電子特氣產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境透析、市場全景評估及發(fā)展趨勢預(yù)測（智研咨詢）

精品研報(bào)·專題定制·產(chǎn)研服務(wù)智研咨詢出品電子特氣精品研報(bào)·專題定制·產(chǎn)研服務(wù)智研咨詢出品電子特氣智研產(chǎn)業(yè)百科·產(chǎn)業(yè)研究第一站/電子特氣/實(shí)用的產(chǎn)研百科工具電子特氣TOC\o"1-5"\h\z\u一、定義及分類 1二、行業(yè)政策 2三、行業(yè)歷程 3四、行業(yè)壁壘 41、技術(shù)壁壘 42、客戶認(rèn)證壁壘 43、海外業(yè)務(wù)拓展在專利布局、市場開發(fā)方面存在較大挑戰(zhàn) 44、人才壁壘 45、資質(zhì)壁壘 56、資金壁壘 5五、產(chǎn)業(yè)鏈 61、行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈分析 62、行業(yè)領(lǐng)先企業(yè)分析 7（1）中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司 7（2）江蘇雅克科技股份有限公司 8六、行業(yè)現(xiàn)狀 9七、發(fā)展因素 101、有利因素 10（1）國家政策大力鼓勵(lì)電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展 10（2）集成電路、顯示面板等產(chǎn)業(yè)擴(kuò)張帶動(dòng)電子特種氣體需求強(qiáng)勁 10（3）國產(chǎn)替代與國際化發(fā)展趨勢，為國內(nèi)電子特種氣體企業(yè)帶來發(fā)展契機(jī) 10（4）產(chǎn)業(yè)配套逐步完善，產(chǎn)業(yè)價(jià)值愈發(fā)顯現(xiàn) 102、不利因素 11（1）部分氣體品種仍有技術(shù)壁壘 11（2）新產(chǎn)品研發(fā)的壓力 11（3）專業(yè)化人才不足制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展 11八、競爭格局 121、四巨頭主導(dǎo)國際氣體市場，競爭優(yōu)勢較為明顯 122、國內(nèi)企業(yè)技術(shù)不斷進(jìn)步，國產(chǎn)替代逐漸加速 13九、行業(yè)趨勢 14一、定義及分類電子特種氣體，簡稱電子特氣，是指用于半導(dǎo)體、顯示面板、光伏、LED及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程的特種氣體。工業(yè)中，把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為工業(yè)氣體產(chǎn)品。電子特種氣體主要應(yīng)用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié)，主要分為三氟化氮等清洗氣體、六氟化鎢等金屬氣相沉積氣體等。二、行業(yè)政策電子特種氣體作為關(guān)鍵性電子材料，廣泛應(yīng)用于集成電路、顯示面板、光伏、光纖通信等領(lǐng)域，近年來得到國家產(chǎn)業(yè)政策的大力支持。國家發(fā)改委、科技部、工信部、財(cái)政部、國家稅務(wù)總局等部門相繼出臺(tái)一系列產(chǎn)業(yè)支持政策，有力推動(dòng)了電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。三、行業(yè)歷程電子特氣技術(shù)延續(xù)于工業(yè)氣體的發(fā)展進(jìn)步，18世紀(jì)末，工業(yè)氣體主要被應(yīng)用于醫(yī)用領(lǐng)域，后逐步應(yīng)用于商業(yè)領(lǐng)域；20世紀(jì)中期，分餾加工方法的發(fā)明和使用，大大降低了工業(yè)氣體的生產(chǎn)成本，加速了工業(yè)氣體的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程；20世紀(jì)末，電子產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，運(yùn)用于集成電路、顯示面板等電子設(shè)備的高品質(zhì)、高純度電子特氣需求增大，從而誕生了特種氣體行業(yè)。