T/SZCA 2-2021潔凈生產(chǎn)車間環(huán)境在線監(jiān)測技術(shù)規(guī)程

ICS35240

C50.

團體標(biāo)準(zhǔn)

T/SZCA2—2021

潔凈生產(chǎn)車間環(huán)境在線監(jiān)測技術(shù)規(guī)程

Technicalspecificationforcleanroomenvironmenton-linemonitoring

2021-03-27發(fā)布2021-06-19實施

深圳市潔凈行業(yè)協(xié)會

聯(lián)合發(fā)布

深圳市計量質(zhì)量檢測研究院

深圳市潔凈行業(yè)協(xié)會團體標(biāo)準(zhǔn)

潔凈生產(chǎn)車間環(huán)境在線監(jiān)測技術(shù)規(guī)程

Technicalspecificationforcleanroomenvironmenton-linemonitoring

T/SZCA2—2021

主編單位深圳市中明科技股份有限公司

:

發(fā)布機構(gòu)深圳市潔凈行業(yè)協(xié)會

:

深圳市計量質(zhì)量檢測研究院

實施日期年月日

:20210619

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社

2021年北京

深圳市潔凈行業(yè)協(xié)會

團體標(biāo)準(zhǔn)

潔凈生產(chǎn)車間環(huán)境在線監(jiān)測技術(shù)規(guī)程

T/SZCA2—2021

*

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)w熱w線

:400-168-0010

年月第一版

20213

*

書號

:155066·5-2990

版權(quán)專有侵權(quán)必究

關(guān)于聯(lián)合發(fā)布深圳市潔凈行業(yè)協(xié)會團體標(biāo)準(zhǔn)

《潔凈生產(chǎn)車間環(huán)境在線監(jiān)測技術(shù)規(guī)程》的通知

深潔協(xié)〔〕號

202109

現(xiàn)批準(zhǔn)由深圳市中明科技股份有限公司主編的潔凈生產(chǎn)車

《

間環(huán)境在線監(jiān)測技術(shù)規(guī)程為深圳市潔凈行業(yè)協(xié)會團體標(biāo)準(zhǔn)編號

》,

為自年月日起實施

T/SZCA2—2021,20210619。

本規(guī)程在國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會的全國團體標(biāo)準(zhǔn)信息平臺

深圳市標(biāo)準(zhǔn)信息平臺深圳

()、()、

市潔凈行業(yè)協(xié)會官方網(wǎng)站和深圳市計量質(zhì)

()

量檢測研究院官方網(wǎng)站公

(/Web/index.aspx)

開由深圳市潔凈行業(yè)協(xié)會委托中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

,。

深圳市潔凈行業(yè)協(xié)會

深圳市計量質(zhì)量檢測研究院

年月日

20210327

前言

根據(jù)深圳市潔凈行業(yè)協(xié)會年月日關(guān)于潔凈生產(chǎn)車

202091《

間環(huán)境在線監(jiān)測技術(shù)規(guī)程的批復(fù)的要求由深圳市中明科技股份

》,

有限公司主編并會同有關(guān)單位共同編制了本規(guī)程

,。

本規(guī)程整合了行業(yè)著名的科研機構(gòu)知名的高校和領(lǐng)先的企

、

業(yè)等優(yōu)勢資源參與規(guī)程的編制工作保證了規(guī)程的編制質(zhì)量在

,。

編制過程中編委會進行了廣泛深入的調(diào)查研究認(rèn)真總結(jié)實踐經(jīng)

,,

驗吸收國內(nèi)外相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和先進技術(shù)經(jīng)驗并在廣泛征求意見的基

,,

礎(chǔ)上通過反復(fù)討論修改與完善形成了征求意見稿于年

,、,,2021

月公開上網(wǎng)征求意見于年月經(jīng)審查專家委員會審查

1,20212

定稿

。

根據(jù)年月日科學(xué)技術(shù)部西南信息中心查新中心對

20200512

本規(guī)程出具的科技查新報告和年月日送審稿評審會議紀(jì)

