jì)）含量(摩爾分?jǐn)?shù))/1氪(Kr)含量（摩爾分?jǐn)?shù)）/l0二氧化氮(NO)含量（摩爾分?jǐn)?shù)）/l0氧化亞氮(NO)含量（摩爾分?jǐn)?shù)）/l0水分(HO)含量（摩爾分?jǐn)?shù)）/l0雜質(zhì)總含量（摩爾分?jǐn)?shù)）/l05采樣惰性稀有氣體的采樣應(yīng)符合GB/T43306的規(guī)定。6試驗(yàn)方法6.1惰性稀有氣體純度6.1.1氪純度6.1.1.1氪的雜質(zhì)總含量氪的雜質(zhì)總含量按式(1)計(jì)算：x=x+x+x+x+x+x+x+x+x+x+x式中：x1——氪中的氫含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x2x3——氪中的（氧+氬）含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；——氪中的氮含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x4——氪中的一氧化碳含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；5GB/TXXXX—XXXX5x——氪中的二氧化碳含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；56x——氪中的甲烷含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；67x——氪中的非甲烷總烴（以甲烷計(jì)）含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；78x——氪中的氙含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；89x——氪中的四氟化碳含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；9x10——氪中的六氟乙烷含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x11——氪中的六氟化硫含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x12——氪中的水分含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x——氪的雜質(zhì)總含量（摩爾分?jǐn)?shù)），10-6。6.1.1.2氪純度氪純度按式(2)計(jì)算：4x14=100-x13x10-………………(2)4式中：x14——氪純度(摩爾分?jǐn)?shù))，10-2。6.1.2氖純度6.1.2.1氖的雜質(zhì)總含量氖的雜質(zhì)總含量按式(3)計(jì)算：x27=x15+x16+x17+x18+x19+x20+x21+x22+x23+x24+x25+x26………………(3)式中：x15——氖中的氦含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x16——氖中的氫含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x17——氖中的（氧+氬）含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x18——氖中的氮含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x——氖中的一氧化碳含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；6x20x21x22x23xx24xx25xx26GB/TXXXX—XXXX——氖中的二氧化碳含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；——氖中的甲烷含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；——氖中的總烴（以甲烷計(jì)）含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；——氖中的四氟化碳含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；——氖中的六氟乙烷含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；——氖中的六氟化硫含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；——氖中的水分含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x27——氖的雜質(zhì)總含量（摩爾分?jǐn)?shù)），10-6。6.1.2.2氖純度氖純度按式(4)計(jì)算：x28=100-x27x10-4…………………(4)式中：x28——氖純度(摩爾分?jǐn)?shù))，10-2。6.1.3氙純度6.1.3.1氙雜質(zhì)總含量氙的雜質(zhì)總含量按式(5)計(jì)算：x44=x29+x30+x31+x32+x33+x34+x35+x36+x37+x38+x39+x40+x41+x42+x43……(5)式中：x29x30x31——氙中的氫含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；——氙中的（氧+氬）含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；——氙中的氮含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x32——氙中的一氧化碳含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x33x34——氙中的二氧化碳含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；——氙中的甲烷含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；7GB/TXXXX—XXXXx——氙中的非甲烷總烴（以甲烷計(jì)）含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x36——氙中的氪含