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文檔簡介
2GB/TXXXX—XXXX電子氣體惰性稀有氣體本文件規(guī)定了電子用惰性稀有氣體的技術要求、采樣、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存及安全信息的要求。本文件適用于以工業(yè)惰性稀有氣體為原料提純制得的電子用惰性稀有氣體。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中,注日期的引用文件,僅該日期對應的版本適用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件GB190危險貨物包裝標志GB/T4842氬GB/T5099(所有部分)鋼質無縫氣瓶GB/T5275.5氣體分析動態(tài)體積法制備校準用混合氣體第7部分熱式質量流量控制器GB/T5832.3氣體中微量水分的測定第3部分:光腔衰蕩光譜法GB/T7144氣瓶顏色標志GB/T8979純氮、高純氮和超純氮GB/T8984氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法GB/T11640鋁合金無縫氣瓶GB/T14193液化氣體氣瓶充裝規(guī)定GB/T14194壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定GBl5258化學品安全標簽編寫規(guī)定GB/T16804氣瓶警示標簽GB/T28726氣體分析氦離子化氣相色譜法GB/T43306氣體分析采樣導則TSG23氣瓶安全技術規(guī)程3術語和定義3.1惰性稀有氣體noblegas包括氪、氖、氙。4技術要求3GB/TXXXX—XXXX惰性稀有氣體的技術要求應符合表1~表3的規(guī)定。表1氪技術要求氫(H)含量(摩爾分數(shù))/l0(氧+氬O+Ar)含量(摩爾分數(shù))/10氮(N)含量(摩爾分數(shù))/l0一氧化碳(CO)含量(摩爾分數(shù))/l0非甲烷總烴(以甲烷計)含量(摩爾分數(shù))/l0氙(Xe)含量(摩爾分數(shù))/l0水分(HO)含量(摩爾分數(shù))/l0雜質總含量(摩爾分數(shù))/l0表2氖技術要求氖(Ne)純度(摩爾分數(shù))/10氦(He)含量(摩爾分數(shù))/10(氧+氬O+Ar)含量(摩爾分數(shù))/10一氧化碳(CO)含量(摩爾分數(shù))/10總烴(以甲烷計)含量(摩爾分數(shù))/10水分(HO)含量(摩爾分數(shù))/10雜質總含量(摩爾分數(shù))/l04GB/TXXXX—XXXX表3氙技術要求氫(H)含量(摩爾分數(shù))/l0(氧+氬O+Ar)含量(摩爾分數(shù))/10氮(N)含量(摩爾分數(shù))/l0非甲烷總烴(以甲烷計)含量(摩爾分數(shù))/1氪(Kr)含量(摩爾分數(shù))/l0二氧化氮(NO)含量(摩爾分數(shù))/l0氧化亞氮(NO)含量(摩爾分數(shù))/l0水分(HO)含量(摩爾分數(shù))/l0雜質總含量(摩爾分數(shù))/l05采樣惰性稀有氣體的采樣應符合GB/T43306的規(guī)定。6試驗方法6.1惰性稀有氣體純度6.1.1氪純度6.1.1.1氪的雜質總含量氪的雜質總含量按式(1)計算:x=x+x+x+x+x+x+x+x+x+x+x式中:x1——氪中的氫含量(摩爾分數(shù)),10-6;x2x3——氪中的(氧+氬)含量(摩爾分數(shù)),10-6;——氪中的氮含量(摩爾分數(shù)),10-6;x4——氪中的一氧化碳含量(摩爾分數(shù)),10-6;5GB/TXXXX—XXXX5x——氪中的二氧化碳含量(摩爾分數(shù)),10-6;56x——氪中的甲烷含量(摩爾分數(shù)),10-6;67x——氪中的非甲烷總烴(以甲烷計)含量(摩爾分數(shù)),10-6;78x——氪中的氙含量(摩爾分數(shù)),10-6;89x——氪中的四氟化碳含量(摩爾分數(shù)),10-6;9x10——氪中的六氟乙烷含量(摩爾分數(shù)),10-6;x11——氪中的六氟化硫含量(摩爾分數(shù)),10-6;x12——氪中的水分含量(摩爾分數(shù)),10-6;x——氪的雜質總含量(摩爾分數(shù)),10-6。6.1.1.2氪純度氪純度按式(2)計算:4x14=100-x13x10-………………(2)4式中:x14——氪純度(摩爾分數(shù)),10-2。6.1.2氖純度6.1.2.1氖的雜質總含量氖的雜質總含量按式(3)計算:x27=x15+x16+x17+x18+x19+x20+x21+x22+x23+x24+x25+x26………………(3)式中:x15——氖中的氦含量(摩爾分數(shù)),10-6;x16——氖中的氫含量(摩爾分數(shù)),10-6;x17——氖中的(氧+氬)含量(摩爾分數(shù)),10-6;x18——氖中的氮含量(摩爾分數(shù)),10-6;x——氖中的一氧化碳含量(摩爾分數(shù)),10-6;6x20x21x22x23xx24xx25xx26GB/TXXXX—XXXX——氖中的二氧化碳含量(摩爾分數(shù)),10-6;——氖中的甲烷含量(摩爾分數(shù)),10-6;——氖中的總烴(以甲烷計)含量(摩爾分數(shù)),10-6;——氖中的四氟化碳含量(摩爾分數(shù)),10-6;——氖中的六氟乙烷含量(摩爾分數(shù)),10-6;——氖中的六氟化硫含量(摩爾分數(shù)),10-6;——氖中的水分含量(摩爾分數(shù)),10-6;x27——氖的雜質總含量(摩爾分數(shù)),10-6。