至今，隨著電子信息等高新技術(shù)的迅速發(fā)展，特種氣體規(guī)模不斷擴(kuò)大、技術(shù)壁壘不斷提升。海外企業(yè)具備多年的技術(shù)、渠道、資源、人才的積累，在特種氣體市場占據(jù)領(lǐng)先優(yōu)勢，近些年國內(nèi)部分領(lǐng)先龍頭企業(yè)實(shí)現(xiàn)了技術(shù)突破，打破了海外產(chǎn)品壟斷，逐步在市場嶄露頭角。四、行業(yè)壁壘1、技術(shù)壁壘電子特種氣體種類較多，不同類產(chǎn)品的合成、純化等工藝技術(shù)可能存在較大差異，且工藝路線長、過程復(fù)雜；同時(shí)，電子特種氣體對產(chǎn)品純度、產(chǎn)品指標(biāo)的穩(wěn)定性和一致性要求極高，需要對生產(chǎn)過程中各類雜質(zhì)含量進(jìn)行精準(zhǔn)有效地控制，工藝難度較大。因此，電子特種氣體企業(yè)開發(fā)一種滿足半導(dǎo)體工藝要求的氣體品種，往往需要長時(shí)間的研發(fā)積累，實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵核心技術(shù)的突破，以及在產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用中對工藝參數(shù)不斷進(jìn)行優(yōu)化。目前國內(nèi)氣體企業(yè)實(shí)現(xiàn)了對部分電子特種氣體品種的國產(chǎn)替代，在產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化中，通常要面臨不同類產(chǎn)品之間的核心技術(shù)壁壘。2、客戶認(rèn)證壁壘電子特種氣體的下游主要為集成電路、顯示面板等行業(yè)的大型廠商，其對產(chǎn)業(yè)鏈的管理高度精細(xì)化，對氣體產(chǎn)品的質(zhì)量和供應(yīng)穩(wěn)定性有極高的要求，對于原材料和供應(yīng)商的認(rèn)證和選擇非常嚴(yán)格。因此，新產(chǎn)品即使成功完成實(shí)驗(yàn)室研發(fā)和批量化生產(chǎn)，在向客戶推廣時(shí)還將面臨較高的準(zhǔn)入壁壘，需要較長時(shí)間的審核認(rèn)證周期。3、海外業(yè)務(wù)拓展在專利布局、市場開發(fā)方面存在較大挑戰(zhàn)全球范圍內(nèi)，美國、日本、韓國、中國臺(tái)灣等國家和地區(qū)是集成電路產(chǎn)業(yè)的主要聚集地，也是重要的電子特種氣體終端市場。一方面，境外電子特種氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展較為成熟，國際巨頭專利布局較為全面，相關(guān)國家和地區(qū)關(guān)于知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)的法律體系較為完善，國內(nèi)氣體企業(yè)拓展海外業(yè)務(wù)需要完善海外專利布局以滿足相關(guān)法律法規(guī)對知識(shí)產(chǎn)權(quán)的要求。另一方面，電子氣體行業(yè)集中度較高，林德、液化空氣、大陽日酸和空氣化工4大國際巨頭市場份額超過70%，市場格局相對固化，且部分國家和地區(qū)存在保護(hù)本土產(chǎn)業(yè)的傾向，成為國內(nèi)氣體企業(yè)拓展海外業(yè)務(wù)的挑戰(zhàn)。4、人才壁壘我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)起步較晚，雖然近年來發(fā)展速度和國產(chǎn)化進(jìn)程加快，但相關(guān)產(chǎn)業(yè)的人才培養(yǎng)尚需時(shí)間。目前，電子特種氣體行業(yè)專業(yè)研發(fā)人才、具備半導(dǎo)體工藝服務(wù)和應(yīng)急處理能力的人才、具備專業(yè)知識(shí)和國際化視野的市場營銷人才、具備專業(yè)管理理念和技能的人才等都相對缺乏。