《集成電路和半導(dǎo)體行業(yè)隔振系統(tǒng)設(shè)計及技術(shù)要求》編制說明

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

《集成電路和半導(dǎo)體行業(yè)隔振系統(tǒng)設(shè)計及技術(shù)要

求》

編制說明書

2023年12月

《集成電路和半導(dǎo)體行業(yè)隔振系統(tǒng)設(shè)計及技術(shù)要求》

編制說明

一、工作簡況

1.任務(wù)來源

本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》

起草；本標(biāo)準(zhǔn)由中國國際科技促進(jìn)會標(biāo)準(zhǔn)化工作委員會提出。本標(biāo)準(zhǔn)由中國國際科技促進(jìn)

會歸口。編制工作由上海大學(xué)力學(xué)與工程科學(xué)學(xué)院等單位負(fù)責(zé)。

2.項目的重要性和必要性

低納米制程光刻機(jī)作為民主復(fù)興版圖的重要一塊，已經(jīng)上升為國家的戰(zhàn)略目標(biāo)。研究

表明，振動往往是制約光刻機(jī)向低納米制程發(fā)展的重要因素，因此研究出高性能的隔振器，

對低納米制程光刻機(jī)的發(fā)展具有重要意義。為提高光刻環(huán)境的振動品質(zhì)，以非線性主動隔

振技術(shù)為核心的高性能隔振器應(yīng)運而生，以期為低納米制程光刻機(jī)的制成提供強有力的技

術(shù)支撐。但是目前綜合非線性隔振與主動控制技術(shù)等專利技術(shù)研究偏少。目前國內(nèi)現(xiàn)行的

集成電路隔振系統(tǒng)設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)還不存在。編制《集成電路和半導(dǎo)體行業(yè)隔振系統(tǒng)設(shè)計及技術(shù)

要求》，可以有效彌補現(xiàn)有標(biāo)準(zhǔn)中隔振系統(tǒng)設(shè)計及技術(shù)要求的缺項。

3.相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

(1)GB2298-80機(jī)械振動、沖擊名詞術(shù)語

(2)GJB510-88無諧振峰隔振器總規(guī)范

(3)SJ42-77金屬鍍層和化學(xué)處理層的分類、特性、應(yīng)用范圍和標(biāo)記

(4)SJ/Z2924-88振動沖擊隔離系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計技術(shù)導(dǎo)則

(5)SJ20436-1994機(jī)載電子設(shè)備隔振系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計及技術(shù)要求

(6)SJ/T10181-91金屬型隔振器總規(guī)范

4.主要工作過程

(1)起草階段

任務(wù)下達(dá)后，項目承擔(dān)單位于2023年10月19日成立起草編制小組。經(jīng)匯總討論后，起

草組初步確定了標(biāo)準(zhǔn)中需要規(guī)定的主要內(nèi)容。

(2)成立標(biāo)準(zhǔn)制定工作組

任務(wù)下達(dá)后，項目承擔(dān)單位于2023年10月24日成立標(biāo)準(zhǔn)編制組。編制組成員對公共基

礎(chǔ)服務(wù)業(yè)云邊協(xié)同技術(shù)的有關(guān)技術(shù)條件及應(yīng)用分別進(jìn)行了調(diào)研。經(jīng)匯總討論后，編制組確

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定了標(biāo)準(zhǔn)中需要規(guī)定的主要技術(shù)內(nèi)容，并于2023年11月6日完成了初稿并發(fā)送給各參與單

位征求意見。

(3)確定工作計劃

在2023年11月末根據(jù)各參與單位征求意見后，進(jìn)行修改和研討，在12月中形成第一版

征求意見稿，為保障相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的嚴(yán)謹(jǐn)性，項目承擔(dān)單位走訪聯(lián)系多個行業(yè)相關(guān)單位組織內(nèi)

部評審。并于2024年1月5日召開了線上內(nèi)部評審會，項目承擔(dān)單位在會后收集了其他行業(yè)

專家對該爭議的建議。并在2024年1月15日再次邀請相關(guān)專家，對分歧意見進(jìn)行了交流，

并最終達(dá)成統(tǒng)一意見。于2024年2月25日匯總團(tuán)標(biāo)編制專家方面意見后，形成了最終標(biāo)準(zhǔn)

征求意見稿并由中國國際科促會提交全國標(biāo)準(zhǔn)信息平臺。

5.主要起草單位及起草人

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：上海大學(xué)力學(xué)與工程科學(xué)學(xué)院等。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：略

