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傳感器技術(shù)

傳感器技術(shù)15.1概述25.3位移測(cè)量傳感器35.2位置測(cè)量傳感器4

5.5力、力矩測(cè)量傳感器55.4速度測(cè)量傳感器大腦感覺(jué)器官肌肉關(guān)節(jié)視覺(jué)嗅覺(jué)聽(tīng)覺(jué)味覺(jué)觸覺(jué)神經(jīng)神經(jīng)四肢控制器驅(qū)動(dòng)器執(zhí)行機(jī)構(gòu)傳感器接口/通信接口/通信

傳感器相當(dāng)于人的感覺(jué)器官,控制器相當(dāng)于人的大腦,執(zhí)行機(jī)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)器相當(dāng)于肌肉和關(guān)節(jié),接口及通信系統(tǒng)相當(dāng)于人的神經(jīng)系統(tǒng)。要使機(jī)電一體化有效地發(fā)揮作用,必須首先借助傳感器獲取外部環(huán)境和系統(tǒng)內(nèi)部各種各樣的信息。

機(jī)電一體化與人5.1概述

傳感器傳感器是一種以測(cè)量為目的、以一定的精度把被測(cè)量轉(zhuǎn)換為與之有確定關(guān)系的、便于處理的另一種物理量的測(cè)量器件。傳感器的輸出信號(hào)多為易處理的電量,如電壓、電流、頻率等。傳感器由敏感元件、傳感元件及測(cè)量轉(zhuǎn)換電路組成。

敏感元件

傳感元件

測(cè)量轉(zhuǎn)換電路非電量非電量電參量電量(被測(cè)量)5.1概述

電橋

放大

顯示彈性敏感元件電阻應(yīng)變片信號(hào)處理電路被測(cè)壓力FRU

在彈性敏感元件上粘貼有一種稱電阻應(yīng)變片的傳感元件,該傳感元件能將變形量轉(zhuǎn)換為電阻值(電參量)的變化。應(yīng)變片電阻值的變化由電橋電路轉(zhuǎn)換成電壓輸出,電橋電路即為測(cè)量轉(zhuǎn)換電路。因?yàn)樵谵D(zhuǎn)換過(guò)程中,壓力、變形量、電阻值及電壓均成線性關(guān)系,因此,最終壓力與電壓成線性對(duì)應(yīng)關(guān)系。壓力轉(zhuǎn)換成電壓后,經(jīng)過(guò)放大等一系列處理,由手持式顯示器顯示出壓力變化值。5.1概述機(jī)械量測(cè)量傳感器

機(jī)械量通常包括各種幾何量和力學(xué)量,如長(zhǎng)度、位移、厚度、轉(zhuǎn)矩、轉(zhuǎn)速、振動(dòng)和力等。本章主要討論機(jī)電一體化技術(shù)中常用的位置、位移、速度、力、力矩等機(jī)械量的測(cè)量方法及測(cè)量?jī)x表。

5.1概述5.2位置測(cè)量傳感器

位置檢測(cè)在航空航天技術(shù)、機(jī)床以及其他過(guò)程工業(yè)生產(chǎn)中都有廣泛的應(yīng)用。當(dāng)前實(shí)現(xiàn)位置檢測(cè)主要是使用各種各樣的接近開(kāi)關(guān)。在日常生活中、測(cè)量技術(shù)中、控制技術(shù)中和安全防盜方面,接近開(kāi)關(guān)來(lái)實(shí)現(xiàn)位置檢測(cè)都有應(yīng)用。常見(jiàn)的接近開(kāi)關(guān)有以下幾種:渦流式接近開(kāi)關(guān)、電容式接近開(kāi)關(guān)、霍爾接近開(kāi)關(guān)、光電式接近開(kāi)關(guān)、熱釋電式接近開(kāi)關(guān)等其它型式的接近開(kāi)關(guān)。5.2.1位置傳感器的技術(shù)指標(biāo)檢測(cè)距離:被測(cè)物體按一定方式移動(dòng)時(shí),從基準(zhǔn)位置(傳感器的感應(yīng)表面)到傳感器動(dòng)作時(shí)測(cè)得的位置的空間距離。復(fù)位距離:被測(cè)物體按一定方式移動(dòng)時(shí),從基準(zhǔn)位置(傳感器的感應(yīng)表面)到傳感器最遠(yuǎn)可動(dòng)作時(shí)測(cè)得的位置的空間距離。差動(dòng)距離:復(fù)位距離與檢測(cè)距離之差。響應(yīng)時(shí)間:從物體進(jìn)入可檢測(cè)區(qū)間到傳感器有信號(hào)輸出之間的時(shí)間差T1,或從物體推出可檢測(cè)區(qū)間到傳感器輸出信號(hào)消失之間的時(shí)間差T2。5.2.1位置傳感器的技術(shù)指標(biāo)圖5-2位置傳感器技術(shù)指標(biāo)5.2.1位置傳感器的技術(shù)指標(biāo)圖5-2位置傳感器技術(shù)指標(biāo)

渦流式接近開(kāi)關(guān)屬于一種有開(kāi)關(guān)量輸出的位置傳感器,它由LC高頻振蕩器和放大處理電路組成,利用金屬物體在接近這個(gè)能產(chǎn)生電磁場(chǎng)的振蕩感應(yīng)頭時(shí),使物體內(nèi)部產(chǎn)生渦流。這個(gè)渦流反作用于接近開(kāi)關(guān),使接近開(kāi)關(guān)振蕩能力衰減,內(nèi)部電路的參數(shù)發(fā)生變化,由此識(shí)別出有無(wú)金屬物體接近,進(jìn)而控制開(kāi)關(guān)的關(guān)斷或者導(dǎo)通。

(1)渦流式接近開(kāi)關(guān)的測(cè)量原理

5.2.2常用位置傳感器檢測(cè)材質(zhì):金屬渦流式接近開(kāi)關(guān)5.2.2常用位置傳感器5.2.2常用位置傳感器渦流式接近開(kāi)關(guān)的工作流程

工作流程方框圖

利用渦流式接近開(kāi)關(guān)來(lái)檢測(cè)傳送帶上的工件,當(dāng)有工件接近時(shí),接近開(kāi)關(guān)上的觸點(diǎn)動(dòng)作,常開(kāi)觸點(diǎn)閉合,常閉觸點(diǎn)斷開(kāi)。

