硅外延用三氯氫硅中雜質(zhì)含量的測(cè)定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法編制說(shuō)明

第第頁(yè)GB/TXXX—××××PAGEII國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《硅外延用三氯氫硅中雜質(zhì)含量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法》編制說(shuō)明（預(yù)審稿）一、工作簡(jiǎn)況根據(jù)2024年3月25日，國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)《關(guān)于下達(dá)2024年第一批推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)外文版計(jì)劃的通知》(國(guó)標(biāo)委發(fā)[2024]16號(hào))及工業(yè)和信息化部辦公廳《關(guān)于印發(fā)2024年第一批行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制修訂計(jì)劃的通知》(工信廳科(2024)18號(hào))、以及《關(guān)于轉(zhuǎn)發(fā)2024年第一批半導(dǎo)體材料標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目計(jì)劃及征集起草單位的通知》（半材標(biāo)委[2024]11號(hào)）的要求，國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《硅外延用三氯氫硅中雜質(zhì)含量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法》制定項(xiàng)目由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)、全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)歸口，計(jì)劃編號(hào)：20240139-T-469，項(xiàng)目周期為18個(gè)月，完成年限為2025年9月。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目《硅外延用三氯氫硅中雜質(zhì)含量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法》計(jì)劃主要由洛陽(yáng)中硅高科技有限公司牽頭起草，全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)具體組織編制。項(xiàng)目的必要性簡(jiǎn)述電子信息產(chǎn)業(yè)是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)的支柱產(chǎn)業(yè)，是經(jīng)濟(jì)保持中高速增長(zhǎng)和產(chǎn)業(yè)邁向中高端水平的中堅(jiān)力量。2014年國(guó)務(wù)院發(fā)布《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》，提出將集成電路產(chǎn)業(yè)上升至國(guó)家戰(zhàn)略高度，強(qiáng)調(diào)“集成電路產(chǎn)業(yè)是信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心，是支撐經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和保障國(guó)家安全的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)”以來(lái)，一系列針對(duì)集成電路發(fā)展的產(chǎn)業(yè)扶持政策相繼出爐，如設(shè)立了國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金、設(shè)立地方性產(chǎn)業(yè)投資基金；出臺(tái)《中國(guó)制造2025》，強(qiáng)調(diào)突破發(fā)展集成電路國(guó)產(chǎn)重要性。高純電子氣體是集成電路制造過(guò)程中必不可少的原料。它也廣泛應(yīng)用于光電子、化合物半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏電池、液晶顯示器、光導(dǎo)纖維制造等其它諸多領(lǐng)域。集成電路制造的前道工序如外延、化學(xué)氣相沉積、離子注入、摻雜、刻蝕、清洗、掩蔽膜生成等工藝，幾乎都需要不同種類和不同純度的電子氣體。硅外延用三氯氫硅是高純電子氣體之一，主要作為半導(dǎo)體硅外延所需的反應(yīng)氣體，在硅外延片生產(chǎn)中得到了廣泛的應(yīng)用，硅外延片主要用于功率半導(dǎo)體器件和12英寸邏輯芯片。