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7.2.3其他特種加工技術(shù)簡介3認識平面四桿機構(gòu)的類型及其判別條件離子束加工的加工原理、工藝特點、應(yīng)用7.2.3.5鉸鏈四桿機構(gòu)的性質(zhì)鉸鏈四桿機構(gòu)的性質(zhì)復(fù)合加工的簡介鉸鏈四桿機構(gòu)的性質(zhì)7.2.3.6學(xué)習(xí)目標1.了解離子束加工的原理與特點;2.了解一些常見的復(fù)合加工。7.2.3.5離子束加工

離子束加工原理與電子束加工類似，也是在真空條件下，把氬（Ar）、氪（Kr）、疝（Xr）等惰性氣體，通過離子源產(chǎn)生離子束并經(jīng)過加速、集束、聚焦后，投射到工件表面的加工部位，以實現(xiàn)去除加工。

離子束加工有如下特點：

①離子束加工是目前特種加工中最精密、最微細的加工。離子刻蝕可達納米級精度，離子鍍膜可控制在亞微米級精度，離子注入的深度和濃度亦可精確地控制

②離子束加工在高真空中進行，污染少，特別適宜于對易氧化的金屬、合金和半導(dǎo)體材料進行加工。

③離子束加工是靠離子轟擊材料表面的原子來實現(xiàn)的，是一種微觀作用，所以加工應(yīng)力和變形極小，適宜于對各種材料和低剛度零件進行加工。

在目前的工業(yè)生產(chǎn)中，離子束加工主要應(yīng)用于刻蝕加工（如加工空氣軸承的溝槽、加工極薄材料等）、鍍膜加工（如在金屬或非金屬材料上鍍制金屬或非金屬材料）、注入切工（如某些特殊的半導(dǎo)體器件）等。

7.2.3.5離子束加工（1）復(fù)合切削加工7.2.3.6復(fù)合加工復(fù)合切削加工是將某些特種加工和普通切削加工整合在一起而產(chǎn)生的一種新的加工工藝方法。振動切削復(fù)合加工主要用于振動車削、振動刨削、振動銑削、振動拉削、振動攻絲,振動餃孔、振動鉆孔、振動磨削及超精加工中。

7.2.3.6復(fù)合加工

（2）化學(xué)機械復(fù)合加工?；瘜W(xué)機械復(fù)合加工指化學(xué)加工和機械加工的復(fù)合。所謂化學(xué)加工是利用酸、堿和鹽等化學(xué)溶液對余屬或某些非金屬工件表面產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，腐蝕溶解而改變工件尺寸和形狀的加工方法。

7.2.3.6復(fù)合加工（3）磁場輔助研拋加工。磁場輔助研拋加工通過在磁場作用下形成的磁流體使懸浮其中的非磁性磨粒能在磁流體的流功力和浮力作用下壓向旋轉(zhuǎn)的工件進行研磨和拋光，從而能提高精整加工的質(zhì)量和效率。常用的磁場輔助的精整加工有磁性浮動拋光和磁性磨料精整加工。

7.2.3.6復(fù)合加工

（4）激光輔助車削。激光輔助車削（LAT）應(yīng)用激光將金屬工件局部加熱，以改善其車削加工性，

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