輕質(zhì)合金表面組織調(diào)控與性能檢測(cè)建設(shè)

輕質(zhì)合金表面組織調(diào)控與性能檢測(cè)建設(shè)序號(hào)設(shè)備名稱性能指標(biāo)參數(shù)數(shù)量單位1多功能物理氣相沉積系統(tǒng)一、涂層制備系統(tǒng)（一）技術(shù)指標(biāo)：1.1、極限真空度不低于9×10-5Pa.；1.2、抽速：從大氣抽至8.0×10-3Pa，≤20分鐘(空爐、冷態(tài))；從大氣抽至3.0×10-3Pa，≤60分鐘(空爐、冷態(tài))；1.3壓升率：≤0.3Pa/小時(shí)；系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤6.0×10-7Pa·L/s；1.4鍍膜有效區(qū)不小于550(H)×650，爐內(nèi)可加熱，最高加熱溫度不低于450度；1.5電氣控制系統(tǒng)：PLC全自動(dòng)控制，可運(yùn)行多種工藝設(shè)置。（二）配置要求：1、該系統(tǒng)主要由多弧沉積真空室、多弧源、旋轉(zhuǎn)基片臺(tái)、加熱系統(tǒng)、高能脈沖偏壓電源、多弧電源、工作氣路、真空獲得系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)、真空測(cè)量、水冷卻及告警系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等部分組成。2、爐體能夠?qū)崿F(xiàn)電弧源、加熱器等安裝，靈活方便，并可為后期功能擴(kuò)展提供可能。3、真空室內(nèi)外表面采用電解拋光，可長(zhǎng)久保持外觀效果，易于清潔。鍍膜室設(shè)置加熱系統(tǒng)、抽真空、觀察口、離子源安裝，充氣系統(tǒng)接口、饋入電極等接口，接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封。4、采用掛裝式雙層襯板，拆卸方便，可保證長(zhǎng)時(shí)間高溫下工作不變形，采用SUS304不銹鋼，表面噴沙，防止脫膜，爐體支架、氣管、水管、電線、電纜橋架一體完成，表面噴塑防腐處理。5、工件架公自轉(zhuǎn)系統(tǒng)：工件架能實(shí)現(xiàn)公轉(zhuǎn)及自轉(zhuǎn)，工件也可以在任意位置實(shí)現(xiàn)定位自轉(zhuǎn)及擺動(dòng)自轉(zhuǎn)，自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)數(shù)可單獨(dú)調(diào)節(jié)；主軸承重不低于400KG(含轉(zhuǎn)盤本體重量)，轉(zhuǎn)架部分滿足不低于1600V電壓下絕緣工藝需求。6、離子源清洗裝置：鍍膜前利用荷能粒子對(duì)工件進(jìn)行轟擊處理，可以激活工件表面，提高薄膜與工件的結(jié)合，配陰、陽(yáng)極、屏蔽罩板及刻蝕電源等部件。7、真空獲得系統(tǒng)：鍍膜室主泵配置由分子泵、羅茨泵、機(jī)械泵等泵組組成。其中分子泵名義抽速不低于1600L/s；羅茨泵名義抽速不低于120L/s。泵組系統(tǒng)抽真空時(shí)可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，具備低噪音、低振動(dòng)、高壽命等特點(diǎn)。同時(shí)，配置氣動(dòng)擋板閥、氣動(dòng)插板閥等密封部件，放氣閥設(shè)置空氣過(guò)濾功能，保證工件不受污染，加消聲器。8、電氣控制系統(tǒng)：①采用PLC為核心的自動(dòng)化控制系統(tǒng)，使用工控機(jī)，全自動(dòng)工藝，可選擇工藝步驟，設(shè)定工藝參數(shù)，一鍵式運(yùn)行。