《揮發(fā)性有機物專項清潔生產(chǎn)審核 第2部分：電子元件制造業(yè)審核技術(shù)規(guī)范》

ICSXXXXX

CCSXXXXX

團體標準

T/GDSESXXXXX

揮發(fā)性有機物專項清潔生產(chǎn)審核

第2部分：電子元件制造業(yè)審核技術(shù)指南

Specificcleanerproductionauditofvolatileorganiccompounds

Part2:audittechnicalguidelinesforelectroniccomponentmanufacture

industry

20XX-XX-XX發(fā)布20XX-XX-XX實施

廣東省環(huán)境科學學會發(fā)布

T/GDSESXXXXX

目次

前言..................................................................................II

引言.................................................................................III

1范圍................................................................................1

2規(guī)范性引用文件......................................................................1

3術(shù)語與定義..........................................................................2

4一般要求............................................................................4

5審核準備............................................................................5

6審核分析............................................................................6

7效果評價...........................................................................12

8持續(xù)清潔生產(chǎn).......................................................................13

9VOCs專項清潔生產(chǎn)審核報告編寫.......................................................13

附錄A（資料性）電子元件制造業(yè)VOCs相關(guān)生產(chǎn)環(huán)節(jié)......................................14

附錄B（資料性）電子元件制造業(yè)主要典型工藝...........................................16

附錄C（規(guī)范性）電子元件制造業(yè)涉VOCs原輔材料VOCs含量限值...........................24

附錄D（資料性）電子元件制造業(yè)常見VOCs相關(guān)清潔生產(chǎn)實施途徑..........................26

附錄E（資料性）電子元件制造業(yè)VOCs核算方法..........................................29

參考文獻..............................................................................34

I

T/GDSESXXXXX

揮發(fā)性有機物專項清潔生產(chǎn)審核

第2部分：電子元件制造業(yè)審核技術(shù)指南

1范圍

本文件規(guī)定了電子元件制造業(yè)以揮發(fā)性有機物控制與減排為目標的專項清潔生產(chǎn)審核的工作程序、

審核方法與技術(shù)要求。

適用于電子真空器件制造（C3971）、半導體分立器件制造（C3972）、集成電路制造（C3973）、

顯示器件制造（C3974）、半導體照明器件制造（C3975）、光電子器件制造（C3976）、其他電子器件

制造（C3979）、電阻電容電感元件制造（C3981）、電子電路制造（C3982）、敏感元件及傳感器制造

（C3983）、電聲器件及零件制造（C3984）、電子專用材料制造（C3985）、其他電子元件制造（C3989）、

其他電子設(shè)備制造（C3990）工業(yè)企業(yè)或生產(chǎn)設(shè)施。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB18597危險廢物貯存污染控制標準

GB30981工業(yè)防護涂料中有害物質(zhì)限量

GB33372膠粘劑揮發(fā)性有機化合物限量

GB38507油墨中可揮發(fā)性有機化合物（VOCs）含量的限值

GB38508清洗劑揮發(fā)性有機化合物含量限值

GB/T2943膠粘劑術(shù)語

GB/T25973工業(yè)企業(yè)清潔生產(chǎn)審核技術(shù)導則

GB/T38597低揮發(fā)性有機化合物涂料產(chǎn)品技術(shù)要求

HJ1031排污許可證申請與核發(fā)技術(shù)規(guī)范電子工業(yè)

DB44/2367固定污染源揮發(fā)性有機物綜合排放標準

《中華人民共和國清潔生產(chǎn)促進法》（中華人民共和國主席令第五十四號）

《清潔生產(chǎn)審核辦法》（中華人民共和國國家發(fā)展和改革委員會中華人民共和國環(huán)境保護部2016

年令第38號）

《國家先進污染防治技術(shù)目錄（VOCs防治領(lǐng)域）》（環(huán)境保護部公告2016年第75號）

《電子器件（半導體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評價指標體系》（中華人民共和國國家發(fā)展和改革委員

會生態(tài)環(huán)境部工業(yè)和信息化部公告2018年第17號）

《重點行業(yè)揮發(fā)性有機物綜合治理方案》（環(huán)大氣〔2019〕53號）

《國家先進污染防治技術(shù)目錄（大氣污染防治、噪聲與振動控制領(lǐng)域）》（環(huán)辦科財函〔2021〕607

號）

《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導目錄（2024年本）》（中華人民共和國國家發(fā)展和改革委員會令2023年第7

號）

《廣東省VOCs重點監(jiān)管企業(yè)綜合整治實施情況評審技術(shù)指南》（粵環(huán)辦函〔2017〕181號）

《廣東省塑料制品與制造業(yè)、人造石制造業(yè)、電子元件制造業(yè)揮發(fā)性有機化合物排放系數(shù)使用指南》

[（粵環(huán)函〔2022〕330號）附件2]

《廣東省電子元件制造業(yè)揮發(fā)性有機物綜合整治技術(shù)指南》[（粵環(huán)函〔2022〕330號）附件6]

《廣東省工業(yè)源揮發(fā)性有機物減排量核算方法（2023年修訂版）》（粵環(huán)函〔2023〕538號）

1

T/GDSESXXXXX

3術(shù)語與定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1

清潔生產(chǎn)cleanerproduction

指不斷采取改進設(shè)計、使用清潔的能源和原料、采用先進的工藝技術(shù)與設(shè)備、改善管理、綜合利用

等措施，從源頭削減污染，提高資源利用效率，減少或者避免生產(chǎn)、服務(wù)和產(chǎn)品使用過程中污染物的產(chǎn)

生和排放，以減輕或者消除對人類健康和環(huán)境的危害。

[來源：《中華人民共和國清潔生產(chǎn)促進法》，第二條]

3.2

揮發(fā)性有機物volatileorganiccompounds

VOCs

參與大氣光化學反應(yīng)的有機化合物，或者根據(jù)有關(guān)規(guī)定確定的有機化合物。

注：在表征VOCs總體排放情況時，根據(jù)行業(yè)特征和環(huán)境管理要求，可以采用總揮發(fā)性有機物（以TVOC表示）、非甲

烷總烴（以NMHC表示）作為污染物控制項目。

[來源：DB44/2367—2022，3.2]

3.3

揮發(fā)性有機物專項清潔生產(chǎn)審核specificcleanerproductionauditofvolatileorganic

compounds

VOCs專項清潔生產(chǎn)審核

以VOCs防控與減排為明確目標，按照一定程序，對生產(chǎn)過程進行調(diào)查和診斷，找出VOCs物耗高、VOCs

污染重的原因，提出降低VOCs物耗、VOCs產(chǎn)生、VOCs排放以及減少VOCs物料的使用、產(chǎn)生和廢棄物資源

化利用的方案，進而選定并實施技術(shù)、環(huán)境及經(jīng)濟可行的清潔生產(chǎn)方案的過程。該過程中，與VOCs防控

與減排目標相關(guān)性不強的審核分析過程與工作內(nèi)容可以適當簡化和省略。

[來源：《清潔生產(chǎn)審核辦法》，第二條，有改動]