圖5-5接近開(kāi)關(guān)應(yīng)用—統(tǒng)計(jì)工件數(shù)5.2.2常用位置傳感器

渦流式接近開(kāi)關(guān)在實(shí)際的制造工業(yè)流水線上,渦流式接近開(kāi)關(guān)有著較為廣泛的應(yīng)用。渦流式接近開(kāi)關(guān)不與被測(cè)物體接觸,依靠電磁場(chǎng)變化來(lái)檢測(cè),大大提高了檢測(cè)的可靠性,也保證了電感式接近開(kāi)關(guān)的使用壽命。所以,該類型的接近開(kāi)關(guān)在制造工業(yè)中,比如機(jī)床、汽車制造等行業(yè)使用頻繁。5.2.2常用位置傳感器2.電容式接近開(kāi)關(guān)

電容式傳感器的測(cè)量頭通常是構(gòu)成電容器的一個(gè)極板,而另一個(gè)極板是物體的本身,兩者構(gòu)成一個(gè)電容器,該電容接入后級(jí)RC振蕩器中;當(dāng)被測(cè)物體靠近電容式傳感器時(shí),該電容器的容量增加,使振蕩器開(kāi)始振蕩,通過(guò)后級(jí)電路的處理,將停振和振蕩兩種信號(hào)轉(zhuǎn)換成開(kāi)關(guān)信號(hào),從而起到了檢測(cè)有無(wú)物體存在的目的。檢測(cè)材質(zhì):金屬,塑料,尼龍,紙,水,油等5.2.2常用位置傳感器電容式接近開(kāi)關(guān)工作流程圖5.2.2常用位置傳感器電容式接近開(kāi)關(guān)應(yīng)用5.2.2常用位置傳感器(3)霍爾接近開(kāi)關(guān)

霍爾元件是一種磁敏元件。利用霍爾元件做成的開(kāi)關(guān),叫做霍爾開(kāi)關(guān)。當(dāng)磁性物件移近霍爾開(kāi)關(guān)時(shí),開(kāi)關(guān)檢測(cè)面上的霍爾元件因產(chǎn)生霍爾效應(yīng)而使開(kāi)關(guān)內(nèi)部電路狀態(tài)發(fā)生變化,由此識(shí)別附近有磁性物體存在,進(jìn)而控制開(kāi)關(guān)的通或斷。檢測(cè)材質(zhì):磁性物體。外型圖形符號(hào)5.2.2常用位置傳感器5.2.2常用位置傳感器

霍爾開(kāi)關(guān)傳感器具有較高的靈敏度,能感受到很小的磁場(chǎng)變化,因而可對(duì)黑色金屬零件進(jìn)行計(jì)數(shù)檢測(cè)。下圖所示為利用霍爾開(kāi)關(guān)傳感器來(lái)統(tǒng)計(jì)鋼球在絕緣板上通過(guò)磁鐵的次數(shù)。圖5-9霍爾計(jì)數(shù)裝置工作示意圖5.2.2常用位置傳感器1.遮斷式光電開(kāi)關(guān)

遮斷式光電開(kāi)關(guān)由相互分離且相對(duì)安裝的光發(fā)射器和光接受器組成。當(dāng)被檢測(cè)物體位于發(fā)射器和接受器之間時(shí),光線被阻斷,接受器接受不到紅外線而產(chǎn)生開(kāi)關(guān)信號(hào)。Receiver被檢測(cè)物體光發(fā)射器光接收器(4)光電式接近開(kāi)關(guān)5.2.2常用位置傳感器2.定區(qū)域反射式光電開(kāi)關(guān)

定區(qū)域式光電開(kāi)關(guān)有一個(gè)非常確定的檢測(cè)區(qū)域,不經(jīng)過(guò)該區(qū)域的被測(cè)物體不會(huì)引起光電開(kāi)關(guān)產(chǎn)生開(kāi)關(guān)信號(hào)。檢測(cè)距離檢測(cè)距離5.2.2常用位置傳感器

反射鏡使用偏光三角棱鏡,能將發(fā)射器發(fā)出的光轉(zhuǎn)變成偏振光反射回去,光接收器表面覆蓋一層偏光透鏡,只能接受反射鏡反射回來(lái)的偏振光。反射鏡被測(cè)物體偏振光發(fā)射光3.反射鏡反射型光電開(kāi)關(guān)5.2.2常用位置傳感器

漫反射型光電開(kāi)關(guān)集光發(fā)射器和光接受器于一體。當(dāng)被測(cè)物體經(jīng)過(guò)該光電開(kāi)關(guān)時(shí),發(fā)射器發(fā)出的光線經(jīng)被測(cè)物體表面反射由接受器接受,于是產(chǎn)生開(kāi)關(guān)信號(hào)。漫反射光線反射光線光發(fā)射器和光接受器發(fā)射光線額定距離4.被測(cè)物漫反射型光電開(kāi)關(guān)被檢測(cè)物體5.2.2常用位置傳感器定區(qū)域式光電開(kāi)關(guān)咖啡罐流水線運(yùn)行方向(罐裝高度檢測(cè))儲(chǔ)料倉(cāng)5.光電開(kāi)關(guān)在流水線上的應(yīng)用5.2.2常用位置傳感器6.遮斷型光電開(kāi)關(guān)用于產(chǎn)品質(zhì)量控制5.2.2常用位置傳感器

兩個(gè)柱形結(jié)構(gòu)相對(duì)而立,每隔數(shù)十毫米安裝一對(duì)發(fā)光二極管和光敏接收管,形成光幕,當(dāng)有物體遮擋住光線時(shí),傳感器發(fā)出報(bào)警信號(hào)。接收器7.