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x37——氙中的一氧化氮含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x38——氙中的二氧化氮含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x39——氙中的氧化亞氮含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x40——氙中的四氟化碳含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x41——氙中的六氟乙烷含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x42——氙中的六氟化硫含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x43——氙中的水分含量(摩爾分?jǐn)?shù))，10-6；x44——氙的雜質(zhì)總含量（摩爾分?jǐn)?shù)），10-6。6.1.3.2氙純度氙純度按式(6)計(jì)算：x45=100-x4410-4…………………(6)式中：x45——氙純度(摩爾分?jǐn)?shù))，10-2。6.2氪中氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氙、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的測(cè)定6.2.1方法6.2.1.1按GB/T28726規(guī)定的方法定氪中的氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氙、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量。6.2.1.2可采用其他等效的方法測(cè)定氪中的氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氙、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.2.2預(yù)分離柱長(zhǎng)約4m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.15mm～0.18mm的高分子聚合物（乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物），或其他等效色譜柱。6.2.3色譜柱6.2.3.1色譜柱1：柱長(zhǎng)約2m、內(nèi)徑約3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的5A分子篩，或其他等效色譜柱。該柱用于測(cè)定氪中的氫、（氧+氬）、氮、一氧化碳的含量。8GB/TXXXX—XXXX6.2.3.2色譜柱2：柱長(zhǎng)約2m、內(nèi)徑約3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的5A分子篩，或其他等效色譜柱。該柱用于測(cè)定氪中甲烷含量。6.2.3.3色譜柱3：柱長(zhǎng)約0.6m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的改性碳分子篩，或其他等效色譜柱。該柱用于測(cè)定氪中的二氧化碳、氙的含量。6.2.3.4色譜柱4：柱長(zhǎng)約0.6m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的改性碳分子篩，或其他等效色譜柱。該柱用于測(cè)定氪中的四氟化碳的含量。6.2.3.5色譜柱5：柱長(zhǎng)約4m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.15mm～0.18mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物)，或其他等效色譜柱。該柱用于測(cè)定氪中的六氟乙烷、六氟化硫的含量。6.2.4氣體標(biāo)準(zhǔn)樣品氣體標(biāo)準(zhǔn)樣品中組分含量為（1～5）×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)），平衡氣為氦氣。6.2.5氣路流程參考的氣路流程示意圖見附錄A。6.3氪中非甲烷總烴含量的測(cè)定6.3.1測(cè)定方法6.3.1.1按GB/T8984規(guī)定的方法測(cè)定氪中非甲烷總烴含量。6.3.1.2可采用其他等效的方法測(cè)定氪中非甲烷總烴含量。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.3.2預(yù)分離柱長(zhǎng)約3m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.15mm～0.18mm高分子聚合物（乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物），或其他等效色譜柱。6.3.3色譜柱長(zhǎng)約4m，內(nèi)徑約2mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的玻璃微球，或其他等效色譜柱。6.3.4標(biāo)準(zhǔn)樣品標(biāo)準(zhǔn)樣品中組分含量為（1~5）×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)），平衡氣為氮?dú)狻?.4氖中氦含量的測(cè)定6.4.1方法6.4.1.1采用熱導(dǎo)氣相色譜法測(cè)定氖中的氦含量。6.4.1.2可采用其它等效方法測(cè)定氖中的氦含量，當(dāng)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.4.2儀器熱導(dǎo)氣相色譜儀，氖中氦的含量檢測(cè)限不大于0.2×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）。9GB/TXXXX—XXXX6.4.3試劑和材料6.4.3.1載氣：高純氬，應(yīng)符合GB/T4842的規(guī)定。6.4.3.2預(yù)分離柱：長(zhǎng)約6m、內(nèi)徑約3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的改性碳分子篩，或其他等效色譜柱。