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CalibrationSpecificationofGlowDischargeOpticalEmi2024-05-16發(fā)布北京市市場監(jiān)督管理局發(fā)布輝光放電光譜儀校準規(guī)范CalibrationSpecificationDischargeOpticalEmissionSpec主要起草單位：鋼研納克檢測技術股份有限公司北京市計量檢測科學研究院首鋼集團有限公司技術研究院參加起草單位：國標（北京）檢驗認證有限公司本規(guī)范委托北京市計量檢測科學研究院負責解釋（北京市計量檢測科學研究院）（首鋼集團有限公司技術研究院）參加起草人：（北京市計量檢測科學研究院）I (Ⅱ) （1） （1） （1） （1） （2） （2） （3） （4） （5） （6） （8） （9）—2021《表面化學分析輝光放電發(fā)射光譜使用介紹1輝光放電光譜儀校準規(guī)范輝光放電光譜儀即輝光放電原子發(fā)射光譜儀（GD-OES）（以下簡稱光譜儀），其原理是將表面平整的樣品作為陰極，當直流或射頻輝光生陰極濺射，被濺射的原子擴散到等離子體中，其強度的大小或通過計算強度與時間的函數(shù)，從而實（或深度剖析）。其中，實現(xiàn)元素定量分析時，通過已知元≤0.01%≤0.003%≤0.01%≤0.002%25.1.1環(huán)境溫度20～25）℃;相對濕度：20%~80%；5.1.3儀器周圍無影響正常工作的機械振動和電磁干擾，無按儀器說明書要求開機預熱，調整至正常工（1）3 （2）RSD—測量重復性； 4RSDy—厚度測量重復性，%；yi—厚度單次測量值,μm； ）；540～906s1s2s3s4s5789D.1.4環(huán)境溫度：室溫21℃,相對濕度51%。y=0.4730x+0.0069DL—儀器檢出限，%(DL)=cu(s)2+cu(b)2（D.2）12345xi xi-x yyiyi-y繪制工作曲線所用的系列標準物
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