TPM在集成電路生產(chǎn)線設(shè)備維護(hù)中的應(yīng)用研究(DMOS產(chǎn)品項(xiàng)目)的開題報(bào)告

TPM在集成電路生產(chǎn)線設(shè)備維護(hù)中的應(yīng)用研究(DMOS產(chǎn)品項(xiàng)目)的開題報(bào)告一、研究背景隨著集成電路行業(yè)的快速發(fā)展，廠商為滿足市場需求提高生產(chǎn)效率，降低成本，迅速引入了自動(dòng)化生產(chǎn)線。但生產(chǎn)線快速運(yùn)轉(zhuǎn)的同時(shí)，設(shè)備故障頻繁，給生產(chǎn)帶來了不小的影響。而TPM全稱為TotalProductiveMaintenance，即全員參與、全過程保養(yǎng)、以及保持持久的生產(chǎn)維護(hù)，是一種在生產(chǎn)過程中減少設(shè)備故障，以及實(shí)現(xiàn)設(shè)備最大化運(yùn)轉(zhuǎn)效率的全新系統(tǒng)。因此，本文將從DMOS（Double-diffusedMOS）產(chǎn)品項(xiàng)目出發(fā)，研究在集成電路生產(chǎn)線設(shè)備維護(hù)中，TPM的應(yīng)用研究。二、研究目的本文旨在研究集成電路生產(chǎn)線設(shè)備維護(hù)過程中，TPM應(yīng)用的利弊評估以及實(shí)施對生產(chǎn)效率的影響，最終形成科學(xué)規(guī)范嚴(yán)密的設(shè)備維護(hù)標(biāo)準(zhǔn)和TPM應(yīng)用流程。研究目的具體如下：1.探究TPM思想及其實(shí)施對集成電路生產(chǎn)線設(shè)備維護(hù)效率的影響。2.分析集成電路生產(chǎn)線設(shè)備維護(hù)中存在的問題，尋找解決方案。3.結(jié)合DMOS產(chǎn)品生產(chǎn)實(shí)際情況，細(xì)化TPM應(yīng)用措施，制定一套可行的TPM實(shí)施方案。4.構(gòu)建生產(chǎn)線設(shè)備故障預(yù)測模型，為設(shè)備維護(hù)提供參考依據(jù)。三、研究內(nèi)容和方法1.TPM思想和實(shí)踐研究：通過文獻(xiàn)綜述和現(xiàn)場實(shí)際調(diào)查，探究TPM思想及其實(shí)踐細(xì)節(jié)，分析TPM應(yīng)用的優(yōu)缺點(diǎn)。2.集成電路生產(chǎn)線設(shè)備維護(hù)問題分析：實(shí)地調(diào)查，了解生產(chǎn)線設(shè)備維護(hù)中存在的問題，采用問題樹分析法，敘述問題由淺入深的構(gòu)成，并尋找解決方案。3.DMOS產(chǎn)品項(xiàng)目TPM方案實(shí)施：結(jié)合DMOS產(chǎn)品項(xiàng)目，制定TPM實(shí)施計(jì)劃，包括TPM目標(biāo)確定、設(shè)備檢查清單制定、PM維護(hù)計(jì)劃制定等內(nèi)容，同時(shí)，運(yùn)用PDCA（PlanDoCheckAct）循環(huán)法，不斷完善流程。4.設(shè)備維護(hù)預(yù)測模型構(gòu)建：分析設(shè)備維護(hù)記錄及相關(guān)數(shù)據(jù)，構(gòu)建設(shè)備維護(hù)預(yù)測模型，提前預(yù)知設(shè)備維護(hù)情況，避免生產(chǎn)線因設(shè)備故障造成的停產(chǎn)損失。五、論文的創(chuàng)新性和可實(shí)施性1.從DMOS產(chǎn)品項(xiàng)目出發(fā)，研究了集成電路生產(chǎn)線設(shè)備維護(hù)中TPM的應(yīng)用研究，為該領(lǐng)域的研究提供了新思路。2.結(jié)果可行，能夠提高生產(chǎn)線設(shè)備維護(hù)效率、降低維護(hù)成本、減少因設(shè)備故障造成的停產(chǎn)經(jīng)濟(jì)損失，提高生產(chǎn)效益。3.實(shí)用性強(qiáng)，為企業(yè)提供科學(xué)規(guī)范嚴(yán)密的設(shè)備維護(hù)標(biāo)準(zhǔn)和TPM應(yīng)用流程，為企業(yè)的正常運(yùn)行保駕護(hù)航。四、研究進(jìn)度和計(jì)劃論文研究的進(jìn)度計(jì)劃如下：第一階段：文獻(xiàn)綜述和TPM應(yīng)用理論研究（2周）第二階段：實(shí)地調(diào)查及設(shè)備維護(hù)問題分析（2周）第三階段：DMOS產(chǎn)品項(xiàng)目TPM方案制定及實(shí)施（6周）第四階段：設(shè)備維護(hù)預(yù)測模型構(gòu)建（4周）第五階段：論文撰寫及修改（4周）總計(jì)：18周。五、參考文獻(xiàn)1.Nichols,C.R.,&Talley,W.K.(1993).Totalproductivemaintenance:astrategyforsuccess.Weston:PredictiveMaintenancePress.2.何必清.(2004).TPM全員參與生產(chǎn)維護(hù)[M].化學(xué)工業(yè)出版社.3.陳桂華.(2006).TPM生產(chǎn)維護(hù)實(shí)務(wù)[M].化學(xué)工業(yè)出版社.4.集成電路制造（China)有限公司.DMOS兩極晶體管產(chǎn)品生產(chǎn)技