光幕5.2.2常用位置傳感器2025/1/4

光幕應(yīng)用

當(dāng)有物體遮擋住光線時(shí),傳感器發(fā)出報(bào)警信號(hào),起保護(hù)、預(yù)警等作用。光線被遮斷(報(bào)警)5.2.2常用位置傳感器

木材外形截面積檢測(cè)5.2.2常用位置傳感器

產(chǎn)品三維尺寸測(cè)量5.2.2常用位置傳感器

孔列檢查5.2.2常用位置傳感器帶材在卷曲過(guò)程中的糾偏5.2.2常用位置傳感器2025/1/4自動(dòng)收費(fèi)系統(tǒng)的車輛檢測(cè)5.2.2常用位置傳感器8.反射鏡反射型光電開(kāi)關(guān)的應(yīng)用

塑料瓶的反射光不是偏振光,不會(huì)引起報(bào)警。反射鏡5.2.2常用位置傳感器9.反射型光電開(kāi)關(guān)的應(yīng)用集成電路方向檢測(cè)集成電路管腳排列檢測(cè)5.2.2常用位置傳感器10.漫反射型光電開(kāi)關(guān)的應(yīng)用5.2.2常用位置傳感器5.2.2常用位置傳感器(5)光纖位置傳感器數(shù)字式光纖傳感器是一種利用光纖進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸?shù)男滦蜏y(cè)量傳感器。它的工作原理是:首先,當(dāng)傳感器頭所測(cè)量的物質(zhì)的參數(shù)的改變時(shí),可以影響光纖中的光脈沖的強(qiáng)度,從而改變光纖內(nèi)的信號(hào)。根據(jù)不同光纖結(jié)構(gòu),光纖傳感器可以分為漫反射普通光纖、對(duì)射普通光纖、同軸光纖、矩形光纖、側(cè)視光纖、槽型光纖、窗口光纖等類型。1.漫反射普通光纖2.對(duì)射普通光纖可用于檢測(cè)料帶的標(biāo)記,通過(guò)不同顏色反光率不同進(jìn)行區(qū)分可檢測(cè)流水線上的不透明物體或半透明物體的有無(wú)5.2.2常用位置傳感器3.同軸光纖可用于芯片腳數(shù)量確認(rèn)4.矩形光纖落料檢測(cè)、標(biāo)記檢測(cè)、糾偏檢測(cè)、大小物體區(qū)分5.2.2常用位置傳感器6.直角光纖5.側(cè)視光纖側(cè)面出光檢測(cè)型,適合狹窄空間使用直角型光纖管,用于檢測(cè)IC針腳5.2.2常用位置傳感器7.槽型光纖可檢測(cè)單雙張透明薄膜和深色物體縫隙8.窗口光纖用于產(chǎn)品計(jì)數(shù)、檢測(cè)和落料檢測(cè)5.2.2常用位置傳感器43熱釋電傳感器

(5)熱釋電式接近開(kāi)關(guān)

用能感知溫度變化的元件做成的開(kāi)關(guān)叫熱釋電式接近開(kāi)關(guān)。這種開(kāi)關(guān)是將熱釋電器件安裝在開(kāi)關(guān)的檢測(cè)面上,當(dāng)有與環(huán)境溫度不同的物體接近時(shí),熱釋電器件的輸出便變化,由此便可檢測(cè)出有物體接近。5.2.2常用位置傳感器44

熱釋電傳感器是一種能檢測(cè)人或動(dòng)物發(fā)射的紅外線而輸出電信號(hào)的傳感器。早在1938年,就有人提出過(guò)利用熱釋電效應(yīng)探測(cè)紅外輻射,但并未受到重視,直到20世紀(jì)60年代才又興起了對(duì)熱釋電效應(yīng)的研究和對(duì)熱釋電晶體的應(yīng)用。

熱釋電晶體已廣泛用于紅外光譜儀、紅外遙感、熱輻射探測(cè)器等。除了在樓道自動(dòng)開(kāi)關(guān)、防盜報(bào)警上得到應(yīng)用外,在更多的領(lǐng)域得到應(yīng)用。例如:在房間無(wú)人時(shí)會(huì)自動(dòng)停機(jī)的空調(diào)機(jī)、飲水機(jī);電視機(jī)能判斷無(wú)人觀看或觀眾已經(jīng)睡覺(jué)后自動(dòng)關(guān)機(jī)的電路;人靠近時(shí)自動(dòng)開(kāi)啟監(jiān)視器或自動(dòng)門鈴;攝影機(jī)或數(shù)碼照相機(jī)自動(dòng)記錄動(dòng)物或人的活動(dòng);……

5.2.2常用位置傳感器45熱釋電報(bào)警器菲涅爾透鏡設(shè)定按鈕高分貝喇叭5.2.2常用位置傳感器46吸頂式熱釋電報(bào)警器5.2.2常用位置傳感器47應(yīng)用:①人體感應(yīng)燈②防盜報(bào)警感應(yīng)范圍5.2.2常用位置傳感器48人體感應(yīng)燈熱釋電傳感器5.2.2常用位置傳感器49人體感應(yīng)燈5.2.2常用位置傳感器50智能空調(diào)智能空調(diào)能探測(cè)出室內(nèi)是否有人及人是靜止還是活動(dòng),據(jù)此自動(dòng)控制開(kāi)關(guān)機(jī)、制冷(熱)量及室溫,以達(dá)到節(jié)能和人性化的目的。熱釋電傳感器的菲涅爾透鏡做成球狀,能探測(cè)出室內(nèi)一定空間角范圍內(nèi)是否有人以及人是靜止還是活動(dòng)。上下范圍左右范圍5.2.3位置傳感器接線方式5.3位移測(cè)量傳感器

測(cè)量位移的方法很多,現(xiàn)已形成多種位移傳感器,而且有向小型化、數(shù)字化、智能化方向發(fā)展的趨勢(shì)。位移傳感器又稱為線性傳感器,常用的有電感式位移傳感器,電容式位移傳感器,光電式位移傳感器,超聲波式位移傳感器,霍爾式位移傳感器,磁致伸縮位移傳感器以及基于光學(xué)的干涉測(cè)量法,光外差法,電鏡法,激光三角測(cè)量法和光譜共焦位移傳感器等技術(shù)。53電感式傳感器是基于電磁感應(yīng)原理,將輸入量轉(zhuǎn)換成電感變化量的一種裝置。常配以不同的敏感元件用來(lái)測(cè)量位移、壓力、振動(dòng)等物理參數(shù)。5.3.1電感式位移傳感器54自感L與氣隙δ成反比,而與氣隙導(dǎo)磁截面積A成正比。W——線圈匝數(shù),μ0——空氣磁導(dǎo)率。(1)可變磁阻式電感傳感器5.3.1電感式位移傳感器55變氣隙式、變面積式和螺線管式電感傳感器分類:5.3.1電感式位移傳感器56其中:ρ

