2正背金蒸鍍前清洗作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書.doc

PD2-WI-0002/Rev.1正背金蒸鍍前清洗作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書發(fā)行記錄單位辦公室財(cái)務(wù)部廠務(wù)部生管部品管部研發(fā)部生產(chǎn)一部生產(chǎn)二部生產(chǎn)三部綜合管理部市場營銷部采購供應(yīng)部份數(shù)1制/修訂審 核核 準(zhǔn)生產(chǎn)二部日期生產(chǎn)二部日期部門經(jīng)理日期制/修訂日期版次制/修訂內(nèi)容大綱2002.11.281新 建正背金蒸鍍前清洗作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書1、目的：去除晶片表面的污染物，增強(qiáng)正背金在晶片表面的粘附性。2、適用范圍：四元系晶片正背金蒸鍍前清洗。3、參考資料： DF-型腐蝕清洗臺(tái)使用說明書；KQ-300DE型醫(yī)用數(shù)控超聲清洗器使用說明書。4、定義：無。5、使用設(shè)備及材料：DF-型腐蝕清洗臺(tái)、PH070A型培養(yǎng)箱/干燥箱、KQ-300DE型醫(yī)用數(shù)控超聲清洗器、511溶液、215溶液和IPA。6、作業(yè)內(nèi)容：6.1 正金蒸鍍前清洗6.1.1 作業(yè)流程圖215溶液超聲清洗10min沖水511溶液加熱清洗10sec沖水烘干6.1.2 作業(yè)步驟6.1.2.1 按下排風(fēng)機(jī)啟動(dòng)按鍵，使清洗臺(tái)進(jìn)行排風(fēng)。6.1.2.2 在 KQ-300DE型數(shù)控超聲清洗器的清洗槽內(nèi)加DI水100130ml；按電源ON鍵，六秒后發(fā)出特定的蜂鳴聲（若水位不夠，數(shù)字顯示器顯示444；若水溫過低，數(shù)字顯示器顯示777）。水溫為室溫?zé)o需設(shè)定；按時(shí)間設(shè)定按鍵ON/OFF，通過設(shè)定鍵“”和“”設(shè)置時(shí)間為10min。6.1.2.3 將裝有215溶液的燒杯放入超聲清洗器內(nèi)；將待清洗晶片按順序逐片放入清洗專用花籃；再將花籃放入燒杯內(nèi)；然后按ON鍵施加100%超聲功率，開始超聲清洗并自動(dòng)計(jì)時(shí)。6.1.2.4 按下DF-型腐蝕清洗臺(tái)“電源”開關(guān)；然后按下“清洗進(jìn)水”開關(guān)，調(diào)節(jié)水槽左側(cè)進(jìn)水流量調(diào)節(jié)閥，使三級水槽水滿。按下“鼓泡”開關(guān)，壓力大小可通過“清水進(jìn)水”旁壓力調(diào)節(jié)旋鈕調(diào)節(jié)。與此同時(shí)，打開加熱板電源開關(guān)，將裝有蒸鍍前清洗511溶液的燒杯放入加熱板上開始加熱升溫，控溫在605。6.1.2.5 超聲清洗時(shí)間到達(dá)后，提出花籃，將其放入清洗臺(tái)的水槽內(nèi)，逐片用棉簽擦凈背面的黃色物質(zhì)，然后沖DI水至4M以上。6.1.2.6 當(dāng)511溶液加熱至605后，將花籃放入511溶液內(nèi)，10秒后提出花籃，在水槽內(nèi)從低水槽到高水槽逐級沖洗至DI水質(zhì)4M以上。6.1.2.7 將承片花籃分別在第一杯和第二杯IPA內(nèi)各浸10秒，再放入干燥箱內(nèi)烘5分鐘以上，取出花籃，按片號裝片入傳遞盒內(nèi)；填好作業(yè)記錄表和流程卡，完成與下一道工序的交接手續(xù)。6.2 背金蒸鍍前清洗6.2.1作業(yè)流程圖511溶液熱清洗10sec沖水215溶液清洗5min沖水烘干6.2.2 作業(yè)步驟6.2.2.1 按下排風(fēng)機(jī)啟動(dòng)按鍵,使清洗臺(tái)進(jìn)行排風(fēng)。6.2.2.2 按下DF-型腐蝕清洗臺(tái)“電源”開關(guān)；然后按下“清洗進(jìn)水”開關(guān)，調(diào)節(jié)水槽左側(cè)進(jìn)水流量調(diào)節(jié)閥，使三級水槽水滿。按下“鼓泡”開關(guān)，壓力大小可通過“清水進(jìn)水”旁壓力調(diào)節(jié)旋鈕調(diào)節(jié)。6.2.2.3 打開加熱板電源開關(guān)，將裝有511溶液的燒杯放在加熱板上開始加熱，控溫在605。將待清洗晶片按順序逐片放入清洗專用花籃；當(dāng)511溶液溫度加熱至60后，將花籃放入511溶液內(nèi)，10秒后提出花籃，在水槽內(nèi)從低水槽到高水槽逐級沖洗至DI水質(zhì)4M以上。6.2.2.4 沖水后，將花籃放入215溶液（室溫、不需超聲）內(nèi)5min，然后提出花籃，在水槽內(nèi)從低水槽到高水槽逐級沖洗至DI水質(zhì)4M以上。6.2.2.5將承片花籃分別在第一杯和第二杯IPA內(nèi)各浸10秒，再放入干燥箱內(nèi)烘5分鐘以上，取出花籃，按片號裝片入傳遞盒內(nèi)；填好作業(yè)記錄表和流程卡，完成與下一道工序的交接手續(xù)。7、注意事項(xiàng)：7.1 洗臺(tái)一定要開排風(fēng)機(jī)，保證排風(fēng)良好。7.2 作業(yè)時(shí)必須佩帶好規(guī)定的手套、口罩、鑷子等。7.3 作業(yè)時(shí)必須小心謹(jǐn)慎，避免弄破或污染晶片。7.4 配制溶液時(shí)必須按照規(guī)定的程序進(jìn)行操作，特別是在配制511時(shí)一定要將H2SO4沿?zé)瓋?nèi)壁緩慢的倒入H2O中，溫度降到60左右后再加H2O2。7.5 配制或使用溶液時(shí)必須小心謹(jǐn)慎，嚴(yán)防藥品燒傷皮膚。萬一藥品濺到皮膚上必須馬上用大量清水沖洗，重則就醫(yī)。8、