界面可顯示烘烤溫度，鍍膜真空度，工藝氣體類型，工藝氣體流量，靶位選擇，陰極預(yù)濺射電壓/電流，預(yù)濺射時(shí)間，陰極電壓/電流，鍍膜時(shí)間，離子源電壓/電流，離子源轟擊時(shí)間，工件架升降變速控制及公自轉(zhuǎn)速率等。界面可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)曲線和數(shù)據(jù)記錄等功能。②工控機(jī)應(yīng)具備千兆網(wǎng)口、USB接口不少于6個(gè)、16G運(yùn)行內(nèi)存、1T硬盤、windows10操作系統(tǒng)、不小于19英寸的液晶顯示器、不小于AIMB-705VG的主板和I56500的CPU等功能?？蓪?shí)現(xiàn)手機(jī)遠(yuǎn)程監(jiān)控及操作。A：主控單元可設(shè)置參數(shù)及工作點(diǎn)，并根據(jù)預(yù)設(shè)置工藝流程，實(shí)現(xiàn)對(duì)整機(jī)全自動(dòng)、半自動(dòng)、及手動(dòng)控制；B：可設(shè)置并存儲(chǔ)多種工藝，用戶可根據(jù)不同產(chǎn)品需求選擇調(diào)用，帶管理員密碼，可防止其他人員誤操作；C：帶實(shí)時(shí)曲線、歷史曲線查詢功能；D：控制系統(tǒng)可監(jiān)控各泵、閥門工作狀態(tài)，水溫、水管路、真空度、氣體流量等工作參量，在任何故障發(fā)生時(shí)告警，并做出相應(yīng)處理。9、多弧電源系統(tǒng)：爐體至少設(shè)置6支電弧蒸發(fā)源，弧電源輸出功率不低于功率5KW，配置水流及水溫傳感器,其中含有高能脈沖電源，可實(shí)現(xiàn)脈沖濺射與直流濺射兼容。10、靶材純度不低于99%。11、偏壓電源：選用雙極非對(duì)稱脈沖電源，0~100kHz可調(diào)，功率0~20kW可調(diào)。12、真空測(cè)量裝置：選用復(fù)合真空計(jì)（不小于測(cè)試范圍1.0×105～1.0×10-5Pa）、配備電離規(guī)、金屬熱偶規(guī)（不小于測(cè)試范圍1×105~1×10-1Pa）、薄膜規(guī)（不小于1×10-1~5Pa）等。13、配有加熱及溫控測(cè)量系統(tǒng)，可采用工控機(jī)控制。14、充氣系統(tǒng)：至少5套氣體質(zhì)量流量計(jì)進(jìn)行控制，可滿足氮?dú)?、氧氣、乙炔、氬氣等氣體的定量使用以及腔室混合氣體氣壓的測(cè)定。15、水冷系統(tǒng)：所有主管道及配件材質(zhì)均為SUS304不銹鋼材料，并配有水流量傳感器和水溫傳感器，水冷系統(tǒng)適宜水溫應(yīng)為20～25℃。16、氣動(dòng)控制系統(tǒng)：主要由氣動(dòng)控制閥島、先導(dǎo)式4通換向閥、壓力傳感器、氣動(dòng)三聯(lián)件、PU管等組成。17、緊急制動(dòng)系統(tǒng)：設(shè)備配有急停按鈕，可應(yīng)對(duì)緊急情況下設(shè)備的停機(jī)處理。18其他輔助系統(tǒng)：1）冷水機(jī)：不少于8匹冷水機(jī)1臺(tái)，含不銹鋼保溫水箱1個(gè)，帶增壓泵及冷水塔各1臺(tái)；其中冷水機(jī)、增壓泵選用國(guó)內(nèi)知名品牌。2）空壓機(jī)：壓力不小于0.8MPa，流量不小于1.1m3/min，相應(yīng)配套冷凍干燥機(jī)1臺(tái)，容量1m3儲(chǔ)氣罐1個(gè)，精密過(guò)濾器3件。3）噴砂機(jī)：可滿足金剛砂、玻璃砂等砂型的使用，具有出砂量可調(diào)、出砂方向可變、廢砂可單獨(dú)收集等功能，性能參數(shù)可滿足批量生產(chǎn)要求。