SJ-T 11763-2020 半導(dǎo)體制造設(shè)備人機(jī)界面規(guī)范

I本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(TC203)提出并歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司、東莞市中鎵半導(dǎo)體科技有限公司、秦皇島視聽機(jī)械研究所、上海微電子裝備有限公司、北京京儀自動(dòng)化裝備技術(shù)有限公司、中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司。1半導(dǎo)體制造設(shè)備人機(jī)界面規(guī)范本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體制造設(shè)備人機(jī)界面的術(shù)語和要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備。其他領(lǐng)域如平板顯示器制造設(shè)備也可參考本標(biāo)準(zhǔn)，但不在本標(biāo)準(zhǔn)適用范圍之內(nèi)。下列術(shù)語和定義適用于本文件。顯示對(duì)象displayobjects顯示在屏幕上的用戶界面元素稱為顯示對(duì)象，例如功能選擇按鈕、鍵盤輸入按鈕隊(duì)及表示設(shè)備的圖圖標(biāo)icon圖標(biāo)是一種位圖或其他格式圖像，可以使用在視窗系統(tǒng)等圖形用戶界面環(huán)境下表示不同類型的對(duì)象，提高可操作性，幫助用戶更好的理解按鈕功能。導(dǎo)航模型navigationmodel在與系統(tǒng)交互過程中，引導(dǎo)用戶完成功能操作和信息獲取。場(chǎng)景condition顯示對(duì)象的屬性或值(文本或數(shù)字)的一種可視化表示方式。如果顯示對(duì)象的當(dāng)前狀態(tài)或值超出了規(guī)定的正常操作狀態(tài)或參數(shù)的邊界，無論這種異常是輕微的(提醒)或者嚴(yán)重的(警告)都需要使用可視化表示，如無異常發(fā)生則不需要使用可視化表示。根據(jù)呈現(xiàn)給用戶的信息和控制性能，把一個(gè)或多個(gè)視圖劃分為一組稱之為功能區(qū)。突出顯示區(qū)salience突出顯示區(qū)是在顯示對(duì)象周圍使用純色(或紋理)圖案以及不同顏色填充的邊界區(qū)域，可以表示顯示對(duì)象的警告、提醒等場(chǎng)景，也可以用來吸引用戶關(guān)注顯示對(duì)象。23.1說明3.2.2.3.1一種按鈕行為是瞬間的，用戶對(duì)按鈕的選擇導(dǎo)致按鈕呈現(xiàn)短暫的按下狀態(tài)(被選擇),緊3和未完成的任務(wù)，以中綠色突出顯示要求或請(qǐng)求用戶注意(例如“準(zhǔn)備加載”或者“準(zhǔn)備卸載”)。3.2.4.1對(duì)話框是輔助窗口(見圖1),用以顯赤補(bǔ)充信息，來自用戶的請(qǐng)求信息或報(bào)告錯(cuò)誤。的詳細(xì)信息。3.2.5對(duì)話框【應(yīng)執(zhí)行的要求】3.2.5.1對(duì)話框(總是暫時(shí)出現(xiàn))因響應(yīng)用戶觸發(fā)的某些行動(dòng)而出現(xiàn)。當(dāng)對(duì)話框顯示時(shí)，將覆蓋信息3.2.5.2對(duì)話框包含一個(gè)在上端的標(biāo)題欄，一個(gè)信息顯示區(qū)(自由使用),一個(gè)或多個(gè)在底部水平排6設(shè)置系級(jí)設(shè)置系級(jí)論是采用可以選擇切換視窗的標(biāo)簽選項(xiàng)卡控件(見圖6),還是采用各自獨(dú)立的視窗使用視窗子導(dǎo)航按信息模位x系結(jié)報(bào)您位x系結(jié)報(bào)您73.3.4顯示布局【描述】3.3.5基本布局【應(yīng)執(zhí)行的要求】增強(qiáng)型布局(見3.3.6)。