3.4

無組織排放fugitiveemission

大氣污染物不經(jīng)過排氣筒的無規(guī)則排放，包括開放式作業(yè)場所逸散，以及通過縫隙、通風口、敞開

門窗和類似開口（孔）的排放等。

[來源：DB44/2367—2022，3.5]

3.5

揮發(fā)性有機物含量volatileorganiccompoundscontent

VOCs含量

在規(guī)定的條件下測得的物料中存在的揮發(fā)性有機化合物的質(zhì)量占比。

[來源：GB/T5206—2015，2.271，有改動]

3.6

VOCs物料VOCs—containingmaterials

電子元件制造工藝涉及的、VOCs質(zhì)量占比大于等于10%的物料，以及有機聚合物材料。

[來源：DB44/2367—2022，3.8，有改動]

2

T/GDSESXXXXX

3.7

有機涂覆organiccoating

將有機材料涂覆于電子元件基底表面形成具有防護、裝飾或特定功能涂層的過程。

3.8

膠粘劑adhesive

通過物理或化學作用，能使被粘物結(jié)合在一起的材料。

[來源：GB/T2943—2008，2.8]

3.9

溶劑型膠粘劑solvent—basedadhesive

以揮發(fā)性有機溶劑為主體分散介質(zhì)的膠粘劑。

[來源：GB33372—2020，3.2]

3.10

水基型膠粘劑water—basedadhesive

以水為主體分散介質(zhì)的膠粘劑。

[來源：GB33372—2020，3.3]

3.11

本體型膠粘劑bulkadhesive

分散介質(zhì)含量占總量的５％以內(nèi)的膠粘劑。

[來源：GB33372—2020，3.4]

3.12

清洗劑cleaningagent

在工業(yè)生產(chǎn)和服務(wù)活動中，利用化學溶解、絡(luò)合、乳化、潤濕、滲透、分散、增溶、剝離等原理，

去除裝置、設(shè)備、設(shè)施、產(chǎn)品表面的污垢（包括油脂、涂料、油墨、膠質(zhì)、積碳、粉塵等）而使用的液

體化學品或制劑。

[來源：GB38508—2020，3.1]

3.13

油墨printingink

由著色劑、連結(jié)料、輔助劑等成分組成的分散體系，在印刷過程中被轉(zhuǎn)移到承印物上的著色的物質(zhì)。

[來源：GB/T15962—2018，2.1]

3.14

網(wǎng)印油墨screenink

適用于使用圖文部分由孔洞組成的網(wǎng)版進行印刷的各種油墨的總稱。

[來源：GB/T15962—2018，2.21]

3.15

施工狀態(tài)applicationcondition

3

T/GDSESXXXXX

在施工方式和施工條件滿足相應(yīng)產(chǎn)品技術(shù)說明書中的要求時，產(chǎn)品所有組分混合后，可以進行施工

的狀態(tài)。

[來源：GB24409—2020，3.25]

3.16

基準期referenceperiod

開展一輪清潔生產(chǎn)審核活動當年的前1個自然年或活動當月的前12個自然月。非連續(xù)生產(chǎn)企業(yè)，以

上一年度同一生產(chǎn)周期為基準期；投產(chǎn)不滿1年的，以投產(chǎn)穩(wěn)定運行后到開展審核活動前1個月為基準期。

3.17

效果評估期effectsevaluatingperiod

審核分析與清潔生產(chǎn)方案實施完成后與基準期進行審核績效對比分析評價的時間段，原則上在清潔

生產(chǎn)方案實施完成并穩(wěn)定運行后不少于3個自然月。

3.18

審核期auditperiod

從開展清潔生產(chǎn)審核起始日期到結(jié)束日期之間，包含了本文件第4至第9章審核工作程序的時間段。

3.19

審核范圍auditscope

開展清潔生產(chǎn)審核確定的地理空間邊界內(nèi)的組織單元、活動和過程。

4一般要求

4.1審核目的

以VOCs綜合防控與系統(tǒng)性減排的專項審核目的，以取得VOCs減排績效為目標導向。

4.2工作流程

針對電子元件制造業(yè)企業(yè)生產(chǎn)過程中與VOCs密切相關(guān)的各生產(chǎn)要素（產(chǎn)品、工藝技術(shù)與生產(chǎn)設(shè)施、

原輔材料、環(huán)境狀況、員工），運用發(fā)現(xiàn)問題－分析問題－解決問題的工作思路，每個生產(chǎn)要素均逐一

進行調(diào)查與考察，匯總改善潛力，進行VOCs核算，確定擬解決的問題、設(shè)置清潔生產(chǎn)目標，系統(tǒng)性提出、

確定和實施清潔生產(chǎn)方案，最后評價審核效果，總結(jié)VOCs減排績效。

電子元件制造業(yè)VOCs專項清潔生產(chǎn)審核工作流程如圖1所示。

4

T/GDSESXXXXX

圖1電子元件制造業(yè)VOCs專項清潔生產(chǎn)審核工作流程示意圖

4.3審核過程應(yīng)確保所得資料和信息真實可靠，審核工作真實有效。

4.4電子元件制造業(yè)的揮發(fā)性有機物清潔生產(chǎn)審核與公輔設(shè)施、水資源和能源三項生產(chǎn)要素相關(guān)性不

大，根據(jù)實際情況可不進行審核分析。

5審核準備

5

T/GDSESXXXXX

5.1企業(yè)概況調(diào)查

收集和調(diào)查企業(yè)基本信息，包括但不限于：

a)企業(yè)所屬行業(yè)、生產(chǎn)規(guī)模、投產(chǎn)時間、歷史沿革、地理位置、周邊情況、廠區(qū)平面布置、組

織架構(gòu)等；

b)本輪清潔生產(chǎn)審核前企業(yè)資源消耗、綜合利用、VOCs防控與減排等基本情況；

c)歷輪清潔生產(chǎn)審核情況，包括審核期、主要方案及績效、清潔生產(chǎn)水平評價、驗收結(jié)果、上

輪審核未完成清潔生產(chǎn)方案的實施情況等。

5.2明確審核范圍與審核依據(jù)

