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1印刷電子設備接觸式剛性印版第一部分:印版外形尺寸測量方法3.13.2印版的幾何定義geometricaldefiniti3.33.423.53.63.73.83.93.103.113.123.133.14印版基材的平面度flatnessofplate3平面度截止波長flatnesscut-off3.15az3.1643.17粗糙度截止波長roughnesscut-offwave4印版幾何尺寸的測量方法4.2.1測量儀器54.2.2邊緣長度測量f)使用公式(1)計算橫向(CD)邊長和縱向(MD注:W和L分別是標準試樣的寬度和長度,分別代表橫向(CD4.2.2.2報告64.2.3邊緣垂直度b)如圖4所示,將兩個比較儀(例如千分表)4.2.3.2報告——以0.1°為單位展示結果。4.2.4邊緣直線度測量4.2.4.1總則7b)將直線度標準試樣與直線導軌臺系統(tǒng)的運動方向平e)將印版的待測邊緣與比較儀靠緊,使f)在直線導軌臺的每個xi位置處測量比較儀的數(shù)值(g)根據數(shù)據集{(x1,y1,2?y1,1),…,(xi,yi,2?yi,1),…,(xn,yn,2?yn,1)}計算該邊緣的近似直線(采 h)獲取邊緣點偏差數(shù)據集{Δy1,Δy2, Δyi=(yi,2?yi,1)?mxi?b( 4.2.4.3報告84.2.5厚度a)將厚度標準試樣放置在平面上并夾緊:厚度標準試樣的邊長無需與印版的邊長相等。4.2.5.2報告4.3.1測量儀器a)測量儀器的精度c)通過最小二乘法擬合計算坐標測量機(CMM)坐標系中四條邊緣的直線g)根據三個頂點來計算橫向(CD)邊長(LCD)以9j)通過用Hp減去HF來計算印版的厚度。4.3.3報告——以0.1°為單位提供測得的邊緣垂直度?!⒚鳒y量儀器的精度。——注明測量溫度以及測量過程中的溫度變化情況。5.1.1方法——觸針尖端形狀:球形?!獍咧睆剑河捎脩艉凸躺潭?。5.1.4校準應根據需要提供溫度控制和隔音/隔振措施,以獲得無——測量長度:由用戶和供應商商定?!蓸娱g隔:由用戶和供應商商定?!吮荛_有圖案的區(qū)域。c)利用平面度截止波長對實際輪廓應用濾波器,通過去g)針對每條輪廓計算輪廓參數(shù)(Ra,Rz,Rmax)。Pi是輪廓長度范圍內的第it?個最高峰;5.3報告RaRmaxRzMD掃描#*b)以微米(μm)為單位展示平面度測量結果,并將結果四舍五入至0.5的倍數(shù)(見表2)。RaRmaxRz——測量儀器:儀器類型、制造商名稱和型號、觸針半徑和測量力?!獪y量條件:輪廓濾波器、平面度截止波長、測量位置、測量長度、采樣間隔、測量溫度和測——觸針尖端形狀:球體?!獍咧睆剑河捎脩艉凸躺潭?。應根據需要提供溫度控制和隔音/隔振措施,以獲得無——掃描區(qū)域:由用戶和供應商商定。——采樣間隔:由用戶和供應商商定?!獦颖镜闹行奈恢谩!挥诙ㄏ蚪莾蛇厓葌?0mm處的點。c)對實際輪廓應用二維高通截止波長濾波器,以獲取表面粗糙度輪廓。d)計算表面粗糙度參數(shù)(zrms,Rmax,Rz)。zrms=1/2··························································Rmax=P1?V1··································································································Vi

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