金屬電導(dǎo)率,μ金屬磁導(dǎo)率,r線圈與被測(cè)物體的尺寸因子,f

激磁電流頻率,x

線圈與導(dǎo)體間的距離基于法拉第電磁感應(yīng)原理,當(dāng)傳感器線圈通以正弦交變電流I1

時(shí),線圈周圍空間將產(chǎn)生正弦交變磁場(chǎng)H1,被測(cè)導(dǎo)體內(nèi)產(chǎn)生呈渦旋狀的交變感應(yīng)電流I2,稱電渦流效應(yīng)。電渦流產(chǎn)生的交變磁場(chǎng)H2與H1方向相反,它使傳感器線圈等效阻抗發(fā)生變化。(2)

電渦流式傳感器5.3.1電感式位移傳感器57應(yīng)用:x——位移、厚度、振幅;

ρ——表面溫度、電解質(zhì)濃度、材質(zhì)判別等;

μ,ρ——無(wú)損探傷等。特點(diǎn):非接觸連續(xù)測(cè)量,靈敏度高、頻響寬、分辨率高渦流分布在導(dǎo)體表面5.3.1電感式位移傳感器58

電渦流式傳感器的特點(diǎn):非接觸測(cè)量,不易受油液介質(zhì)影響;結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便,靈敏度高,最高分辨率達(dá)0.05微米;頻率響應(yīng)范圍寬(0~10kHz),適合動(dòng)態(tài)測(cè)量。5.3.1電感式位移傳感器59電渦流傳感器應(yīng)用1.位移測(cè)量

圖5-20電渦流位移測(cè)量方法5.3.1電感式位移傳感器602.振動(dòng)測(cè)量5.3.1電感式位移傳感器61無(wú)損探傷其它應(yīng)用5.3.1電感式位移傳感器62測(cè)轉(zhuǎn)速測(cè)厚度計(jì)數(shù)測(cè)裂紋5.3.1電感式位移傳感器63厚度測(cè)量金屬板厚度測(cè)量高頻反射式電渦流測(cè)厚儀

5.3.1電感式位移傳感器檢測(cè)原理:被測(cè)非電量轉(zhuǎn)換為電容量的變化5.3.2電容式位移傳感器

A——極板相對(duì)覆蓋面積;d——極板間距離;ε0——真空介電常數(shù);εr——相對(duì)介電常數(shù);ε—電容極板間介質(zhì)的介電常數(shù)。5.3.2電容式位移傳感器5.3.2電容式位移傳感器靈敏度:(1)極距變化型電容傳感器5.3.2電容式位移傳感器(1)極距變化型電容傳感器5.3.2電容式位移傳感器5.3.2電容式位移傳感器輸入輸出特性:靈敏度:

面積變化型電容傳感器的優(yōu)點(diǎn)是:輸出與輸入成線性關(guān)系,但與極板變化型相比,靈敏度較低,適用于較大角位移及直線位移的測(cè)量。(2)面積變化型電容傳感器5.3.2電容式位移傳感器

介質(zhì)含水量、介質(zhì)厚度、溫度、密度等變化引起介電常數(shù)變化,因此可以構(gòu)成含水量、物位高度、溫度等測(cè)量用傳感器。圖中,厚度為δ2的介質(zhì)(ε2為其介電常數(shù))在電容器中左右運(yùn)動(dòng),由于電容器中介質(zhì)的介電常數(shù)改變,電容量改變。(3)介質(zhì)變化型電容傳感器5.3.2電容式位移傳感器非接觸檢測(cè)塑料管道內(nèi)溶液液位。當(dāng)液位達(dá)到設(shè)定高度并超出時(shí),溶液進(jìn)入電容式傳感器檢測(cè)范圍,傳感器產(chǎn)生輸出信號(hào)傳送給控制機(jī)構(gòu),控制機(jī)構(gòu)報(bào)警或進(jìn)行其它動(dòng)作,達(dá)到液位控制的目的。非接觸檢測(cè)塑料管道內(nèi)溶液液位5.3.2電容式位移傳感器帶電粒子在磁場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)會(huì)受到洛倫茲力FL的作用洛倫茲力FL的方向由左手定則決定洛倫茲力的作用結(jié)果,使帶電粒子偏向c,d電極在垂直于B和I的方向上產(chǎn)生一感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)VH

該現(xiàn)象稱為霍爾效應(yīng),所產(chǎn)生的電動(dòng)勢(shì)VH稱為霍爾電勢(shì)厚度為d的N型半導(dǎo)體薄片上垂直作用了磁感應(yīng)強(qiáng)度為B的磁場(chǎng)若在一個(gè)方向上通以電流IN型半導(dǎo)體中多數(shù)載流子為電子

——它沿與電流的相反方向運(yùn)動(dòng)5.3.3霍爾位移傳感器1、霍爾位移傳感器簡(jiǎn)介霍爾電勢(shì)VH的大小

由下式?jīng)Q定:式中KH——霍爾常數(shù),表示單位磁感應(yīng)強(qiáng)度和單位控制電流下所得的開(kāi)路霍爾電勢(shì),取決于材質(zhì)、元件尺寸,并受溫度變化影響;

α——電流方向與磁場(chǎng)方向夾角,如兩者垂直,則sinα=1。純金屬中自由電子濃度過(guò)高,霍爾效應(yīng)微弱,無(wú)實(shí)用價(jià)值半導(dǎo)體是霍爾元件的常用材料材料的厚度d愈小,則KH就愈大、靈敏度愈高5.3.3霍爾位移傳感器霍爾元件置于兩相反方向的磁場(chǎng)中在a、b兩端通入控制電流i左半產(chǎn)生的霍爾電勢(shì)VH1和右半產(chǎn)生的霍爾電勢(shì)VH2方向相反c,d兩端輸出電壓是VH1-VH2,若使初始位置時(shí)VH1=VH2,則輸出電壓為零。當(dāng)霍爾元件相對(duì)于磁極作x方向位移時(shí),可得到輸出電壓VH=VH1-VH2,且ΔVH數(shù)值正比于位移量Δx,正負(fù)方向取決于位移Δx的方向霍爾元件傳感器既能測(cè)量位移的大小,又能鑒別位移的方向2、霍爾位移傳感器的工作原理5.3.3霍爾位移傳感器