明確審核范圍，收集和了解VOCs相關(guān)法律法規(guī)、政策及當?shù)卣块T的相關(guān)要求，確定適用的標準

和規(guī)范要求。

5.3成立審核小組

5.3.1根據(jù)企業(yè)概況與相關(guān)法律法規(guī)的要求，組建清潔生產(chǎn)審核小組，制定職責表，明確職責和分工。

5.3.2審核小組由企業(yè)主要負責人和各相關(guān)部門負責人組成，審核小組組長原則上應(yīng)有企業(yè)主要負責

人擔任。審核小組成員宜具備以下能力：

a)具備清潔生產(chǎn)審核知識或工作經(jīng)驗；

b)掌握企業(yè)各生產(chǎn)要素相關(guān)的情況；

c)了解與企業(yè)生產(chǎn)要素相關(guān)的法律法規(guī)及新工藝、新技術(shù)及其他相關(guān)資訊；

d)具備組織、管理和宣傳的能力。

5.3.3規(guī)模大且組織架構(gòu)復雜的企業(yè)可分別成立清潔生產(chǎn)領(lǐng)導小組和清潔生產(chǎn)工作小組。

5.3.4不具備內(nèi)部清潔生產(chǎn)審核能力的企業(yè)，可聘請外部專家或技術(shù)人員加入審核小組。

5.4開展宣傳培訓

要求采用適當且多樣化的方式，進行廣泛的清潔生產(chǎn)知識與VOCs防控宣傳和培訓，爭取各部門與廣

大員工的積極參與。

5.5制定管理制度

5.5.1制定清潔生產(chǎn)與VOCs防控相關(guān)管理制度，可與企業(yè)現(xiàn)有的環(huán)境保護領(lǐng)域的管理制度相結(jié)合。

5.5.2制定符合企業(yè)實際的清潔生產(chǎn)激勵制度，可將清潔生產(chǎn)相關(guān)內(nèi)容納入企業(yè)已有的合理化建議相

關(guān)激勵制度中。

6審核分析

6.1預審核

6.1.1調(diào)查與考察

6.1.1.1產(chǎn)品

6.1.1.1.1調(diào)查和收集產(chǎn)品信息，根據(jù)實際情況包括但不限于：

a)產(chǎn)品性能；

b)針對提高產(chǎn)品性能或改善產(chǎn)品設(shè)計所做出的技術(shù)研發(fā)工作；

c)含有機涂覆工藝的，調(diào)查相關(guān)產(chǎn)品涂覆涂層數(shù)量與厚度等信息。

6.1.1.1.2調(diào)查產(chǎn)品數(shù)據(jù)，包括：

6

T/GDSESXXXXX

a)調(diào)查審核期前三年產(chǎn)品產(chǎn)量數(shù)據(jù)；含有機涂覆工藝的，還應(yīng)有機涂覆面積；

b)不同車間、不同工藝的產(chǎn)量數(shù)據(jù)宜分開統(tǒng)計；

c)產(chǎn)品規(guī)格復雜且差異較大的，需了解產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的變化情況。

6.1.1.1.3調(diào)查并分析產(chǎn)品質(zhì)量信息，包括但不限于：

a)產(chǎn)品合格率數(shù)據(jù)：收集審核期前三年產(chǎn)品的一次性合格率和不合格率統(tǒng)計數(shù)據(jù)；針對合格率

數(shù)據(jù)波動較大的情況，調(diào)查其原因；

b)產(chǎn)品不合格因素與對策：不合格因素及原因分析；考察主要不合格因素的措施及措施的有效

性；針對未采取有效控制措施的情形，提出改善建議；

c)產(chǎn)品不合格品的處理處置：調(diào)查不合格品處理處置方式及合規(guī)性，針對不合規(guī)情形提出改善

建議；研究不合格品資源化再利用的可行性。

6.1.1.1.4根據(jù)實際情況，參考相關(guān)行業(yè)（準入）指標、綠色設(shè)計產(chǎn)品標準、企業(yè)內(nèi)部定額指標和（或）

歷史縱向水平等信息，對產(chǎn)品的VOCs相關(guān)指標進行指標評價。針對存在差距的指標，提出改善建議。

6.1.1.2工藝技術(shù)與生產(chǎn)設(shè)施

6.1.1.2.1調(diào)查生產(chǎn)工藝技術(shù)，包括：

a)調(diào)查總體工藝流程信息，對照《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導目錄（2024年本）》等政策，判定工藝技

術(shù)的政策合規(guī)性；不符合政策導向的，提出淘汰升級整改建議；

b)識別涉及VOCs的工藝環(huán)節(jié)，考察其原輔材料、資源能源與廢棄物的輸入輸出情況（電子元件

制造業(yè)VOCs相關(guān)生產(chǎn)環(huán)節(jié)可參考附錄A）；

c)收集并繪制工藝流程圖和設(shè)備流程圖（電子元件制造業(yè)典型工藝流程圖可參考附錄B）。

6.1.1.2.2考察工藝原理，包括：

a)考察并核實各VOCs相關(guān)工藝環(huán)節(jié)的消耗VOCs物料、產(chǎn)生某類產(chǎn)品、中間產(chǎn)品、副產(chǎn)物和廢棄

物的機理機制；

b)考察并核實各VOCs相關(guān)工藝環(huán)節(jié)相關(guān)副產(chǎn)物和廢棄物的去向；

c)根據(jù)實際情況，探討工藝過程中涉VOCs工藝技術(shù)改進的可行性，提出改善建議。

6.1.1.2.3調(diào)查主要生產(chǎn)設(shè)施的相關(guān)信息，包括：

a)主要生產(chǎn)設(shè)施的技術(shù)參數(shù)，包括但不限于型號、數(shù)量、功率、投產(chǎn)時間與其他特定參數(shù)信息；

b)對照DB44/2367的相關(guān)要求，考察VOCs物料投加/使用工藝過程（包括但不限于注塑/擠出成

型、包封、灌封、線路印刷、防焊印刷、文字印刷、絲印、UV固化、烤版、洗網(wǎng)、晾干、調(diào)

油、清洗等）是否采用密閉設(shè)備或在密閉空間內(nèi)操作，或是否采取局部氣體收集措施，廢氣

是否排至VOCs廢氣收集處理系統(tǒng)；針對VOCs物料使用環(huán)境未密閉或VOCs廢氣未有效收集的情

形提出改善建議。

c)考察生產(chǎn)設(shè)施的維護方式和維護制度落實情況；針對未落實情況提出改善建議。應(yīng)特別調(diào)查

并考察VOCs物料的輸送方式、密封措施與相應(yīng)的維護措施；對破損泄漏、維護不佳等情況提

出維護改善建議；

d)根據(jù)實際情況，可考察主要生產(chǎn)設(shè)施布局與物流走向，針對流程過長、工序冗余等問題可能

造成對VOCs控制不利的情形，提出改善建議。

6.1.1.2.4調(diào)查工藝過程控制情況，根據(jù)實際情況可包括：

a)了解過程控制水平是否滿足技術(shù)工藝要求；根據(jù)實際情況，對照工藝與過程控制的設(shè)計參數(shù)，

調(diào)查并核實工藝參數(shù)實際控制情況，比較設(shè)計參數(shù)和實際運行參數(shù)，分析不一致原因，并提

出相關(guān)改善建議；

b)調(diào)查工藝參數(shù)的控制形式；根據(jù)實際情況，調(diào)查工藝過程控制的數(shù)字化、智能化與信息化程

度，提出相關(guān)改善建議。

6.1.1.2.5根據(jù)實際情況，對照《電子器件（半導體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評價指標體系》等適用的