6.1.2.2氖純度氖純度按式(4)計算:x28=100-x27x10-4…………………(4)式中:x28——氖純度(摩爾分數(shù)),10-2。6.1.3氙純度6.1.3.1氙雜質總含量氙的雜質總含量按式(5)計算:x44=x29+x30+x31+x32+x33+x34+x35+x36+x37+x38+x39+x40+x41+x42+x43……(5)式中:x29x30x31——氙中的氫含量(摩爾分數(shù)),10-6;——氙中的(氧+氬)含量(摩爾分數(shù)),10-6;——氙中的氮含量(摩爾分數(shù)),10-6;x32——氙中的一氧化碳含量(摩爾分數(shù)),10-6;x33x34——氙中的二氧化碳含量(摩爾分數(shù)),10-6;——氙中的甲烷含量(摩爾分數(shù)),10-6;7GB/TXXXX—XXXXx——氙中的非甲烷總烴(以甲烷計)含量(摩爾分數(shù)),10-6;x36——氙中的氪含量(摩爾分數(shù)),10-6;x37——氙中的一氧化氮含量(摩爾分數(shù)),10-6;x38——氙中的二氧化氮含量(摩爾分數(shù)),10-6;x39——氙中的氧化亞氮含量(摩爾分數(shù)),10-6;x40——氙中的四氟化碳含量(摩爾分數(shù)),10-6;x41——氙中的六氟乙烷含量(摩爾分數(shù)),10-6;x42——氙中的六氟化硫含量(摩爾分數(shù)),10-6;x43——氙中的水分含量(摩爾分數(shù)),10-6;x44——氙的雜質總含量(摩爾分數(shù)),10-6。6.1.3.2氙純度氙純度按式(6)計算:x45=100-x4410-4…………………(6)式中:x45——氙純度(摩爾分數(shù)),10-2。6.2氪中氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氙、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的測定6.2.1方法6.2.1.1按GB/T28726規(guī)定的方法定氪中的氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氙、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量。6.2.1.2可采用其他等效的方法測定氪中的氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氙、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量。當對測定結果有異議時,以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.2.2預分離柱長約4m、內徑3mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.15mm~0.18mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色譜柱。6.2.3色譜柱6.2.3.1色譜柱1:柱長約2m、內徑約3mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.18mm~0.25mm的5A分子篩,或其他等效色譜柱。該柱用于測定氪中的氫、(氧+氬)、氮、一氧化碳的含量。8GB/TXXXX—XXXX6.2.3.2色譜柱2:柱長約2m、內徑約3mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.18mm~0.25mm的5A分子篩,或其他等效色譜柱。該柱用于測定氪中甲烷含量。6.2.3.3色譜柱3:柱長約0.6m、內徑3mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.18mm~0.25mm的改性碳分子篩,或其他等效色譜柱。該柱用于測定氪中的二氧化碳、氙的含量。6.2.3.4色譜柱4:柱長約0.6m、內徑3mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.18mm~0.25mm的改性碳分子篩,或其他等效色譜柱。該柱用于測定氪中的四氟化碳的含量。6.2.3.5色譜柱5:柱長約4m、內徑3mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.15mm~0.18mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色譜柱。該柱用于測定氪中的六氟乙烷、六氟化硫的含量。6.2.4氣體標準樣品氣體標準樣品中組分含量為(1~5)×10-6(摩爾分數(shù)),平衡氣為氦氣。6.2.5氣路流程參考的氣路流程示意圖見附錄A。6.3氪中非甲烷總烴含量的測定6.3.1測定方法6.3.1.1按GB/T8984規(guī)定的方法測定氪中非甲烷總烴含量。6.3.1.2可采用其他等效的方法測定氪中非甲烷總烴含量。當對測定結果有異議時,以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.3.2預分離柱長約3m、內徑3mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.15mm~0.18mm高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色譜柱。