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《真空技術(shù)真空計(jì)熱陰極電離真空計(jì)規(guī)范GB/T42604-2023》詳細(xì)解讀contents目錄1范圍2規(guī)范性引用文件3術(shù)語(yǔ)和定義4符號(hào)和縮略語(yǔ)5熱陰極電離真空計(jì)的原理6制造商給出的熱陰極電離真空計(jì)規(guī)范contents目錄7制造商另給出的熱陰極電離真空計(jì)規(guī)范(可選)8熱陰極電離真空計(jì)測(cè)量不確定度的貢獻(xiàn)分量附錄A(資料性)典型的玻璃殼體的B-A型真空計(jì)附錄B(資料性)B-A型真空計(jì)的典型電連接附錄C(資料性)電離真空計(jì)的問(wèn)題參考文獻(xiàn)011范圍03其他類型真空計(jì)可參照使用。01規(guī)定了熱陰極電離真空計(jì)的術(shù)語(yǔ)和定義、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。02適用于測(cè)量粗低真空、低真空和高真空的熱陰極電離真空計(jì)(簡(jiǎn)稱電離計(jì))的制造、驗(yàn)收、使用、維護(hù)和修理。1范圍022規(guī)范性引用文件保持與最新技術(shù)同步及時(shí)引用更新發(fā)布的標(biāo)準(zhǔn),使本規(guī)范與當(dāng)前真空技術(shù)發(fā)展水平保持一致。提高規(guī)范的可操作性引用的文件涵蓋了真空計(jì)制造的各個(gè)方面,為制造商和用戶提供了詳細(xì)的指導(dǎo)和建議。確保標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容準(zhǔn)確無(wú)誤通過(guò)引用相關(guān)的國(guó)家和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),確保本標(biāo)準(zhǔn)的各項(xiàng)規(guī)定均基于權(quán)威、準(zhǔn)確的技術(shù)文件。2規(guī)范性引用文件033術(shù)語(yǔ)和定義組成由熱陰極、陽(yáng)極(收集極)和測(cè)量離子流的電路組成。特點(diǎn)具有較高的靈敏度和測(cè)量精度,適用于低真空至高真空的測(cè)量范圍。定義熱陰極電離真空計(jì)是一種利用熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,并測(cè)量所產(chǎn)生的離子流來(lái)推斷氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。3術(shù)語(yǔ)和定義044符號(hào)和縮略語(yǔ)p氣體壓力(單位可根據(jù)具體情況選擇,如Pa、kPa等)I氣體電離產(chǎn)生的離子流(單位:A)U真空計(jì)電離規(guī)的供電電壓(單位:V)4符號(hào)和縮略語(yǔ)055熱陰極電離真空計(jì)的原理123在熱陰極電離真空計(jì)中,通過(guò)加熱陰極使其發(fā)射出電子。加熱陰極發(fā)射電子發(fā)射出的電子在真空環(huán)境中會(huì)與氣體分子發(fā)生散射作用。電子被氣體分子散射散射電子的數(shù)量與氣體分子的密度(即氣壓)成正比關(guān)系。散射電子數(shù)量與氣壓關(guān)系5熱陰極電離真空計(jì)的原理066制造商給出的熱陰極電離真空計(jì)規(guī)范市場(chǎng)需求熱陰極電離真空計(jì)在真空技術(shù)領(lǐng)域中應(yīng)用廣泛,制定規(guī)范是滿足市場(chǎng)需求的必要舉措。技術(shù)發(fā)展隨著真空技術(shù)的不斷進(jìn)步,熱陰極電離真空計(jì)的性能指標(biāo)和測(cè)試方法亟需更新和規(guī)范。標(biāo)準(zhǔn)化趨勢(shì)為推動(dòng)真空技術(shù)的標(biāo)準(zhǔn)化發(fā)展,制定熱陰極電離真空計(jì)規(guī)范勢(shì)在必行。6制造商給出的熱陰極電離真空計(jì)規(guī)范077制造商另給出的熱陰極電離真空計(jì)規(guī)范(可選)制造商可提供特定型號(hào)熱陰極電離真空計(jì)的測(cè)量范圍,包括最小測(cè)量值和最大測(cè)量值。測(cè)量范圍制造商可根據(jù)實(shí)際需求,提供不同準(zhǔn)確度等級(jí)的熱陰極電離真空計(jì),以滿足用戶不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求。準(zhǔn)確度等級(jí)制造商可提供經(jīng)過(guò)計(jì)量部門(mén)校準(zhǔn)的真空計(jì)校準(zhǔn)證書(shū),確保真空計(jì)量值的準(zhǔn)確性和可追溯性。校準(zhǔn)證書(shū)7制造商另給出的熱陰極電離真空計(jì)規(guī)范(可選)088熱陰極電離真空計(jì)測(cè)量不確定度的貢獻(xiàn)分量電流測(cè)量的穩(wěn)定性由于電流波動(dòng)或測(cè)量?jī)x器的不穩(wěn)定,可能引入一定的不確定度。電流測(cè)量精度電流測(cè)量?jī)x器的精度限制也會(huì)對(duì)不確定度產(chǎn)生影響。電流測(cè)量環(huán)境的影響外部環(huán)境因素,如電磁干擾等,可能對(duì)電流測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生微小影響。8熱陰極電離真空計(jì)測(cè)量不確定度的貢獻(xiàn)分量09附錄A(資料性)典型的玻璃殼體的B-A型真空計(jì)玻璃殼體設(shè)計(jì)采用透明玻璃材料,便于觀察內(nèi)部結(jié)構(gòu)和工作狀態(tài)。B-A型結(jié)構(gòu)具有特定的電極配置,包括陰極、陽(yáng)極等,以實(shí)現(xiàn)電離真空的測(cè)量。高真空度測(cè)量范圍適用于高真空度的測(cè)量,具有較高的測(cè)量精度和穩(wěn)定性。附錄A(資料性)典型的玻璃殼體的B-A型真空計(jì)10附錄B(資料性)B-A型真空計(jì)的典型電連接為確保真空計(jì)的穩(wěn)定運(yùn)行,應(yīng)提供穩(wěn)定的直流電源,并符合規(guī)定的電壓和電流要求。穩(wěn)定的直流電源電源線規(guī)格接地保護(hù)根據(jù)真空計(jì)功率及使用環(huán)境,選擇合適的電源線規(guī)格,確保電流傳輸?shù)陌踩c穩(wěn)定。真空計(jì)的電源系統(tǒng)應(yīng)具備良好的接地保護(hù),以防止電氣故障和雷擊等潛在風(fēng)險(xiǎn)。030201附錄B(資料性)B-A型真空計(jì)的典型電連接11附錄C(資料性)電離真空計(jì)的問(wèn)題

附錄C(資料性)電離真空計(jì)的問(wèn)題真空計(jì)無(wú)顯示或顯示異常檢查電源線路是否接觸良好,確認(rèn)電源電壓是否符合要求;檢查真空計(jì)傳感器及連接線是否損壞。測(cè)量結(jié)果偏差較大對(duì)真空計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn),確保其準(zhǔn)確度;檢查測(cè)量環(huán)境是否存在干擾因素,如電磁干擾、溫度波動(dòng)等。真空計(jì)響應(yīng)速度慢檢查真空計(jì)傳感器是否受到污染,進(jìn)行清洗;確認(rèn)真空系統(tǒng)是否存

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