清潔生產(chǎn)評價指標體系或評價方法中工藝技術(shù)與設(shè)備設(shè)施VOCs相關(guān)指標進行指標評價；若無適用指標

體系或評價方法，可參考行業(yè)技術(shù)規(guī)范、行業(yè)推薦工藝技術(shù)目錄、行業(yè)先進水平和企業(yè)歷史縱向水平，

進行指標評價。針對存在差距的指標，提出改善建議。

7

T/GDSESXXXXX

6.1.1.3原輔材料

6.1.1.3.1調(diào)查原輔材料消耗信息，包括：

a)調(diào)查和收集審核期前三年涉VOCs原輔材料的種類、消耗量、使用環(huán)節(jié)等信息；宜按產(chǎn)品類別

分別統(tǒng)計原輔材料消耗量；

b)根據(jù)實際情況，對涉VOCs原輔材料的單位產(chǎn)品消耗、原料利用率等指標進行計算與統(tǒng)計；針

對大幅波動或不符合規(guī)模效應(yīng)等異常情況進行調(diào)查分析，并提出相關(guān)改善建議。

6.1.1.3.2調(diào)查原輔材料的理化性質(zhì)，包括：

a)收集涉VOCs原輔材料的VOCs含量檢測報告與化學品安全技術(shù)說明書（MSDS），確定并核實其

基本理化性質(zhì)，明確其有毒有害性質(zhì)、VOCs成分和VOCs含量等信息；

b)根據(jù)本文件3.6的定義識別VOCs物料；按照附錄C的相關(guān)限值要求，判定VOCs物料的VOCs含量

與相關(guān)其他有害物質(zhì)含量的合規(guī)性，識別并判定低VOCs物料；

c)針對超過VOCs含量限值的VOCs物料，提出整改建議；針對非低VOCs物料，調(diào)查當前技術(shù)條件，

研究替代可行性，提出整改建議；

d)根據(jù)實際情況，可了解綠色采購制度與原輔材料檢驗制度。

6.1.1.3.3對照DB44/2367的相關(guān)要求，考察原輔材料儲運的VOCs過程管控情況，包括：

a)考察VOCs物料在廠內(nèi)的儲存方式、調(diào)查核實VOCs物料儲存容器/罐體的密閉性、儲存過程中的

VOCs收集情況；

b)考察VOCs物料在廠內(nèi)的轉(zhuǎn)移輸送方式、輸送容器/管道的密閉性、轉(zhuǎn)移輸送過程中的VOCs收集

情況；

c)對VOCs物料廠內(nèi)儲存、轉(zhuǎn)移、輸送過程中的泄漏和效率低等造成VOCs過程管控不力的情況提

出改善建議；

d)調(diào)查并核實VOCs物料儲存、轉(zhuǎn)移、輸送過程中VOCs過程管控的管理制度與臺賬記錄落實情況，

并提出相關(guān)改善建議。

6.1.1.3.4根據(jù)實際情況，對照《電子器件（半導體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評價指標體系》等適用的

清潔生產(chǎn)評價指標體系或評價方法中原輔材料VOCs相關(guān)指標進行指標評價；若無適用指標體系或評價

方法的，可參考相關(guān)綠色環(huán)保產(chǎn)品認證指標體系中關(guān)于含VOCs原輔材料的質(zhì)量指標要求、企業(yè)內(nèi)部定

額指標和歷史縱向水平，進行指標評價。針對存在差距的指標，提出改善建議。

6.1.1.4環(huán)境狀況

6.1.1.4.1調(diào)查環(huán)境管理狀況，包括：

a)考察VOCs相關(guān)環(huán)境管理制度的制定與落實情況，針對未建立或未落實的情形，并提出相關(guān)改

善意見；

b)調(diào)查VOCs臺賬相關(guān)制度的建立和落實情況，針對不符合法規(guī)要求的情形，提出整改建議。

6.1.1.4.2調(diào)查VOCs廢氣的產(chǎn)生、治理和排放情況，應(yīng)包括但不限于：

a)考察并核實相關(guān)工藝的VOCs產(chǎn)排污環(huán)節(jié)、VOCs產(chǎn)生機理機制、VOCs污染治理設(shè)施、VOCs排放

方式（有組織或無組織）與去向，收集相關(guān)臺賬；

b)調(diào)查并核實VOCs廢氣的收集情況，調(diào)查排風罩設(shè)置、集氣效率、廢氣輸送管道密閉情況；對

照DB44/2367的相關(guān)要求，采用外部集氣罩收集的，距集氣罩開口面最遠處的VOCs無組織排

放位置，控制風速不低于0.3m/s；針對VOCs廢氣未收集或收集設(shè)施不滿足要求的，提出立即

整改的建議；

c)必要時根據(jù)實際情況，調(diào)查并核實含VOCs廢水產(chǎn)生環(huán)節(jié)。對照DB44/2367的相關(guān)要求，考察

含VOCs廢水的集輸系統(tǒng)是否采用密閉管道輸送，接入口和排出口是否采用了與環(huán)境空氣隔離

的措施；采用溝渠輸送的，若敞開液面上方100mm處VOCs檢測濃度≥100μmol/mol，應(yīng)當加

蓋密閉；針對不符合相關(guān)要求的情形，提出整改建議。對照DB44/2367的相關(guān)要求，含VOCs

廢水儲存和處理設(shè)施若敞開液面上方100mm處VOCs檢測濃度≥100μmol/mol，考察是否采用

8

T/GDSESXXXXX

浮動頂蓋；采用固定頂蓋的，考察是否收集廢氣至VOCs廢氣收集處理系統(tǒng)；針對不符合相關(guān)