6.3.3色譜柱長約4m,內徑約2mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.18mm~0.25mm的玻璃微球,或其他等效色譜柱。6.3.4標準樣品標準樣品中組分含量為(1~5)×10-6(摩爾分數(shù)),平衡氣為氮氣。6.4氖中氦含量的測定6.4.1方法6.4.1.1采用熱導氣相色譜法測定氖中的氦含量。6.4.1.2可采用其它等效方法測定氖中的氦含量,當測定結果有異議時,以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.4.2儀器熱導氣相色譜儀,氖中氦的含量檢測限不大于0.2×10-6(摩爾分數(shù))。9GB/TXXXX—XXXX6.4.3試劑和材料6.4.3.1載氣:高純氬,應符合GB/T4842的規(guī)定。6.4.3.2預分離柱:長約6m、內徑約3mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.18mm~0.25mm的改性碳分子篩,或其他等效色譜柱。6.4.3.3色譜柱:長約8m、內徑約3mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.18mm~0.25mm的改性碳分子篩,或其他等效色譜柱。6.4.4測定條件色譜柱溫度:≤20℃。6.4.5氣體標準樣品氦含量為5×10-6(摩爾分數(shù)),平衡氣為氬氣。6.4.6氣路流程參考的氣路流程示意圖見附錄A。6.4.7測定儀器穩(wěn)定后按儀器說明書進行測定操作。平行測定氣體標準樣品和樣品氣至少兩次,直至相鄰兩次測定結果之差不大于測定結果平均值的20%,取其平均值。6.4.8結果處理氦含量按式(7)計算:s…………(7)式中:Ai——樣品氣中氦的響應值;As——氣體標準樣品中氦的響應值;x——氣體標準樣品中氦的含量。s6.5氖中氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的測定6.5.1方法6.5.1.1按GB/T28726規(guī)定的方法定氖中的氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量。6.5.1.2可采用其他等效的方法測定氖中的氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量。當對測定結果有異議時,以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.5.2色譜柱GB/TXXXX—XXXX6.5.2.1色譜柱1:長約3m、內徑約3mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.18mm~0.25mm的5A分子篩,或其他等效色譜柱。該柱用于測定氖中的氫、氧+氬、氮、一氧化碳、甲烷的含量。6.5.2.2色譜柱2:柱長約8m、內徑約3mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.15mm~0.18mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物或其他等效色譜柱。該柱用于測定氖中的二氧化碳、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量。6.5.3氣體標準樣品氣體標準樣品中組分含量為(1~5)×10-6(摩爾分數(shù)),平衡氣為氦氣。6.5.4氣路流程參考的氣路流程示意圖見附錄A。6.6氖中總烴含量的測定6.6.1測定方法6.6.1.1按GB/T8984規(guī)定的方法測定氖中總烴含量。6.6.1.2可采用其他等效的方法測定氖中總烴含量。當對測定結果有異議時,以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.6.2預分離柱長約3m、內徑3mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.15mm~0.18mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色譜柱。6.6.3色譜柱長約4m,內徑約2mm的316L不銹鋼柱,內裝粒徑為0.18mm~0.25mm的玻璃微球,或其他等效色譜柱。該柱用于測定氖中的總烴含量。6.6.4標準樣品標準樣品中組分含量為(1~5)×10-6(摩爾分數(shù)),平衡氣為氮氣。6.7氙中氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氪、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的測定6.7.1方法6.7.1.1按GB/T28726規(guī)定的方法定氙中的氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氪、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量。6.7.1.2可采用其他等效的方法測定氙中的氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氪、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量。