《微電子和電子組裝用清洗劑中揮發(fā)性有機(jī)物和特定有害物質(zhì)限量》

ICS71.100.99

CCSG85

DB4403

深圳市地方標(biāo)準(zhǔn)

DB4403XXXXX—XXXX

微電子和電子組裝用清洗劑中揮發(fā)性有機(jī)

物和特定有害物質(zhì)限量

Limitofvolatileorganiccompoundsandcertainharmfulsubstancesof

cleaningagentsinmicroelectronicandelectronicassembly

（送審稿）

XXXX-XX-XX發(fā)布XXXX-XX-XX實(shí)施

深圳市市場(chǎng)監(jiān)督管理局發(fā)布

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微電子和電子組裝用清洗劑中揮發(fā)性有機(jī)物和特定有害物質(zhì)限量

1范圍

本文件規(guī)定了微電子和電子組裝用清洗劑中揮發(fā)性有機(jī)物和特定有害物質(zhì)的限量要求、檢驗(yàn)方法和

檢驗(yàn)結(jié)果的判定。

本文件適用于深圳市銷售和使用的微電子和電子組裝用清洗劑，包含作為清洗劑使用的化學(xué)品或制

劑，本文件也適用于清洗電子設(shè)備內(nèi)部元件如電子元件、電路板、印刷板以及組裝過(guò)程中所使用的儀器

設(shè)備等的清洗劑。

本文件不適用于半導(dǎo)體制造用清洗劑以及航天、核工業(yè)、軍工行業(yè)的微電子組裝和電子組裝用清洗

劑。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中,注日期的引用文件,

僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文

件。

GB/T4472化工產(chǎn)品密度、相對(duì)密度的測(cè)定

GB/T6283化工產(chǎn)品中水分含量的測(cè)定卡爾·費(fèi)休法(通用方法)

GB/T6680液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB18582—2020建筑用墻面涂料中有害物質(zhì)限量

GB/T23985—2009色漆和清漆揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOC)含量的測(cè)定差值法

GB/T23986—2009色漆和清漆揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOC)含量的測(cè)定氣相色譜法

GB/T23990—2009涂料中苯、甲苯、乙苯和二甲苯含量的測(cè)定氣相色譜法

GB/T23992—2009涂料中氯代烴含量的測(cè)定氣相色譜法

GB/T23993水性涂料中甲醛含量的測(cè)定乙酰丙酮分光光度法

GB/T31414水性涂料表面活性劑的測(cè)定烷基酚聚氧乙烯醚

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。

3.1

微電子組裝microelectronicassembly

根據(jù)原理圖，運(yùn)用微電子技術(shù)和高密度組裝技術(shù)，將微電子器件和微小型元件組裝成適用的可生產(chǎn)

的電子組件、部件或一個(gè)系統(tǒng)的技術(shù)。

3.2

電子組裝electronicassembly

1

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根據(jù)原理圖，對(duì)各種電子元件、電子器件、機(jī)電元件、機(jī)電器件以及基板進(jìn)行合理設(shè)計(jì)、互連、安

裝、調(diào)試，使其成為適用的、可生產(chǎn)的電子產(chǎn)品的技術(shù)。

3.3

半導(dǎo)體制造semiconductormanufacturing

半導(dǎo)體制造是從晶體生長(zhǎng)到電路分離和封裝的所有過(guò)程，包括晶圓生產(chǎn)、氧化、光敏電阻操作、蝕

刻、摻雜和外延生長(zhǎng)操作。

3.4

水基清洗劑water-basedcleaningagent

以水、表面活性劑及助劑等成分組成的清洗劑。

[來(lái)源：GB38508—2020,3.5]

3.5

半水基清洗劑semi-water-basedcleaningagent

以水﹑表面活性劑、有機(jī)溶劑及助劑等成分組成的穩(wěn)態(tài)或亞穩(wěn)態(tài)的清洗劑。

[來(lái)源：GB38508—2020,3.6]

3.6

有機(jī)溶劑清洗劑organicsolventcleaningagent

以一種或多種有機(jī)溶劑組成的清洗劑。

[來(lái)源：GB38508—2020,3.7]

