電子工業(yè)EDI+RO超純水設(shè)備工藝.doc

電子工業(yè)EDI+RO超純水設(shè)備工藝電子工業(yè)EDI+RO超純水設(shè)備工藝電子工業(yè)用超純水(水中導(dǎo)電介質(zhì)、膠體物質(zhì)、無(wú)機(jī)物等簡(jiǎn)直全部往除的水)概述半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線(xiàn)路板、光電器件、各類(lèi)電子器件、微電子工業(yè)、年夜范圍、超年夜范圍集成電路需用年夜批的高純水(含鹽量在0.3mg/L以下,電導(dǎo)率小于0.2s/cm的水)、超純水(水中導(dǎo)電介質(zhì)、膠體物質(zhì)、無(wú)機(jī)物等簡(jiǎn)直全部往除的水)清洗半制品、制品。集成電路的集成度越高，對(duì)水質(zhì)的請(qǐng)求也越高。今朝我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技巧分為五個(gè)行業(yè)尺度，分辨為18M.cm、15M.cm、10M.cm、2M.cm、0.5M.cm，以區(qū)分分歧水質(zhì)。用兩級(jí)反滲透制取電子工業(yè)超純水(水中導(dǎo)電介質(zhì)、膠體物質(zhì)、無(wú)機(jī)物等簡(jiǎn)直全部往除的水)處理(經(jīng)由過(guò)程物化方法往除水中一些物質(zhì)的過(guò)程)設(shè)備 采用兩級(jí)反滲透主機(jī)加EDI純水系統(tǒng)(電阻率請(qǐng)求在1-18.2M.cm(25)的超純水)(電往離子(又稱(chēng)填充床電滲析EDI純水系統(tǒng)(電阻率請(qǐng)求在1-18.2M.cm(25)的超純水)/CDI純水設(shè)備(實(shí)用于制備電阻率請(qǐng)求很高的純水系統(tǒng))(Electrodeionization)的簡(jiǎn)稱(chēng))制取電子工業(yè)超純水(水中導(dǎo)電介質(zhì)、膠體物質(zhì)、無(wú)機(jī)物等簡(jiǎn)直全部往除的水)處理(經(jīng)由過(guò)程物化方法往除水中一些物質(zhì)的過(guò)程)設(shè)備制備電子工業(yè)用超純水(水中導(dǎo)電介質(zhì)、膠體物質(zhì)、無(wú)機(jī)物等簡(jiǎn)直全部往除的水)的工藝流程電子行業(yè)制備超水的工藝年夜致分紅以下幾種：1、采用離子交換樹(shù)脂(用化學(xué)法將高分子共聚物制成的無(wú)機(jī)單體顆粒的離子交換劑)(普通也稱(chēng)離子交換樹(shù)脂(用化學(xué)法將高分子共聚物制成的無(wú)機(jī)單體顆粒的離子交換劑)(用化學(xué)法將高分子共聚物制成的無(wú)機(jī)單體顆粒的離子交換劑)(又稱(chēng)離子交換劑)制備超純水(水中導(dǎo)電介質(zhì)、膠體物質(zhì)、無(wú)機(jī)物等簡(jiǎn)直全部往除的水)的傳統(tǒng)水處理(經(jīng)由過(guò)程物化方法往除水中一些物質(zhì)的過(guò)程)方法，其基礎(chǔ)工藝流程為：原水沙炭過(guò)濾器(保送介質(zhì)的管道中清除介質(zhì)中雜質(zhì)的一種過(guò)濾裝置)慎密過(guò)濾器(或稱(chēng)保安過(guò)濾器)(保送介質(zhì)的管道中清除介質(zhì)中雜質(zhì)的一種過(guò)濾裝置)原水箱陽(yáng)床陰床混床(混雜離子交換柱(承裝混床樹(shù)脂(普通也稱(chēng)離子交換樹(shù)脂(用化學(xué)法將高分子共聚物制成的無(wú)機(jī)單體顆粒的離子交換劑)的容器)的簡(jiǎn)稱(chēng))(復(fù)床)純水箱純水泵(把原念頭的機(jī)械能變?yōu)樗芰繌亩_(dá)到抽送水的機(jī)械)(吸進(jìn)和排出流體的機(jī)械)后置慎密過(guò)濾器(或稱(chēng)保安過(guò)濾器)(保送介質(zhì)的管道中清除介質(zhì