應(yīng)允許左手用戶調(diào)整命令面板位置至左手側(cè)(見圖9),以避免左手在位于右手側(cè)的命令面板上進(jìn)板83.3.7標(biāo)題面板【描述】3.3.7.1標(biāo)題面板位于信息面板和命令面板界面的最上方的水平區(qū)域，標(biāo)題面板應(yīng)保持始終顯示并且包含主機(jī)通訊狀態(tài)(如果支持主機(jī)通訊)、日期/時(shí)間、登陸/注銷按鈕(如果支持權(quán)限控制)、消息顯示區(qū)域以及當(dāng)前視圖的名稱。標(biāo)題面板也可以包含公司標(biāo)識(shí)或徽標(biāo)、關(guān)鍵參數(shù)、可視的警鈴靜音按鈕、定向圖形、信號(hào)塔以及其他確保有效操作的顯示項(xiàng)。3.3.8標(biāo)題面板基本信息【應(yīng)執(zhí)行的要求】圖10是帶有強(qiáng)制性顯示對(duì)象的標(biāo)題面板。標(biāo)題面板頂部的左側(cè)為日期/時(shí)間，其右側(cè)為當(dāng)前視圖的名稱，信息區(qū)域位于頂部的下方，其相對(duì)位置是固定的。圖10標(biāo)題面板示意圖3.3.9帶有條件信息的標(biāo)題面板【有條件的要求】圖11是帶有強(qiáng)制性顯示對(duì)象，外加主機(jī)通信狀態(tài)和登陸/注銷按鈕的標(biāo)題面板。主機(jī)通信狀態(tài)應(yīng)位于最左側(cè)，登錄/注銷按鈕應(yīng)位于右上角，其相對(duì)位置是固定的。圖11標(biāo)題面板示意圖3.3.9.1標(biāo)題面板主機(jī)通信狀態(tài)【有條件的要求】如果設(shè)備支持主機(jī)通信，那么狀態(tài)信息應(yīng)顯示在標(biāo)題面板中。顯示的信息包括通信狀況(如通信是否有效)、通訊狀態(tài)(如連接與否等)以及設(shè)備是處于本地模式還是遠(yuǎn)程模式。顯示的詳細(xì)信息依賴于主機(jī)通信協(xié)議，協(xié)議可能強(qiáng)制顯示附加的詳細(xì)具體信息。3.3.9.2標(biāo)題面板登錄/注銷按鈕【有條件的要求】用戶登陸前，登陸/注銷按鈕的標(biāo)簽應(yīng)是“登錄”;在用戶登錄后，此按鈕應(yīng)一直顯示登錄的用戶名直至該用戶注銷。用戶點(diǎn)擊“登陸/注銷”按鈕應(yīng)彈出一個(gè)對(duì)話框供用戶輸入用戶名和密碼；已經(jīng)登錄后，點(diǎn)擊此按鈕將會(huì)注銷。需要時(shí)，點(diǎn)擊彈出登錄對(duì)話框后，界面上包括導(dǎo)航面板在內(nèi)的所有其他功能將被禁用。3.3.10帶有附加信息的標(biāo)題面板【建議】圖12是一個(gè)包含推薦顯示對(duì)象及其相對(duì)位置的標(biāo)題面板布局示例。9日期/時(shí)間當(dāng)前視圖名稱登錄/注銷3.4.3有條件的導(dǎo)航功能【有條件的要求】圖13導(dǎo)航面板示意圖3.4.5導(dǎo)航面板報(bào)警和幫助按鈕【有條件的要求】報(bào)警按鈕和幫助按鈕的位置不遵循上述按鈕排列規(guī)則(3.4.4.2),應(yīng)分別置于近鄰右邊和最右邊的位置。該位置可確保即使在界面更改或者增加新按鈕時(shí)，報(bào)警按鈕和幫助按鈕的位置也不會(huì)改變。報(bào)警按鈕與兩側(cè)按鈕的間隔應(yīng)該比一般間隔稍大，以便于準(zhǔn)確迅速地選擇。3.4.6導(dǎo)航按鈕標(biāo)識(shí)符【有條件的要求】每一個(gè)功能區(qū)域都有一個(gè)相應(yīng)的導(dǎo)航按鈕，該導(dǎo)航按鈕可以通過文本標(biāo)識(shí)(強(qiáng)制)和圖標(biāo)(推薦)來識(shí)別其功能性和信息。表1給出了導(dǎo)航按鈕的文本標(biāo)識(shí)符(根據(jù)條件選擇外每個(gè)功能區(qū)域的描述以及推薦的供選擇標(biāo)識(shí)符。對(duì)于需要特殊實(shí)現(xiàn)的按鈕，應(yīng)當(dāng)添加在配置和報(bào)警按鈕之間。導(dǎo)航按鈕標(biāo)識(shí)置面、運(yùn)行、服務(wù)、狀態(tài)系統(tǒng)狀態(tài)、維護(hù)數(shù)據(jù)記錄，事件記錄、統(tǒng)計(jì)分析功能(如支持此功能)無幫助無3.4.7導(dǎo)航面板突出顯示區(qū)【有條件的要求】3.4.7.1在同一時(shí)間應(yīng)只有六個(gè)導(dǎo)航按鈕顯示為按下狀態(tài)。