光柵傳感器是一種非接觸式光電測(cè)量傳感器,它利用光衍射產(chǎn)生干涉條紋的原理制成。它的突出特點(diǎn)是精度非常高,響應(yīng)快,量程大,所以廣泛應(yīng)用于精密加工,光學(xué)加工,大規(guī)模集成電路的設(shè)計(jì)、檢測(cè),機(jī)床直線位移或角位移的精密測(cè)量等方面。5.3.4光柵位移傳感器(大位移)

光柵是在透明的玻璃上刻有大量相互平行、等寬而又等間距的刻線。每條刻痕處是不透光的,而兩刻痕之間是透光的。下圖所示的是一塊黑白型長(zhǎng)光柵,平行等距的刻線稱為柵線。設(shè)其中不透光的縫隙寬度為a,透光的縫隙寬度為b,一般情況下,a=b。圖中w=a+b稱為光柵柵距(或光柵節(jié)距、光柵常數(shù)),它是光柵的一個(gè)重要參數(shù)。5.3.4光柵位移傳感器1、光柵結(jié)構(gòu)圖5-29光柵結(jié)構(gòu)放大圖

如果把兩塊柵距W相等的光柵面平行安裝,且讓它們的刻痕之間有較小的夾角θ時(shí),這時(shí)光柵上會(huì)出現(xiàn)若干條明暗相間的條紋,這種條紋稱莫爾條紋。

莫爾條紋是光柵非重合部分光線透過(guò)而形成的亮帶,它由一系列四棱形圖案組成。如圖5-30中d-d線區(qū)所示。,f-f線區(qū)則是由于光柵的遮光效應(yīng)形成的。5.3.4光柵位移傳感器2、光柵的測(cè)量原理圖5-30莫爾條紋5.3.4光柵位移傳感器5.3.4光柵位移傳感器

莫爾條紋測(cè)位移具有以下三個(gè)方面的特點(diǎn):

(1)位移的放大作用當(dāng)光柵每移動(dòng)一個(gè)光柵柵距W時(shí),莫爾條紋也跟著移動(dòng)一個(gè)條紋寬度BH,如果光柵作反向移動(dòng),條紋移動(dòng)方向也相反。莫爾條紋的間距BH與兩光柵線紋夾角θ之間的關(guān)系為

θ越小,BH越大,這相當(dāng)于把柵距W放大了1/θ倍。例如θ=0.1°,則1/θ≈573,即莫爾條紋寬度BH是柵距W的573倍,這相當(dāng)于把柵距放大了573倍,說(shuō)明光柵具有位移放大作用,從而提高了測(cè)量的靈敏度。5.3.4光柵位移傳感器(2)莫爾條紋移動(dòng)方向如光柵1沿著刻線垂直方向向右移動(dòng)時(shí),莫爾條紋將沿著光柵2的柵線向上移動(dòng);反之,當(dāng)光柵1向左移動(dòng)時(shí),莫爾條紋沿著光柵2的柵線向下移動(dòng)。因此根據(jù)莫爾條紋移動(dòng)方向就可以對(duì)光柵1的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行辨向。(3)誤差的平均效應(yīng)莫爾條紋由光柵的大量刻線形成,對(duì)線紋的刻劃誤差有平均抵消作用,能在很大程度上消除短周期誤差的影響。5.3.4光柵位移傳感器3、光柵位移傳感器的組成

如圖5-31所示,由主光柵、指示光柵、光源和光電器件等組成。

主光柵和被測(cè)物體相連,它隨被測(cè)物體的直線位移而產(chǎn)生移動(dòng)。當(dāng)主光柵產(chǎn)生位移時(shí),莫爾條紋便隨著產(chǎn)生位移。

用光電器件記錄莫爾條紋通過(guò)某點(diǎn)的數(shù)目,便可知主光柵移動(dòng)的距離,也就測(cè)得了被測(cè)物體的位移量。5.3.4光柵位移傳感器圖5-31光柵位移傳感器原理圖a)透射式光路b)反射式光路1、11—光源2—準(zhǔn)直透鏡3—主光柵4、7—指示光柵5—光敏元件6—反射主光柵

8—場(chǎng)鏡9—反射鏡10—聚光鏡12—物鏡13—光電池5.3.4光柵位移傳感器5.3.4光柵位移傳感器◆輸入信號(hào):接近開(kāi)關(guān)、光電開(kāi)關(guān)、旋轉(zhuǎn)編碼器等傳感器,也可接電平開(kāi)關(guān)量信號(hào)等5.3.4光柵位移傳感器圖:光柵表數(shù)字顯示儀圖5-32封閉式直線光柵尺結(jié)構(gòu)圖5.3.4光柵位移傳感器4、光柵位移傳感器的應(yīng)用光柵位移傳感器的特點(diǎn):測(cè)量精度高(分辨率為0.1μm),動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍廣(0~1000mm),

可進(jìn)行無(wú)接觸測(cè)量,容易實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的自動(dòng)化和數(shù)字化。

在機(jī)械工業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用,特別是在量具、數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)反饋控制、工作母機(jī)的坐標(biāo)測(cè)量等方面。5.3.4光柵位移傳感器89長(zhǎng)磁柵圓磁柵(測(cè)量直線位移)(測(cè)量角位移)尺形帶形同軸形5.3.5磁柵位移傳感器901-磁頭2-磁柵3-屏蔽罩4-基座5-軟墊圓磁柵傳感器幾種常見(jiàn)磁柵的結(jié)構(gòu)

5.3.5磁柵位移傳感器91l-磁尺;2-尺基;3-磁性薄膜;4-鐵心;5-磁頭5.3.5磁柵位移傳感器5.3.5磁柵位移傳感器93

磁柵上錄有等間距的磁信號(hào),它是利用磁帶錄音的原理將一定波長(zhǎng)的電信號(hào)(正弦波或矩形波)用錄磁(即用錄音磁頭沿長(zhǎng)度方向按一定波長(zhǎng)記錄一周期性信號(hào),以剩磁的形式保留在磁尺上,這樣磁尺上錄上一定波長(zhǎng)的磁信號(hào))的方法記錄在磁性尺子或圓盤上而制成的。