要求的情形，提出整改建議；

d)必要時根據(jù)實際情況，調(diào)查并核實非正常工況、放空、旁路設(shè)置等情況的VOCs防控狀況；針

對不符合法規(guī)要求的情形，提出整改建議；

e)收集、調(diào)查并核實VOCs廢氣的治理工藝、廢氣處理量、處理效率、操作溫度、運行監(jiān)控等情

況；采用吸附法/催化相關(guān)治理工藝的，應(yīng)調(diào)查并核實吸附劑（如活性炭等）/催化劑更換周

期及更換量；結(jié)合VOCs廢氣主要成分和VOCs產(chǎn)生濃度等信息，考察并核實治理技術(shù)工藝的適

用性與可行性，對照適用的技術(shù)治理工程技術(shù)規(guī)范，判斷分析治理設(shè)施運行參數(shù)的有效性；

針對采取了低效治理設(shè)施或運行參數(shù)不符合技術(shù)要求的情形，提出整改建議；

f)根據(jù)國家排污許可證或主管部門的相關(guān)要求，調(diào)查并核實VOCs廢氣排放口設(shè)置、VOCs相關(guān)自

行監(jiān)測方案制定與實施情況，收集整理審核期前三年VOCs相關(guān)各類廢氣無組織控制與有組織

排放的監(jiān)測數(shù)據(jù)，核實監(jiān)測數(shù)據(jù)的合理性、有效性與完整性；針對不符合法規(guī)要求的情形，

提出整改建議；

g)根據(jù)實際情況，對照適用排放標準，判定VOCs排放濃度和速率的達標情況，參照附錄E.2和附

錄E.3的方法核算并判定污染物排放總量達標情況（包括無組織和有組織排放），對不達標情

形進行深入調(diào)查分析，提出綜合整治的建議。

6.1.1.4.3考察含VOCs危險廢物產(chǎn)生、處理處置情況，應(yīng)包括：

a)結(jié)合VOCs物料使用、VOCs相關(guān)工藝技術(shù)、VOCs治理工藝選取及運行情況，識別含VOCs危險廢

物，統(tǒng)計審核期前三年含VOCs危險廢物的種類、主要成分、產(chǎn)生量、處理去向（包括貯存、

利用、處置等），探討源頭防控及綜合利用的可行性；

b)對照GB18597和DB44/2367的相關(guān)要求，考察并核實VOCs相關(guān)危險廢物貯存場所的VOCs無組

織控制情況，針對盛裝含VOCs危廢的包裝物和容器未密閉等不規(guī)范情況提出立即整改的建議。

6.1.1.4.4必要時根據(jù)實際情況，調(diào)查并核實審核期前三年生態(tài)環(huán)境主管部門下達的VOCs減排目標指

標達成情況，針對未達標情形提出改善建議。

6.1.1.4.5根據(jù)實際情況，收集審核期前三年VOCs相關(guān)環(huán)境投訴、生態(tài)環(huán)境行政處罰與突發(fā)環(huán)境事件

的相關(guān)信息，考察后續(xù)整改和保障情況，針對未有效整改和控制的情形提出改善建議。

6.1.1.4.6根據(jù)實際情況，對照《電子器件（半導體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評價指標體系》等適用的

清潔生產(chǎn)評價指標體系或評價方法中VOCs控制與排放相關(guān)指標進行指標評價；若無適用指標體系或評

價方法，可參考行業(yè)污染物排放指標與先進水平、企業(yè)內(nèi)部控制指標和歷史縱向水平，進行水平評價。

針對存在差距的指標，提出改善建議。

6.1.1.5員工

6.1.1.5.1了解企業(yè)在VOCs控制與減排領(lǐng)域的員工培訓機制；未建立的，可提出改善建議。

6.1.1.5.2考察VOCs控制與減排相關(guān)的管理考核機制、清潔生產(chǎn)激勵機制、現(xiàn)場管理等情況；未建立

的，可提出改善建議。

6.1.2改善潛力匯總

匯總6.1.1各生產(chǎn)要素分別發(fā)現(xiàn)的VOCs相關(guān)問題與改善建議，明確問題產(chǎn)生的原因和改善潛力。

6.1.3VOCs專項清潔生產(chǎn)指標評價（基準期）

6.1.3.1根據(jù)實際情況，匯總6.1.1各生產(chǎn)要素VOCs相關(guān)清潔生產(chǎn)指標評價的結(jié)果，以各指標中的最

低評價基準確定企業(yè)基準期的VOCs專項清潔生產(chǎn)指標評價水平。

6.1.3.2國家與地方主管部門未發(fā)布適用清潔生產(chǎn)評價指標體系和評價方法的行業(yè)，可參考下列兩種

方法進行VOCs專項清潔生產(chǎn)指標評價。

6.1.3.2.1根據(jù)GB/T43329的要求，參照行業(yè)準入條件、行業(yè)規(guī)范、產(chǎn)業(yè)政策、行業(yè)信息、企業(yè)自身

歷史水平等文件和信息編制自評價方案，進行基準期的VOCs專項清潔生產(chǎn)指標評價。自評價方案中設(shè)