6.4.3.3色譜柱：長(zhǎng)約8m、內(nèi)徑約3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的改性碳分子篩，或其他等效色譜柱。6.4.4測(cè)定條件色譜柱溫度：≤20℃。6.4.5氣體標(biāo)準(zhǔn)樣品氦含量為5×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)），平衡氣為氬氣。6.4.6氣路流程參考的氣路流程示意圖見附錄A。6.4.7測(cè)定儀器穩(wěn)定后按儀器說(shuō)明書進(jìn)行測(cè)定操作。平行測(cè)定氣體標(biāo)準(zhǔn)樣品和樣品氣至少兩次，直至相鄰兩次測(cè)定結(jié)果之差不大于測(cè)定結(jié)果平均值的20%，取其平均值。6.4.8結(jié)果處理氦含量按式（7）計(jì)算：s…………（7）式中：Ai——樣品氣中氦的響應(yīng)值；As——?dú)怏w標(biāo)準(zhǔn)樣品中氦的響應(yīng)值；x——?dú)怏w標(biāo)準(zhǔn)樣品中氦的含量。s6.5氖中氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的測(cè)定6.5.1方法6.5.1.1按GB/T28726規(guī)定的方法定氖中的氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量。6.5.1.2可采用其他等效的方法測(cè)定氖中的氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.5.2色譜柱GB/TXXXX—XXXX6.5.2.1色譜柱1：長(zhǎng)約3m、內(nèi)徑約3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的5A分子篩，或其他等效色譜柱。該柱用于測(cè)定氖中的氫、氧+氬、氮、一氧化碳、甲烷的含量。6.5.2.2色譜柱2：柱長(zhǎng)約8m、內(nèi)徑約3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.15mm～0.18mm的高分子聚合物（乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物或其他等效色譜柱。該柱用于測(cè)定氖中的二氧化碳、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量。6.5.3氣體標(biāo)準(zhǔn)樣品氣體標(biāo)準(zhǔn)樣品中組分含量為（1～5）×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)），平衡氣為氦氣。6.5.4氣路流程參考的氣路流程示意圖見附錄A。6.6氖中總烴含量的測(cè)定6.6.1測(cè)定方法6.6.1.1按GB/T8984規(guī)定的方法測(cè)定氖中總烴含量。6.6.1.2可采用其他等效的方法測(cè)定氖中總烴含量。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.6.2預(yù)分離柱長(zhǎng)約3m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.15mm～0.18mm的高分子聚合物（乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物），或其他等效色譜柱。6.6.3色譜柱長(zhǎng)約4m，內(nèi)徑約2mm的316L不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的玻璃微球，或其他等效色譜柱。該柱用于測(cè)定氖中的總烴含量。6.6.4標(biāo)準(zhǔn)樣品標(biāo)準(zhǔn)樣品中組分含量為（1~5）×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)），平衡氣為氮?dú)狻?.7氙中氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氪、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的測(cè)定6.7.1方法6.7.1.1按GB/T28726規(guī)定的方法定氙中的氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氪、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量。6.7.1.2可采用其他等效的方法測(cè)定氙中的氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氪、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.7.2預(yù)分離柱6.7.2.1預(yù)分離柱1：長(zhǎng)約2m、內(nèi)徑約3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的5A分子GB/TXXXX—XXXX6.7.2.2預(yù)分離柱2：長(zhǎng)約0.6m、內(nèi)徑約3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的改性碳分子篩。6.7.3色譜柱6.7.3.1色譜柱1：長(zhǎng)約4m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.15mm～0.18mm的高分子聚合物（乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物或其他等效色譜柱。該柱用于測(cè)定六氟乙烷、六氟化硫、八氟丙烷的含量。6.7.3.2色譜柱2：長(zhǎng)約2m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的5A分子篩，或其他等效色譜柱。該柱用于測(cè)定氫、氧+氬、氮、甲烷、一氧化碳、氪的含量。