二、標(biāo)準(zhǔn)編制原則、主要內(nèi)容及其確定依據(jù)，修訂標(biāo)準(zhǔn)時，還包括修訂前后

技術(shù)內(nèi)容的對比

1.標(biāo)準(zhǔn)的編寫原則

(1)標(biāo)準(zhǔn)需要具有行業(yè)特點，指標(biāo)及其對應(yīng)的要求要積極參照采用國家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)

準(zhǔn)。

(2)標(biāo)準(zhǔn)能夠體現(xiàn)出技術(shù)的具有關(guān)鍵共性的技術(shù)要素。

(3)標(biāo)準(zhǔn)能夠為技術(shù)的研發(fā)、改進(jìn)指出明確的方向。

(4)標(biāo)準(zhǔn)需要具有科學(xué)性、先進(jìn)性和可操作性。

(5)要能夠結(jié)合行業(yè)實際情況和技術(shù)特點。

(6)與相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)法規(guī)協(xié)調(diào)一致。

(7)促進(jìn)行業(yè)健康發(fā)展與技術(shù)進(jìn)步。

2.標(biāo)準(zhǔn)的依據(jù)

本標(biāo)準(zhǔn)參考以下文件進(jìn)行編寫，在編制過程中著重考慮了科學(xué)性、適用性和可操作性。

(1)GB2298-80機(jī)械振動、沖擊名詞術(shù)語

(2)GJB510-88無諧振峰隔振器總規(guī)范

(3)SJ42-77金屬鍍層和化學(xué)處理層的分類、特性、應(yīng)用范圍和標(biāo)記

(4)SJ/Z2924-88振動沖擊隔離系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計技術(shù)導(dǎo)則

(5)SJ20436-1994機(jī)載電子設(shè)備隔振系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計及技術(shù)要求

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(6)SJ/T10181-91金屬型隔振器總規(guī)范

3.制定標(biāo)準(zhǔn)的基礎(chǔ)

傳統(tǒng)隔振通過降低剛度來獲得苛刻的隔振性能，無法平衡極低頻隔振和大承載能力之

間的矛盾，亟需創(chuàng)新性技術(shù)來解決此類問題。2008年Ibrahim定義非線性隔振器，并對如

何實現(xiàn)運動中的非線性剛度進(jìn)行了機(jī)理闡述。由于非線性隔振器具有靜態(tài)高剛度、動態(tài)低

剛度（高靜低動）的特點，同時兼顧極低頻隔振和大承載能力，已經(jīng)成為實現(xiàn)極低頻隔振

的理想方案。經(jīng)歷了長足的發(fā)展，人們在非線性隔振領(lǐng)域進(jìn)行了很多探索，也發(fā)明了很多

不同構(gòu)型、不同功能、不同材料的非線性隔振器。由于被動非線性隔振器對載荷變化敏感，

在不同載荷下隔振器效果變差甚至失效，載荷敏感已經(jīng)成為非線性隔振工程應(yīng)用的瓶頸難

題。非線性主動隔振技術(shù)具有自適應(yīng)特點，可以有效克服載荷變化的問題，在苛刻振動品

質(zhì)要求中具有潛在應(yīng)用價值?！北緲?biāo)準(zhǔn)依托上海大學(xué)力學(xué)與工程科學(xué)學(xué)院等技術(shù)團(tuán)隊，在

中國國際科技促進(jìn)會的指導(dǎo)下，聯(lián)合研究與技術(shù)攻關(guān)，首先提出非線性主動隔振技術(shù)，在

被動高靜低動剛度彈簧的基礎(chǔ)上引入主動控制算法，進(jìn)而適應(yīng)不同載荷條件。集成電路和

半導(dǎo)體行業(yè)隔振系統(tǒng)設(shè)計及技術(shù)要求填補了半導(dǎo)體集成電路用隔振器設(shè)計行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的空白，

所有關(guān)鍵技術(shù)都由發(fā)明專利作為支撐。

4.實際應(yīng)用效果

集成電路和半導(dǎo)體行業(yè)隔振系統(tǒng)包括：設(shè)計程序、結(jié)構(gòu)型式和技術(shù)要求。

(1)非線性主動隔振技術(shù)已經(jīng)在實驗室進(jìn)行了全工況測試，技術(shù)成熟度較高，可以作

為未來技術(shù)發(fā)展的基礎(chǔ)。在該項技術(shù)基礎(chǔ)上，制成了首臺多自由度非線性主動隔振器，經(jīng)

