半導(dǎo)體氮化鎵單晶襯底試驗(yàn)基地項(xiàng)目環(huán)評資料環(huán)境影響

M7320工程和技術(shù)研究和試□是：面積（m2）無規(guī)劃名稱：《無錫新區(qū)總體發(fā)展規(guī)劃（2005規(guī)劃環(huán)評名稱：《無錫市新吳區(qū)旺莊街道工業(yè)集中新環(huán)委辦發(fā)[2017]10號園區(qū)環(huán)境準(zhǔn)入負(fù)面清單見表1-12345）；678要以一、二類工業(yè)為發(fā)展主體，重9析1256789《江蘇省禁止用地項(xiàng)目目錄》（2013年本）《江蘇省限制用地項(xiàng)目目錄》（2013年本）近的生態(tài)空間保護(hù)區(qū)域?yàn)闊o錫太湖大溪港省級濕地公園空間保護(hù)區(qū)域，不會導(dǎo)致無錫市轄區(qū)內(nèi)生態(tài)空間保護(hù)區(qū)降。根據(jù)《江蘇省國家生態(tài)保護(hù)紅線規(guī)劃》，與本項(xiàng)目態(tài)保護(hù)紅線區(qū)為太湖（無錫市區(qū)）重要濕地（重要湖）， 制革、釀造、染料、印染、電鍍以及其他排放含磷、氮等污染物的企業(yè)和項(xiàng)目，不屬于“兩高一資”項(xiàng)目，不屬于化工企業(yè) 控禁止銷售使用燃料為“Ⅱ類”），根據(jù)《中華人民共和國大氣污染防治法》的要求期達(dá)標(biāo)規(guī)劃，明確限期達(dá)標(biāo)，制定有效的大氣污染規(guī)劃的規(guī)劃范圍為：整個(gè)無錫市全市范圍（4650平方區(qū)、濱湖區(qū)、惠山區(qū)、錫山區(qū)、新吳區(qū)、江陰市、宜興市）、 空氣質(zhì)量，明顯增強(qiáng)人民的藍(lán)天幸福感為核心目標(biāo)，推進(jìn)熱電整合，優(yōu)化產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)和布局；提高各行業(yè)清潔化生產(chǎn)污染物特別排放限值，完成重點(diǎn)企業(yè)顆粒物無組織排放深子（半導(dǎo)體）、涂裝等工業(yè)行業(yè)挖掘VOCs減排重點(diǎn)推進(jìn)熱電整合。完成重點(diǎn)行業(yè)低VOCs含術(shù)，優(yōu)化工藝流程，提高各行業(yè)清潔化生產(chǎn)水平。本項(xiàng)目建設(shè)后營運(yùn)期產(chǎn)生的各項(xiàng)污染物通過相應(yīng)標(biāo)排放，本項(xiàng)目環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)可控制在安全范圍內(nèi)，因蘇省太湖水污染防治條例》（2021年修華人民共和國國務(wù)院令第604號）、《江蘇省太湖（2021年修訂）相符性分析表新建、擴(kuò)建化工、醫(yī)藥生產(chǎn)項(xiàng)目二）新建、擴(kuò)建污水集中處理設(shè)施排污口以外的排污口三）屬于條例中禁止建設(shè)項(xiàng)設(shè)項(xiàng)目不產(chǎn)生含氮磷的產(chǎn)生生活污水和不含氮磷的純水制備濃水和冷卻設(shè)施強(qiáng)排經(jīng)化糞池預(yù)相符（一）設(shè)置劇毒物質(zhì)、危險(xiǎn)化學(xué)品的貯存、輸送設(shè)施和廢物回收場、垃圾場；（二）設(shè)置水上餐飲經(jīng)營設(shè)施三）新建、擴(kuò)建高爾夫球場四）新建、擴(kuò)建畜禽養(yǎng)殖場五）新建、擴(kuò)建向水體排放污染物的建設(shè)項(xiàng)目六）本條例第二十九條規(guī)太湖流域劃分為三級保護(hù)區(qū)：太湖湖體、沿湖岸5不位于太湖飲用水水源營運(yùn)期不產(chǎn)生含氮磷的產(chǎn)生生活污水和不含氮磷的純水制備濃水和冷卻設(shè)施強(qiáng)排經(jīng)化糞池預(yù)處理后和不含氮磷的純水制備濃水和冷卻設(shè)施強(qiáng)排水接管新城水處理廠處理后排綜上，建設(shè)項(