JJF(蘇) 276-2024 接觸（觸針）式表面輪廓測量儀校準規(guī)范

江蘇省市場監(jiān)督管理局發(fā)布江蘇省地方計量校準規(guī)范JJF（蘇）276－2024IJJF（蘇）276－2024 (2) (2) (4) (5) (6) (11) JJF（蘇）276－2024范（GPS）表面結構輪廓法接觸（觸針）式儀器的校準》以及GB/T6062-2009/ISO接觸（觸針）式表面輪廓測量儀校準規(guī)范GB/T19600-2004產(chǎn)品幾何量技術規(guī)范（GPS）表面結構輪廓法接觸（觸針）式GB/T6062-2009產(chǎn)品幾何技術規(guī)范（GPSJB/T11271-2012接觸（觸凡是注明日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)范；凡不注日期的引用文1-底座；2-工作臺；3-觸針；4-傳感器；5-基準導軌；6-立柱；7-驅動箱；8-計算機；9-信號處理器JJF（蘇）276－20242序號校準項目測量標準及其他設備1X軸導軌直線度平面平晶：1級2輪廓水平分量（X軸）示值誤差激光干涉儀：MPE:±（0.03μm+1.5×10?6L輪廓標準器：U≤1/4MPEX（示例見附錄A）3輪廓垂直分量（Z軸）示值誤差量塊：3等；平面平晶：一級4角度測量示值誤差角度塊：2級或輪廓標準器：U≤1/4MPEθ5圓弧半徑測量示值誤差標準球或標準半球或輪廓標準器：直徑：U≤1/3MPER，圓度：≤1/10MPER(Φ5mm~Φ20mm和Φ40mm~Φ80mm各一個）JJF（蘇）276－202436重復性角度塊：2級注：可采用滿足測量不確定度要求的其他測量設備進行校準。在平面平晶工作面上掃描滑行，從輪廓曲線圖上確定校準范圍準器基面處開始測量，在X軸測量范圍內(nèi)選擇3～5個長度段進行校準，最大長度段不在輪廓曲線中擬合各齒側邊延長線的交點，評價長度段交點間的距離li，與輪廓標準器的實際值進行比較，通過式（1）得到示值誤差ΔΔi=li?LiLi—第i段間距的樣塊標準值，mm。行程量程范圍的4/5，分別選取對應尺寸的三等量塊作為各校準點的標準器。JJF（蘇）276－20244EQ\*jc3\*hps23\o\al(\s\up2(-),0)儀正值范圍內(nèi)測量其他量塊。通過式（2）得到各點的示值誤差δi。（2）EQ\*jc3\*hps23\o\al(\s\up2(-),0)選擇2～3個不同的角度值進行校準。將角度塊固定在平口鉗中，調(diào)整角度塊側邊與標準球（半球）半徑實際值之差，作為該標準球（半球）下測得的示值誤差?R1，如JJF（蘇）276－20245EQ\*jc3\*hps23\o\al(\s\up1(一),R)EQ\*jc3\*hps23\o\al(\s\up1(一),R)—輪廓儀測量結果平均值；經(jīng)校準的接觸（觸針）式表面輪廓測量儀出具校準JJF（蘇）276－20246輪廓標準器各齒側邊延長線的交點距離l校準結果的擴展不確定度，應不大于1)輪廓標準器的長度L應大于等于輪廓儀X軸測量行程的66%；JJF（蘇）276－20247Δi=liLi+li*αli*ΔtliLi*αLi*ΔtLiLi—第i段間距的樣塊實際值，mm；Δtli、ΔtLi—分別為輪廓儀、專用樣塊偏離標準溫度20℃的值，℃。B.4.1輪廓水平分量（X軸）示值li引入的標準不確定度分量u(li)JJF（蘇）276－20248表B.1次數(shù)123456789測得值（20）(200)B.4.2輪廓標準器校準結果引入的不確定度分量uLiB.4.3輪廓儀與輪廓標準器線膨脹系數(shù)差產(chǎn)生的標準不確定度分量u(δα)B.4.4輪廓儀與輪廓標準器的溫度差產(chǎn)生的標準不確定度分量u(δt)JJF（蘇）276－20249被測輪廓儀溫度與標準溫度20℃偏差不超過3℃。度分量u(xi)c?u(xi)u(li)1u(Li)1u(δα)u(δt)?5mm?℃?1度分量u(xi)i)u(li)1u(Li)1u(δα)u(δt)?4mm?℃?1JJF（蘇）276－2024式中：Δi—輪廓垂直分量各校準點示值誤差，mm；Li—第i塊量塊實際值，mm；Δtli、ΔtLi—分別為輪廓儀、量塊偏離標準溫度20℃的值，℃。C.4.1輪廓儀測量重復性引入的標準不確定度分量u(li)JJF（蘇）276－20241234567899.00199.00229.00219.00119.00129.00149.00169.00179.00189.0015u(li)=0.36μmC.4.2校準用量塊引入的不確定度分量uLiC.4.3置零用量塊引入的不確定度分量uLiC.4.4輪廓儀與量塊線膨脹系數(shù)差產(chǎn)生的標準不確定度分量u(δα)C.4.5輪廓儀與量塊的溫度差產(chǎn)生的標準不確定度分量u(δt)JJF（蘇）276－2024度分量u(xi)c*u(xi)u(li)1u(Li)11u(δα)u(δt)JJF（蘇）276－2024Δi=riRi+ri*αri*ΔtriRi*αRi*ΔtRi(D.1)ri—輪廓儀半徑測量示值，mm；αri—輪廓儀的線膨脹系數(shù)；αRi—標準半球的線膨脹系數(shù)；Δtri、ΔtRi—分別為輪廓儀、量塊偏離標準溫度20℃的值，℃。令δα=αriαRi，δt=ΔtriΔtRi，取R≈αri≈αRi，Δt≈Δtri≈ΔtRi，則式(D.1)Δi=riRi+R*δα*ΔtR*αri*δt(D.2)D.4.1輪廓儀測量重復性引入的標準不確定度分量u(ri)JJF（蘇）276－2024表D.112345678922.496622.497422.497622.497822.497722.497722.498222.497622.497622.4972u(li)=μmD.4.2標準半球的標準不確定度uRiD.4.3輪廓儀與標準半球線膨脹系數(shù)差估算產(chǎn)生輪廓儀與標準半球線膨脹系數(shù)差估算產(chǎn)生的標準不確定度分量u(δα)較小，可忽略D.4.4輪廓儀與標準半球的溫度差產(chǎn)生的標準不確定度分量輪廓儀與標準半球的溫度差產(chǎn)生的標準不確定度分量u(δt)較小，可忽略不計輪廓儀線膨脹系數(shù)應為（11.5±1）×10?6℃?1，標準半球線膨脹系數(shù)為（5.5±度分量u(xi)lc?u(xi)u(ri)1u(Ri)1JJF（蘇）276－2024JJF（蘇）276－2024E.4.