JJF 2160-2024激光共聚焦顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范

中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范

JJF2160—2024

激光共聚焦顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSpecificationforLaserConfocalMicroscopes

2024-10-19發(fā)布2025-04-19實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

JJF2160—2024

激光共聚焦顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范??

???????????????

??

?—?

CalibrationSpecificationforJJF21602024

?????????????

??

??

LaserConfocalMicroscopes

歸口單位全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

:

主要起草單位中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

:

哈爾濱工業(yè)大學(xué)

參加起草單位南京市計(jì)量監(jiān)督檢測(cè)院

:

本規(guī)范委托全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJF2160—2024

本規(guī)范主要起草人

:

施玉書中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

劉儉哈爾濱工業(yè)大學(xué)

()

張樹中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

參加起草人

:

王珉南京市計(jì)量監(jiān)督檢測(cè)院

()

劉辰光哈爾濱工業(yè)大學(xué)

()

皮磊中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

郭鑫南京市計(jì)量監(jiān)督檢測(cè)院

()

JJF2160—2024

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

概述

3……………………(1)

計(jì)量特性

4………………(2)

水平方向長(zhǎng)度測(cè)量誤差

4.1……………(2)

垂直方向長(zhǎng)度測(cè)量誤差

4.2……………(2)

水平方向長(zhǎng)度測(cè)量重復(fù)性

4.3…………(2)

垂直方向長(zhǎng)度測(cè)量重復(fù)性

4.4…………(2)

水平方向正交誤差

4.5…………………(2)

畸變

4.6…………………(2)

最大可測(cè)傾角

4.7………………………(2)

水平方向拼接誤差

4.8…………………(2)

垂直方向拼接誤差

4.9…………………(2)

載物臺(tái)定位誤差

4.10…………………(2)

校準(zhǔn)條件

5………………(3)

環(huán)境條件

5.1……………(3)

校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器

5.2…………(3)

校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法

6…………………(4)

水平方向長(zhǎng)度測(cè)量誤差

6.1……………(4)

垂直方向長(zhǎng)度測(cè)量誤差

6.2……………(6)

水平方向長(zhǎng)度測(cè)量重復(fù)性

6.3…………(8)

垂直方向長(zhǎng)度測(cè)量重復(fù)性

6.4…………(8)

水平方向正交誤差

6.5…………………(8)

畸變

6.6…………………(9)

最大可測(cè)傾角

6.7………………………(10)

水平方向拼接誤差

6.8…………………(11)

垂直方向拼接誤差

6.9…………………(11)

載物臺(tái)定位誤差

6.10…………………(12)

校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)

7…………(12)

復(fù)校時(shí)間間隔

8…………(12)

附錄激光共聚焦顯微鏡長(zhǎng)度測(cè)量誤差的不確定度評(píng)定

A…………(13)

附錄激光共聚焦顯微鏡校準(zhǔn)證書內(nèi)頁格式

B()…………………(15)

Ⅰ

JJF2160—2024

引言

通用計(jì)量術(shù)語及定義測(cè)量不確定度評(píng)定與

JJF1001—2011《》、JJF1059.1—2012《

表示國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則測(cè)量?jī)x器特

》、JJF1071—2010《》、JJF1094—2002《

性評(píng)定共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定的基礎(chǔ)性系列規(guī)范

》。

本規(guī)范為首次發(fā)布

。

Ⅱ

JJF2160—2024

激光共聚焦顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于激光共聚焦顯微鏡的校準(zhǔn)其他基于共聚焦原理的顯微鏡校準(zhǔn)也可參

,

照本規(guī)范

。

2引用文件

本規(guī)范引用了下列文件

:

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)輪廓法測(cè)量標(biāo)

GB/T19067.1—2003(GPS)

準(zhǔn)第部分實(shí)物測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)

1:

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范光學(xué)共焦顯微鏡計(jì)量特性及測(cè)

GB/T34879—2017(GPS)

量不確定度評(píng)定導(dǎo)則

產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)區(qū)域法第

ISO25178-607:2019(GPS):607

部分非接觸共焦顯微鏡儀器的標(biāo)稱特性

:()[Geometricalproductspecifications

(GPS)—Surfacetexture:Areal—Part607:Nominalcharacteristicsofnon-contact

(confocalmicroscopy)instruments]

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用本規(guī)范