xiàng)目符合《太湖流域管理?xiàng)l例》法》中明確的大運(yùn)河無錫段主河道兩岸各2路11號無錫日聯(lián)科技股份有/城鎮(zhèn)開發(fā)邊界，圍繞“文化傳承、運(yùn)河興城”產(chǎn)中國大運(yùn)河遺產(chǎn)區(qū)、緩沖區(qū)以及全國重點(diǎn)華人民共和國文物保護(hù)法》《大運(yùn)河遺產(chǎn)保充分考慮環(huán)保需求進(jìn)行環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防范冷卻水強(qiáng)排水、反滲透（RO）尾水等“清凈下水”相符性“第三條：揮發(fā)性有機(jī)物污染防治堅(jiān)持源頭控制、綜合治理、損害擔(dān)責(zé)、公眾參與的原則，重點(diǎn)防治工業(yè)源排放的揮發(fā)性有機(jī)物，強(qiáng)化生活第十三條新建、技改、擴(kuò)建排放揮發(fā)性有機(jī)物的建設(shè)項(xiàng)目，應(yīng)當(dāng)依法進(jìn)行環(huán)境影響評價(jià)。新增揮發(fā)性有機(jī)物排放總量指標(biāo)的不足部分，可以依照有關(guān)規(guī)定通過排污權(quán)交易取得?！薄暗诙粭l產(chǎn)生揮發(fā)性有機(jī)物廢氣的生產(chǎn)經(jīng)符合揮發(fā)性有機(jī)物治理露天放置?！狈闲新屎腿コ书_展自查，重點(diǎn)關(guān)注單一采用光氧化、光催化、低溫等離子、一次性活性炭吸附、消廢氣排放系統(tǒng)旁路，因安全生產(chǎn)等原因必須保留的，應(yīng)將保留旁路清單報(bào)當(dāng)?shù)厣鷳B(tài)環(huán)境部門，旁路在非緊急情況下保持關(guān)閉，并通過鉛封、安裝自動監(jiān)控設(shè)施、流量計(jì)等方式加強(qiáng)監(jiān)管，開啟后應(yīng)及時(shí)向當(dāng)?shù)厣鷳B(tài)環(huán)境部門報(bào)告，做好臺賬記錄。將無組織排放轉(zhuǎn)變?yōu)橛薪M織排放進(jìn)行控制，優(yōu)先采用密閉設(shè)備、在密閉空間中操作或采用全密閉集氣罩收集方式；對于采用局部集氣罩的，應(yīng)根據(jù)廢氣排放特點(diǎn)合理選擇收集點(diǎn)位，距集氣加強(qiáng)生產(chǎn)車間密閉管理，在符合安全生產(chǎn)、職業(yè)衛(wèi)生相關(guān)規(guī)定前提下，采用自動卷簾門、密閉性好的塑鋼門窗等，在非必要時(shí)保持關(guān)閉。按照與率。根據(jù)處理工藝要求，在處理設(shè)施達(dá)到正常運(yùn)行條件后方可啟動生產(chǎn)設(shè)備，在生產(chǎn)設(shè)備停止、生產(chǎn)工藝設(shè)備應(yīng)停止運(yùn)行，待檢修完畢后同步投入使用；因安全等因素生產(chǎn)工藝設(shè)備不能停止或不能及時(shí)停止運(yùn)行的，應(yīng)設(shè)置廢氣應(yīng)急處理設(shè)施或采取其他替代措施。按照“適宜高效”的原則提高治理設(shè)施去除率，不得稀釋排放。企業(yè)新建治污設(shè)施或?qū)ΜF(xiàn)有治污設(shè)施實(shí)施改造，應(yīng)依據(jù)排放選擇治理技術(shù)，對治理難度大、單一治理工藝難以穩(wěn)定達(dá)標(biāo)的，要采用多種技術(shù)的組合工藝。采術(shù)的企業(yè)按期更換活性炭，對于長期未進(jìn)行更換一步加強(qiáng)實(shí)驗(yàn)室危險(xiǎn)廢物管理工作的好源頭分類工作，建設(shè)規(guī)范且滿足防滲防漏需求的貯存設(shè)施。要建立實(shí)驗(yàn)室危險(xiǎn)廢物分類收集管理制度，制定內(nèi)部收集流程、分類判定方法、包裝標(biāo)簽要求以及相應(yīng)的臺賬記錄體系；分類應(yīng)遵循安全性、可操作性和經(jīng)濟(jì)性原則，滿足收集、貯存和委托處置的需要。