4）純水機(jī)：1臺(tái)，每小時(shí)純水制造量不低于0.25T，可生產(chǎn)一級(jí)水、二級(jí)水功能，并含有儲(chǔ)水罐。5）超聲波清洗機(jī)：手動(dòng)清洗機(jī)1套。6）其他：上述設(shè)備至少配置維修工具1套，工具箱1套，電動(dòng)工具1套，內(nèi)六角工具1套，與設(shè)備配套的密封墊圈及管路等若干，內(nèi)襯板至少2套。（三）要求說(shuō)明：1、提供整套鍍膜系統(tǒng)（含清洗、噴砂、冷卻、純水、鍍膜等制備系統(tǒng)及腐蝕、高溫?fù)p傷等評(píng)估系統(tǒng)）。2.免費(fèi)提供PPR熱熔管，接頭閥門、氣瓶柜等以及純水機(jī)、清洗機(jī)、冷水機(jī)、冷水塔、保溫水箱、增壓泵、鍍膜機(jī)等設(shè)備的管路連接和所需電纜，并安裝在設(shè)備上，保證設(shè)備的正常運(yùn)行。3、提供熱電偶、熱電阻及氣路、水冷系統(tǒng)中所用壓力表等計(jì)量器具第三方檢定合格證書（省級(jí)檢測(cè)機(jī)構(gòu)或以上）。（四）其他要求：1、提供多種鍍膜工藝，至少提供10種可靠的氮化物、碳化物等涂層工藝，涂層質(zhì)量要求硬度不低于2000HV，結(jié)合力不低于50N或HF2級(jí)。2、免費(fèi)提供學(xué)員現(xiàn)場(chǎng)實(shí)習(xí)服務(wù)。3、除偏壓電源、薄膜規(guī)、質(zhì)量流量計(jì)等按廠家標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行質(zhì)保外，其余部件質(zhì)保期5年。4、質(zhì)保期內(nèi)，任何由制造商選材和制造不當(dāng)引起的質(zhì)量問(wèn)題，廠商負(fù)責(zé)免費(fèi)維修或更換。質(zhì)保期自驗(yàn)收完成后簽字之日起計(jì)算，無(wú)論設(shè)備是否在保修期內(nèi)，乙方在接到甲方維修需求時(shí)，乙方應(yīng)在一周內(nèi)到達(dá)甲方現(xiàn)場(chǎng)處理。5、簽訂合同后，100天內(nèi)完成設(shè)備安裝、調(diào)試、測(cè)試等工作。6、設(shè)備可實(shí)現(xiàn)電弧源、加熱器等部件的靈活更換，并可為后期功能擴(kuò)展提供方便。二、涂層測(cè)試系統(tǒng)（一）涂層高溫?fù)p傷評(píng)價(jià)主要用于涂層及材料在高溫環(huán)境下的損傷機(jī)理評(píng)價(jià)。1.加載方式：砝碼加載，載荷量程：100～5000g。2.摩擦力量程：0～50N，0～25N各1個(gè)。3.摩擦力測(cè)量精度：0.05%F.S。4.額定溫度：室溫～1000℃，測(cè)試溫度：室溫～900℃。5.旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速：1～3000r/min，旋轉(zhuǎn)半徑可調(diào)。6.配置不少于3種尺寸的摩擦副工裝，摩擦副材質(zhì)可調(diào)。7.可生成Excel數(shù)據(jù)庫(kù)、Word實(shí)驗(yàn)報(bào)告、Jpeg圖片等。8.可通環(huán)境氣氛:N2、CO2、He、Ar等惰性氣體。9.配置控制箱，液晶顯示器、主機(jī)、維修工具、備份文件等。（二）涂層腐蝕損傷評(píng)價(jià)主要用于涂層及材料在腐蝕環(huán)境下的損傷機(jī)理評(píng)價(jià)。1.雙恒電位儀。2.電流范圍(兩通道電流之和)為±250mA。3.可實(shí)現(xiàn)雙通道同步掃描，最高掃速不低于9,000V/s，掃描時(shí)的電位增量：0.1mV

（當(dāng)掃速