《金鍺合金》規(guī)范

1本文件規(guī)定了金鍺合金的分類和標(biāo)記、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運輸、貯存及隨行文件與訂貨單內(nèi)容。本文件適用于半導(dǎo)體集成電路用金鍺合金，供生產(chǎn)金鍺合金靶材及蒸發(fā)料使用。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T8651金屬板材超聲板波探傷方法GB/T11066.10金化學(xué)分析方法硅量的測定鉬藍(lán)分光光度法GB/T11066.12金化學(xué)分析方法第12部分：銀、銅、鐵、鉛、鉍、銻、鎂、鎳、錳、鈀、鉻、鉑、銠、鈦、鋅、砷、錫、硅、鈷、鈣、鉀、鋰、鈉、碲、釩、鋯、鎘、鉬、錸、鋁含量的測定電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法GB/T15077貴金屬及其合金材料幾何尺寸測量方法YS/T956.1金鍺合金化學(xué)分析方法第1部分:鍺量的測定電感耦合等離子體發(fā)射光譜法YS/T956.2金鍺合金化學(xué)分析方法第2部分:鍺量的測定碘酸鉀電位滴定法3術(shù)語和定義本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。4分類和標(biāo)記4.1分類4.1.1金鍺合金按化學(xué)成分分為6個牌號：Au98Ge、Au88Ge、Au88GeSb、Au86GeNi、Au83GeNi、Au80GeNi。4.1.2金鍺合金按截面形狀分為圓形鑄棒和矩形鑄錠兩種。4.2標(biāo)記金鍺合金產(chǎn)品標(biāo)記按產(chǎn)品名稱、文件編號、牌號、規(guī)格的順序表示。標(biāo)記示例如下：25技術(shù)要求5.1化學(xué)成分金鍺合金的化學(xué)成分應(yīng)符合表1的規(guī)定。表1金鍺合金化學(xué)成分Au--------5.2外形尺寸及其允許偏差表2金鍺合金外形尺寸及其允許偏差-->100～150-->150～300-------->100～300-->30035.3外觀質(zhì)量金鍺合金表面應(yīng)潔凈，無目視可見的夾雜物和氧化脫落粉末。5.4內(nèi)部質(zhì)量金鍺合金內(nèi)部應(yīng)連續(xù)一致，無氣孔、疏松、縮孔、夾雜等缺陷。需方有特殊要求時，由供需雙方商定。6試驗方法6.1化學(xué)成分牌號Au98Ge金鍺合金中Ge元素含量按YS/T956.1的規(guī)定進(jìn)行；其余牌號金鍺合金中Ge元素含量按YS/T956.2的規(guī)定進(jìn)行；其余元素按照GB/T11066.10、GB/T11066.12的規(guī)定進(jìn)行。6.2外形尺寸金鍺合金的外形尺寸的測量按照GB/T15077的規(guī)定進(jìn)行。6.3外觀質(zhì)量金鍺合金的外觀質(zhì)量采用目視檢查。6.4內(nèi)部質(zhì)量金鍺合金的內(nèi)部質(zhì)量按照GB/T8651的規(guī)定進(jìn)行。7檢驗規(guī)則7.1檢查和驗收7.1.1產(chǎn)品應(yīng)由供方或第三方進(jìn)行檢驗，產(chǎn)品質(zhì)量應(yīng)符合本文件及訂貨單的規(guī)定。7.1.2需方可對收到的產(chǎn)品按本文件的規(guī)定進(jìn)行檢驗。如檢驗結(jié)果與本文件及訂貨單的規(guī)定不符時，應(yīng)以書面形式向供方提出，由供需雙方商定。屬于外形尺寸及其允許偏差、外觀質(zhì)量的異議，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起一個月內(nèi)提出；屬于化學(xué)成分、內(nèi)部質(zhì)量的異議，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起三個月內(nèi)提出。如需仲裁，應(yīng)由供需雙方在需方共同取樣或商定。7.2檢驗項目產(chǎn)品檢驗項目及取樣應(yīng)符合表3規(guī)定。4表3檢驗項目及取樣規(guī)定差7.3檢驗結(jié)果的判定化學(xué)成分、外形尺寸及允許偏差、外觀質(zhì)量或內(nèi)部質(zhì)量不合格時，則判該錠不合格。8標(biāo)志、包裝、運輸、貯存及隨行文件8.1產(chǎn)品標(biāo)志在已檢驗合格的每批產(chǎn)品上應(yīng)附有如下標(biāo)記：a）產(chǎn)品名稱；b）牌號；c）規(guī)格尺寸；e）凈重；f）錠號；g）生產(chǎn)日期；h）供方名稱、地址及電話；i）供方技術(shù)監(jiān)督部門的檢?。ɑ蛸|(zhì)檢人員的簽名或印章）。8.2包裝、運輸、貯存8.2.1產(chǎn)品用軟性材料逐錠包裝，外包裝采用木箱包裝，包裝箱內(nèi)應(yīng)有防碰撞措施。需方有特殊要求時，由供需雙方商定。8.2.2產(chǎn)品運輸過程中應(yīng)防止碰傷、擦傷，并保證運輸過程中產(chǎn)品及包裝完整。8.2.3產(chǎn)品應(yīng)保存于清潔、干燥的環(huán)境。8.3隨行文件每批產(chǎn)品應(yīng)附有隨行文件，其中除應(yīng)包括供方信息、產(chǎn)品信息、本文件編號、出廠日期或包裝日期除外，還宜包括：a)產(chǎn)品質(zhì)量保證書，內(nèi)容如下：l供方名稱；l需方名稱；l產(chǎn)品名稱；l產(chǎn)品牌號；l出廠日期；l對產(chǎn)品質(zhì)量所負(fù)的責(zé)任；l產(chǎn)品技術(shù)規(guī)范編號；l產(chǎn)品獲得的質(zhì)量認(rèn)證及帶供方技術(shù)監(jiān)督部門檢印的各項分析檢驗結(jié)果。b)產(chǎn)品合格證，內(nèi)容如下：l產(chǎn)品名稱；l產(chǎn)品錠號；l產(chǎn)品凈重；l生產(chǎn)日期；l檢驗項目及其結(jié)果或檢驗結(jié)論；l檢驗日期；l檢驗員簽名或蓋章。c)產(chǎn)品使用說明：正確搬運、使用