硅外延用三氯氫硅作為半導(dǎo)體行業(yè)不可或缺的重要電子特種氣體原材料，符合2016年國(guó)家商務(wù)部發(fā)布《鼓勵(lì)進(jìn)口技術(shù)和產(chǎn)品目錄》，其中明確“?半導(dǎo)體、光電子元件、新型電子元件等電子產(chǎn)品用材料制造”為國(guó)家鼓勵(lì)發(fā)展的重點(diǎn)行業(yè)，行業(yè)序號(hào)C30。當(dāng)前，我國(guó)集成電路行業(yè)快速增長(zhǎng)，對(duì)硅外延用三氯氫硅需求呈日益增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。但由于硅外延用三氯氫硅生產(chǎn)和制造存在非常高的技術(shù)要求，因此主要依賴進(jìn)口，國(guó)外主要的生產(chǎn)商是日本信越。硅外延用三氯氫硅特種氣體國(guó)產(chǎn)化研究對(duì)我國(guó)集成電路行業(yè)發(fā)展意義重大，值得深入研究應(yīng)用。項(xiàng)目的可行性簡(jiǎn)述硅外延用三氯氫硅是電子工業(yè)用的新型硅源氣體，是廣泛用于生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵原料。硅外延用三氯氫硅中微量的雜質(zhì)元素如硼、磷、鐵等會(huì)對(duì)硅外延片的電學(xué)性能產(chǎn)生重要影響，金屬元素對(duì)硅片表面雜質(zhì)分布也有影響，因此，為了滿足各種半導(dǎo)體器件的需要，使半導(dǎo)體器件得到所需求的電參數(shù)，對(duì)硅外延用三氯氫硅中雜質(zhì)含量的分析控制是保證產(chǎn)品質(zhì)量的重要環(huán)節(jié)。超高純硅基電子材料是我國(guó)發(fā)展集成電路的關(guān)鍵材料，長(zhǎng)期依賴進(jìn)口，嚴(yán)重影響國(guó)家信息和產(chǎn)業(yè)安全，已成為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“卡脖子”問(wèn)題，硅外延用三氯氫硅作為集成電路用關(guān)鍵硅基材料之一，經(jīng)過(guò)近5年的技術(shù)攻克，包含洛陽(yáng)中硅高科技有限公司在內(nèi)的一些國(guó)內(nèi)企業(yè)，已完成了高純度三氯氫硅產(chǎn)品從技術(shù)到市場(chǎng)的全鏈條的攻關(guān)，實(shí)現(xiàn)了該產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)化替代，目前國(guó)產(chǎn)化替代率接近50%。洛陽(yáng)中硅高科有限公司在產(chǎn)品研發(fā)的同時(shí)，開(kāi)發(fā)建立了硅外延三氯氫硅雜質(zhì)含量的測(cè)定方法，為保證產(chǎn)品品質(zhì)提供了強(qiáng)有力的保障。目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體客戶使用的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)GB/T30652-2023《硅外延用三氯氫硅》標(biāo)準(zhǔn)于2023年8月6號(hào)正式發(fā)布。經(jīng)過(guò)對(duì)硅外延生產(chǎn)廠商的調(diào)研，目前從國(guó)外進(jìn)口的硅外延用三氯氫硅大部分均采用ICP-MS檢測(cè)雜質(zhì)元素，該方法是一個(gè)非常常規(guī)的痕量雜質(zhì)元素測(cè)試方法，用ICP-MS測(cè)定金屬元素具有基體效應(yīng)小，干擾少，精密度高、準(zhǔn)確性好，多元素同時(shí)測(cè)定的特點(diǎn)，可滿足硅外延用三氯氫硅雜質(zhì)元素檢測(cè)需求。但在該標(biāo)準(zhǔn)制定過(guò)程中，發(fā)現(xiàn)與之配套的GB/T29056-2012雜質(zhì)測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)存在幾方面問(wèn)題：首先是原標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試元素涵蓋范圍不全，最新發(fā)布的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)中定義了芯片有害雜質(zhì)Ca、Zn，但原標(biāo)準(zhǔn)中未定義該元素，且有些客戶特殊要求的金屬項(xiàng)，該標(biāo)準(zhǔn)也不能完全覆蓋；其次是原標(biāo)準(zhǔn)中所用試劑乙腈有毒，且市面上購(gòu)買不到滿足要求的乙腈，使用前需要進(jìn)行提純，而提純過(guò)程又極易引入雜質(zhì)。目前研究并已經(jīng)使用的測(cè)試方法在不使用乙腈的情況下，經(jīng)過(guò)加標(biāo)回收驗(yàn)證，滿足測(cè)試準(zhǔn)確度要求?