6.7.3.3色譜柱3：長(zhǎng)約4m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.15mm～0.18mm的高分子聚合物（乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物）。該柱用于測(cè)定二氧化碳、四氟化碳的含量。6.7.4氣體標(biāo)準(zhǔn)樣品氣體標(biāo)準(zhǔn)樣品中組分含量為（1～5）×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)），平衡氣為氦氣。6.7.5氣路流程參考的氣路流程示意圖見附錄A。6.8氙中非甲烷總烴含量的測(cè)定6.8.1測(cè)定方法6.8.1.1按GB/T8984規(guī)定的方法測(cè)定氙中非甲烷總烴含量。6.8.1.2可采用其他等效的方法測(cè)定氙中非甲烷總烴含量。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.8.2預(yù)分離柱長(zhǎng)約3m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.15mm～0.18mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物)，或其他等效色譜柱6.8.3色譜柱6.8.3.1色譜柱1：長(zhǎng)約4m，內(nèi)徑約2mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的玻璃微球，或其他等效色譜柱。該柱用于測(cè)定總烴中C3+組分的含量。6.8.3.2色譜柱2：長(zhǎng)約3m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼柱，內(nèi)裝粒徑為0.15mm～0.18mm的高分子聚合物（乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物），或其他等效色譜柱。該柱用于測(cè)定碳總烴中C2組分的含量。6.8.4標(biāo)準(zhǔn)樣品標(biāo)準(zhǔn)樣品中組分含量為（1~5）×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)），平衡氣為氮?dú)狻?.8.5氣路流程參考的氣路流程示意圖見附錄A。6.9氙中一氧化氮、二氧化氮及氧化亞氮含量的測(cè)定GB/TXXXX—XXXX6.9.1儀器采用配備相應(yīng)氣體池的傅立葉紅外光譜儀測(cè)定氙中的一氧化氮、二氧化氮及氧化亞氮含量。檢測(cè)限：0.1×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）。6.9.2測(cè)定條件6.9.2.1參考的測(cè)定條件參考的測(cè)定條件：——一氧化氮特征峰波數(shù)1826～1837）cm-1；——二氧化氮特征峰波數(shù)2840～2940）cm-1；——氧化亞氮特征峰波數(shù)3606～3713）cm-1；——分辨率：（0.5～1）cm-1；——環(huán)境溫度：18℃~25℃;——環(huán)境相對(duì)濕度：≤60%。6.9.2.2其他測(cè)定條件其他測(cè)定條件按照儀器說(shuō)明書執(zhí)行。6.9.3試劑和材料6.9.3.1氣體池：池體材質(zhì)宜為石英或者不銹鋼。6.9.3.2窗片：材質(zhì)宜為BaF2或KBr。6.9.3.3超純氮：符合GB/T8979的規(guī)定。6.9.4標(biāo)準(zhǔn)樣品6.9.4.1一氧化氮、二氧化氮及氧化亞氮含量分別約為1×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）平衡氣為氮?dú)狻?.9.5測(cè)定步驟6.9.5.1啟動(dòng)儀器按傅立葉紅外光譜儀說(shuō)明書開啟儀器，調(diào)整儀器各部件達(dá)到測(cè)定條件，待儀器穩(wěn)定后即可測(cè)定。6.9.5.2吹掃測(cè)定氧化亞氮前，宜用超純氮吹掃光腔和氣路系統(tǒng)，宜吹掃至水分含量低于0.5×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）。6.9.5.3標(biāo)準(zhǔn)曲線的建立按照GB/T5275.7規(guī)定的方法將標(biāo)準(zhǔn)樣品稀釋，稀釋后至少應(yīng)有4種不同組分含量的氣體標(biāo)準(zhǔn)樣品，一氧化氮、二氧化氮或氧化亞氮的含量分別約為0.1×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）、0.3×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）、0.5×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）、1.0×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)），平衡氣為氮?dú)?。將稀釋后的各?biāo)準(zhǔn)樣品通入儀器。分別記錄標(biāo)準(zhǔn)樣品中一氧化氮、二氧化氮或氧化亞氮在特征峰波數(shù)處的吸收響應(yīng)值。每種標(biāo)準(zhǔn)樣品至少重復(fù)進(jìn)樣兩次，直至兩次響應(yīng)值的相對(duì)偏差不大于5%，取其平均值，制作以吸光度信號(hào)的響應(yīng)值為縱坐標(biāo)，以含量為橫坐標(biāo)的工作曲線。6.9.5.4樣品的測(cè)定GB/TXXXX—XXXX以建立標(biāo)準(zhǔn)曲線同樣的測(cè)定條件測(cè)定樣品。重復(fù)進(jìn)樣至少兩次，直至兩次平行測(cè)定的相對(duì)偏差不大于5%，取平均值。6.9.6其他等效方法可采用其他等效的方法測(cè)定中氙中的一氧化氮、二氧化氮及氧化亞氮含量。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.10水分含量的測(cè)定按GB/T5832.3的規(guī)定執(zhí)行。可采用其他等效的方法測(cè)定惰性稀有氣體中的水分含量。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以GB/T5832.3規(guī)定的方法為仲裁方法。6.11尾氣處理測(cè)定時(shí)，應(yīng)將惰性稀有氣體尾氣室外排放，以防止惰性稀有氣體在室內(nèi)的聚集。