置的指標應(yīng)包括：

9

T/GDSESXXXXX

a)VOCs相關(guān)生產(chǎn)工藝及裝備指標；

b)VOCs相關(guān)資源能源消耗指標；

c)VOCs相關(guān)資源綜合利用指標；

d)VOCs產(chǎn)生和排放指標；

e)VOCs相關(guān)產(chǎn)品特征指標；

f)VOCs相關(guān)清潔生產(chǎn)管理指標。

6.1.3.2.2參考《廣東省VOCs重點監(jiān)管企業(yè)綜合整治實施情況評審技術(shù)指南》附件4“現(xiàn)場核查評分

表”進行評價。

6.1.3.3根據(jù)實際情況，明確基準期各指標評價結(jié)果與更先進水平之間的差距，并提出改善建議。

6.1.3.4原則上VOCs專項清潔生產(chǎn)指標評價結(jié)果不等同于審核企業(yè)的綜合清潔生產(chǎn)水平評價的評級

結(jié)果。

6.2審核

6.2.1審核重點確定

在改善潛力分析匯總（見6.1.2）與基準期VOCs專項清潔生產(chǎn)指標評價（見6.1.3）的基礎(chǔ)上，以相

關(guān)生產(chǎn)單元、生產(chǎn)工藝或環(huán)節(jié)的VOCs產(chǎn)排污狀況作為審核重點，

6.2.1審核重點分析方法

對審核重點的VOCs產(chǎn)排污狀況進行核算分析，根據(jù)實際情況工作內(nèi)容包括但不限于：

a)詳細調(diào)查、收集整理和分析VOCs相關(guān)審核重點所涉及的數(shù)據(jù)、資料和信息；

b)參考附錄E.2和附錄E.3的方法，或使用《廣東省工業(yè)源揮發(fā)性有機物減排量核算方法（2023

年修訂版）》，對審核重點核算期內(nèi)的VOCs輸入輸出進行核算；

c)根據(jù)VOCs核算結(jié)果，深入分析VOCs廢氣產(chǎn)生、收集和排放存在的問題，提出VOCs源頭控制、

過程管控、末端處理等方面的減排建議。

6.2.2清潔生產(chǎn)機會分析

6.2.2.1源頭控制方面常見清潔生產(chǎn)機會包括但不限于：

a)采用VOCs衡算核算，理清VOCs物料消耗控制環(huán)節(jié)，明確影響VOCs物料利用率的關(guān)鍵因素，分

析VOCs物料利用率低等問題的原因與改善潛力，并提出相應(yīng)改善建議；

b)深入分析產(chǎn)品性能與行業(yè)技術(shù)條件，分析原輔材料中VOCs含量不合規(guī)的原因，充分研究低VOCs

涂料替代的可行性，并提出相應(yīng)改善建議。

6.2.2.2過程管控：針對VOCs物料的具體特性，理清VOCs物料儲存、輸送、投放、使用過程的密閉

情況，分析VOCs物料在輸送與使用過程中無組織排放量大的原因，考察相關(guān)管理制度與控制措施的合

理性，提出相應(yīng)的建議。

6.2.2.3末端控制方面常見清潔生產(chǎn)機會包括但不限于：

a)通過VOCs平衡核算，理清VOCs產(chǎn)生的源頭及貢獻最大的工藝環(huán)節(jié)與部位，分析VOCs產(chǎn)生強度

大、治理設(shè)施效率低下等問題的原因與改善潛力，并提出相應(yīng)改善建議；

b)收集整理VOCs治理設(shè)施管理制度與程序，徹底排查相關(guān)管理制度貫徹的實際情況，深入梳理

VOCs治理設(shè)施管理業(yè)務(wù)流程的瓶頸與優(yōu)化潛力，并提出相應(yīng)改善建議。

6.2.3擬解決問題的確定

6.2.3.1匯總各生產(chǎn)要素改善潛力（見6.1.2），VOCs專項清潔生產(chǎn)指標評價結(jié)果（見6.1.3）和審

核重點分析發(fā)現(xiàn)的清潔生產(chǎn)改善潛力與機會（見6.2.2）。

6.2.3.2采用簡單比較或權(quán)重分析等方法對清潔生產(chǎn)改善潛力與機會進行優(yōu)先等級排序，確定本輪審

核VOCs相關(guān)擬解決的重點問題。應(yīng)充分考慮：

10

T/GDSESXXXXX

a)問題的解決是否可以達到法規(guī)政策的要求；

b)解決問題需要的資源投入是否符合企業(yè)的承受能力；

c)解決問題的時間周期是否匹配企業(yè)的生產(chǎn)時序與可操作窗口期。

6.2.3.3對本輪暫不解決的問題，應(yīng)明確原因。

6.2.4審核目標設(shè)置

6.2.4.1預測清潔生產(chǎn)改善程度，設(shè)置改善后預期達到的目標指標。設(shè)置的清潔生產(chǎn)目標指標應(yīng)符合

以下要求：

a)與VOCs相關(guān)擬解決的問題相對應(yīng)；

b)應(yīng)有定量指標；

c)具有可達性；

d)根據(jù)實際情況，可設(shè)置更遠期目標值。

6.2.4.2目標指標可參照量化統(tǒng)計指標、VOCs相關(guān)清潔生產(chǎn)評價指標體系或清潔生產(chǎn)標準評價指標、

VOCs相關(guān)減排指標、行業(yè)先進水平、企業(yè)歷史最好水平、改善潛力預期效果。

6.2.4.3若因不可抗力因素或其他特殊情況導致無法達成目標，宜對目標進行調(diào)整，并明確原因。

6.3清潔生產(chǎn)方案的產(chǎn)生和確定

6.3.1清潔生產(chǎn)方案的提出

根據(jù)本輪清潔生產(chǎn)VOCs相關(guān)擬解決的問題（見6.2.3），提出VOCs控制與減排解決方案。方案產(chǎn)生

的途徑包括但不限于：

a)廣泛征集合理化建議提案；

b)參考相似案例和同行業(yè)先進技術(shù)；

c)咨詢技術(shù)專家與相關(guān)人士。

電子元件制造業(yè)中常見VOCs相關(guān)清潔生產(chǎn)實施途徑見附錄D。

6.3.2清潔生產(chǎn)方案的系統(tǒng)性篩選

6.3.2.1對所有VOCs相關(guān)清潔生產(chǎn)方案進行分類匯總。

6.3.2.2對方案進行初步評估，重點考慮技術(shù)可行性、環(huán)境效果、經(jīng)濟效果、實施難易程度、對生產(chǎn)