裝有磁柵傳感器的儀器或裝置工作時(shí),磁頭相對(duì)于磁柵有一定的相對(duì)位置,在這個(gè)過(guò)程中,磁頭把磁柵上的磁信號(hào)讀出來(lái),這樣就把被測(cè)位置或位移轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。

磁柵式傳感器的工作原理:5.3.5磁柵位移傳感器94磁柵的外形及結(jié)構(gòu)圖磁尺靜態(tài)磁頭信號(hào)處理電路固定孔5.3.5磁柵位移傳感器95磁尺磁柵外觀圖磁頭5.3.5磁柵位移傳感器大尺寸磁柵尺外形圖5.3.5磁柵位移傳感器德國(guó)SIKO

磁柵尺5.3.5磁柵位移傳感器98磁尺是用非導(dǎo)磁性材料做尺基,在尺基的上面鍍一層均勻的磁性薄膜,經(jīng)過(guò)錄磁(即用錄音磁頭沿長(zhǎng)度方向按一定波長(zhǎng)記錄一周期性信號(hào),以剩磁的形式保留在磁尺上,這樣磁尺上錄上一定波長(zhǎng)的磁信號(hào)),磁尺的磁化圖形排成SN、NS狀態(tài)。(一)磁柵5.3.5磁柵位移傳感器99磁信號(hào)的波長(zhǎng)(周期)又稱節(jié)距,用λ表示。磁信號(hào)的極性是首尾相接,在N、N重疊處為正的最強(qiáng),在S、S重疊處為負(fù)的最強(qiáng)。磁尺的的斷面和磁化圖形如下圖所示。5.3.5磁柵位移傳感器100(二)磁頭

磁柵上的磁信號(hào)先由錄磁頭錄好,再由讀取磁頭讀出,按讀取信號(hào)方式的不同,磁頭可分為:靜態(tài)磁頭動(dòng)態(tài)磁頭5.3.5磁柵位移傳感器101動(dòng)態(tài)磁頭動(dòng)態(tài)磁頭為非調(diào)制式磁頭,又稱速度響應(yīng)式磁頭,只有一個(gè)繞組,當(dāng)磁頭沿磁柵作相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)才有信號(hào)輸出。輸出為正弦波,在N、N重迭處輸出正信號(hào)最強(qiáng),在S、S重迭處負(fù)信號(hào)最強(qiáng)。(錄音機(jī)上的磁頭就是速度響應(yīng)式磁頭,只有在磁頭和磁帶有相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)才能檢測(cè)出磁信號(hào))1—磁頭;2—磁柵;3—輸出波形

動(dòng)態(tài)磁頭的工作原理

靜止時(shí)就沒(méi)有信號(hào)輸出。因此它只能用于動(dòng)態(tài)測(cè)量。

102靜態(tài)磁頭靜態(tài)磁頭是調(diào)制式磁頭,又稱磁通響應(yīng)式磁頭?!摯蓬^有兩個(gè)繞組,一為勵(lì)磁繞組,另一為輸出繞組。勵(lì)磁繞組——繞在磁路截面尺寸較小的橫臂上輸出繞組——繞在磁路截面尺寸較大的豎桿上——它與動(dòng)態(tài)磁頭的根本不同之處在于,在磁頭與磁柵之間沒(méi)有相對(duì)運(yùn)動(dòng)的情況下也有信號(hào)輸出?!?dāng)磁頭運(yùn)動(dòng)時(shí),幅值隨磁尺上的剩磁影響而變化,輸出感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)。103靜態(tài)磁頭靜態(tài)磁頭的工作原理

1—磁頭;2—磁柵;3—輸出波形

N1為勵(lì)磁繞組,N2為感應(yīng)輸出繞組。在勵(lì)磁繞組中通入高頻的勵(lì)磁電流,一般頻率為5kHz或25kHz,

幅值約為200mA。104工作原理(靜態(tài)磁頭)勵(lì)磁繞組起磁路開(kāi)關(guān)作用當(dāng)勵(lì)磁繞組N1不通電流時(shí),磁路處于不飽和狀態(tài),磁柵上的磁力線通過(guò)磁頭鐵心而閉合。如果在勵(lì)磁繞組中通入交變電流i=i0sinωt,當(dāng)交變電流i的瞬時(shí)值達(dá)到某一個(gè)幅值時(shí),橫桿上的鐵心材料飽和,這時(shí)磁阻很大,而使磁路“斷開(kāi)”,磁柵上的磁通就不能在磁頭鐵心中通過(guò)。反之,當(dāng)交變電流i的瞬時(shí)值小于某一數(shù)值時(shí),橫桿上的鐵心材料不飽和,這時(shí)磁阻也降低得很小,磁路被“接通”,則磁柵上的剩磁通就可以在磁頭鐵心中通過(guò)。由此可見(jiàn),勵(lì)磁線圈的作用相當(dāng)于磁開(kāi)關(guān)。105工作原理(靜態(tài)磁頭)磁感應(yīng)強(qiáng)度決定于磁頭與磁柵的相對(duì)位置。

隨著激勵(lì)交變電流的變化,可飽和鐵心這一磁路開(kāi)關(guān)不斷地“通”和“斷”,進(jìn)入磁頭的剩磁通就時(shí)有時(shí)無(wú)。這樣,在磁頭鐵心的繞組N2中就產(chǎn)生感應(yīng)電勢(shì),主要與磁頭在磁柵上所處的位置有關(guān),而與磁頭和磁柵之間的相對(duì)速度關(guān)系不大。磁柵式傳感器特點(diǎn)磁柵位移傳感器有較高精度,目前可以作到系統(tǒng)精度達(dá)

0.01mm/m分辨力為1~5

m但磁信號(hào)的均勻性和穩(wěn)定性對(duì)磁柵式位移測(cè)量的精度影響較大。5.3.5磁柵位移傳感器

增量式編碼器提供了一種對(duì)連續(xù)位移量離散化、增量化以及位移變化(速度)的傳感方法。增量式編碼器的特點(diǎn)是每產(chǎn)生一個(gè)輸出脈沖信號(hào)就對(duì)應(yīng)于一個(gè)增量位移,它能夠產(chǎn)生與位移增量等值的脈沖信號(hào)。增量式編碼器測(cè)量的是相對(duì)于某個(gè)基準(zhǔn)點(diǎn)的相對(duì)位置增量,而不能夠直接檢測(cè)出絕對(duì)位置信息。一、