；谠瓨?biāo)準(zhǔn)與實(shí)際執(zhí)行不匹配的問(wèn)題，以及硅外延用三氯氫硅產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化攻艱期需要標(biāo)準(zhǔn)化支持的需求，該標(biāo)準(zhǔn)的修訂是必要且急迫的。主要參加單位情況標(biāo)準(zhǔn)主編單位洛陽(yáng)中硅高科技有限公司成立于2003年，注冊(cè)資金10.57億元，現(xiàn)有員工約800人，隸屬于中國(guó)五礦集團(tuán)有限公司，主要生產(chǎn)、研發(fā)、銷售新能源、光通信及集成電路用高端基礎(chǔ)材料，是我國(guó)電子信息行業(yè)優(yōu)秀創(chuàng)新企業(yè)，河南省創(chuàng)新龍頭企業(yè)、專精特新企業(yè)和高新技術(shù)企業(yè)。洛陽(yáng)中硅高科技有限公司始終堅(jiān)持把科技創(chuàng)新作為引領(lǐng)發(fā)展的第一動(dòng)力，研發(fā)應(yīng)用了一大批具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的核心技術(shù)和產(chǎn)品。目前擁有2個(gè)國(guó)家級(jí)創(chuàng)新平臺(tái)、3個(gè)省級(jí)創(chuàng)新平臺(tái)和3個(gè)市級(jí)創(chuàng)新平臺(tái)，設(shè)立了博士后科研工作站。積極融入國(guó)家科技創(chuàng)新體系，先后承擔(dān)實(shí)施國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目26項(xiàng)，通過(guò)校企合作、課題共研、平臺(tái)共建、定制開(kāi)發(fā)、產(chǎn)品應(yīng)用迭代驗(yàn)證、柔性引才等舉措，構(gòu)建了基于市場(chǎng)需求的復(fù)合型研發(fā)體系，培育了以多晶硅、硅基電子特氣、硅基功能材料三個(gè)板塊為核心的原創(chuàng)技術(shù)體系，獲得授權(quán)專利200余項(xiàng)，多項(xiàng)成果填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白，有3項(xiàng)成果達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平，牽頭制定國(guó)際、國(guó)家、行業(yè)和團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)71項(xiàng)，榮獲國(guó)家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)、中國(guó)發(fā)明專利金獎(jiǎng)、國(guó)家工業(yè)大獎(jiǎng)提名獎(jiǎng)等省部級(jí)以上榮譽(yù)獎(jiǎng)勵(lì)40多項(xiàng)。公司按照“關(guān)注一批、研發(fā)一批、突破一批”的滾動(dòng)發(fā)展思路，聚焦解決公司已形成500噸/年電子級(jí)多晶硅以及相應(yīng)的光纖級(jí)四氯化硅、電子級(jí)三氯氫硅、電子級(jí)二氯二氫硅、電子級(jí)六氯乙硅烷等集成電路用硅基電子特氣生產(chǎn)規(guī)模。洛陽(yáng)中硅高科技有限公司從2015年開(kāi)始研發(fā)硅基電子材料，目前已具備年產(chǎn)硅外延用三氯氫硅1000噸的產(chǎn)品線，生產(chǎn)出質(zhì)量穩(wěn)定的硅外延用三氯氫硅，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，替代了部分進(jìn)口三氯氫硅，產(chǎn)品質(zhì)量得到客戶的認(rèn)可。在產(chǎn)品研發(fā)的同時(shí)，開(kāi)發(fā)建立了三氯氫硅雜質(zhì)含量的測(cè)定方法，為保證產(chǎn)品品質(zhì)提供了強(qiáng)有力的保障。標(biāo)準(zhǔn)主編單位洛陽(yáng)中硅高科技有限公司在標(biāo)準(zhǔn)的編制過(guò)程中，積極主動(dòng)收集國(guó)內(nèi)外的三氯氫硅檢測(cè)方法標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)有代表性企業(yè)進(jìn)行調(diào)研，根據(jù)了解到的情況，編制標(biāo)準(zhǔn)文本，公司帶領(lǐng)編制組成員單位認(rèn)真細(xì)致修改標(biāo)準(zhǔn)文本，征求多家企業(yè)的意見(jiàn)，最終帶領(lǐng)編制組完成標(biāo)準(zhǔn)的編制工作。主要工作成員所負(fù)責(zé)的工作情況本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人及工作職責(zé)見(jiàn)表1。