當對測定結果有異議時,以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.7.2預分離柱6.7.2.1預分離柱1:長約2m、內徑約3mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.18mm~0.25mm的5A分子GB/TXXXX—XXXX6.7.2.2預分離柱2:長約0.6m、內徑約3mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.18mm~0.25mm的改性碳分子篩。6.7.3色譜柱6.7.3.1色譜柱1:長約4m、內徑3mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.15mm~0.18mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物或其他等效色譜柱。該柱用于測定六氟乙烷、六氟化硫、八氟丙烷的含量。6.7.3.2色譜柱2:長約2m、內徑3mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.18mm~0.25mm的5A分子篩,或其他等效色譜柱。該柱用于測定氫、氧+氬、氮、甲烷、一氧化碳、氪的含量。6.7.3.3色譜柱3:長約4m、內徑3mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.15mm~0.18mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物)。該柱用于測定二氧化碳、四氟化碳的含量。6.7.4氣體標準樣品氣體標準樣品中組分含量為(1~5)×10-6(摩爾分數(shù)),平衡氣為氦氣。6.7.5氣路流程參考的氣路流程示意圖見附錄A。6.8氙中非甲烷總烴含量的測定6.8.1測定方法6.8.1.1按GB/T8984規(guī)定的方法測定氙中非甲烷總烴含量。6.8.1.2可采用其他等效的方法測定氙中非甲烷總烴含量。當對測定結果有異議時,以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.8.2預分離柱長約3m、內徑3mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.15mm~0.18mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色譜柱6.8.3色譜柱6.8.3.1色譜柱1:長約4m,內徑約2mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.18mm~0.25mm的玻璃微球,或其他等效色譜柱。該柱用于測定總烴中C3+組分的含量。6.8.3.2色譜柱2:長約3m、內徑3mm的不銹鋼柱,內裝粒徑為0.15mm~0.18mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色譜柱。該柱用于測定碳總烴中C2組分的含量。6.8.4標準樣品標準樣品中組分含量為(1~5)×10-6(摩爾分數(shù)),平衡氣為氮氣。6.8.5氣路流程參考的氣路流程示意圖見附錄A。6.9氙中一氧化氮、二氧化氮及氧化亞氮含量的測定GB/TXXXX—XXXX6.9.1儀器采用配備相應氣體池的傅立葉紅外光譜儀測定氙中的一氧化氮、二氧化氮及氧化亞氮含量。檢測限:0.1×10-6(摩爾分數(shù))。6.9.2測定條件6.9.2.1參考的測定條件參考的測定條件:——一氧化氮特征峰波數(shù)1826~1837)cm-1;——二氧化氮特征峰波數(shù)2840~2940)cm-1;——氧化亞氮特征峰波數(shù)3606~3713)cm-1;——分辨率:(0.5~1)cm-1;——環(huán)境溫度:18℃~25℃;——環(huán)境相對濕度:≤60%。6.9.2.2其他測定條件其他測定條件按照儀器說明書執(zhí)行。6.9.3試劑和材料6.9.3.1氣體池:池體材質宜為石英或者不銹鋼。6.9.3.2窗片:材質宜為BaF2或KBr。6.9.3.3超純氮:符合GB/T8979的規(guī)定。6.9.4標準樣品6.9.4.1一氧化氮、二氧化氮及氧化亞氮含量分別約為1×10-6(摩爾分數(shù))平衡氣為氮氣。6.9.5測定步驟6.9.5.1啟動儀器按傅立葉紅外光譜儀說明書開啟儀器,調整儀器各部件達到測定條件,待儀器穩(wěn)定后即可測定。6.9.5.2吹掃測定氧化亞氮前,宜用超純氮吹掃光腔和氣路系統(tǒng),宜吹掃至水分含量低于0.5×10-6(摩爾分數(shù))。6.9.5.3標準曲線的建立按照GB/T5275.7規(guī)定的方法將標準樣品稀釋,稀釋后至少應有4種不同組分含量的氣體標準樣品,一氧化氮、二氧化氮或氧化亞氮的含量分別約為0.1×10-6(摩爾分數(shù))、0.3×10-6(摩爾分數(shù))、0.5×10-6(摩爾分數(shù))、1.0×10-6(摩爾分數(shù)),平衡氣為氮氣。將稀釋后的各標準樣品通入儀器。分別記錄標準樣品中一氧化氮、二氧化氮或氧化亞氮在特征峰波數(shù)處的吸收響應值。每種標準樣品至少重復進樣兩次,直至兩次響應值的相對偏差不大于5%,取其平均值,制作以吸光度信號的響應值為縱坐標,以含量為橫坐標的工作曲線。6.9.5.4樣品的測定GB/TXXXX—XXXX以建立標準曲線同樣的測定條件測定樣品。重復進樣至少兩次,直至兩次平行測定的相對偏差不大于5%,取平均值。