和產(chǎn)品的影響等因素，剔除技術(shù)不可行或產(chǎn)生環(huán)境負面影響的方案。

6.3.2.3系統(tǒng)性考慮各方案所處環(huán)節(jié)的VOCs控制與減排作用；若提出了解決相同問題或產(chǎn)生類似績效

的若干方案，優(yōu)先選擇源頭控制類型的。

6.3.3清潔生產(chǎn)方案信息的確定

6.3.3.1明確初步可行的清潔生產(chǎn)方案的相關(guān)信息，應(yīng)包括：

a)方案名稱：應(yīng)體現(xiàn)實施對象、技術(shù)與改善建議等信息；

b)方案背景：明確方案產(chǎn)生的原因、必要性與實施目的；

c)實施內(nèi)容：方案的技術(shù)路線、改善內(nèi)容及設(shè)備設(shè)施等信息；

d)資金投入預算；

e)預期績效：包括環(huán)境效益（特別是VOCs減排績效）、經(jīng)濟效益和社會效益。

6.3.3.2根據(jù)實際情況，劃分VOCs專項清潔生產(chǎn)重點方案與一般方案；重點方案宜包含如下屬性：

a)更契合VOCs綜合防控與系統(tǒng)性減排的審核目的；

b)VOCs減排績效直接貢獻較多；

c)對審核目標有較強的支撐作用。

6.3.4重點清潔生產(chǎn)方案可行性確定

11

T/GDSESXXXXX

6.3.4.1綜合評估

從技術(shù)、環(huán)境和經(jīng)濟三方面的可行性進行綜合評估，包括：

a)技術(shù)可行性評估：

——工藝路線、技術(shù)設(shè)備在經(jīng)濟合理條件下先進適用，

——與國家有關(guān)技術(shù)、能源政策相符，

——技術(shù)引進或設(shè)備進口符合我國國情，

——資源利用率和技術(shù)途徑合理，

——技術(shù)設(shè)備操作上安全可靠，

——在企業(yè)現(xiàn)有條件下具有可操作性。

b)環(huán)境可行性評估：

——對VOCs各過程防控（源頭控制、過程控制或末端減排）有利，

——不直接增加污染負荷與環(huán)境影響，

——對操作人員無生產(chǎn)安全與職業(yè)健康影響，

——對資源能源可持續(xù)利用有利，

——對產(chǎn)業(yè)鏈和供應(yīng)鏈綠色化提升有利，

——對提升企業(yè)形象和行業(yè)競爭力有利。

c)經(jīng)濟可行性評估：

——一次性投入處于合理區(qū)間，

——運營成本處于合理區(qū)間。

6.3.4.2確定可行的重點方案

通過方案的可行性分析比較，以選擇技術(shù)可行又可獲得環(huán)境和經(jīng)濟最佳效益的方案進行科學決策，

確定最佳可行的重點方案。

6.4清潔生產(chǎn)方案的實施

6.4.1制定清潔生產(chǎn)方案實施計劃，包括：

a)方案名稱；

b)實施內(nèi)容；

c)職責分工；

d)開始及完成時間；

e)所需資金。

6.4.2按計劃組織實施清潔生產(chǎn)方案。

6.4.3根據(jù)方案實施情況計算并匯總已實施方案的環(huán)境、經(jīng)濟和社會效益。

6.4.4未完成實施的方案，明確其原因。

7效果評價

7.1方案實施后生產(chǎn)要素調(diào)查

7.1.1對方案實施后效果評估期的環(huán)境狀況進行調(diào)查，包括但不限于：

a)調(diào)查VOCs無組織控制情況，對照DB44/2367的相關(guān)要求，評價符合性；

b)收集和整理VOCs無組織與有組織排放的環(huán)境監(jiān)測數(shù)據(jù)，對照相應(yīng)的適用排放標準，評價達標

情況；

c)考察含VOCs危險廢物的VOCs無組織控制情況，對照DB44/2367的相關(guān)要求，評價符合性；

d)參考附錄E.2和附錄E.3進行VOCs輸入輸出核算，計算并評價VOCs排放總量（包括無組織和有

組織排放）的達標情況；參考附錄E.4,計算方案實施后的減排績效。

7.1.2對效果評估期的VOCs相關(guān)其它生產(chǎn)要素狀況進行調(diào)查，根據(jù)實際情況應(yīng)包括但不限于：

12

T/GDSESXXXXX

a)相關(guān)產(chǎn)品產(chǎn)量的變化情況；

b)VOCs相關(guān)生產(chǎn)工藝技術(shù)與生產(chǎn)設(shè)施的變化情況；

c)VOCs物料消耗的變化情況。

7.1.3基準期與效果評估期對比分析時，應(yīng)注意：

a)根據(jù)實際情況，應(yīng)與基準期情況進行對比；量化指標應(yīng)進行量化對比；

b)發(fā)生顯著改善的指標，應(yīng)確保有可信的數(shù)據(jù)依據(jù)與合理的計算方法。

7.2VOCs專項清潔生產(chǎn)指標評價（效果評估期）

7.2.1采用與基準期一致的VOCs專項清潔生產(chǎn)指標評價方法，評價效果評估期的VOCs相關(guān)指標的清

潔生產(chǎn)水平。

7.2.2對比分析VOCs相關(guān)主要評價指標的變化情況，作出評價結(jié)論；效果評估期VOCs相關(guān)清潔生產(chǎn)

評價指標未改善的，應(yīng)分析原因，提出持續(xù)改善建議。

7.3清潔生產(chǎn)目標達成情況

確定清潔生產(chǎn)目標達成情況。效果評估期與基準期生產(chǎn)負荷差距較大的，應(yīng)進行數(shù)據(jù)歸一化處理；

效果評估期未達到目標值的，應(yīng)分析原因，修訂持續(xù)改善的更遠期目標，提出持續(xù)改善建議。

7.4宣傳清潔生產(chǎn)審核成果

在總結(jié)已實施的清潔生產(chǎn)方案績效的基礎(chǔ)上，組織宣傳材料，在企業(yè)內(nèi)部宣傳清潔生產(chǎn)的成果，為

持續(xù)推進清潔生產(chǎn)打好基礎(chǔ)。

8持續(xù)清潔生產(chǎn)

制定持續(xù)清潔生產(chǎn)審核計劃，應(yīng)包括：

a)落實持續(xù)清潔生產(chǎn)的負責部門和負責人；

b)制定持續(xù)清潔生產(chǎn)管理制度，將本輪清潔生產(chǎn)審核成果中關(guān)于管理改進的方案納入日常管理；

c)根據(jù)實際情況，明確未完成清潔生產(chǎn)方案（見6.4.4）的實施計劃與職責分工；

d)根據(jù)6.2.4.3、7.2、7.3.2的具體情況，確定持續(xù)清潔生產(chǎn)的改善方向。

9VOCs專項清潔生產(chǎn)審核報告編寫

總結(jié)本輪清潔生產(chǎn)審核成果，編制《揮發(fā)性有機物專項清潔生產(chǎn)審核報告》。

編制方法見《揮發(fā)性有機物專項清潔生產(chǎn)審核第3部分：專項審核報告編制指南》（T/GDSESXXXX

—XXXX）。

13

T/GDSESXXXXX

附錄A

（資料性）

電子元件制造業(yè)VOCs相關(guān)生產(chǎn)環(huán)節(jié)

電子元件制造業(yè)VOCs相關(guān)生產(chǎn)環(huán)節(jié)可參考表A.1。

表A.1電子元件制造業(yè)VOCs相關(guān)生產(chǎn)環(huán)節(jié)

