CT廠進氣過濾方式分析.ppt

CT廠進氣過濾方式分析報告,單位:Y60 報告人:葉日恆,報告內(nèi)容: 一.問題點 二.理念政策 三.期望 四.差異分析及改善措施提出 4.1進氣各種處理方式的評估 4.2活性碳過濾處理的設(shè)計原則 4.3CT廠活性碳過濾現(xiàn)況設(shè)計說明表 4.4目前CM、CT之現(xiàn)況檢討與費用預(yù)估,1.1問題現(xiàn)象: 1.目前大園廠生產(chǎn)的過程中,置放的holding time在4小 時內(nèi)即發(fā)生盲孔孔底發(fā)黑或發(fā)藍, 造成盲孔浮離的現(xiàn) 象。 2.空氣過濾處理之效率及需求無法量化。 1.2經(jīng)過分析的問題點: 1.初步判定外氣含有化學(xué)污染物質(zhì),如下表:,如何維持板子置放時間在8小時而無品質(zhì)異常？,一.問題點,根據(jù)以上量測值懷疑空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)即為造成板子 盲孔孔底發(fā)黑或發(fā)藍的現(xiàn)象。,若參考 wafer fab clean room air quality criteria: *Total Hydrocarbons(THC):100ppb; *NOX:0.5ppb; * SOX :0.5ppb 來作為過濾基準,則必須有97.5%的去除效率,空氣處理成 本將相當(dāng)可觀。假設(shè)IC載板不需如此高的情況下,去除效 率應(yīng)為多少才能符合我們的生產(chǎn)環(huán)境條件? 2.配合CT廠現(xiàn)場品質(zhì)異常而緊急改善所採用的過濾方式,目 前一時無法量化及制定出更換週期。,二.理念政策:廠內(nèi)的空氣品質(zhì)需合乎作業(yè)製程品質(zhì)、 人員健康的需求。 三.期望(未來是什麼): 3.1藉由比較各種過濾方式及設(shè)計,取得最適宜的 方法來改善空氣品質(zhì),使板子在8小時之holding time內(nèi)仍不致發(fā)生盲孔孔底有發(fā)黑、發(fā)藍的情 形。 3.2藉由長期(3個月)來觀察:以懸掛之測試裸銅片 (station monitor)之氧化程度 來取代過濾效率 的量化指標。,四.差異分析及改善措施提出(Gap 並對濾材選用的knowledge仍 嫌不足。 c.改善措施提出(Solution) c.1進氣各種處理方式的評估及活性碳過濾處理的設(shè)計原則。 c.2過濾效果評估實驗計劃(保養(yǎng)頻率及標準化制定)。,4.1進氣各種處理方式的評估,4.2,4.4目前CM、CT之現(xiàn)況檢討與費用預(yù)估,9,8,A10無塵室進氣顆粒狀活性碳過濾安裝位置(目前作法),9,(在進氣空調(diào)箱之前),風(fēng)速:0.30.5m/s 壓損:0.5inAq,安裝位置(目前作法),10,8,9,框,8,8,作法二:在進氣空調(diào)箱內(nèi)部的活性碳過濾(安裝在濾袋之前),兩道