3.7

揮發(fā)性有機(jī)物volatileorganiccompounds

參與大氣光化學(xué)反應(yīng)的有機(jī)化合物，或者根據(jù)有關(guān)規(guī)定確定的有機(jī)化合物。

[來(lái)源：GB37822—2019,3.1]

3.8

揮發(fā)性有機(jī)物含量volatileorganiccompoundscontent

在規(guī)定條件下測(cè)得的清洗劑中揮發(fā)性有機(jī)化合物的質(zhì)量。

[來(lái)源：GB38508—2020,3.3]

4產(chǎn)品分類

按清洗劑組分的不同，將清洗劑分為水基清洗劑、半水基清洗劑、有機(jī)溶劑清洗劑。

5技術(shù)要求

微電子和電子組裝用清洗劑中揮發(fā)性有機(jī)物限量的要求分階段進(jìn)行實(shí)施，2023年12月31日之前的要

求見(jiàn)表1,2024年1月1日之后的要求見(jiàn)表2。

5.1微電子和電子組裝用清洗劑中揮發(fā)性有機(jī)物限量應(yīng)符合表1的要求（2023.12.31之前）。

表1微電子和電子組裝用清洗劑中揮發(fā)性有機(jī)物限量要求（2023.12.31之前）

限量值

項(xiàng)目

水基清洗劑半水基清洗劑有機(jī)溶劑清洗劑

揮發(fā)性有機(jī)物含量/(g/L)≤50≤250≤850

2

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5.2微電子和電子組裝用清洗劑中揮發(fā)性有機(jī)物限值應(yīng)符合表2的要求（2024.1.1之后）。

表2微電子和電子組裝用清洗劑中揮發(fā)性有機(jī)物限值要求（2024.1.1之后）

限量值

項(xiàng)目

水基清洗劑半水基清洗劑有機(jī)溶劑清洗劑

揮發(fā)性有機(jī)物含量/(g/L)≤40≤100≤800

5.3微電子和電子組裝用清洗劑中特定有害物質(zhì)限值。

表3微電子和電子組裝用清洗劑中特定有害物質(zhì)限量值要求

限量值

項(xiàng)目

水基清洗劑半水基清洗劑有機(jī)溶劑清洗劑

甲醛含量/(g/kg)≤0.5

特定鹵代烴總和含量（二氯甲烷、三氯甲烷、三氯乙

烯和四氯乙烯、1,1-二氯乙烷、1,2-二氯乙烷、1,1,1-

≤0.01

三氯乙烷、1,1,2-三氯乙烷、1,2-二氯丙烷和1,2,3-

三氯丙烷總和含量）/%

正己烷含量/%≤0.1

苯、甲苯、二甲苯和乙苯總和含量/%≤0.1

烷基酚及聚氧乙烯醚總和含量（限辛基酚和辛基酚聚

氧乙烯醚[C8H17—C6H4—(OC2H4)nOH,簡(jiǎn)稱OPnEO]、壬基

≤0.1

酚和壬基酚聚氧乙烯醚[C9H19—C6H4—(OC2H4)nOH,簡(jiǎn)稱

NPnEO],n=2～16）/%

乙二醇醚及醚酯總和含量（限乙二醇甲醚、乙二醇甲

醚醋酸酯、乙二醇乙醚、乙二醇乙醚醋酸酯、乙二醇

≤0.1

二甲醚、乙二醇二乙醚、二乙二醇二甲醚、三乙二醇

二甲醚和二乙二醇甲醚）/%

6檢驗(yàn)方法

6.1一般要求

6.1.1按照清洗劑產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)或包裝標(biāo)志中注明工作狀態(tài)的使用配比配制適量的樣品測(cè)試液,并妥密

封保存。需要稀釋的，按比例進(jìn)行稀釋；稀釋比例在某一范圍時(shí)，按照稀釋劑用量最小，清洗劑產(chǎn)品用

量最大的配比進(jìn)行稀釋。

6.1.2若產(chǎn)品未注明工作狀態(tài)使用配比的，以該產(chǎn)品直接進(jìn)行測(cè)試。

6.1.3本文件中可扣減物質(zhì)為順式1,1,1,4,4,4-六氟-2-丁烯(HFO-1336mzz-z)、反式1,3,3,3-四氟丙

烯(HFO-1234ze)、乙基九氟丁基醚(HFE-7200)、1,1,1,2,2,3,3,4,4-九氟-4-甲氧基丁烷(HFE-7100)。

清洗劑產(chǎn)品若含有可扣物質(zhì)需明示其名稱、含量和檢測(cè)方法，檢測(cè)方法需滿足的條件為：方法測(cè)定低限

≤0.01%，方法重復(fù)性相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差＜10%。

6.2取樣

3

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按相應(yīng)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定取樣，若無(wú)規(guī)定按GB/T6680的規(guī)定進(jìn)行。