表1主要起草人及工作職責(zé)起草人工作職責(zé)負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)前期調(diào)研，技術(shù)指標(biāo)收集負(fù)責(zé)草案的編制起草階段2024年4月12日，標(biāo)準(zhǔn)起草單位和參編單位在接到標(biāo)準(zhǔn)制定計(jì)劃任務(wù)后，在全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)的組織下，洛陽(yáng)中硅高科技有限公司和參編單位成立了標(biāo)準(zhǔn)編制組，確定了編制組成員的任務(wù)分工和計(jì)劃。根據(jù)工作計(jì)劃進(jìn)度安排，標(biāo)準(zhǔn)編制組收集查閱了國(guó)內(nèi)外相關(guān)政策、標(biāo)準(zhǔn)、文獻(xiàn)，認(rèn)真學(xué)習(xí)編制原則和需要注意的內(nèi)容，同時(shí)標(biāo)準(zhǔn)編制組也充分調(diào)研了本公司和同行業(yè)其他單位的三氯氫硅中雜質(zhì)的檢測(cè)方法，并組織相關(guān)技術(shù)人員進(jìn)行了三氯氫硅中雜質(zhì)含量檢測(cè)的試驗(yàn)工作，結(jié)合實(shí)際情況和具體的試驗(yàn)結(jié)果，對(duì)擬制定標(biāo)準(zhǔn)所涉及的內(nèi)容、范圍、適用性、可操作性、科學(xué)性等內(nèi)容進(jìn)行了認(rèn)真研討、論證和改進(jìn)，通過(guò)試驗(yàn)，初步確立了方法標(biāo)準(zhǔn)的內(nèi)容。最終形成了《硅外延用三氯氫硅中雜質(zhì)含量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法》的討論稿。2024年9月25日，由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)組織，在西安召開(kāi)了《硅外延用三氯氫硅中雜質(zhì)含量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法》第一次標(biāo)準(zhǔn)工作會(huì)議（討論會(huì)），共有江蘇鑫華半導(dǎo)體材料有限公司、江蘇環(huán)鑫半導(dǎo)體有限公司、四川永祥股份有限公司、樂(lè)山協(xié)鑫新能源股份有限公司、陜西有色天宏瑞科硅材料有限責(zé)任公司、隆基綠能科技股份有限公司、常州時(shí)創(chuàng)能源股份有限公司等20家單位的25名專家參加了會(huì)議。在此次討論會(huì)上，專家們就標(biāo)準(zhǔn)的前言部分、范圍、規(guī)范性引用文件、干擾因素、儀器設(shè)備、試驗(yàn)步驟和精密度等進(jìn)行了認(rèn)真的討論并提出了相應(yīng)的修改建議。根據(jù)此次會(huì)議精神，標(biāo)準(zhǔn)編制組及時(shí)修改標(biāo)準(zhǔn)討論稿，形成《硅外延用三氯氫硅中雜質(zhì)含量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法》征求意見(jiàn)稿及其編制說(shuō)明，同時(shí)，編制組根據(jù)《征求意見(jiàn)稿》規(guī)定的性能要求及試驗(yàn)方法于2024年11月啟動(dòng)了試驗(yàn)驗(yàn)證。征求意見(jiàn)階段標(biāo)準(zhǔn)編制組通過(guò)郵件的形式對(duì)《硅外延用三氯氫硅中雜質(zhì)含量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法》征詢意見(jiàn)。針對(duì)各單位的反饋意見(jiàn)情況，經(jīng)編制組討論研究，提出具體修改意見(jiàn)及采納情況，編寫了《標(biāo)準(zhǔn)征求意見(jiàn)稿征求意見(jiàn)匯總處理表》，于2024年12月形成標(biāo)準(zhǔn)預(yù)審稿及其編制說(shuō)明。標(biāo)準(zhǔn)征求意見(jiàn)會(huì)議：審查階段報(bào)批階段二、標(biāo)準(zhǔn)編制原則本標(biāo)準(zhǔn)的編制原則如下：通過(guò)查閱相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，調(diào)研國(guó)內(nèi)外客戶的相關(guān)技術(shù)要求，以滿足我國(guó)硅外延三氯氫硅實(shí)際檢測(cè)需求為原則，補(bǔ)充、完善適用范圍，能夠滿足客戶及相關(guān)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)要求的測(cè)定元素及范圍，對(duì)生產(chǎn)企業(yè)的技術(shù)進(jìn)步產(chǎn)生積極的促進(jìn)作用。