國內(nèi)企業(yè)、高校、研究院所的基礎(chǔ)研究實(shí)力和產(chǎn)業(yè)化能力與國際龍頭企業(yè)相比尚有較大差距。隨著國內(nèi)集成電路及電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，以及國內(nèi)氣體企業(yè)進(jìn)一步走向全球市場，專業(yè)化人才不足仍是制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展的因素之一。5、資質(zhì)壁壘工業(yè)氣體屬于危險(xiǎn)化學(xué)品，在其生產(chǎn)、儲(chǔ)存、運(yùn)輸、銷售等環(huán)節(jié)均需通過嚴(yán)格的資質(zhì)認(rèn)證，需要取得多項(xiàng)資質(zhì)。資質(zhì)審核過程嚴(yán)格，不僅需對企業(yè)的生產(chǎn)環(huán)境、工藝、設(shè)備等進(jìn)行多次現(xiàn)場評估，還要求生產(chǎn)人員、管理人員均需通過相應(yīng)測試并取得個(gè)人資質(zhì)，資質(zhì)獲取作為工業(yè)氣體行業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營的前置程序。除此以外，部分特定用途的特種氣體還需要另外經(jīng)過專項(xiàng)嚴(yán)格審核才可取得相應(yīng)用途的產(chǎn)品經(jīng)營資質(zhì)，例如食品級N2O的生產(chǎn)需取得《食品生產(chǎn)許可證》，標(biāo)準(zhǔn)氣業(yè)務(wù)需取得《制造計(jì)量器具許可證》等。6、資金壁壘電子特種氣體行業(yè)生產(chǎn)設(shè)施要求較大規(guī)模的固定資產(chǎn)投入，同時(shí)為了保證產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性，需要采用大量精密監(jiān)測和控制設(shè)備。行業(yè)內(nèi)企業(yè)在擴(kuò)大業(yè)務(wù)規(guī)模的過程中，往往通過兼并收購的方式橫向布局，需要較強(qiáng)的資本實(shí)力。氣體供應(yīng)商需要有專業(yè)的運(yùn)輸設(shè)備和特種運(yùn)輸車輛，還需要對運(yùn)輸?shù)娜^程進(jìn)行跟蹤監(jiān)測和嚴(yán)格控制，由此帶來的運(yùn)輸及監(jiān)控設(shè)備投入也比較大。五、產(chǎn)業(yè)鏈1、行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈分析電子特氣行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上游主要為空氣、廢氣、氣體分離機(jī)、壓力容器等，在原材料選擇上，特種氣體的原料主要為外購的工業(yè)氣體和化學(xué)原材料，成本相對較高。設(shè)備主要分為氣體生產(chǎn)設(shè)備、氣體儲(chǔ)存設(shè)備和氣體運(yùn)輸設(shè)備。氣體生產(chǎn)設(shè)備主要有空分設(shè)備和氣體提純設(shè)備，氣體儲(chǔ)存設(shè)備主要有鋼瓶和儲(chǔ)槽，氣體運(yùn)輸設(shè)備主要有用液化氣槽車和管道。生產(chǎn)、存儲(chǔ)、運(yùn)輸設(shè)備決定了氣體公司的品質(zhì)與服務(wù)，很多電子特氣企業(yè)與上游形成了長期、定制的合作關(guān)系，也是電子特氣企業(yè)的核心壁壘之一。產(chǎn)業(yè)鏈的中游為電子特氣制造、運(yùn)輸和儲(chǔ)存。電子特種氣體行業(yè)下游應(yīng)用在集成電路、顯示面板、光伏與LED等電子產(chǎn)業(yè)的細(xì)分種類，占據(jù)電子特氣的較大比例。2、行業(yè)領(lǐng)先企業(yè)分析（1）中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司是國內(nèi)領(lǐng)先、世界知名的電子特氣和三氟甲磺酸系列產(chǎn)品供應(yīng)商，致力于電子特氣的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。