表面化學(xué)分析 二次離子質(zhì)譜 單離子計數(shù)飛行時間質(zhì)譜分析器的強度標線性 編制說明_第1頁
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文檔簡介

為了利用二次離子質(zhì)譜（SIMS）對材料進行定量分析，需要測的。雖然TOF-SIMS儀器中存在諸多導(dǎo)致非線性的因素，但影響非線為了保證離子質(zhì)量測量數(shù)據(jù)的準確性，制定《表面化學(xué)分析二組織（ISO）于2022年頒布了ISO17862:2022(E)《Surfacechemicalanalysis—Secondaryionmassspect微束分析標準化技術(shù)委員會表面化學(xué)分析分技術(shù)委員會于2023年6月行時間質(zhì)量分析器強度標的線性》國家標準，該標準等同采用ISOtime-of-flightmassanalysers》國際標準，并列入國家標準化管中山大學(xué)分析測試中心一直以來從事表面分析相關(guān)技術(shù)的科研化學(xué)分析—二次離子質(zhì)譜—飛行時間二次離子質(zhì)譜儀質(zhì)量標校《表面化學(xué)分析-掃描探針顯微術(shù)-用于二維摻雜物成像等用途的電掃描探針顯微鏡（ESPM,如SSRM和SCM2023年6月第三屆第三次全國微束分析標準化技術(shù)委員會表面化請，7月制訂單位中山大學(xué)成立了標準制訂小組，開始著手本標準的制訂工作，于2023年8月完成了本標準的制訂草案，2023年12月獲批2.標準編制原則和標準主要內(nèi)容確定依據(jù)本標準等同采用國際標準ISO17862:2analysis—Secondaryionmassspectrometry—Linearityofint4.采用國際標準和國外先進標準情況

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