采用電感耦合等離子體質(zhì)譜法同時(shí)測(cè)定硅外延用三氯氫硅中鋰、硼、鈉、鎂、鋁、鉀、鈣、磷、鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、鎵、鉬、砷、鉛共21種元素，確定各元素最優(yōu)測(cè)量模式及同位素質(zhì)量數(shù)，更好的為用戶提供試驗(yàn)活動(dòng)和過(guò)程的指導(dǎo)。本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》和GB/T20001.4-2015《標(biāo)準(zhǔn)編寫規(guī)則第4部分：試驗(yàn)方法標(biāo)準(zhǔn)》的要求進(jìn)行編寫,并按照GB/T6379.2-2004《測(cè)量方法與結(jié)果準(zhǔn)確度（正確度與精密度）第2部分：確定標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量方法重復(fù)性與再現(xiàn)性的基本方法》進(jìn)行試驗(yàn)設(shè)計(jì)和數(shù)理統(tǒng)計(jì)分析。三、標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容的確定依據(jù)及主要試驗(yàn)驗(yàn)證情況分析本次修訂，主要技術(shù)變動(dòng)內(nèi)容及其依據(jù)如下：第一章：范圍最新發(fā)布的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)GB/T30652-2023《硅外延用三氯氫硅》的技術(shù)指標(biāo)中包含芯片有害雜質(zhì)Ca、Zn，但原文件中不包含這兩種元素，同時(shí)根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)編制組的調(diào)研，目前行業(yè)重點(diǎn)關(guān)注的一些雜質(zhì)元素及部分客戶特殊要求的金屬項(xiàng)也未包含在內(nèi)，因此，為了滿足行業(yè)需求，調(diào)整測(cè)定元素為鋰、硼、鈉、鎂、鋁、鉀、鈣、磷、鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、鎵、鉬、砷、鉛等，各元素測(cè)定范圍見(jiàn)表1。表1元素測(cè)定范圍（質(zhì)量濃度ng/g）鋰0.01～20硼0.01～20鈉0.01～20鎂0.01～20鋁0.01～20鉀0.01～20鈣0.01～20磷0.01～20鈦0.01～20釩0.005～20鉻0.01～20錳0.01～20鐵0.01～20鈷0.005～20鎳0.01～20銅0.01～20鋅0.01～20鎵0.01～20鉬0.01～20砷0.005～20鉛0.01～20線性范圍采用建立外標(biāo)法標(biāo)準(zhǔn)工作曲線，標(biāo)準(zhǔn)濃度點(diǎn)為0ng/g、0.05ng/g、0.1ng/g、1ng/g、5ng/g、10ng/g、20ng/g，線性相關(guān)系數(shù)均大于0.9990。曲線和參數(shù)見(jiàn)下表和下圖1：圖1標(biāo)準(zhǔn)工作曲線方法檢出限評(píng)估采用1個(gè)電子級(jí)三氯氫硅樣品，按照《硅外延用三氯氫硅中雜質(zhì)含量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法》標(biāo)準(zhǔn)草案的試驗(yàn)步驟，獨(dú)立測(cè)試7次的方式進(jìn)行評(píng)估，數(shù)據(jù)見(jiàn)表2：表2方法檢出限測(cè)試數(shù)據(jù)測(cè)試日期：2024/7/13設(shè)備型號(hào):ICP-MS8900環(huán)境溫度:22℃相對(duì)濕度:57%元素單位第1次第2次第3次第4次第5次第6次第7次Ling/g0.0010.0010.0010.0010.0010.0010.001Bng/g0.0920.0940.0910.0900.0960.0910.098Nang/g0.0120.0080.0100.0100.0090.0070.007Mgng/g0.0060.0040.0050.0050.0050.0040.003Alng/g0.0150.0100.0130.0120.0120.0090.007Kng/g0.0120.0090.0110.0100.0100.0080.011Cang/g0.0140.0180.0160.0220.0180.0140.015Png/g0.0310.0260.0270.0290.0280.0220.027Ting/g0.0100.0070.0080.0080.0080.0060.004Vng/g0.0050.0040.0040.0040.0040.0030.002Crng/g0.0020.0020.0020.0020.0020.0020.002Mnng/g0.0010.0010.0010.0010.0010.0010.001Feng/g0.0160.0150.0180.0180.0160.0130.010Cong/g0.0010.0010.0010.0010.0010.0010.001Ning/g0.0010.0010