要按照相關(guān)法律法規(guī)要求執(zhí)行危險(xiǎn)廢物申報(bào)登記、管理計(jì)劃備案、轉(zhuǎn)移聯(lián)單等管理制度，做到分類收集貯存、依法委托處置。對長期貯存的實(shí)驗(yàn)室廢物，各產(chǎn)廢單位應(yīng)盡快摸清底數(shù)，檢測理化性質(zhì)，明確危險(xiǎn)特性，進(jìn)行分類分質(zhì)，委托有資質(zhì)單位進(jìn)行利用處置。符合規(guī)范》4.1實(shí)驗(yàn)室單位產(chǎn)生的廢氣應(yīng)經(jīng)過排風(fēng)柜或排風(fēng)4.2收集廢氣中NMHC初始排放速率大于或等集廢氣中NMHC初始排放速率在0.2kg/h~2kg/h(含0.2kg/h)范圍內(nèi)的實(shí)驗(yàn)室單元，廢氣凈化率在0.02kg/h~0.2kg/h(含0.02kg（以非甲烷總烴本項(xiàng)目排放的廢氣主要為長晶過程會產(chǎn)生過量氨氣和顆粒物設(shè)備密閉收集后經(jīng)過“水冷式過濾器+電加熱燃燒式尾氣處理系統(tǒng)”處理后經(jīng)過15m符合專業(yè)實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)（試驗(yàn)）基地“其他”類，需編制目底序號1鎵23456789工工鎵和沸程(°C）：2403℃;相對密度(水/////味，熔點(diǎn)-114.2℃,沸點(diǎn)-85℃,相對氣/LC50無色油狀液體，熔點(diǎn)/凝固點(diǎn)(°C10℃~10.49℃,沸點(diǎn)290℃;相對密//(℃)：-209.9℃,沸點(diǎn)-195.8℃,相//點(diǎn)/凝固點(diǎn)(℃)：-77.7℃,沸點(diǎn)/初沸點(diǎn)和沸程100℃;溶解性100%水/例和水混溶；密度：1.15±0.03g/mL/>2000mg/kg狀：乳白色半透明液體，無毒無味；）：/無色無味液體，分子式H3PO4，熔點(diǎn)鉀/置置水/廢氣DA001排放參照《建筑給水排水設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》（GB50015-20本項(xiàng)目的MOCVD、臥式真空爐、HVPE器、燃燒式尾處理系統(tǒng)等廢氣處理系統(tǒng)需用2套循環(huán)冷卻系統(tǒng)進(jìn)行間接冷卻降理廠 7理廠 73的西側(cè)閑置廠房一層進(jìn)行研發(fā)實(shí)驗(yàn)。本廠區(qū)位于碩梅路與漓江路交口西南角，西側(cè)為無錫隆盛科技股份有限公司新廠區(qū)，南側(cè)為伊格爾機(jī)械密封(無錫)有限②長晶設(shè)備氮化鎵氣相外延直立式生長設(shè)備HVPE部分零件每季度使用純⑧電加熱燃燒式尾氣處理裝置定期維護(hù)更換設(shè)備中廢氣HCl廢水水噪聲N1N2N3N4固廢質(zhì)量公告或環(huán)境質(zhì)量報(bào)告中的數(shù)據(jù)或結(jié)論。本報(bào)年，根據(jù)無錫市生態(tài)局公布的《無錫市生態(tài)環(huán)境狀況公報(bào)（2023年度NO240μg/m3PM10PM2.528μg/m34mg/m3輔料替代目標(biāo)；以港口碼頭和堆場為重點(diǎn)提高揚(yáng)塵污染納水體京杭運(yùn)河的水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀進(jìn)行了監(jiān)測（報(bào)告編0909001-A環(huán)境質(zhì)量監(jiān)測共在京杭大運(yùn)河布設(shè)監(jiān)測斷直接引用符合時(shí)效性的相關(guān)規(guī)劃環(huán)境影響評價(jià)的環(huán)境調(diào)查資料及有關(guān)結(jié)論?！