公司的主營業(yè)務(wù)和產(chǎn)品起源于七一八所特氣工程部，是國內(nèi)較早專門從事電子特種氣體研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化的企業(yè)。經(jīng)過多年持續(xù)創(chuàng)新和技術(shù)攻關(guān)，公司成功研發(fā)了50余種具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品，主要包括高純?nèi)?、高純六氟化鎢、高純氯化氫、高純氟化氫、高純四氟化硅、高純氘氣、高純六氟丁二烯、高純八氟環(huán)丁烷、高純電子混合氣等電子特種氣體，以及三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐、雙（三氟甲磺酰）亞胺鋰等含氟新材料，下游覆蓋集成電路、顯示面板、鋰電新能源、醫(yī)藥、光纖等行業(yè)。據(jù)統(tǒng)計(jì)，截至2023年中船特氣營業(yè)收入為16.16億元，同比下降17.39%，其中電子特氣業(yè)務(wù)收入為14.86億元，同比下降13.62%。（2）江蘇雅克科技股份有限公司江蘇雅克科技股份有限公司是一家主要致力于電子半導(dǎo)體材料，深冷復(fù)合材料以及塑料助劑材料研發(fā)和生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè)，2018年通過收購成都科美特特種氣體有限公司切入特種氣體領(lǐng)域。2023年上半年，公司下屬子公司科美特繼續(xù)為臺(tái)積電、三星電子、Intel、中芯國際、海力士、京東方等業(yè)內(nèi)頭部企業(yè)穩(wěn)定批量供應(yīng)產(chǎn)品。隨著國內(nèi)一系列超大型特高壓輸變電項(xiàng)目的推進(jìn)，科美特工業(yè)用六氟化硫產(chǎn)品銷量得到進(jìn)一步提升。據(jù)統(tǒng)計(jì)，截至2023年雅克科技營業(yè)收入為47.38億元，同比增長11.24%，其中電子特氣業(yè)務(wù)收入為4.39億元，同比下降11.55%。六、行業(yè)現(xiàn)狀電子特氣細(xì)分種類多樣，用途廣泛，不同種類和純度的電子特氣適用于電子工業(yè)生產(chǎn)不同環(huán)節(jié)。按照功能劃分，電子特氣可以劃分為稀釋氣體、CVD氣體、蝕刻氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體等。按照下游需求劃分，電子特氣可以劃分為平板顯示用氣體、半導(dǎo)體用氣體、光伏用氣體和LED用氣體，終端產(chǎn)品涉及家電、電腦、芯片、太陽能等不同領(lǐng)域。據(jù)統(tǒng)計(jì)，截至2022年我國電子特氣行業(yè)市場規(guī)模為214.4億元，未來隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈不斷向國內(nèi)轉(zhuǎn)移，將顯著拉動(dòng)我國電子特氣需求，也將進(jìn)一步加速電子特氣國產(chǎn)化進(jìn)程。七、發(fā)展因素1、有利因素（1）國家政策大力鼓勵(lì)電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展電子特氣行業(yè)屬于國家重點(diǎn)支持的行業(yè)，近年來我國先后推出了《原材料工業(yè)“三品”實(shí)施方案》《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2024年本）》《工業(yè)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)分類目錄（2023）》《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄（2024年版）》等，《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2024年本）》將“信息產(chǎn)業(yè)-電子元器件生產(chǎn)專用材料：濕化學(xué)品、電子特氣、光刻膠等工藝與輔助材料等”列為鼓勵(lì)類?！