.0010.0010.0010.0010.001Cung/g0.0020.0010.0010.0010.0010.0010.001Znng/g0.0070.0050.0060.0060.0060.0040.004Gang/g0.0010.0010.0010.0010.0010.0010.001Asng/g0.0010.0010.0010.0010.0010.0010.001Mong/g0.0030.0040.0020.0040.0030.0020.003Pbng/g0.0060.0050.0060.0050.0060.0040.003計(jì)算7次平均測(cè)定的標(biāo)準(zhǔn)偏差S，按照以下公式計(jì)算方法檢出限(MDL)MDL=t(n-1,0.99)×S元素單位St方法檢出限MDLLing/g0.0003.1430.000Bng/g0.0033.1430.009Nang/g0.0023.1430.006Mgng/g0.0013.1430.003Alng/g0.0033.1430.008Kng/g0.0013.1430.004Cang/g0.0033.1430.009Png/g0.0033.1430.009Ting/g0.0023.1430.006Vng/g0.0013.1430.003Crng/g0.0003.1430.000Mnng/g0.0003.1430.000Feng/g0.0033.1430.009Cong/g0.0003.1430.000Ning/g0.0003.1430.000Cung/g0.0003.1430.000Znng/g0.0013.1430.004Gang/g0.0003.1430.000Asng/g0.0003.1430.000Mong/g0.0013.1430.003Pbng/g0.0013.1430.004第二章：規(guī)范性引用文件（1）為了更有利于標(biāo)準(zhǔn)間的協(xié)調(diào)一致性，明確執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)，增加規(guī)范性引用文件清單：GB/T602化學(xué)試劑雜質(zhì)測(cè)定用標(biāo)準(zhǔn)溶液的制備、GB/T3723工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則、GB/T6678化工產(chǎn)品采樣總則、GB/T6680液體化工產(chǎn)品采樣通則、GB/T11446.1電子級(jí)水、GB/T25915.1潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)。第五章：干擾因素通過(guò)增加針對(duì)樣品、儀器設(shè)備、人員操作、器皿及環(huán)境的潔凈度、試劑純度等可能影響測(cè)量準(zhǔn)確性的干擾因素，為標(biāo)準(zhǔn)使用單位提供更加精確的指導(dǎo)。第六章：試驗(yàn)條件為了確保測(cè)試環(huán)境穩(wěn)定，且對(duì)樣品測(cè)試過(guò)程不產(chǎn)生干擾的前提下，規(guī)定實(shí)驗(yàn)室的測(cè)試環(huán)境溫度為“18℃~28℃”、相對(duì)濕度為“不大于65%”，明確潔凈室和超凈工作臺(tái)的潔凈等級(jí)。第八章：儀器設(shè)備補(bǔ)充增加分析天平、電加熱板、器皿、移液槍等，其中器皿用“PTFE或PFA材質(zhì)”的代替原文件中的“鉑金坩堝”，可滿足同等的使用要求。第十章：試驗(yàn)步驟增加待測(cè)元素的同位素質(zhì)量數(shù)以供使用單位參考，各待測(cè)元素的推薦質(zhì)量數(shù)見(jiàn)表2。表2元素同位素質(zhì)量數(shù)元素同位素質(zhì)量數(shù)鋰7錳55硼11鐵56鈉23鈷59鎂24鎳60鋁27銅63鉀39鋅66鈣40/44鎵69磷47鉬95鈦48砷75釩51鉛208鉻52--修改工作曲線繪制中標(biāo)準(zhǔn)曲線的濃度范圍，增加最低濃度點(diǎn)為0.1ng/g，相對(duì)于原文件的2.0ng/mL其更接近于樣品的檢出限濃度，且修改后標(biāo)準(zhǔn)曲線的濃度范圍與目前硅外延三氯氫硅產(chǎn)品的濃度范圍更適宜。原文件所用試劑乙腈有毒，且由于市面上購(gòu)買不到滿足要求的乙腈，使用前需要進(jìn)行提純，提純過(guò)程又極易引入雜質(zhì)，因此，修訂后的檢測(cè)方法不使用乙腈。