6.3試驗(yàn)方法

6.3.1含水量的測(cè)定

按GB/T6283或GB18582—2020的附錄A的規(guī)定進(jìn)行。GB18582—2020的附錄A為仲裁方法。

6.3.2密度的測(cè)定

按GB/T4472的規(guī)定進(jìn)行。

6.3.3揮發(fā)性有機(jī)物含量的測(cè)定

6.3.3.1假定揮發(fā)物是水和有機(jī)物，清洗劑中預(yù)期揮發(fā)性有機(jī)物含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))大于15%時(shí)，產(chǎn)品中

可揮發(fā)性有機(jī)物的含量按GB/T23985—2009的規(guī)定進(jìn)行，并按式(1)計(jì)算清洗劑VOC含量：

ρVOC=(ω?fù)]-ωi-ω水)×ρ×0.01…………(1)

式中：

ρVOC————清洗劑VOC含量，單位為克每升(g/L)；

ω?fù)]————樣品測(cè)試液中揮發(fā)性物質(zhì)的質(zhì)量分?jǐn)?shù)，%﹔

ωi————樣品測(cè)試液中可扣減物質(zhì)i的質(zhì)量分?jǐn)?shù)，%；

ω水————樣品測(cè)試液中水分的質(zhì)量分?jǐn)?shù)，%；

ρ————樣品測(cè)試液的密度，單位為克每升(g/L)；

0.01————換算系數(shù)。

6.3.3.2假定揮發(fā)物是水和有機(jī)物，清洗劑中預(yù)期揮發(fā)性有機(jī)物含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))小于或等于15%時(shí)，

產(chǎn)品中可揮發(fā)性有機(jī)物的含量按GB/T23986—2009的規(guī)定進(jìn)行，并按式(2)計(jì)算清洗劑VOC含量：

ρVOC=(ωv-ωi)×ρ×0.01…………(2)

