膜厚儀保養(yǎng)維護(hù)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

文件編號(hào)頁(yè)次1/6文件名稱膜厚儀保養(yǎng)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)制定部門作業(yè)指導(dǎo)書(shū)制訂日期1.0、目的:為規(guī)范膜厚儀保養(yǎng)作業(yè)方法，特制定本作業(yè)指導(dǎo)書(shū)。2.0、范圍：適用于膜厚儀開(kāi)關(guān)機(jī)作業(yè)及考核、規(guī)范等。3.0、定義：無(wú)4.0、作業(yè)內(nèi)容：無(wú)5.0、注意事項(xiàng)：5.1測(cè)試過(guò)程中員工必須戴好頭套、口罩、手套。5.2夾片時(shí)應(yīng)夾取大平邊中間部位1-3mm處。5.3機(jī)臺(tái)屬光纖儀器，光纖易折斷，切勿觸摸光纖及改變機(jī)臺(tái)位置，盡量遠(yuǎn)離機(jī)臺(tái)，避免不必要的碰撞。6.0、日常保養(yǎng)：6.1、材料及工具使用明細(xì)：6.1.1、材料使用明細(xì)：項(xiàng)目名稱規(guī)格描述標(biāo)準(zhǔn)用量01Si基準(zhǔn)片1pcs02SiO2膜厚標(biāo)準(zhǔn)片1pcs03Al2O3基準(zhǔn)片1pcs6.1.2、工具使用明細(xì):項(xiàng)目名稱數(shù)量項(xiàng)目名稱數(shù)量01塑膠鑷子1個(gè)6.2、保養(yǎng)項(xiàng)目：機(jī)臺(tái)編號(hào)保養(yǎng)日期序號(hào)周期計(jì)劃保養(yǎng)項(xiàng)目標(biāo)準(zhǔn)或處理方法完成打√備注1周膜厚儀校正校正膜厚儀核準(zhǔn)審查擬案版本修訂內(nèi)容修訂日期符號(hào)版本號(hào)A修改號(hào)0文件編號(hào)頁(yè)次2/66.3、保養(yǎng)流程：6.3.1、選定所測(cè)試膜厚程式。6.3.2、進(jìn)入“Recipe”界面選取程式（如圖4，需測(cè)試PSS光刻膠厚選定程式“PRonAl2O3”）。點(diǎn)擊箭頭選取所需程式點(diǎn)擊箭頭選取所需程式圖46.3.3、選定所測(cè)樣品所對(duì)應(yīng)程式，點(diǎn)擊“OK”即可。（圖5）選定程式后，按“選定程式后，按“OK”確定即可圖56.3.4、設(shè)定所測(cè)樣品基準(zhǔn)。6.3.5、進(jìn)入“BaselineProcedure”界面。（如圖6）點(diǎn)擊進(jìn)入“點(diǎn)擊進(jìn)入“BaselineProcedure”界面圖66.3.6、放置所測(cè)試樣品所對(duì)應(yīng)基底至載臺(tái)光斑下SIO2或Al2O3。6.3.7、點(diǎn)擊“AcquireSample”獲取基底樣品。（如圖7）文件編號(hào)文件編號(hào)頁(yè)次3/6點(diǎn)擊獲取基底樣品點(diǎn)擊獲取基底樣品圖76.3.8、選定樣品基底種類，SIO2或Al2O3，點(diǎn)擊“AcquireReference”，開(kāi)始收取基底樣品信息。（如圖8）選定基底點(diǎn)擊“選定基底點(diǎn)擊“AcquireReference”圖86.3.9、基底信息收集完畢，需取出所放置于載臺(tái)上的基底，點(diǎn)擊“AcquireBackground”，進(jìn)行基底信息分析。（如圖9）取出基底片后點(diǎn)擊“取出基底片后點(diǎn)擊“AcquireBackground”圖96.3.10、基底信息分析完成后，點(diǎn)擊“Finish”，完成設(shè)定樣品基準(zhǔn)步驟。（如圖10）點(diǎn)擊“點(diǎn)擊“Finish”完成圖10文件編號(hào)文件編號(hào)頁(yè)次4/66.3.11、將所測(cè)試樣品放置于載臺(tái)之上，注意正面朝上，小心輕放并注意劃傷。（如圖11）圖11點(diǎn)擊“Measure”測(cè)試膜厚6.3.12、點(diǎn)擊“Measure”點(diǎn)擊“Measure”測(cè)試膜厚圖126.3.13讀取樣品膜厚測(cè)試值，取出樣品。（如圖13）所測(cè)得膜厚值所測(cè)得膜厚值圖136.3.14、機(jī)臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)件驗(yàn)證，此項(xiàng)由工藝工程師完成。6.3.15、標(biāo)準(zhǔn)件測(cè)試需時(shí)間Si基底作為基準(zhǔn)，測(cè)試程式為“SiO2onSi”，將SiO2膜厚標(biāo)準(zhǔn)件進(jìn)行測(cè)試即可。6.3.16、SiO2膜厚標(biāo)準(zhǔn)件SiO2厚度為MA，所測(cè)試厚度在M±20A表面儀器正常，可正常使用；若不在范圍之內(nèi)需停止使用，并通知上級(jí)領(lǐng)導(dǎo)處理。文件編號(hào)文件編號(hào)頁(yè)次5/67.0、開(kāi)、關(guān)機(jī)步驟：7.1、開(kāi)機(jī)步驟：7.1.1、開(kāi)啟機(jī)臺(tái)電源，內(nèi)置燈泡點(diǎn)亮（如圖1）。電源開(kāi)啟后，光源點(diǎn)亮電源開(kāi)關(guān)電源開(kāi)啟后，光源點(diǎn)亮電源開(kāi)關(guān)圖17.1.2、開(kāi)啟機(jī)臺(tái)電腦桌面軟件“FILMeasure”（如圖2）。圖27.1.3、確認(rèn)光纖正常，將Al2O3基準(zhǔn)片放置于載臺(tái)光纖光斑之下，正面朝上，觀察光纖六個(gè)點(diǎn)光斑是否正常（光斑亮度是否一致，如圖3），也可使用白紙置于載臺(tái)進(jìn)行觀察。如光斑存在不一致現(xiàn)象，需立即通知工藝工程師，并停止使用。光纖光斑光纖光斑圖37.2、關(guān)機(jī)步驟：7.2.1、先關(guān)閉測(cè)試儀軟件FILMeasure。7.2.2、然后關(guān)閉機(jī)臺(tái)電