豆I(yè)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)分類目錄（2023）》將“專用化學(xué)品及材料制造-電子專用材料制造-電子特種氣體（應(yīng)用于半導(dǎo)體、新型顯示、光伏太陽能電池、LED等電子器件生產(chǎn)的氣體，包括三氟化氮、六氟化鎢、笑氣、氨氣、一氧化碳等）”列為戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。（2）集成電路、顯示面板等產(chǎn)業(yè)擴(kuò)張帶動(dòng)電子特種氣體需求強(qiáng)勁隨著我國經(jīng)濟(jì)由高速增長階段轉(zhuǎn)向高質(zhì)量發(fā)展階段，高端制造業(yè)成為國家重點(diǎn)鼓勵(lì)發(fā)展的方向，整體市場規(guī)?？焖僭鲩L。5G、人工智能、云計(jì)算等新一代信息技術(shù)的發(fā)展大幅增加了芯片、顯示面板等硬件的需求。近年來，國內(nèi)晶圓廠處于密集擴(kuò)產(chǎn)的周期，進(jìn)而帶動(dòng)了相關(guān)的上游原材料需求強(qiáng)勁增長。（3）國產(chǎn)替代與國際化發(fā)展趨勢，為國內(nèi)電子特種氣體企業(yè)帶來發(fā)展契機(jī)自2018年以來，國際政治經(jīng)濟(jì)環(huán)境復(fù)雜多變，貿(mào)易摩擦不斷升級，集成電路產(chǎn)業(yè)作為戰(zhàn)略發(fā)展的支柱產(chǎn)業(yè)，從設(shè)備、原材料等，深受影響，嚴(yán)重制約我國集成電路制造業(yè)的發(fā)展，自主可控的國產(chǎn)化替代發(fā)展之路勢在必行，上下游客戶廣泛共識(shí)。經(jīng)過多年追趕，國內(nèi)電子特種氣體企業(yè)在部分產(chǎn)品的生產(chǎn)上實(shí)現(xiàn)突破，成功進(jìn)入集成電路制造產(chǎn)業(yè)鏈，具備了參與全球競爭的實(shí)力。我國集成電路制造用材料國產(chǎn)化程度的不高進(jìn)一步推動(dòng)提升電子特氣國產(chǎn)化替代水平，促進(jìn)電子特氣企業(yè)國際化發(fā)展，從制約國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展的產(chǎn)業(yè)短板，向國際市場電子特氣長板發(fā)展，未來成長空間可期。（4）產(chǎn)業(yè)配套逐步完善，產(chǎn)業(yè)價(jià)值愈發(fā)顯現(xiàn)在國家政策的支持下，國內(nèi)電子特氣產(chǎn)業(yè)初具規(guī)模，產(chǎn)業(yè)發(fā)展所需配套技術(shù)、原料、工程等越來越成熟，人才儲(chǔ)備和知識(shí)產(chǎn)權(quán)布局收效明顯，并得到客戶廣泛認(rèn)可，這在根本上提高了客戶實(shí)現(xiàn)材料本地化發(fā)展的源動(dòng)力和緊迫性，結(jié)合本地化物流、倉儲(chǔ)、服務(wù)等優(yōu)勢，推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)可持續(xù)健康發(fā)展。國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的全方面發(fā)展，產(chǎn)業(yè)配置逐步完善，也有利于公司提升規(guī)模、人才和配套資源的集聚效應(yīng)，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)合力發(fā)展。另一方面，集成電路制造技術(shù)節(jié)點(diǎn)推進(jìn)，所帶來的材料指標(biāo)要求提高，電子特種氣體材料多元化發(fā)展要求等，結(jié)合本地化發(fā)展需要，未來的市場空間和增長潛力巨大。2、不利因素（1）部分氣體品種仍有技術(shù)壁壘集成電路工藝流程環(huán)節(jié)較多，不同環(huán)節(jié)需要搭配使用特定的電子特種氣體，各類電子特種氣體總體數(shù)量超過100種，其中大部分品種被國外壟斷，即使部分氣體用量較少，但也是集成電路生產(chǎn)中不可缺少的關(guān)鍵性材料。