7檢驗(yàn)規(guī)則應(yīng)逐一檢驗(yàn)并驗(yàn)收惰性稀有氣體產(chǎn)品。當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果均符合本文件的技術(shù)要求時(shí)，判該產(chǎn)品合格。當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果有任何一項(xiàng)指標(biāo)不符合本文件的技術(shù)要求時(shí)，則判該產(chǎn)品不合格。8標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及安全信息8.1標(biāo)志8.1.1惰性稀有氣體出廠時(shí)應(yīng)有產(chǎn)品質(zhì)量合格證，其內(nèi)容至少應(yīng)包括：——產(chǎn)品名稱，生產(chǎn)廠名稱，危險(xiǎn)化學(xué)品安全生產(chǎn)許可證編號(hào)；——生產(chǎn)日期或批號(hào)，以及保質(zhì)期；——充裝壓力（MPa）；——本文件號(hào)及惰性稀有氣體的純度。8.1.2包裝容器上應(yīng)涂刷“電子氣體氪”、“電子氣體氖”、“電子氣體氙”字樣。8.1.3惰性稀有氣體的包裝標(biāo)志應(yīng)符合GB190的相關(guān)規(guī)定，顏色標(biāo)志應(yīng)符合GB/T7144的規(guī)定，標(biāo)簽應(yīng)符合GB15258、GB/T16804規(guī)定的要求。8.2包裝、運(yùn)輸及貯存8.2.1包裝惰性稀有氣體的氣瓶應(yīng)符合GB/T5099（所有部分）或GB/T11640的規(guī)定。8.2.2氪、氖的充裝應(yīng)符合GB/T14194的規(guī)定。氙的充裝應(yīng)符合GB/T14193的規(guī)定。惰性稀有氣體的充裝及貯運(yùn)還應(yīng)符合TSG23的規(guī)定，充裝及貯運(yùn)的安全條例見《危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例》、《特種設(shè)備安全監(jiān)察條例》。8.2.3氙的最大充裝量按式（8）計(jì)算：GB/TXXXX—XXXXm=Fr根V…………（8）式中：m——?dú)馄績(jī)?nèi)氙的質(zhì)量，單位為千克（kgFr——氙的充裝系數(shù),Fr=1.23kg/L（氣瓶公稱壓力12.5MPa）；V——?dú)馄繕?biāo)明的公稱水容積，單位為升（L）。8.2.4宜使用進(jìn)行內(nèi)表面處理的氣瓶,處理后的氣瓶應(yīng)滿足本文件的要求。瓶閥出氣口連接方式宜使用CGA580、CGA680、CGA677和DISS718。8.2.5應(yīng)防止泄漏和瓶口被污染。8.2.6惰性稀有氣體產(chǎn)品應(yīng)存放在陰涼、干燥、通風(fēng)的庫(kù)房?jī)?nèi)，不應(yīng)暴曬，遠(yuǎn)離熱源。8.3安全信息惰性稀有氣體的安全信息見附錄B。GB/TXXXX—XXXX附錄A（資料性）氣路流程示意圖A.1測(cè)定氪中氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氙、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的氣路流程示意圖測(cè)定氪中的氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氙、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量時(shí)，參考的氣路流程示意圖見圖A.1。）；GB/TXXXX—XXXXA.2測(cè)定氖中氦含量的氣路流程示意圖測(cè)定氖中的氦含量時(shí)，參考的氣路流程示意圖見圖A.2。）；）；GB/TXXXX—XXXXA.3測(cè)定氖中氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的氣路流程示意圖測(cè)定氖中的氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量時(shí)，參考的氣路流程示意圖見圖A.3。）；GB/TXXXX—XXXXA.4測(cè)定氙中氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氪、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的氣路流程示意圖測(cè)定氙中氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氪、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量時(shí)，參考的氣路流程示意圖見圖A.4。）；GB/TXXXX—XXXXA.5測(cè)定氙氣中非甲烷總烴含量的氣路流程示意圖測(cè)定氙氣中非甲烷總烴含量時(shí)，參考的氣路流程示意圖見圖A.5。）；GB/TXXXX—XXXX（資料性）安全信息B.1基本信息B.1.1氪B.1.1.1化學(xué)式：Kr；中文名：氪；英文名：Krypton。B.1.1.2相對(duì)分子質(zhì)量：83.798（按2018年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量計(jì)算）。B.1.1.3代碼：CAS號(hào)：7439-90-9、UN號(hào)：【壓縮氪】1056；【冷凍液態(tài)氪】1970。B.1.1.4物理性質(zhì)：沸點(diǎn)-153.35℃,熔點(diǎn)-157.37℃,臨界溫度：-63.8℃,臨界壓力：5.4Mpa；相對(duì)密度：2.9(干燥空氣=1)；自燃溫度：無(wú)意義。B.1.2氖B.1.2.1化學(xué)式：Ne；中文名：氖；英文名：neon。B.1.2.2相對(duì)分子質(zhì)量：20.180（按2018年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量計(jì)算）。B.1.2.3代碼：CAS號(hào)：7440-01-9、UN號(hào)：氖【壓縮】UN號(hào)：1065；氖【冷凍液態(tài)】UN號(hào)：1913。B.1.2.4物理性質(zhì)：物理性質(zhì)：沸點(diǎn)-246℃,熔點(diǎn)