鍍膜涂層生產(chǎn)流程.doc

典型的鍍膜涂層生產(chǎn)流程從工具和精密元件的入庫(kù)檢查、涂層加工、直到交付客戶，整個(gè)過(guò)程都是專業(yè)的生產(chǎn)流程，其中包含多個(gè)分別征對(duì)不同特殊屬性要求的涂層的步驟。 一、入庫(kù)檢查 檢查待涂層零件的質(zhì)量、材料和表面狀況。根據(jù)客戶的規(guī)范確定生產(chǎn)程序。二、清洗 干凈的表面對(duì)于涂層附著至關(guān)重要。因此，我們要下大力量進(jìn)行表面處理以便為PVD處理做好準(zhǔn)備。在多級(jí)超聲波清洗線上用堿性水溶液進(jìn)行清洗，溶液中 不含任何對(duì)環(huán)境有害的添加劑。通過(guò)將零件分別裝入自動(dòng)進(jìn)料清洗線的特殊容器中簡(jiǎn)化清洗過(guò)程。三、預(yù)處理 如果需要其它預(yù)處理，應(yīng)當(dāng)采用適當(dāng)?shù)募夹g(shù)在真空電爐中去氣。 例如， 清除殘留在窄小鉆孔中的材料，并通過(guò)微型噴砂移除多孔表面層。四、進(jìn)料 在涂層前，將零件裝入可互換的基座支架中，然后插入涂層系統(tǒng)。 處理大型產(chǎn)品時(shí)，可自動(dòng)裝載基座支架。零件這種有計(jì)劃的安排可保持精確性。五、鍍膜涂層 1、抽去處理室空氣使剩余壓力大約為10-6mbar2、系統(tǒng)和工藝檢查3、將工具或元件加熱到所需的溫度4、對(duì)工具/元件進(jìn)行離子蝕刻以自動(dòng)產(chǎn)生清潔表面5、用PVD工藝進(jìn)行涂層6、冷卻7、系統(tǒng)和安全檢查使用適當(dāng)?shù)拿浇閷訒r(shí)施加精確控制，以確保功能性涂層的附著性達(dá)到最佳狀態(tài)。該涂層適用于單層或多層工藝，并適用于在納米結(jié)構(gòu)中采用。等離子參數(shù)設(shè)置確定了涂層屬性，而經(jīng)證實(shí)的系統(tǒng)技術(shù)則確保了所需工藝的可靠性。六、出庫(kù)檢查 這包括屬性測(cè)試，例如硬度、涂層厚度、附著力和外觀檢查。當(dāng)涂層較長(zhǎng)，且有協(xié)定數(shù)量的測(cè)試零件的情況下，則對(duì)協(xié)定參數(shù)施行工藝統(tǒng)計(jì)監(jiān)控。如經(jīng)濟(jì)上可行，則始終對(duì)產(chǎn)量較大的元件進(jìn)行自動(dòng)測(cè)試。七、后期處理/保養(yǎng) 在大多數(shù)情況下，我們應(yīng)該執(zhí)行后期處理，例如，對(duì)有涂層的鍍膜工具或元件退磁或進(jìn)行保養(yǎng)。八、包裝/發(fā)運(yùn) 鍍膜零件通常在進(jìn)貨和