標準解讀

《JJG 661-2004 平面等傾干涉儀》是中國國家計量檢定規(guī)程之一，主要針對平面等傾干涉儀的計量性能、檢定條件、檢定項目及方法進行了規(guī)定。該標準適用于新制造、使用中以及修理后的平面等傾干涉儀的首次檢定和后續(xù)檢定。

根據(jù)此標準，平面等傾干涉儀用于測量光學表面平整度或曲率半徑，其工作原理基于光波的干涉現(xiàn)象，通過分析由待測表面反射回來的光線與參考面反射光線之間的相位差來實現(xiàn)對被測物形貌的高精度檢測。

在進行檢定時，需要滿足一定的環(huán)境條件，比如溫度、濕度等應(yīng)控制在一個適宜范圍內(nèi)，以減少外界因素對測量結(jié)果的影響。此外，對于光源的選擇也有明確要求，通常采用單色性好且穩(wěn)定性高的激光作為光源。

檢定過程中主要包括外觀檢查、功能測試等多個方面。其中，外觀檢查主要是評估儀器的整體結(jié)構(gòu)完整性及其各部件的狀態(tài)；而功能測試則側(cè)重于驗證設(shè)備能否正常工作，并達到預期的技術(shù)指標，如分辨率、重復性誤差等。

對于具體的檢定項目，標準中列出了詳細的操作步驟和技術(shù)參數(shù)范圍，確保了不同實驗室之間能夠獲得可比性強的數(shù)據(jù)。同時，還提供了如何處理不合格情況下的指導原則，幫助使用者及時發(fā)現(xiàn)問題并采取相應(yīng)措施。

該標準為平面等傾干涉儀的質(zhì)量控制提供了重要依據(jù)，有助于保證此類精密測量工具在科學研究、工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域中的可靠應(yīng)用。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2004-09-21 頒布
  • 2005-03-21 實施
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中華人民共和國國家計量檢定規(guī)程 JJG6612004 平 面 等 傾 干 涉 儀 FlatnessInterferometerwithIsoclinicCircleFringe 2004-09-21發(fā)布 2005-03-21實施 國 家 質(zhì) 量 監(jiān) 督 檢 驗 檢 疫 總 局 發(fā) 布 中 華 人 民 共 和 國 國 家 計 量 檢 定 規(guī) 程 平 面 等 傾 干 涉 儀 JJG6612004 國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布 * 中 國 質(zhì) 檢 出 版 社 出 版 發(fā) 行 北京市朝陽區(qū)和平里西街甲 號 2 (100013)北京市西城區(qū)復外三里河北街 號 16 (100045) 網(wǎng)址 : 服務(wù)熱線 年 月第 版 2005 2 1 * 書號 :155026J-1857 版權(quán)專有 侵權(quán)必究 JJG6612004 平面等傾干涉儀檢定規(guī)程 JJG6612004 VerificationReulationofFlatness 代替 JJG6611990 g InterferometerwithIsoclinicCircleFringe 本規(guī)程經(jīng)國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局于 年 月 日批準 并自 2004 09 21 , 年 月 日施行2005 03 21 。 歸 口 單 位:全國幾何量工程參量計量技術(shù)委員會 起 草 單 位:中國測試技術(shù)研究院 本規(guī)程委托全國幾何量工程參量計量技術(shù)委員會負責解釋 JJG6612004本規(guī)程起草人: 冉 慶 中國測試技術(shù)研究院 ( ) 陳永康 中國測試技術(shù)研究院 ( ) 張成悌 中國測試技術(shù)研究院 ( ) 曹 箭 中國測試技術(shù)研究院 ( ) JJG6612004 目 錄 范圍1 (1) 引用文獻2 (1) 概述3 (1) 計量性能要求4 (1) 測微目鏡的示值誤差極差及回程誤差4.1 (1) 工作臺移動的直線度4.2 (2) 工作臺移動的示值誤差及回程誤差4.3 (2) 鋼球支架的工作性能4.4 (2) 標準干涉環(huán)直徑測量的標準偏差4.5 (2) 干涉環(huán)小數(shù)干涉級測量的重復性4.6 (2) 通用技術(shù)要求5 (3) 外觀5.1 (3) 各部分相互作用5.2 (3) 計量器具控制6 (3) 檢定條件6.1 (3) 檢定項目6.2 (4) 檢定方法6.3 (4) 檢定結(jié)果的處理6.4 (6)附錄 等傾干涉儀測量平面度測量結(jié)果的不確定度評定 A (7)附錄 檢定證書和檢定結(jié)果通知書內(nèi)頁格式 B (10) JJG6612004 平面等傾干涉儀檢定規(guī)程1 范圍 本規(guī)程適用于平面等傾干涉儀的首次檢定 后續(xù)檢定和使用中的檢驗 、 。2 引用文獻 通用計量術(shù)語及定義 JJF10011998 測量不確定度評定與表示 JJF10591999 測量儀器特性評定 JJF10942002 使用本規(guī)程時 應(yīng)注意使用上述引用文獻的現(xiàn)行有效版本 , 。3 概述 平面等傾干涉儀是一種用于平面量值傳遞的標準計量器具 主要用于檢定尺寸較大 ,的平晶 各種尺寸的長平晶和標準平尺等的平面度 、 。 儀器工作原理如圖 所示 1 。 圖 工作原理圖 1 平晶 球支承 平晶 半 反射鏡 測微鼓輪 觀察者 目鏡組 1 ;2 ;3 ;4 ( ) ;5 ;6 ;7 ; 分劃板 成像物鏡 半 反光鏡 聚光物鏡 光

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