測試，該隔振器的隔振帶寬可以從低頻0.7Hz開始到高頻10kHz結(jié)束，實現(xiàn)了寬頻隔振；控

制精度可達(dá)微納米級，達(dá)到國際先進(jìn)技術(shù)水平；對比現(xiàn)有產(chǎn)品，本項目產(chǎn)品控制精度高，

隔振帶寬寬，極低頻顯著。

三、預(yù)期的經(jīng)濟(jì)效果

主要起草單位先后在光刻膠檢測裝置、曝光裝置、封裝光刻機(jī)等場景開展非線性主動

隔振技術(shù)應(yīng)用，探索并掌握非線性主動隔振技術(shù)的關(guān)鍵問題與參數(shù)，總結(jié)經(jīng)驗、掌握規(guī)律，

在實踐中對于制定集成電路半導(dǎo)體行業(yè)用隔振器，為光學(xué)制造減振的技術(shù)方案提供有力參

考，指導(dǎo)后續(xù)類似項目的施工具有重要意義。

四、與國際、國外同類標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)內(nèi)容的對比情況，或者與測試的國外樣品、

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樣機(jī)的有關(guān)數(shù)據(jù)對比情況

本標(biāo)準(zhǔn)按照我國集成電路和半導(dǎo)體行業(yè)用隔振系統(tǒng)推廣應(yīng)用的實際情況，根據(jù)在該領(lǐng)

域已經(jīng)取得的成果、經(jīng)驗和可行技術(shù)方案、實施方案，自主制定。

五、以國際標(biāo)準(zhǔn)為基礎(chǔ)的起草情況，以及是否合規(guī)引用或者采用國際國外標(biāo)

準(zhǔn)，并說明未采用國際標(biāo)準(zhǔn)的原因

本標(biāo)準(zhǔn)自主制定。

六、與有關(guān)法律、行政法規(guī)及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)系

遵守和符合相關(guān)法律法規(guī)和強制性標(biāo)準(zhǔn)要求。規(guī)范性引用文件包括：

1.GB2298-80機(jī)械振動、沖擊名詞術(shù)語

2.GJB510-88無諧振峰隔振器總規(guī)范

3.SJ42-77金屬鍍層和化學(xué)處理層的分類、特性、應(yīng)用范圍和標(biāo)記

4.SJ/Z2924-88振動沖擊隔離系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計技術(shù)導(dǎo)則

5.SJ20436-1994機(jī)載電子設(shè)備隔振系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計及技術(shù)要求

6.SJ/T10181-91金屬型隔振器總規(guī)范

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會關(guān)于印發(fā)《2023年全國標(biāo)準(zhǔn)化工作要點》的通知指出要瞄準(zhǔn)重

要領(lǐng)域和交叉領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)突破，加快工業(yè)母機(jī)、半導(dǎo)體設(shè)備、工業(yè)軟件、新材料、新

型儲能、核心元器件等領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)制定。整合優(yōu)化集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈標(biāo)準(zhǔn)體系，推動上下游

產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展

本標(biāo)準(zhǔn)符合國家發(fā)展與推進(jìn)實施標(biāo)準(zhǔn)化專項行動內(nèi)容，與現(xiàn)行的國家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

相協(xié)調(diào)、互為補充。

七、重大分歧意見的處理經(jīng)過和依據(jù)

本標(biāo)準(zhǔn)在編寫過程中無重大意見分歧。

八、涉及專利的有關(guān)說明

標(biāo)準(zhǔn)中涉及以下專利，并已進(jìn)行披露，專利權(quán)人或?qū)＠暾埲送庠诠健⒑侠?、無

歧視基礎(chǔ)上，收費許可任何組織或者個人在實施該團(tuán)隊標(biāo)準(zhǔn)時實施專利：

5

無

九、實施標(biāo)準(zhǔn)的要求，以及組織措施、技術(shù)措施、過渡期和實施日期的建議

等措施建議

貫徹團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)《集成電路和半導(dǎo)體行業(yè)隔振系統(tǒng)設(shè)計及技術(shù)要求》，需要各方參與者

緊密合作，共同努力，確保集成電路用隔振技術(shù)和應(yīng)用的健康發(fā)展。

對于集成電路和半導(dǎo)體行業(yè)隔振系統(tǒng)的開發(fā)方，可以參考標(biāo)準(zhǔn)中的要求，建立規(guī)范的

管理平臺和技術(shù)體系，提供安全、可靠、高效的技術(shù)服務(wù)，同時保證服務(wù)的質(zhì)量、可用性

和可擴(kuò)展性；對于公共基礎(chǔ)服務(wù)業(yè)云邊協(xié)同技術(shù)的實施