式中：

ρVOC————清洗劑VOC含量，單位為克每升(g/L)；

ωv————樣品測(cè)試液中揮發(fā)性有機(jī)物的質(zhì)量分?jǐn)?shù)，%﹔

ωi————樣品測(cè)試液中可扣減物質(zhì)i的質(zhì)量分?jǐn)?shù)，%；

ρ————樣品測(cè)試液的密度，單位為克每升(g/L)；

0.01————換算系數(shù)。

注：式(1)和式(2)中i為可扣減物質(zhì)。

6.3.4甲醛含量的測(cè)定

按GB/T23993的規(guī)定進(jìn)行。

6.3.5二氯甲烷、三氯甲烷、三氯乙烯和四氯乙烯總和含量的測(cè)定

按GB/T23992—2009的規(guī)定進(jìn)行。并按GB/T23992—2009中8.5.2計(jì)算二氯甲烷、三氯甲烷、三

氯乙烯和四氯乙烯的含量，將4種物質(zhì)含量進(jìn)行累加計(jì)算總和。

6.3.6其他鹵代烴總和含量的測(cè)定

按GB/T23992—2009的規(guī)定進(jìn)行。并按GB/T23992—2009中8.5.2計(jì)算每種鹵代烴的含量，含有

兩種及以上鹵代烴時(shí)，應(yīng)將所有鹵代烴含量進(jìn)行累加計(jì)算總和。

4

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6.3.7正己烷含量的測(cè)定

按GB/T23986—2009的規(guī)定進(jìn)行。并按GB/T23986—2009中10.2的規(guī)定進(jìn)行計(jì)算。

6.3.8苯、甲苯、二甲苯和乙苯總和含量的測(cè)定

按GB/T23990-2009的規(guī)定進(jìn)行。其中，有機(jī)溶劑清洗劑按GB/T23990-2009中A法測(cè)定，水基清

洗劑和半水基清洗劑按GB/T23990-2009中B法測(cè)定。

6.3.9烷基酚及聚氧乙烯醚總和含量的測(cè)定

按GB/T31414的規(guī)定進(jìn)行。

6.3.10乙二醇醚及醚酯總和含量的測(cè)定

按GB/T23986—2009的規(guī)定進(jìn)行。并按GB/T23986—2009中10.2的規(guī)定進(jìn)行計(jì)算。

7檢驗(yàn)結(jié)果的判定

7.1檢驗(yàn)結(jié)果的判定，按GB/T8170中修約值比較法進(jìn)行。

7.2報(bào)出檢驗(yàn)結(jié)果時(shí)，應(yīng)同時(shí)注明產(chǎn)品明示的工作狀態(tài)下的使用配比。

7.3所有項(xiàng)目的檢驗(yàn)結(jié)果均達(dá)到本文件的要求時(shí)，產(chǎn)品為符合本文件要求。

8包裝標(biāo)志

8.1按本文件檢驗(yàn)合格的清洗劑產(chǎn)品應(yīng)在包裝標(biāo)志上明示所屬清洗劑類別，含有VOC含量計(jì)算公式中可

扣減的物質(zhì)時(shí)，應(yīng)明示可扣減物質(zhì)的名稱、含量和檢測(cè)方法。

8.2清洗劑產(chǎn)品應(yīng)在包裝標(biāo)志上或產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)中明確產(chǎn)品工作狀態(tài)下的使用配比。

9禁用物質(zhì)清單

基于部分有機(jī)物質(zhì)對(duì)人體及環(huán)境產(chǎn)生較大的危害和影響，本文件規(guī)定的清洗劑產(chǎn)品在深圳經(jīng)濟(jì)特區(qū)

銷售和使用過(guò)程中不得含有附錄A中的物質(zhì)，且附錄A中的物質(zhì)通過(guò)文件審查、現(xiàn)場(chǎng)檢查以及其他有效證

明性文件的方式進(jìn)行驗(yàn)證。

5

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附錄A

（規(guī)范性）

禁用物質(zhì)清單

微電子和電子組裝用清洗劑中不應(yīng)人為添加的物質(zhì)見(jiàn)表A.1。

表A.1微電子和電子組裝用清洗劑中不應(yīng)人為添加的物質(zhì)一覽表

序號(hào)物質(zhì)名稱化學(xué)式CAS

11,1,2,2-四氟乙烷(HFC-134)CHF2CHF2359-35-3

21,1,1,2-四氟乙烷(HFC-134a)CH2FCF3811-97-2

31,1,2-三氟乙烷(HFC-143)CH2FCHF2430-66-0

41,1,1,3,3-五氟丙烷(HFC-245fa)CHF2CH2CF3460-73-1

51,1,1,3,3-五氟丁烷(HFC-365mfc)CF3CH2CF2CH3406-58-6

61,1,1,2,3,3,3-七氟丙烷(HFC-227ea)CF3CHFCF3431-89-0

71,1,1,2,2,3-六氟丙烷(HFC-236cb)CH2FCF2CF3677-56-5

81,1,1,2,3,3-六氟丙烷(HFC-236ea)CHF2CHFCF3431-63-0

91,1,1,3,3,3-六氟丙烷(HFC-236fa)CF3CH2CF3690-39-1

101,1,2,2,3-五氟丙烷(HFC-245ca)CH2FCF2CHF2679-86-7

111,1,1,2,2,3,4,5,5,5-十氟戊烷(HFC-4310mee)CF3CF2CHFCHFCF3138495-42-8

12二氟甲烷(HFC-32)CH2F275-10-5

13五氟乙烷(HFC-125)CHF2CF3354-33-6

141,1,1-三氟乙烷(HFC-143a)CH3CF3420-46-2

15甲基氟(HFC-41)CH3F593-53-3

161,2-二氟乙烷(HFC-152)CH2FCH2F624-72-6

171,1-二氟乙烷(HFC-152a)CH3CHF275-37-6

18三氟甲烷(HFC-23)CHF375-46-7

19全氟甲烷CF475-73-0

20全氟乙烷CF3CF376-16-4

21全氟丙烷CF3CF2CF376-19-7