涉VOCs物料

行業(yè)類別涉VOCs工藝涉VOCs設(shè)備設(shè)施

（包括但不限于）

電子真空器件制造清洗清洗機有機清洗劑

C3971表面涂覆涂覆機、烘烤/固化機有機涂覆劑

半導體分立器件制清洗清洗機有機清洗劑

造C3972光刻（涂布、曝光、顯影）涂膠機、光刻機、顯影機光刻膠、稀釋劑

集成電路制造C3973

半導體照明器件制蝕刻、去膠蝕刻去膠設(shè)備異丙醇、有機溶劑

造C3975

光電子器件制造化學機械拋光（干燥洗）/異丙醇

C3976封裝（塑封+烘烤）塑封壓機、烤箱環(huán)氧樹脂

有機清洗劑、光刻膠、稀釋劑、

陣列清洗機、光刻機、剝離機

顯影液、剝離液

彩膜清洗機、涂膠機、光刻機、顯影機有機清洗劑、光刻膠、顯影液

顯示器件制造C3974成盒清洗機、涂膠/固化機有機清洗劑、配向材料

模組涂膠機膠粘劑

蒸鍍清洗機、有機蒸鍍機、固化/烘烤機有機清洗劑、有機蒸鍍材料

化學沉銅沉銅線甲醛

阻焊印刷阻焊印刷機阻焊油墨、稀釋劑

電子電路制造C3982文字印刷文字印刷機文字油墨、稀釋劑

洗網(wǎng)清洗機有機洗網(wǎng)水

有機涂覆涂覆機/涂布機涂布油墨、稀釋劑

注塑成型機PP、PS、PE等樹脂

噴漆噴涂生產(chǎn)線、烤箱涂料、稀釋劑

電阻電容電感元件

制造C3981印刷印刷機、烤箱油墨、稀釋劑

敏感元件及傳感器

含浸含浸設(shè)備、干燥爐含浸劑、甲醇等有機溶劑

制造C3983

電聲器件及零件制清洗清洗機有機清洗劑

造C3984

貼合貼合成型機、加膠機橡膠制品、膠水、稀釋劑

上膠/涂布點膠機、上膠機、加膠機、涂布機膠水

電子專用材料制造涂布/有機涂覆涂布機/有機涂覆機、烘干機涂料、稀釋劑

C3985混膠、調(diào)膠反應(yīng)釜溶劑、環(huán)氧樹脂、固化劑

14

T/GDSESXXXXX

涉VOCs物料

行業(yè)類別涉VOCs工藝涉VOCs設(shè)備設(shè)施

（包括但不限于）

上膠上膠機、烘干機丙酮、玻璃纖維布

研磨磨砂機、三輥研磨機研磨液

15

T/GDSESXXXXX

附錄B

（資料性）

電子元件制造業(yè)主要典型工藝

B.1電子器件制造（C397）

B.1.1電子真空器件（C3971）

利用電子在真空或者氣體中與電磁場發(fā)生相互作用，將一種形式電磁能量轉(zhuǎn)換為另一種形式電磁能

量的器件。

指電子熱離子管、冷陰極管或光電陰極管及其他真空電子器件，以及電子管零件的制造。主要的涉

VOCs工藝為有機涂覆工藝，主要設(shè)備為有機清洗機和涂覆機。

B.1.2半導體分立器件（C3972）

獨立封裝并具有兩個或以上引線或金屬接點的三極管、二極管、傳感器等電路單元，或產(chǎn)品。

最常見的雙極管（Bipolar）之一的NPN三極管流程主要工藝有：氧化、光刻、N型外延、基區(qū)擴

散、發(fā)射區(qū)擴散、A1金屬化、化學氣相積(CVD）鈍化層等步驟。

半導體分立器件典型工藝如圖B.1。

圖B.1半導體分立器件生產(chǎn)典型工藝

16

T/GDSESXXXXX

B.1.3集成電路制造（C3973）

指單片集成電路、混合式集成電路的制造。

通過一系列特定的加工工藝，將晶體管、二極管等有源器件和電阻器、電容器等無源元件，按照一

定的電路互連，集成在半導體晶片上，構(gòu)成特定功能的電路或系統(tǒng)。

集成電路制造典型工藝如圖B.2。

圖B.2集成電路制造生產(chǎn)典型工藝

17

T/GDSESXXXXX

B.1.4顯示器器件（C3974）

指基于電子手段呈現(xiàn)信息供視覺感受的器件及模組的制造，包括薄膜晶體管液晶顯示器件（TN/STN

—LCD、TFT—LCD）、場發(fā)射顯示器件（FED）、真空熒光顯示器件（VFD）、有機發(fā)光二極管顯示器件

（OLED）、等離子顯示器件（PDP）、發(fā)光二極管顯示器件（LED）、曲面顯示器件以及柔性顯示器件等。

顯示器件典型生產(chǎn)工藝流程如圖B.3～圖B.5。

圖B.3陣列生產(chǎn)工藝流程圖（TFT—LCD）

18

T/GDSESXXXXX

圖B.4彩膜生產(chǎn)工藝流程圖（TFT—LCD）

圖B.5成盒生產(chǎn)工藝流程圖（TFT-LCD）

19

T/GDSESXXXXX

B.2電子元件及電子材料制造（C398）

B.2.1電阻電容電感元件（C3981）

指電容器（包括超級電容器）、電阻器、電位器、電感器件、電子變壓器件的制造。其典型工藝見

圖B.6。

圖B.6陶瓷電容器生產(chǎn)工藝流程圖

B.2.2電子電路制造（C3982）

指在絕緣基材上采用印制工藝形成電氣電子連接電路，以及附有無源與有源元件的制造，包括印刷

電路板及附有元器件構(gòu)成電子電路功能組合件。

20

T/GDSESXXXXX

在絕緣基材上，按預定設(shè)計形成印制元件、印制線路或帶有兩者結(jié)合導電圖形的印制電路成品板，

也稱印制線路成品板，簡稱印制板。

印制電路板行業(yè)生產(chǎn)工藝復雜，涉及工序多，采用的原輔材料類型也較多，VOCs廢氣來源于防焊油

墨、文字油墨印刷、網(wǎng)版清洗、油墨調(diào)配等環(huán)節(jié)以及噴錫工藝，主要是由于油墨、稀釋劑、洗網(wǎng)水、助

焊劑等VOCs物料使用產(chǎn)生。

線路板生產(chǎn)典型工藝見圖B.7。

圖B.7印制電路板生產(chǎn)工藝流程圖

B.2.3電聲器件及零件（C3984）

指揚聲器、送受話器、耳機、音箱及零件等制造。

主要生產(chǎn)工藝過程包括零件生產(chǎn)和電聲器件組裝過程，涉VOCs的生產(chǎn)工序主要包括注塑成型、部品

噴漆、部品印刷、部品含浸、貼合、上膠/涂布等工藝。

21

T/GDSESXXXXX

B.2.4電子專用材料（C3985）

指用于電子元器件、組件及系統(tǒng)制備的專用電子功能材料、互聯(lián)與封裝材料、工藝及輔助材料的制

造，包括半導體材料、光電子材料、磁性材料、鋰電池材料、電子陶瓷材料、覆銅板及銅箔材料、電子

化工材料等。

電子專用材料是在半導體集成電路、各種電子元器件（包括有源及無源元器件、激光器件、光通訊

器件、發(fā)光二極管器件、液晶顯示器件等電子基礎(chǔ)產(chǎn)品）制造中所采用的特定材料。電子專用材料的種

類非常多，主要有如下類別：

a)半導體材料：包括單晶硅棒（片）、單晶硅、砷化等；

b)覆銅板：包括剛性覆銅板、撓性覆銅板、金屬基覆銅板、印制電路用黏結(jié)片等；

c)電子銅箔：包括印制電路用電解銅箔、壓延銅箔、合金箔等；

d)鋁電解電容器電極箔：包括未化成電極箔、化成電極箔等；

e)光電子材料：包括發(fā)光二極管（LED）用藍寶石基片，液晶顯示器件（LCD）、有機發(fā)光二極

管顯示器件（OLED）、非線性晶體等所用的材料等；

f)壓電晶體材料：包括石英晶棒及晶片、鋸酸鯉晶棒及晶片、硫酸鯉晶棒及晶片、頻率片等；

g)電子專用精細化工與高分子材料：包括電子導電漿料等。

幾種典型電子專用材料的生產(chǎn)工藝如圖B.8和圖B.9。

圖B.8銅箔生產(chǎn)工藝流程圖

22

T/GDSESXXXXX

圖B.9覆銅板/半固化片生產(chǎn)工藝流程圖

23

T/GDSESXXXXX

附錄C

（規(guī)范性）

電子元件制造業(yè)涉VOCs原輔材料VOCs含量限值

C.1電子元件制造業(yè)涉VOCs原輔材料含量限值見表C.1。

表C.1電子元件制造業(yè)涉VOCs原輔材料含量限值

涉VOCs物料類型涉VOCs物料名稱VOCs含量限值單位備注

氯丁橡膠類600g/L要求a

苯乙烯、丁二