國內(nèi)電子特種氣體企業(yè)整體發(fā)展時(shí)間較短，在產(chǎn)品種類、工藝水平、綜合服務(wù)能力等方面依然與國際巨頭有差距，而且這種差距很難在短期打破，需要一定時(shí)間的迭代試錯(cuò)。由于半導(dǎo)體產(chǎn)線上原材料微小的誤差可能造成整條產(chǎn)線的損失，客戶的試錯(cuò)成本很高，加大了國內(nèi)企業(yè)進(jìn)入新產(chǎn)品、新市場的難度。（2）新產(chǎn)品研發(fā)的壓力摩爾定律展現(xiàn)了半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)快速迭代更新的特點(diǎn)，各大芯片制造廠商持續(xù)投入大量研發(fā)費(fèi)用，開發(fā)新的工藝，以保證產(chǎn)品性能的領(lǐng)先性。制程升級對電子特種氣體的純度和性能都提出了更高的要求，新開發(fā)的生產(chǎn)工藝也會(huì)產(chǎn)生新的原材料需求。因此，電子特種氣體企業(yè)始終面臨著技術(shù)更新和產(chǎn)品替代的風(fēng)險(xiǎn)，需保持足夠的研發(fā)強(qiáng)度，及時(shí)跟蹤下游行業(yè)的技術(shù)動(dòng)態(tài)，將自身產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展路線與半導(dǎo)體工藝路線緊密結(jié)合，并且需不斷豐富產(chǎn)品種類，以抵御技術(shù)變更和產(chǎn)品替代風(fēng)險(xiǎn)。（3）專業(yè)化人才不足制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)起步較晚，雖然近年來發(fā)展速度和國產(chǎn)化進(jìn)程加快，但相關(guān)產(chǎn)業(yè)的人才培養(yǎng)尚需時(shí)間。目前，電子特種氣體行業(yè)專業(yè)研發(fā)人才、具備半導(dǎo)體工藝服務(wù)和應(yīng)急處理能力的人才、具備專業(yè)知識(shí)和國際化視野的市場營銷人才、具備專業(yè)管理理念和技能的人才等都相對缺乏。國內(nèi)企業(yè)、高校、研究院所的基礎(chǔ)研究實(shí)力和產(chǎn)業(yè)化能力與國際龍頭企業(yè)相比尚有較大差距。隨著國內(nèi)集成電路及電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，以及國內(nèi)氣體企業(yè)進(jìn)一步走向全球市場，專業(yè)化人才不足仍是制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展的因素之一。八、競爭格局1、四巨頭主導(dǎo)國際氣體市場，競爭優(yōu)勢較為明顯目前，德國林德集團(tuán)、法國液化空氣、美國空氣化工，和日本大陽日酸主導(dǎo)著全球電子特氣業(yè)務(wù)，形成了寡頭壟斷的格局。林德集團(tuán)成立于1879年，2018年與普萊克斯合并后業(yè)務(wù)規(guī)模躍居首位，是全球領(lǐng)先的德國工業(yè)氣體公司，服務(wù)于化工、能源、食品飲料、電子、醫(yī)療保健、制造、金屬和采礦等終端市場，TGM服務(wù)體系位于領(lǐng)先地位。液化空氣公司1902年成立于法國巴黎，在75個(gè)國家擁有約66400名員工，并為380多萬客戶提供服務(wù)，為金屬、化工、煉油和能源等行業(yè)客戶提供氣體和能源解決方案。美國空氣化工成立于1940年，專注于服務(wù)能源、環(huán)境和新興市場，在液化天然氣技術(shù)和設(shè)備供應(yīng)上處于領(lǐng)先地位，在全球電子行業(yè)高純度工藝氣體具有顯著的領(lǐng)先優(yōu)勢。日本大陽日酸創(chuàng)立于1910年，是日本最大工業(yè)氣體制造商，為領(lǐng)先的半導(dǎo)體氣體供應(yīng)商，廣泛應(yīng)用于IC(集成電路)和存儲(chǔ)器(半導(dǎo)體存儲(chǔ)設(shè)備)、液晶、太陽能電池、LE