水膜技術(shù)應(yīng)用可行性分析報(bào)告

水膜技術(shù)應(yīng)用可行性分析2015.3一、現(xiàn)有刻蝕工藝方案及問題入料去PSG刻蝕槽水洗酸洗水洗堿洗水洗酸洗水洗下料現(xiàn)有刻蝕工藝方案現(xiàn)有工藝方案存在的問題:1、刻蝕邊緣方阻提升較中間高：硅片和溶液反應(yīng)，產(chǎn)生大量酸性氣體，酸性氣體從邊緣溢出，跟片子擴(kuò)散面反應(yīng)。由于邊緣濃度較中間高，導(dǎo)致邊緣方阻提升明顯高于中心方阻（詳見附頁一、刻蝕后方阻測試數(shù)據(jù)）；2、方阻無法再提高，效率提升遇到瓶頸：隨著漿料技術(shù)及網(wǎng)版技術(shù)的提高，柵線細(xì)化、副柵加密及4主柵是現(xiàn)有提升效率的技術(shù)方向。配合柵線加密需要將方阻提升（目標(biāo)100），但現(xiàn)有工藝方式提升到90，邊緣方阻就會顯著升到140以上（要求130以內(nèi)），導(dǎo)致電池片F(xiàn)F無提升，效率無提升。（詳見附頁二、101柵試驗(yàn)結(jié)果）反應(yīng)氣體從邊緣溢出97.2185.1683.7488.2895.96101.281.5479.9182.4476.975.1273.2782.678.1990.1788.5268.8391.3480.7566.280.1776.9164.7879.2884.2665.7578.2692.4870.5894.15107.290.3982.4988.3183.7978.1385.63124.482.9396.0691.3298.77106.5109.7104.987.2783.6179.7177.1389.3689.274.2179.4280.1685.1274.9884.2379.5676.8897.7885.3466.8282.9178.3566.5867.6385.3963.5995.7383.9866.3179.1288.3268.8593.7482.2680.1683.3276.6580.2391.7582.5776.1992.61100.497.9893.89114.9124.599.93上表為現(xiàn)場四探針方阻測試結(jié)果、邊緣方阻有較多超過100的點(diǎn)。附頁一、現(xiàn)產(chǎn)線刻蝕后方阻表現(xiàn)附頁二、101柵試驗(yàn)結(jié)果漿料柵線數(shù)網(wǎng)版規(guī)格方阻線寬高/umUocIscRsRshFFEtaIrev2數(shù)量590B90柵360/16-37線寬86-8862-15um0.6298.7482.092101479.2917.93%0.0680853590B101柵360/16-35線寬86-8852-15um0.63078.7582.23997179.0217.94%0.067938918F101柵360/16-35線寬86-8859-15um0.62948.7482.03186079.0517.89%0.0674206小結(jié)：1、101柵效率較90柵無提升、FF未表現(xiàn)出加密優(yōu)勢；2、原因分析為邊緣方阻高（邊緣方阻超140），導(dǎo)致FF未能體現(xiàn)出柵線加密優(yōu)勢。試驗(yàn)方案：101柵圖形，36016網(wǎng)版，590B與正常黏度18F匹配高方阻。二、水膜工藝方案介紹水膜原理：

為減少刻蝕槽氣象腐蝕對表面PN結(jié)的影響，在硅片表面鋪上一層水膜，阻止硅片和酸性氣體接觸，從而穩(wěn)定方阻提升。經(jīng)過前期的模擬試驗(yàn)，方阻的穩(wěn)定性明顯提高（詳見附錄三、水膜模擬實(shí)驗(yàn)結(jié)果）。入料水膜去PSG刻蝕槽水洗酸洗水洗堿洗水洗酸洗水洗下料水膜刻蝕工藝方案：試驗(yàn)方法：模擬水膜將刻蝕方阻提升至正常水平；試驗(yàn)結(jié)果：邊緣方阻明顯改善767668

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758074附錄三、水膜模擬實(shí)驗(yàn)結(jié)果結(jié)論：從模擬實(shí)驗(yàn)效果看，有水膜保護(hù)的邊緣方阻明顯優(yōu)于常規(guī)產(chǎn)線方阻，對于提升方阻有較大潛力。現(xiàn)有刻蝕方式方阻表現(xiàn)：97.2185.1683.7488.2895.96101.281.5479.9182.4476.975.1273.2782.678.1990.1788.5268.8391.3480.7566.280.1776.9164.7879.2884.2665.7578.2692.4870.5894.15107.290.3982.4988.3183.7978.1385.63124.482.9396.0691.3298.77106.5109.7104.9三、水膜設(shè)備改造項(xiàng)介紹在入料段增加水膜產(chǎn)生裝置水刀；在入料設(shè)備頂端增加水膜穩(wěn)壓裝置；水刀前后阻水滾輪，控制水