選取1個(gè)三氯氫硅樣品，分別用加乙腈和不加乙腈兩種方法，各獨(dú)立測(cè)試2次，數(shù)據(jù)如下：元素單位未加乙腈30g樣品加1mL乙腈樣品1樣品2樣品3樣品4Ling/g0.0100.0010.0010.001Bng/g0.0240.0130.0210.048Nang/g0.0590.0450.0270.024Mgng/g0.0100.0140.0080.035Alng/g0.0520.0410.0430.349Kng/g0.0720.0620.0310.141Cang/g0.0840.0760.0420.225Png/g0.2390.2180.2930.124Ting/g0.0260.0320.0400.071Vng/g0.0010.0020.0010.001Crng/g0.0130.0110.0080.043Mnng/g0.0010.0020.0020.047Feng/g0.3790.4850.3430.554Cong/g0.0010.0010.0010.001Ning/g0.0100.0230.0060.038Cung/g0.0140.0140.0020.008Znng/g0.0180.0190.0050.025Gang/g0.0010.0010.0010.001Asng/g0.0010.0010.0010.001Pbng/g0.0010.0080.0010.002通過(guò)驗(yàn)證，在不加乙腈的情況下，測(cè)試結(jié)果與加乙腈的測(cè)試結(jié)果并無(wú)明顯差異，且加乙腈的2次測(cè)試結(jié)果差異較大，說(shuō)明乙腈提純過(guò)程極易引入雜質(zhì)。在不加已經(jīng)的情況下，通過(guò)加標(biāo)回收實(shí)驗(yàn)開(kāi)展準(zhǔn)確性驗(yàn)證試驗(yàn)：即稱取16.08g三氯氫硅樣品，加入已知濃度（100ng/g）的混合標(biāo)準(zhǔn)溶液30uL，定容至5g，測(cè)試數(shù)據(jù)如下：元素單位加標(biāo)前測(cè)定結(jié)果加標(biāo)后測(cè)定結(jié)果1#2#3#4#5#6#1-1#1-2#1-3#1-4#1-5#1-6#Ling/g0.0050.0050.0010.0010.0030.0030.8090.7810.7930.8040.7970.785Bng/g0.0630.0830.0830.0880.0760.0910.7220.8030.7950.7700.7340.729Nang/g0.5260.5210.5480.5430.4970.4950.9321.0910.9660.9871.0401.024Mgng/g0.0800.0780.0860.0830.0980.1030.6500.7120.6730.6610.6800.690Alng/g1.4401.3251.2461.4011.2461.3082.2452.1832.0602.1122.2532.165Kng/g0.6600.6510.5250.5450.6110.5991.0901.0871.0651.0861.0681.240Cang/g0.0940.0950.0540.0650.0690.0940.5570.5770.6830.6080.6360.607Png/g0.7490.6920.7500.6940.7490.7391.2711.2861.1161.2481.3241.208Ting/g0.5600.4760.4090.4380.4280.4791.0020.9351.0180.9940.9270.973Vng/g0.0630.0560.0440.0430.0470.0570.7890.7780.8910.9010.7890.782Crng/g0.0420.0450.0310.0290.0400.0400.7260.7130.7460.7630.7160.716Mnng/g0.0690.0710.0730.0630.0650.0640.7010.6740.7040.7310.7280.711Feng/g0.7730.7200.7680.7450.7450.7131.4981.3941.3521.3941.5201.481Cong/g0.0040.0030.0010.0010.0040.0050.7250.6960.7230.7330.7130.701Ning/g0.0170.0180.0120.0120.0120.0140.7290.7160.7370.7430.7220.716Cung/g0.1730.1720.1820.1790.1810.1820.7230.6980.7270.7430.7800.767Znng/g0.3870.3720.3570.3680.3540.3630.9120.8850.9200.9141.0230.997Gang/g0.0040.0050.0020.0020.0070.0080.6800.7070.7270.7220.7740.759Asng/g0.0050.0030.0010.0010.0050.0050.4990.5290.4880.4760.5620.565Mong/g0.0130.0140.0140.0140.0150.0160.7270.7110.7450.7600.7460.742Pbng/g0.0190.0200.0140.0140.0170.0180.7580.7250.7670.7670.7700.746為了避免設(shè)備及環(huán)境引入的標(biāo)準(zhǔn)誤差，計(jì)算回收率時(shí)，加標(biāo)量按照測(cè)定值作為參考值進(jìn)行計(jì)算：元素參考測(cè)定值(ng)加標(biāo)前測(cè)定均值（ng/g）加標(biāo)后測(cè)定均值（ng/g）計(jì)算回收率（%）Li3.9730.0030.79599.7B3.0080.0810.759112.7Na2.9940.5221.007