增量式光電編碼器5.4編碼器5.4編碼器一般來(lái)說(shuō),增量式光電編碼器輸出

A、B

兩相相位差為

90°的脈沖信號(hào)(即所謂的兩相正交輸出信號(hào)),根據(jù)

A、B

兩相的先后位置關(guān)系,可以方便地判斷出編碼器的旋轉(zhuǎn)方向。另外,碼盤一般還提供用作參考零位的

N

相標(biāo)志(指示)脈沖信號(hào),碼盤每旋轉(zhuǎn)一周,會(huì)發(fā)出一個(gè)零位標(biāo)志信號(hào)。光柵信號(hào)A,B有以下關(guān)系。

當(dāng)光柵正向移動(dòng)時(shí),光柵輸出的A相信號(hào)的相位超前B、90度,則在一個(gè)周期內(nèi),兩相信號(hào)共有4次相對(duì)變化;00—10—11—01—00,這樣如果每發(fā)生一次變化,可逆計(jì)數(shù)器便實(shí)現(xiàn)一次加計(jì)數(shù),一個(gè)周期內(nèi)可實(shí)現(xiàn)4次加計(jì)數(shù),從而實(shí)現(xiàn)正轉(zhuǎn)狀態(tài)的4倍頻計(jì)數(shù)。

當(dāng)光柵正向移動(dòng)時(shí),光柵輸出的A相信號(hào)的相位滯后B、90度,則在一個(gè)周期內(nèi),兩相信號(hào)共有4次相對(duì)變化;00—01—11—10—00,這樣如果每發(fā)生一次變化,可逆計(jì)數(shù)器便實(shí)現(xiàn)一次加計(jì)數(shù),一個(gè)周期內(nèi)可實(shí)現(xiàn)4次減計(jì)數(shù),從而實(shí)現(xiàn)反轉(zhuǎn)狀態(tài)的4倍頻計(jì)數(shù)。

絕對(duì)式編碼器的原理及組成部件與增量式編碼器基本相同,與增量式編碼器不同的是,絕對(duì)式編碼器用不同的數(shù)碼來(lái)指示每個(gè)不同的增量位置,它是一種直接輸出數(shù)字量的傳感器。二、絕對(duì)式編碼器5.4編碼器

根據(jù)編碼方式的不同,絕對(duì)式編碼器的兩種類型碼盤(二進(jìn)制碼盤和格雷碼碼盤)。

絕對(duì)式編碼器的特點(diǎn)是不需要計(jì)數(shù)器,在轉(zhuǎn)軸的任意位置都可讀出一個(gè)固定的與位置相對(duì)應(yīng)的數(shù)字碼,即直接讀出角度坐標(biāo)的絕對(duì)值。另外,相對(duì)于增量式編碼器,絕對(duì)式編碼器不存在累積誤差,并且當(dāng)電源切除后位置信息也不會(huì)丟失5.4編碼器工作原理:金屬絲、箔、薄膜在外界應(yīng)力作用下電阻值變化的效應(yīng)——電阻應(yīng)變效應(yīng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便彈性敏感元件力、壓力電阻應(yīng)變片電橋電路RU易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化、多點(diǎn)及遠(yuǎn)距離測(cè)量、遙測(cè);靈敏度高,測(cè)量速度快,適合靜態(tài)、動(dòng)態(tài)測(cè)量;5.5力、力矩測(cè)量傳感器5.5.1電阻應(yīng)變式力傳感器金屬絲式應(yīng)變片金屬箔式應(yīng)變片1、電阻應(yīng)變片的工作原理

金屬絲的電阻隨著它所受的機(jī)械變形的大小而發(fā)生相應(yīng)的變化的現(xiàn)象稱為金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)。金屬絲受拉時(shí),l變長(zhǎng)、r變小,導(dǎo)致R變大。5.5.1電阻應(yīng)變式力傳感器2、應(yīng)變片的選擇a)應(yīng)變片類型的選擇

根據(jù)應(yīng)變測(cè)量的目的,被測(cè)試件的材料和應(yīng)力狀態(tài)、測(cè)量精度選擇應(yīng)變片的形式。對(duì)于測(cè)試點(diǎn)主應(yīng)力方向已知的一維應(yīng)力測(cè)量,選用單軸絲式或箔式應(yīng)變片;對(duì)于平面應(yīng)變場(chǎng)主應(yīng)力方向已知的二維應(yīng)變測(cè)量,可以使用直角應(yīng)變花,并使其中一條應(yīng)變柵與主應(yīng)力方向一致5.5.1電阻應(yīng)變式力傳感器如果應(yīng)力方向未知就必須使用三柵或四柵的應(yīng)變花對(duì)于應(yīng)變式傳感器,應(yīng)變片的形式主要取決于彈性元件。對(duì)柱式、梁式、環(huán)式等彈性元件,它們工作時(shí)受拉/壓應(yīng)力或彎曲應(yīng)力,所以應(yīng)變片均采用單軸應(yīng)變片;對(duì)于輪輻式等利用剪應(yīng)力測(cè)量的彈性元件,一般使用雙軸45°應(yīng)變片。5.5.1電阻應(yīng)變式力傳感器5.5.1電阻應(yīng)變式力傳感器3、電阻應(yīng)變片的應(yīng)用場(chǎng)合各種懸臂梁

FF固定點(diǎn)固定點(diǎn)電纜5.5.1電阻應(yīng)變式力傳感器應(yīng)變式力傳感器

FFFF5.5.1電阻應(yīng)變式力傳感器應(yīng)變片用于各種電子衡器

磅秤電子天平5.5.1電阻應(yīng)變式力傳感器材料應(yīng)變的測(cè)量斜拉橋上的斜拉繩應(yīng)變測(cè)試

5.5.1電阻應(yīng)變式力傳感器

a)去污:采用手持砂輪工具除去構(gòu)件表面的油污、漆、銹斑等,并用細(xì)紗布交叉打磨出細(xì)紋以增加粘貼力,用浸有酒精或丙酮的紗布片或脫脂棉球擦洗。4、應(yīng)變片的使用方法5.5.1電阻應(yīng)變式力傳感器

b)貼片:在應(yīng)變片的表面和處理過(guò)的粘貼表面上,各涂一層均勻的粘貼膠,用鑷子將應(yīng)變片放上去,并調(diào)好位置,然后蓋上塑料薄膜,用手指揉和滾壓,排出下面的氣泡。5.5力、力矩測(cè)量傳感器c)測(cè)量:

從分開(kāi)的端子處,預(yù)先用萬(wàn)用表測(cè)量應(yīng)變片的電阻,發(fā)現(xiàn)端子折斷和壞的應(yīng)變片。5.5.1電阻應(yīng)變式力傳感器d)焊接:將引線和端子用烙鐵焊接起來(lái),注意不要把端子扯斷。

5.5.1電阻應(yīng)變式力傳感器e)固定:焊接后用膠布將引線和被測(cè)對(duì)象固定在一起,防止損壞引線和應(yīng)變片。5.5.1電阻應(yīng)變式力傳感器某些電介質(zhì),當(dāng)沿著一定方向?qū)ζ涫┝Χ顾冃螘r(shí),內(nèi)部就產(chǎn)生極化現(xiàn)象,同時(shí)在它的一定表面上產(chǎn)生電荷,當(dāng)外力去掉后,又重新恢復(fù)不帶電狀態(tài)的現(xiàn)象。當(dāng)作用力方向改變時(shí),電荷極性也隨著改變。輸出電壓的頻率與動(dòng)態(tài)力的頻率相同;當(dāng)動(dòng)態(tài)力變?yōu)殪o態(tài)力時(shí),電荷將由于表面漏電而很快泄漏、消失。壓電效應(yīng):壓電效應(yīng)演示5.5.2壓電式測(cè)力傳感器壓電式金屬加工切削力的測(cè)量

5.5.2壓電式測(cè)力傳感器131

在測(cè)量力矩的諸多方法中,最常用的是通過(guò)彈性軸在傳遞力矩時(shí)產(chǎn)生的變形、應(yīng)變、應(yīng)力來(lái)測(cè)量力矩。電阻應(yīng)變式扭矩儀在扭矩測(cè)量中應(yīng)用較廣泛。5.5.3電阻應(yīng)變式力矩傳感器當(dāng)測(cè)量小轉(zhuǎn)矩時(shí),考慮到抗彎曲強(qiáng)度、臨界轉(zhuǎn)速、應(yīng)變片尺寸及粘貼工藝等因素,多采用空心軸:大量程轉(zhuǎn)矩測(cè)量時(shí)一般采用實(shí)心方形截面彈性軸。

5.5.3電阻應(yīng)變式力矩傳感器133應(yīng)變式扭矩儀工作原理圖

一般在扭轉(zhuǎn)軸上按與軸線成規(guī)定的方向粘貼4片電阻應(yīng)變片,組成應(yīng)變電橋,如圖5-43所示。當(dāng)扭轉(zhuǎn)軸受轉(zhuǎn)矩而產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)變形時(shí),各應(yīng)變片的阻值即隨之發(fā)生變化,電橋輸出的不平衡電壓與轉(zhuǎn)矩成比例。圖5-43應(yīng)變式扭矩儀工作原理圖5.5.3電阻應(yīng)變式力矩傳感器電刷—滑環(huán)集流裝置

端面電刷—滑環(huán)集流裝置1-套筒;2絕緣環(huán);11-滑環(huán);4-電刷;5-簧片;6-外殼;7-軸承5.5.3電阻應(yīng)變式力矩傳感器5.5.4相位差式轉(zhuǎn)矩測(cè)量?jī)x表

轉(zhuǎn)軸受扭矩作用產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)變形后,軸上兩橫截面的相對(duì)扭轉(zhuǎn)角與扭矩成正比,若用磁電式傳感器提取信號(hào),則信號(hào)相位差與扭轉(zhuǎn)角成正比,從而實(shí)現(xiàn)扭矩測(cè)量。5.6工業(yè)機(jī)器視覺(jué)簡(jiǎn)介5.6.1機(jī)器視覺(jué)基礎(chǔ)1.

機(jī)器視覺(jué)概述

機(jī)器視覺(jué)作為一項(xiàng)新興技術(shù),近年來(lái)已經(jīng)逐步被行業(yè)用戶所接受。其高效、高速、高可靠性等技術(shù)優(yōu)勢(shì),使其逐漸成為自動(dòng)化檢測(cè)行業(yè)的新寵。2.工業(yè)機(jī)器視覺(jué)的應(yīng)用領(lǐng)域①識(shí)別圖5-55機(jī)器視覺(jué)的識(shí)別應(yīng)用案例5.6.1機(jī)器視覺(jué)基礎(chǔ)工業(yè)機(jī)器視覺(jué)主要有以下4個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域:利?機(jī)器視覺(jué)對(duì)圖像進(jìn)?處理、分析和理解,以識(shí)別各種不同模式的?標(biāo)和對(duì)象。可以達(dá)到數(shù)據(jù)的追溯和采集,在汽車零部件、?品、藥品等應(yīng)?較多。如顏?識(shí)別、字符有?識(shí)別等。

檢測(cè)?產(chǎn)線上產(chǎn)品有?質(zhì)量問(wèn)題,該環(huán)節(jié)也是取代??最多的環(huán)節(jié)。如電??業(yè)中,電感電容的外觀檢測(cè),包括有有?

檢測(cè)、裂紋、崩缺、污點(diǎn)、變形等不良缺陷檢測(cè)。圖5-56機(jī)器視覺(jué)的檢測(cè)應(yīng)用案例5.6.1機(jī)器視覺(jué)基礎(chǔ)②檢測(cè)③測(cè)量尺寸和容量檢測(cè)預(yù)設(shè)標(biāo)記的測(cè)量,如孔位到孔位的距離圖5-57機(jī)器視覺(jué)的測(cè)量應(yīng)用案例5.6.1機(jī)器視覺(jué)基礎(chǔ)視覺(jué)定位要求機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)能夠快速準(zhǔn)確地找到被測(cè)零件并確認(rèn)其位置,上下料使?機(jī)器視覺(jué)來(lái)定位,引導(dǎo)機(jī)械?臂準(zhǔn)

確抓取。圖5-58機(jī)器視覺(jué)的機(jī)器人引導(dǎo)應(yīng)用

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