導(dǎo)航按鈕可根據(jù)不同用途以不同的顏色突出顯示：a)表示用戶正在瀏覽一個(gè)功能區(qū)域(藍(lán)色突出顯示)b)表示功能區(qū)域有未完成的、未在當(dāng)前顯示的任務(wù)(典型的如打開的對(duì)話框)(藍(lán)色突出顯示)。c)通知用戶存在新的或未確認(rèn)的“警告”和“警示”(分別用深黃色突出顯示或是深紅色突出顯示)。警告和警示突出顯示僅在警示導(dǎo)航按鈕上顯示。例如，如果用戶在任務(wù)功能區(qū)域已經(jīng)打開一個(gè)對(duì)話框，然后選擇配方導(dǎo)航按鈕，那么配方導(dǎo)航按鈕就會(huì)呈現(xiàn)為按下(向下)狀態(tài)并以藍(lán)色突出顯示，任務(wù)導(dǎo)航按鈕則顯示為彈起(向上)狀態(tài)并以藍(lán)色突出顯示(見圖14),以提醒用戶在任務(wù)功能區(qū)域有一個(gè)打開的對(duì)話框?？梢杂卸鄠€(gè)導(dǎo)航按鈕顯示為未完成任務(wù)的狀態(tài)。3.4.7.2按鈕也可顯示綠色以通知用戶設(shè)備“準(zhǔn)備加載”、“準(zhǔn)備卸載”、“準(zhǔn)備運(yùn)行”或者其他類似的狀態(tài)以提醒用戶至任務(wù)功能區(qū)域。當(dāng)用戶導(dǎo)航至界面其他功能區(qū)域時(shí)這是非常有效的。如果存在尚未完成的任務(wù)，即使用戶已經(jīng)注意到也會(huì)持續(xù)以藍(lán)色突出顯示。任務(wù)系統(tǒng)配方設(shè)置其他其他其他任務(wù)系統(tǒng)配方任務(wù)系統(tǒng)配方任務(wù)系統(tǒng)配方設(shè)置其他其他其他報(bào)警幫助3.4.8.1通則控制面板視圖1規(guī)圖2工視圖3T視圖4視圖51現(xiàn)圖6控制面板視圖1規(guī)圖2工視圖3T視圖4視圖51現(xiàn)圖6面板控制3.4.8.3子導(dǎo)航布局設(shè)計(jì)B——采用按鈕的導(dǎo)航面板3.4.8.3.1圖18是帶有子導(dǎo)航的布局的兩種方向的顯示，子導(dǎo)航是在子導(dǎo)航面板中使用視圖選擇按鈕表示的。圖18給出了子導(dǎo)航面板可能的相對(duì)位置，但并沒有對(duì)其進(jìn)行限制，其他布局安排也是可以的。如果使用7大個(gè)子導(dǎo)航面板，那么它的尺寸和位置在每一功能區(qū)域內(nèi)應(yīng)與整個(gè)界面保持一致，即使在某一功能區(qū)內(nèi)只有一個(gè)視窗，也即只有一個(gè)選項(xiàng)卡。圖18采用按鈕的子導(dǎo)航布局3.4.8.3.2在布局中把子導(dǎo)航從命令面板的全局命令中分離出來是很重要的。這限制了命令面板需求的按鈕數(shù)，并且減少或者消除了對(duì)多列按鈕的需要，多列按鈕會(huì)改變信息面板的長寬比。如果一個(gè)信息面板和其他面板的長寬比不同，當(dāng)導(dǎo)航和轉(zhuǎn)換信息面板時(shí)，面板內(nèi)容可能出現(xiàn)“跳”至一側(cè)的情況。把子導(dǎo)航從命令分離實(shí)現(xiàn)了兩個(gè)重要目的：a)用戶不必在從命令中分辨子導(dǎo)航而迷惑。b)在所有的功能區(qū)域內(nèi)的視窗在信息面板上長寬比保持一致。3.5信息面板【應(yīng)執(zhí)行的要求】3.5.1信息面板顯示每一功能區(qū)域的一個(gè)或多個(gè)包含信息和圖形的視窗。圖形和其他的顯示對(duì)象放置在此面板中以實(shí)現(xiàn)所需的控制和監(jiān)控功能。如果必要，在同一功能區(qū)域內(nèi)，信息面板上可以顯示多重視窗，但在同一時(shí)間只能顯示一個(gè)視窗。3.5.2在保持信息面板功能區(qū)域?yàn)楫?dāng)前功能區(qū)域的情況下，用戶應(yīng)能夠在屬于該功能區(qū)域的多個(gè)視窗要求項(xiàng)目要求章條號(hào)是否執(zhí)行按鈕大小基本布局標(biāo)題面板基本信息導(dǎo)航面板導(dǎo)航面板布