《泵浦-探測(cè)瞬態(tài)熱反射檢測(cè)方法》編制說明

附件2

《泵浦-探測(cè)瞬態(tài)熱反射檢測(cè)方法》

團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)編制說明

一、項(xiàng)目簡(jiǎn)況

1.項(xiàng)目來源

根據(jù)《《中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)關(guān)于公布2023年度第四批團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)的通知》，由中

國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)提出并歸口制定團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)《泵浦-探測(cè)瞬態(tài)熱反射檢測(cè)方法》。

2.標(biāo)準(zhǔn)制定的必要性

本標(biāo)準(zhǔn)的建立確定了泵浦-探測(cè)瞬態(tài)熱反射檢測(cè)方法的系統(tǒng)組成、技術(shù)構(gòu)架、涉及

到的光、機(jī)、電零部件指標(biāo)要求和參數(shù)分析方法，并規(guī)定了檢測(cè)的一般步驟、相關(guān)要求

等。以技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的形式對(duì)該測(cè)試方法進(jìn)行規(guī)范化約定，確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性，提高材

料的熱工性能和在實(shí)際應(yīng)用中的可靠性，推動(dòng)該技術(shù)在半導(dǎo)體料與器件研發(fā)生產(chǎn)領(lǐng)域

的廣泛應(yīng)用。

二、標(biāo)準(zhǔn)的研制情況

1.國(guó)內(nèi)外情況

國(guó)內(nèi)外均有該方法的文獻(xiàn)報(bào)道，在一些科研和企業(yè)單位中進(jìn)行了測(cè)試應(yīng)用，應(yīng)用

效果顯著，解決了工業(yè)上半導(dǎo)體器件散熱問題。然而，目前國(guó)際、國(guó)內(nèi)均沒有形成該方

法的統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，在系統(tǒng)構(gòu)建、測(cè)試流程和要求上還沒有具體的規(guī)范，沒有方法評(píng)價(jià)測(cè)試

結(jié)果是否可信或可靠。

2.制定過程（或主要工作過程）

本評(píng)測(cè)標(biāo)準(zhǔn)由武漢大學(xué)牽頭和中國(guó)科學(xué)院微電子技術(shù)研究所、北京青禾晶元半導(dǎo)

體科技有限責(zé)任公司、西安電子科技大學(xué)、北京科技大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信

息技術(shù)研究所、湖北九峰山實(shí)驗(yàn)室成立編制組，落實(shí)分工；開展各階段標(biāo)準(zhǔn)編制技術(shù)協(xié)

調(diào)，質(zhì)量審查；負(fù)責(zé)組織協(xié)調(diào)討論會(huì)、審查會(huì)等；負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)主編工作，完成標(biāo)準(zhǔn)編制各

階段工作；提供全套標(biāo)準(zhǔn)審查和報(bào)批材料。內(nèi)容適用于泵浦-探測(cè)瞬態(tài)熱反射檢測(cè)方法。

3.主要參加單位、成員

主要參與單位和參與人員為見表1。

表1標(biāo)準(zhǔn)研制工作組成員名單

序號(hào)姓名工作單位

1袁超武漢大學(xué)

2王鑫華中國(guó)科學(xué)院微電子所

北京青禾晶元半導(dǎo)體科

3母鳳文

技有限責(zé)任公司

4武枚西安電子科技大學(xué)

5魏俊俊北京科技大學(xué)

中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)

6歐欣

與信息技術(shù)研究所

7肖科湖北九峰山實(shí)驗(yàn)室

三、標(biāo)準(zhǔn)編制的原則和主要內(nèi)容

1.標(biāo)準(zhǔn)編制的原則

本文件編寫時(shí)遵循《一致性、協(xié)調(diào)性、易用性”的原則，根據(jù)當(dāng)前設(shè)計(jì)、生產(chǎn)及使

用現(xiàn)狀，結(jié)合多年研發(fā)和應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，提出泵浦-探測(cè)瞬態(tài)熱反射檢測(cè)方法。

2.標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容的確定

泵浦-探測(cè)瞬態(tài)熱反射檢測(cè)方法的系統(tǒng)組成、技術(shù)構(gòu)架、涉及到的光、機(jī)、電零部

件指標(biāo)要求和參數(shù)分析方法，并規(guī)定了檢測(cè)的一般步驟、相關(guān)要求等。

3.解決的主要問題

國(guó)家、行業(yè)、地方目前暫無熱反射測(cè)試相關(guān)的正式標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布，僅有中國(guó)電子學(xué)會(huì)立

項(xiàng)《半導(dǎo)體熱學(xué)性能的時(shí)域熱反射測(cè)試方法”。針對(duì)測(cè)試裝置整合配置復(fù)雜，測(cè)試原理

深?yuàn)W，測(cè)試操作和流程要求嚴(yán)格，數(shù)據(jù)分析方法要求高等問題，本標(biāo)準(zhǔn)對(duì)熱反射測(cè)試方

法進(jìn)行規(guī)范化約定從而實(shí)現(xiàn)可靠的熱物性測(cè)試評(píng)價(jià)，推動(dòng)該技術(shù)在半導(dǎo)體薄膜材料與

器件研發(fā)生產(chǎn)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，解決日益凸顯的器件散熱問題。

四、主要試驗(yàn)（或驗(yàn)證）情況分析

無。

五、標(biāo)準(zhǔn)中涉及專利情況

無。

六、預(yù)期達(dá)到的社會(huì)效益等情況

本標(biāo)準(zhǔn)將力圖填補(bǔ)領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)的空白，對(duì)行業(yè)進(jìn)行引導(dǎo)。以技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的形式，對(duì)行業(yè)

形成統(tǒng)一規(guī)范并對(duì)客戶體驗(yàn)做出有力保障。

七、采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)情況

無。

八、與現(xiàn)行相關(guān)法律、法規(guī)、規(guī)章及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，特別是強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)的協(xié)

調(diào)性

本標(biāo)準(zhǔn)符合我國(guó)現(xiàn)行法律、法規(guī)和規(guī)章的相關(guān)規(guī)定，與強(qiáng)同類標(biāo)準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)體系中

其他標(biāo)準(zhǔn)無矛盾和不協(xié)調(diào)的地方。

九、重大分歧意見的處理經(jīng)過和依據(jù)

本標(biāo)準(zhǔn)無重大分歧意見。

十、標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)的建議說明

建議將本標(biāo)準(zhǔn)作為推薦性團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)盡快發(fā)布并實(shí)施。

十一、貫徹標(biāo)準(zhǔn)的要求和措施建議（包括組織措施、技術(shù)措施、過渡辦

法、實(shí)施日期等）

建議由中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)組織貫徹本標(biāo)準(zhǔn)的相關(guān)活動(dòng)，利用各種條件（如技術(shù)交

流、標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)刊物、網(wǎng)上信息、產(chǎn)品認(rèn)證等）盡最大可能向所有相關(guān)產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)學(xué)研用

相關(guān)單位宣貫本標(biāo)準(zhǔn)，使所有相關(guān)泵浦-探測(cè)瞬態(tài)熱反射檢測(cè)系統(tǒng)的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)、認(rèn)證文

件、技術(shù)文件、產(chǎn)品說明書等與本標(biāo)準(zhǔn)最大限度地保持一致。建議本標(biāo)準(zhǔn)于發(fā)布之日

起，各方即以最快的速度執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)。

十二、廢止現(xiàn)行相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的建議

本標(biāo)準(zhǔn)是首次制定，沒有需要廢止相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。

十三、其他