中職教育一年級(jí)上學(xué)期電子與信息《風(fēng)淋與除塵清掃》教學(xué)課件

項(xiàng)目七微電子器件生產(chǎn)規(guī)范7.2風(fēng)淋與除塵清掃微電子技術(shù)與器件制造主講人：羅朝平7.2風(fēng)淋與除塵清掃引言

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INTRODUCTION

在動(dòng)態(tài)情況下，潔凈車間細(xì)菌及塵埃的最大發(fā)生源是人員。根據(jù)設(shè)備安全作業(yè)規(guī)程與安全風(fēng)險(xiǎn)、凈化車間管理規(guī)定，進(jìn)入晶圓生產(chǎn)車間前，對(duì)進(jìn)入的人員必須進(jìn)行風(fēng)淋、除塵、菌等潔凈措施，才能進(jìn)入潔凈生產(chǎn)車間操作。才能使晶圓生產(chǎn)免受細(xì)菌和塵埃的破壞，保障了晶圓生產(chǎn)的正常進(jìn)行。PART01風(fēng)淋PART02除塵清掃目錄7.2風(fēng)淋與除塵清掃7.2風(fēng)淋與除塵清掃知識(shí)目標(biāo)1、了解風(fēng)淋的相關(guān)概念、作用及風(fēng)淋室的特點(diǎn)2、掌握除塵的分類及作用7.2.風(fēng)淋與除塵清掃7.2.1風(fēng)淋概念：人員進(jìn)入對(duì)無塵要求非常高的晶圓制造、檢測(cè)潔凈車間之前，必須進(jìn)行除塵操作，用潔凈空氣吹淋其衣服表面附著的塵埃顆粒。就像大風(fēng)“淋”到身上一樣，顧名思義叫風(fēng)淋作用：

風(fēng)淋的目的，就是針對(duì)芯片處于裸露狀態(tài)的潔凈車間設(shè)計(jì)的，是為了清除進(jìn)入這些車間的人或物體表面的灰塵，保證車間內(nèi)的無塵環(huán)境不被破壞。7.2.1風(fēng)淋風(fēng)淋設(shè)備

風(fēng)淋在風(fēng)淋室中進(jìn)行，風(fēng)淋室又稱為潔凈風(fēng)淋室、凈化風(fēng)淋室等。風(fēng)淋室7.2.1風(fēng)淋風(fēng)淋室具有如下特點(diǎn)：（1）采用PLC智能化的控制手段，控制面板上的LED顯示屏，能正確顯示風(fēng)淋的運(yùn)行狀態(tài)雙門的互鎖狀態(tài)、風(fēng)淋周期進(jìn)度和延時(shí)開門狀態(tài)。（2）采用人性化的控制面板，清晰的指示燈指示，給予用戶清晰正確的風(fēng)淋流程指示。7.2.1風(fēng)淋（3）采用美國(guó)AAF初、高效過濾器兩級(jí)過濾系統(tǒng)，無隔板低阻力高效過濾器，過濾效率為99.99%，確保凈化級(jí)別。（4）采用模塊化設(shè)計(jì)方案，可以按實(shí)際需要拼裝成各種長(zhǎng)度的風(fēng)淋尺寸。（5）采用進(jìn)口電子元器件、先進(jìn)的減噪靜音裝置系統(tǒng)及EVA密封材料，運(yùn)行性能穩(wěn)定可靠、密閉性能高。7.2.1風(fēng)淋進(jìn)入風(fēng)淋室的具體流程（1）在圖中，點(diǎn)擊風(fēng)淋室的外門，將風(fēng)淋室的外門打開。打開風(fēng)淋室門7.2.1風(fēng)淋（2）根據(jù)路面指示進(jìn)入風(fēng)淋室。（4）到達(dá)指定時(shí)間后，風(fēng)淋結(jié)束，出口自動(dòng)解鎖，此時(shí)員工可以走出風(fēng)淋室進(jìn)入生產(chǎn)車間進(jìn)行操作。（3）到達(dá)指定位置，空間封閉，人員張開雙臂，旋轉(zhuǎn)360度，風(fēng)淋室開始除塵。7.2.2除塵清掃

（1）腳底除塵

潔凈車間內(nèi)的無塵要求較高，進(jìn)入更衣區(qū)需進(jìn)行腳底除塵。按照路面指示移動(dòng)到刷卡器前，進(jìn)行刷卡進(jìn)入更衣室，雙腳站立在門口的粘塵墊上，完成腳底除塵，才能進(jìn)入生產(chǎn)區(qū)，如圖所示。腳底除塵7.2風(fēng)淋與除塵清掃7.2.2除塵清掃（2）洗手除塵

按照路面指示移動(dòng)到自動(dòng)洗手器前，進(jìn)行手部的清潔，清洗完畢之后自動(dòng)烘干，如圖所示。洗手除塵7.2.2除塵清掃（3）風(fēng)淋除塵進(jìn)入風(fēng)淋室后站立在指定位置，前后門自動(dòng)落鎖，風(fēng)淋室開始除塵操作。在除塵期間，人員需要張開雙臂旋轉(zhuǎn)360度，達(dá)到最大除塵效果。仿真知識(shí)總結(jié)

風(fēng)淋和除塵是針對(duì)芯片處于裸露狀態(tài)