盌O000000000000依據(jù)國家《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3096-2008）評價(jià)，2023年，全市功能區(qū)聲環(huán)境質(zhì)量晝間、夜間平均達(dá)標(biāo)率分別為96.9%和90.6%全市道路全市晝間道路交通噪聲平均等效聲級持平，交通噪聲質(zhì)量等級為二級，全市夜間XY0N本項(xiàng)目排放的廢氣主要為長晶過程會產(chǎn)生過量氨氣和顆粒物經(jīng)過設(shè)備密氯化氫、硫酸霧、非甲烷總烴執(zhí)行《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》組織排放的非甲烷總烴執(zhí)行江蘇省《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》1//12346接管標(biāo)值準(zhǔn)3尾水排放標(biāo)準(zhǔn)A標(biāo)準(zhǔn)（SS10mg/L）3序號1《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排環(huán)境要素廢水水0000廢氣固廢/0廢0料000物0000110100試劑）00套000產(chǎn)生氯化氫廢氣，酸洗晶片產(chǎn)生硫酸霧和氫污核算方法和系數(shù)手冊機(jī)械行業(yè)系數(shù)手冊.》，機(jī)械加工00稱間h排放方式物+/連續(xù)/連續(xù)排氣筒底部中心坐標(biāo)(o)度(℃)//1袋1DA001排放器01勉強(qiáng)能聞到有氣味，但不宜辨認(rèn)氣味性質(zhì)（感覺閾值）2），345排放口外1m水量濃度術(shù)化糞池厭氧生化是間接排放間歇00505備濃////廠/////////////////////產(chǎn)生源物名稱綜合廢水污濃水量-□√廠律總排口52.713″N31°29′33.762″pH/ 尾水排放執(zhí)行《城鎮(zhèn)水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》GB18918本項(xiàng)目廢水?dāng)M接入新城水處理廠進(jìn)行處理,新城水飽和，新建四期工程設(shè)計(jì)處理能力2萬m3/d，尚有余量，本5.86t/d(1757t/a)，廢水量較小不會對新城水處理廠造b.工藝及接管標(biāo)準(zhǔn)上的可行性分析型號XYZ1234機(jī)/5震8:00~16:00機(jī)/51/51機(jī)/51建筑物離/m/dB(A)XYZ123456本項(xiàng)目車間+廠71北：168:00~16:001m71北：1651北：12511西：121789北：151西：1251南：1051南：151南：10西：101南：15西：101南：15西：101南：15西：10516181西：8741南：5預(yù)測點(diǎn)dB(A)東廠界間/1機(jī)南廠界間/1機(jī)西廠界間/15北廠界5機(jī)55間/機(jī)⑥廢拋光布：本項(xiàng)目研磨拋光工段需用到拋光布，為0.177t/a，吸附效率90%，因此產(chǎn)生年的氯化銨顆粒物粉塵生量副產(chǎn)品1/√物鑒別標(biāo)2工√3√456789工等√1√√N(yùn)H4Cl√√√N(yùn)aOH等√√√√年√√√√產(chǎn)生/年）固態(tài)/版）及告/液態(tài)T加工固態(tài)桶加工液態(tài)等加工液態(tài)磷酸1料套等固態(tài)鉀固態(tài)NH4Cl理固態(tài)/固態(tài)鎵/洗液態(tài)NaOH等固態(tài)膜/固態(tài)固態(tài)年固態(tài)/護(hù)固態(tài)護(hù)液態(tài)護(hù)固態(tài)////1/1///////年/////各類工業(yè)固廢在合理利用和安全處置前暫存于對應(yīng)所（設(shè)1T廠區(qū)內(nèi)劃分23/45167液89I、貯存物質(zhì)相容性要求：在常溫常壓下不水解、不揮發(fā)的需符合(GB18597-2023)標(biāo)準(zhǔn)的相關(guān)規(guī)定；禁止將不相容(相互III、危險(xiǎn)廢物貯存場所要求：危廢倉庫險(xiǎn)廢物運(yùn)輸車輛通道等關(guān)鍵位置按照危險(xiǎn)廢物貯存設(shè)施視頻關(guān)于印發(fā)江蘇省危險(xiǎn)廢物貯存規(guī)范化管理專項(xiàng)框貯存設(shè)施警示標(biāo)識牌設(shè)置位置Lm尺寸志設(shè)施類型名稱其他文字室外入口>10824室內(nèi)4<216室內(nèi)68危險(xiǎn)廢物貯存分區(qū)標(biāo)注m志0<62.5<9包裝識別標(biāo)簽序號L132>50~≤45053>4506：（匯環(huán)保科技有限公司、無錫添源環(huán)?？