202122

要給予本規(guī)程的評價本規(guī)程對打通潔凈室內(nèi)質(zhì)量全過程控制的

,

最后一公里填補行業(yè)空白具有很強的實用性規(guī)范潔凈生產(chǎn)

“”,,;

車間環(huán)境的監(jiān)測與管理建造符合潔凈物品生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)的空間環(huán)境

,,

實時掌握生產(chǎn)車間環(huán)境指標(biāo)參數(shù)降低運行風(fēng)險符合國家相關(guān)部

,,

門對潔凈生產(chǎn)車間環(huán)境監(jiān)測總體原則也順應(yīng)潔凈生產(chǎn)車間環(huán)境

,

在線監(jiān)測市場總體需求

。

本規(guī)程的主要內(nèi)容包括總則術(shù)語設(shè)計潔凈生產(chǎn)車間基本

:、、、

要求潔凈生產(chǎn)車間監(jiān)測系統(tǒng)組成儀器設(shè)備及終端施工安裝基

、、、、

本要求系統(tǒng)調(diào)試竣工驗收維護與保養(yǎng)等

、、、。

本規(guī)程某些內(nèi)容涉及知識產(chǎn)權(quán)的具體技術(shù)問題使用者可直

,

接與本規(guī)程有關(guān)知識產(chǎn)權(quán)的持有者協(xié)商處理本規(guī)程的發(fā)布機構(gòu)

,

·Ⅰ·

不承擔(dān)識別這些專利的責(zé)任

。

本規(guī)程由深圳市潔凈行業(yè)協(xié)會深圳市計量質(zhì)量檢測研究院

、

聯(lián)合發(fā)布并負(fù)責(zé)解釋執(zhí)行過程中如有意見或建議請寄深圳市潔

,,

凈行業(yè)協(xié)會地址深圳市福田保稅區(qū)市花路號富林大廈座

(:21B

室郵編

411,:518000,E-mail:admin@)。

本規(guī)程主編單位參編單位審查專家單位主要審查人員主

、、、、

要起草人員如下排名不分先后

():

主編單位深圳市中明科技股份有限公司

:

參編單位中國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司

:

深圳市建筑設(shè)計研究總院有限公司

廣西安圣檢測技術(shù)有限公司

深圳市億天凈化技術(shù)有限公司

深圳市科斯萊環(huán)境科技實業(yè)有限公司

傲通環(huán)球環(huán)境控制深圳有限公司

()

東莞市華連凈化設(shè)備有限公司

深圳市億天源環(huán)境科技有限公司

略陽朗意醫(yī)療科技有限公司

審查專家單位上海海事大學(xué)靜電技術(shù)研究所

:

中國建筑科學(xué)研究院

中國科學(xué)院深圳先進技術(shù)研究院

中國醫(yī)學(xué)救援協(xié)會救援物資保障分會

同濟大學(xué)

世源科技工程有限公司

深圳市建筑設(shè)計研究總院有限公司

深圳市潔凈行業(yè)協(xié)會潔凈行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)專業(yè)委員會

深圳市潔凈行業(yè)協(xié)會靜電防護技術(shù)專業(yè)委員會

深圳市潔凈行業(yè)協(xié)會智慧綠色節(jié)能技術(shù)專業(yè)委員會

深圳市潔凈行業(yè)協(xié)會潔凈工程技術(shù)專業(yè)委員會

深圳市潔凈行業(yè)協(xié)會潔凈設(shè)備與材料專業(yè)委員會

·Ⅱ·

廣西制冷學(xué)會凈化專業(yè)委員會

主要審查人員張利群孫可平沈晉明秦學(xué)禮肖紅梅

:

劉燕敏蔡杰劉俊杰陳霖新劉鐵東

林正剛馬俊杰王惠芳梁靜君賴心田

孫娟萍張鵬趙海濤胡小海石勇剛

主要起草人員韓玲玲劉建軍楊楊申華東夏群艷

:

劉曉清吳水田張聯(lián)盟楊旭代希林

魯建政王石傳梁敏兆唐智劉明生

郭非楊洋管毅梁靜升蔡懷宏

·Ⅲ·

目次

總則

1………(1)

術(shù)語

2………(2)

設(shè)計

3………(3)

一般規(guī)定

3.1………………(3)

布點原則

3.2………………(3)

潔凈生產(chǎn)車間基本要求

4…………………(5)

一般規(guī)定

4.1………………(5)

環(huán)境靜電監(jiān)測及防護接地

4.2、………………(5)

潛在環(huán)境破壞因素及分析

4.3………………(5)

潔凈生產(chǎn)車間環(huán)境監(jiān)測指標(biāo)

4.4……………(6)

潔凈生產(chǎn)車間監(jiān)測系統(tǒng)組成

5……………(7)

管理及監(jiān)控系統(tǒng)

5.1………(7)

數(shù)據(jù)同步服務(wù)系統(tǒng)

5.2………(8)

數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)

5.3…………(8)

數(shù)據(jù)采集及遠程控制系統(tǒng)

5.4………………(8)

通信系統(tǒng)

5.5………………(8)

系統(tǒng)擴展說明

5.6…………(8)

儀器設(shè)備及終端

6、………(9)

儀器設(shè)備監(jiān)控終端組成

6.1、、………………(9)

網(wǎng)關(guān)及監(jiān)控終端設(shè)備要求

6.2………………(10)

潔凈生產(chǎn)車間環(huán)境監(jiān)控終端設(shè)備基本要求

6.3………………(10)

施工安裝基本要求

7………(11)

系統(tǒng)調(diào)試

8…………………(12)

竣工驗收

9…………………(13)

維護與保養(yǎng)

10……………(14)

監(jiān)測數(shù)據(jù)備份規(guī)程

10.1……(14)

·Ⅴ·

在線監(jiān)測設(shè)備定期保養(yǎng)及校準(zhǔn)制度

10.2……(14)

健全維護保養(yǎng)記錄

10.3……(14)

本規(guī)程用詞說明

……………(15)

引用文件名錄

………………(16)

附錄潔凈等級劃分參考表

A……………(17)

附錄在線監(jiān)測數(shù)理統(tǒng)計與分析表

B………(19)

·Ⅵ·

Contents

1General…………………(1)

2Terms……………………(2)

3Design……………………(3)

3.1Generalprovisions………(3)

3.2Stationingprinciple……(3)

4Basicrequirementsforcleanproductionworkshop…(5)

4.1Generalprovisions………(5)

4.2Environmentalelectrostaticmonitoringandprotection、electrical

grounding………(5)

4.3Potentialenvironmentfailurefactorandanalyzing………(5)

4.4Cleanproductionworkshopenvironmentmonitoringindex………

……………(6)

5Formationofcleanproductionworkshopenvironmentalmoni-

toringsystems………………(7)

5.1Supervisingandmonitoringsystems……(7)

5.2Datasyncservicesystems………………(8)

5.3Dataprocessingsystems………………(8)

5.4Dataacquisitionandremotecontrolsystems……………(8)

5.5Communicationsystems…………………(8)

5.6Instructionofsystemextension…………(8)

6Instrument、equipmentandterminal…(9)

6.1Instrument、equipmentandmonitoringterminalcomposed………

……………(9)

6.2Gatewayandmonitoringterminalrequirements…………(10)

6.3Cleanproductionworkshopenvironmentalmonitoringterminalbasic

requirements……………………(10)

7Basicrequirementsforconstructionandinstallation………

……………(11)

·Ⅶ·

8Systemdebugging………(12)

9Projectacceptance………(13)

10Operationandmaintenance…………(14)

10.1Monitoringdatabackupregulations……(14)

10.2On-linemonitoringequipmentperiodicmaintenanceandcalibration

regulations……………………(14)

10.3Perfectoperationandmaintenancerecords………………(14)

Explanationofwordinginthiscode………(15)

Listofquoteddocuments…………………(16)

AnnexAReferencetableforcleaninggrade……………