高壓微霧加濕在液晶玻璃基板生產(chǎn)中的應用

鉑金通道是液晶玻璃基板生產(chǎn)的重要設備，對玻璃液起著澄清、均化以及降溫的作用。為避免鉑金通道內因水解反應產(chǎn)生氣泡，鉑金通道外圍需設置專用恒溫恒濕間，保持恒定高溫高濕環(huán)境，提高恒溫恒濕間絕對含水量以達到提高鉑金管壁周圍空氣含水量的目的。為了提升恒溫恒濕間溫濕度的穩(wěn)定性和濕度調整的能力，在原有空調系統(tǒng)基礎上引入高壓微霧加濕系統(tǒng)，二者相互補充，不僅保證了穩(wěn)定的高溫高濕環(huán)境，同時也降低了生產(chǎn)成本。本文就高壓微霧加濕系統(tǒng)的設備組成、工作原理、系統(tǒng)運用、系統(tǒng)特點等方面進行介紹，為高壓微霧加濕系統(tǒng)在液晶玻璃基板恒溫恒濕間應用推廣提供一定的借鑒。原有空調系統(tǒng)工藝流程：原有空調系統(tǒng)為工業(yè)空調機組配加濕系統(tǒng)，采用飽和蒸汽進行加濕，為干蒸汽加濕。恒溫恒濕間為內熱型區(qū)域，空調回風較送風溫度一般有5～10℃的溫升，而空調機組的新風取自空調機房的室內空氣（溫度較高），為了達到恒溫恒濕間溫度的要求，就必須開啟冷凍水對混合空氣進行降溫，增加了額外冷凍水的消耗。恒溫恒濕間原有空調系統(tǒng)工藝流程示意圖如圖1所示。圖1恒溫恒濕間原有空調系統(tǒng)工藝流程示意圖分析恒溫恒濕間相關運行數(shù)據(jù)，為了滿足送風溫度的要求，其空調系統(tǒng)均需要持續(xù)加濕并利用冷凍水對混合風降溫，因此加濕系統(tǒng)采用冷霧加濕方式，從而達到加濕、降溫的最佳運行。冷霧加濕為等焓加濕，即加濕前后的空氣熱焓值保持不變（能量守恒）。各種加濕方式的主要特征比較如表1所示。綜合各種加濕方式特點、設備安裝維護方便性以及現(xiàn)場條件滿足情況，高壓微霧加濕是首選。表1各種加濕方式的主要特征比較高壓微霧加濕原理：利用柱塞泵將凈化處理過的水加壓至5～7MPa，通過高壓水管將加壓后的水傳送到“超微孔”的噴嘴，水經(jīng)霧化后以3～10mm的微霧噴射到所需空間，水霧在空氣中吸收熱量，從液態(tài)變成氣態(tài)并擴散，使空間濕度得到增大，并達到降低空氣溫度的目的。高壓微霧加濕噴霧實際應用場景如圖2所示。圖2高壓微霧加濕噴霧實際應用場景高壓微霧加濕系統(tǒng)主要由不銹鋼水箱、高壓微霧泵站、高壓微霧噴頭（噴頭組件、噴桿、各種閥門）、擋水板、接水盤、溫濕度傳感器、管路系統(tǒng)等組成。高壓微霧加濕系統(tǒng)工藝流程示意圖如圖3所示。圖3高壓微霧加濕系統(tǒng)工藝流程示意圖高壓微霧加濕系統(tǒng)的實際運用：恒溫恒濕間屬于高溫高濕環(huán)境，對溫度和濕度的穩(wěn)定性要求非常高。引入高壓微霧加濕系統(tǒng)后，由高壓微霧加濕系統(tǒng)與蒸汽相互補充，為恒溫恒濕間提供濕度（高壓微霧加濕系統(tǒng)的加濕量大小主要通過開啟或關停相應的噴頭數(shù)量來控制，控制精度較低），而溫度仍由原工業(yè)空調機組通過調整冷熱水開度來控制。高壓微霧加濕系統(tǒng)實際運用如圖4所示。圖4高壓微霧加濕系統(tǒng)實際運用示意圖高壓微霧加濕系統(tǒng)特點：①霧細。高壓噴嘴每秒能產(chǎn)生數(shù)億個極微小的霧滴，加濕效率高，同時能達到降溫、除塵的效果；②系統(tǒng)簡單、可靠。高壓微霧加濕系統(tǒng)主要由主機、管道、噴頭組成，自動化程度高，故障率低，后期幾乎沒有維護保養(yǎng)工作，降低了人員的工作量；③安裝方便，節(jié)約空間，噴頭可以根據(jù)空間靈活布置。目前高壓微霧加濕系統(tǒng)在實際應用中最主要的問題為加濕效率較低，加濕區(qū)域底部接水盤的水量較多，雖然水的霧化率較高，但是最終被有效用于加濕的純水較少，實際純水利用率較低。高壓微霧加濕系統(tǒng)在液晶玻璃基板恒溫恒濕間的應用無疑是成功的。在工藝方面，通過高壓微霧加濕系統(tǒng)與原有工業(yè)空調機組結合使用，恒溫恒濕間溫濕度穩(wěn)定性和控制精度均能符合工藝要求，同時在現(xiàn)有的蒸汽條件下，濕度調節(jié)的能力得到足夠的提升；在節(jié)能降耗方面