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AlN厚膜金屬化漿料用Au/Pt粉體的制備的開題報告摘要:本文將介紹一種制備AlN厚膜金屬化漿料用Au/Pt粉體的方法,并研究不同制備條件對粉體性質的影響。實驗通過控制熱處理溫度和時間、絡合劑濃度等參數(shù)來制備Au/Pt粉體,并對其進行X射線衍射、掃描電子顯微鏡等表征。結果表明,在制備條件為450℃、30min、絡合劑濃度為1.0mol/L時,制備的Au/Pt粉體具有良好的形貌和結晶度。關鍵詞:AlN厚膜;金屬化漿料;Au/Pt粉體;制備條件Abstract:Inthispaper,amethodforpreparingAu/PtpowderforAlNthickfilmmetallizationslurryisintroduced,andtheinfluenceofdifferentpreparationconditionsonthepowderpropertiesisstudied.TheexperimentpreparedAu/Ptpowderbycontrollingtheparameterssuchasheattreatmenttemperatureandtime,complexingagentconcentration,andcharacterizeditbyX-raydiffractionandscanningelectronmicroscopy.TheresultsshowedthatthepreparedAu/Ptpowderhadgoodmorphologyandcrystallinityunderthepreparationconditionsof450℃,30min,andcomplexingagentconcentrationof1.0mol/L.Keywords:AlNthickfilm;metallizationslurry;Au/Ptpowder;preparationconditions1.研究背景AlN厚膜廣泛應用于功率半導體器件的制備中,而金屬化漿料則是制備這些器件所必需的重要材料之一。Au/Pt粉體是一種常用于制備金屬化漿料的金屬粉體,但其制備條件對粉體性質有很大影響。因此,本研究旨在尋找一種優(yōu)化的Au/Pt粉體制備條件,以獲得高質量的金屬化漿料。2.實驗方法2.1Au/Pt粉體制備以HAuCl4和H2PtCl6為原料,通過還原法制備Au/Pt粉體。將HAuCl4和H2PtCl6與NH2OH·HCl和NaOH混合,得到金屬絡合物溶液。將金屬絡合物溶液分別滴加到乙醇中,并控制熱處理溫度和時間,得到Au/Pt粉體。2.2粉體表征使用X射線衍射儀研究Au/Pt粉體的結晶度。使用掃描電子顯微鏡(SEM)觀察Au/Pt粉體的形貌。3.結果與分析3.1Au/Pt粉體的制備通過實驗得到Au/Pt粉體的制備條件為:熱處理溫度450℃,時間30min,絡合劑濃度為1.0mol/L。3.2Au/Pt粉體的表征圖1為Au/Pt粉體的X射線衍射圖譜,從中可以看出Au/Pt粉體主要由金屬Au和Pt組成,晶體結構為fcc結構。圖2為Au/Pt粉體的SEM圖像,可以看出粉體形貌均勻,粒度分布較為集中。圖1Au/Pt粉體的X射線衍射圖譜圖2Au/Pt粉體的SEM圖像4.結論通過實驗研究,得出了制備AlN厚膜金屬化漿料用Au/Pt粉體的優(yōu)化條件。制備條件為450℃、30min、絡合劑濃度為1.0mol/L時,制備的Au/Pt粉體具有較好的形貌和結晶度,能夠滿足AlN厚膜金屬化漿料的制備需求。參考文獻:[1]C.K.Ponton,R.W.Davidge,A.T.R.Reddy,etal.Thickfilmmetallizationsforpowersemiconductordevicesforminglowresistancecontactstosilicon[J].ThinSolidFilms,1986,139:231.[2]Y.H.Wang,H.W.Liu,L.Guo,etal.Preparationofultrafineplatinumparticles
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