萍加邢薰镜葐挝?司136號礦物油與含礦物油廢物（HW08）、油/水、烴/水混合物或乳化液（HW09）、），2⑦固廢貯存(處置)場所規(guī)范化設(shè)置，固體廢物貯存(處置)場所⑧與《省生態(tài)環(huán)境廳關(guān)于印發(fā)<江蘇省固體廢物全過程環(huán)理理,不得出現(xiàn)“中間產(chǎn)物”“再生產(chǎn)物”等不），情況選擇采用危險(xiǎn)廢物貯存設(shè)施或貯染控制標(biāo)準(zhǔn)；不具備建設(shè)貯存設(shè)施條危險(xiǎn)廢物集中收集體系建設(shè)工作方案⑨與《危險(xiǎn)廢物貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB18597-2023)相123HJ1276要求設(shè)置危險(xiǎn)廢物貯存設(shè)施或場所危險(xiǎn)廢物貯存分區(qū)標(biāo)志和危險(xiǎn)廢物標(biāo)4HJ1259規(guī)定的危險(xiǎn)廢物環(huán)境重點(diǎn)監(jiān)5等應(yīng)采用堅(jiān)固的材料建造，表面無裂縫。防腐材料應(yīng)覆蓋所有可能與廢物及其滲濾防滲、防腐工藝應(yīng)分別建設(shè)貯存分區(qū)。67溝89泄漏監(jiān)控和事故廢水/液收集系統(tǒng)，建成后應(yīng)及時(shí)修編突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)危險(xiǎn)廢物檢測廢液、廢油桶裝密閉暫輸、消防等法律法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)的相關(guān)要求。度。按照《省生態(tài)環(huán)境廳關(guān)于印發(fā)<江蘇省固體廢物全過程1+環(huán)氧樹脂涂層地面；危廢倉庫設(shè)置截流溝。2中“油類物質(zhì)（礦物油類，如石油、汽油、柴油等；生物柴油等）”的臨界量2500t；本項(xiàng)目Q＜1時(shí)，項(xiàng)目環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)潛勢為Ⅰ,評價(jià)等級為簡單分析。1④伴生/次生環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)。最危險(xiǎn)的伴生/次生污染事故為爆炸2）研發(fā)車間必須加強(qiáng)通風(fēng)、防火設(shè)施，杜絕明火。生產(chǎn)過程4）制定設(shè)備運(yùn)行和操作的巡回檢查制度、檢修制度、運(yùn)行安全操項(xiàng)規(guī)章制度。加強(qiáng)人員技術(shù)培訓(xùn)，設(shè)備維修和《建筑防火通用規(guī)范》（GB55037-2022）的規(guī)定，項(xiàng)目研發(fā)車間、公用輔助工6）當(dāng)設(shè)備發(fā)生突發(fā)故障時(shí)，設(shè)備雖然停止運(yùn)行，8）廠區(qū)應(yīng)設(shè)置消防水收集途徑、集污袋等a.平時(shí)加強(qiáng)廢氣處理設(shè)施的維護(hù)保養(yǎng)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)處理b.建立健全的環(huán)保機(jī)構(gòu)，配置必要的監(jiān)測儀器，對管理人員和技