6.9.6其他等效方法可采用其他等效的方法測定中氙中的一氧化氮、二氧化氮及氧化亞氮含量。當對測定結果有異議時,以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.10水分含量的測定按GB/T5832.3的規(guī)定執(zhí)行。可采用其他等效的方法測定惰性稀有氣體中的水分含量。當對測定結果有異議時,以GB/T5832.3規(guī)定的方法為仲裁方法。6.11尾氣處理測定時,應將惰性稀有氣體尾氣室外排放,以防止惰性稀有氣體在室內的聚集。7檢驗規(guī)則應逐一檢驗并驗收惰性稀有氣體產(chǎn)品。當檢驗結果均符合本文件的技術要求時,判該產(chǎn)品合格。當檢驗結果有任何一項指標不符合本文件的技術要求時,則判該產(chǎn)品不合格。8標志、包裝、運輸、貯存及安全信息8.1標志8.1.1惰性稀有氣體出廠時應有產(chǎn)品質量合格證,其內容至少應包括:——產(chǎn)品名稱,生產(chǎn)廠名稱,危險化學品安全生產(chǎn)許可證編號;——生產(chǎn)日期或批號,以及保質期;——充裝壓力(MPa);——本文件號及惰性稀有氣體的純度。8.1.2包裝容器上應涂刷“電子氣體氪”、“電子氣體氖”、“電子氣體氙”字樣。8.1.3惰性稀有氣體的包裝標志應符合GB190的相關規(guī)定,顏色標志應符合GB/T7144的規(guī)定,標簽應符合GB15258、GB/T16804規(guī)定的要求。8.2包裝、運輸及貯存8.2.1包裝惰性稀有氣體的氣瓶應符合GB/T5099(所有部分)或GB/T11640的規(guī)定。8.2.2氪、氖的充裝應符合GB/T14194的規(guī)定。氙的充裝應符合GB/T14193的規(guī)定。惰性稀有氣體的充裝及貯運還應符合TSG23的規(guī)定,充裝及貯運的安全條例見《危險化學品安全管理條例》、《特種設備安全監(jiān)察條例》。8.2.3氙的最大充裝量按式(8)計算:GB/TXXXX—XXXXm=Fr根V…………(8)式中:m——氣瓶內氙的質量,單位為千克(kgFr——氙的充裝系數(shù),Fr=1.23kg/L(氣瓶公稱壓力12.5MPa);V——氣瓶標明的公稱水容積,單位為升(L)。8.2.4宜使用進行內表面處理的氣瓶,處理后的氣瓶應滿足本文件的要求。瓶閥出氣口連接方式宜使用CGA580、CGA680、CGA677和DISS718。8.2.5應防止泄漏和瓶口被污染。8.2.6惰性稀有氣體產(chǎn)品應存放在陰涼、干燥、通風的庫房內,不應暴曬,遠離熱源。8.3安全信息惰性稀有氣體的安全信息見附錄B。GB/TXXXX—XXXX附錄A(資料性)氣路流程示意圖A.1測定氪中氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氙、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的氣路流程示意圖測定氪中的氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氙、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量時,參考的氣路流程示意圖見圖A.1。);GB/TXXXX—XXXXA.2測定氖中氦含量的氣路流程示意圖測定氖中的氦含量時,參考的氣路流程示意圖見圖A.2。););GB/TXXXX—XXXXA.3測定氖中氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的氣路流程示意圖測定氖中的氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量時,參考的氣路流程示意圖見圖A.3。);GB/TXXXX—XXXXA.4測定氙中氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氪、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的氣路流程示意圖測定氙中氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氪、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量時,參考的氣路流程示意圖見圖A.4。);GB/TXXXX—XXXXA.5測定氙氣中非甲烷總烴含量的氣路流程示意圖測定氙氣中非甲烷總烴含量時,參考的氣路流程示意圖見圖A.5。);GB/TXXXX—XXXX(資料性)安全信息B.1基本信息B.1.1氪B.1.1.1化學式:Kr;中文名:氪;英文名:Krypton。B.1.1.2相對分子質量:83.798(按2018年國際相對原子質量計算)。B.1.1.3代碼:CAS號:7439-90-9、UN號:【壓縮氪】1056;【冷凍液態(tài)氪】1970。B.1.1.4物理性質:沸點-153.35℃,熔點-157.37℃,臨界溫度:-63.8℃,臨界壓力:5.4Mpa;相對密度:2.9(干燥空氣=1);自燃溫度:無意義。B.1.2氖B.1.2.1化學式:Ne;中文名:氖;英文名:neon。B.1.2.2相對分子質量:20.180(按2018年國際相對原子質量計算)。B.1.2.3代碼:CAS號:7440-01-9、UN號:氖【壓縮】UN號:1065;氖【冷凍液態(tài)】UN號:1913。B.1.2.4物理性質:物理性質:沸點-246℃,熔點
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