)中雜質(zhì)的一種過(guò)濾裝置)用水滴2、采用反滲透水處理(經(jīng)由過(guò)程物化方法往除水中一些物質(zhì)的過(guò)程)設(shè)備與離子交換(利用交換劑中的離子與稀溶液中的離子停止交換,以提純或往除離子的過(guò)程)(經(jīng)由過(guò)程離子交換的方法制取純水、高純水的裝置)停止組合的方法，其基礎(chǔ)工藝流程為：原水沙炭過(guò)濾器(保送介質(zhì)的管道中清除介質(zhì)中雜質(zhì)的一種過(guò)濾裝置)慎密過(guò)濾器(或稱(chēng)保安過(guò)濾器)(保送介質(zhì)的管道中清除介質(zhì)中雜質(zhì)的一種過(guò)濾裝置)原水箱反滲透(借助于半透過(guò)膜的膜分別技巧)(經(jīng)由過(guò)程反滲透膜(利用反滲透事理停止分此外液體分別膜)法來(lái)制取純水的裝置)混床(混雜離子交換柱(承裝混床樹(shù)脂(普通也稱(chēng)離子交換樹(shù)脂(用化學(xué)法將高分子共聚物制成的無(wú)機(jī)單體顆粒的離子交換劑)的容器)的簡(jiǎn)稱(chēng))(復(fù)床)純水箱純水泵(把原念頭的機(jī)械能變?yōu)樗芰繌亩_(dá)到抽送水的機(jī)械)(吸進(jìn)和排出流體的機(jī)械)后置慎密過(guò)濾器(或稱(chēng)保安過(guò)濾器)(保送介質(zhì)的管道中清除介質(zhì)中雜質(zhì)的一種過(guò)濾裝置)用水滴3、采用反滲透水處理(經(jīng)由過(guò)程物化方法往除水中一些物質(zhì)的過(guò)程)設(shè)備與電往離子(又稱(chēng)填充床電滲析EDI純水系統(tǒng)(電阻率請(qǐng)求在1-18.2M.cm(25)的超純水)/CDI純水設(shè)備(實(shí)用于制備電阻率請(qǐng)求很高的純水系統(tǒng))(EDI純水系統(tǒng)(電阻率請(qǐng)求在1-18.2M.cm(25)的超純水)(電往離子(又稱(chēng)填充床電滲析EDI純水系統(tǒng)(電阻率請(qǐng)求在1-18.2M.cm(25)的超純水)/CDI純水設(shè)備(實(shí)用于制備電阻率請(qǐng)求很高的純水系統(tǒng))(Electrodeionization)的簡(jiǎn)稱(chēng))設(shè)備停止搭配的的方法，這是一種制取超純水(水中導(dǎo)電介質(zhì)、膠體物質(zhì)、無(wú)機(jī)物等簡(jiǎn)直全部往除的水)的最新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟(jì)，生長(zhǎng)潛力宏年夜的超純水(水中導(dǎo)電介質(zhì)、膠體物質(zhì)、無(wú)機(jī)物等簡(jiǎn)直全部往除的水)制備工藝，其基礎(chǔ)工藝流程為：原水沙炭過(guò)濾器(保送介質(zhì)的管道中清除介質(zhì)中雜質(zhì)的一種過(guò)濾裝置)慎密過(guò)濾器(或稱(chēng)保安過(guò)濾器)(保送介質(zhì)的管道中清除介質(zhì)中雜質(zhì)的一種過(guò)濾裝置)原水箱反滲透(借助于半透過(guò)膜的膜分別技巧)(經(jīng)由過(guò)程反滲透膜(利用反滲透事理停止分此外液體分別膜)法來(lái)制取純水的裝置)電往離子(又稱(chēng)填充床電滲析EDI純水系統(tǒng)(電阻率請(qǐng)求在1-18.2M.cm(25)的超純水)/CDI純水設(shè)備(實(shí)用于制備電阻率請(qǐng)求很高的純水系統(tǒng))(EDI純水系統(tǒng)(電阻率請(qǐng)求在1-18.2M.cm(25)的超純水)(電往離子(又稱(chēng)填充床電滲析EDI純水系統(tǒng)(電阻率請(qǐng)求在1-18.2M.cm(25)的超純水)/CDI純水設(shè)備(實(shí)用于制備電阻率請(qǐng)求很高的純水系統(tǒng))(Electrodeionization)的簡(jiǎn)稱(chēng))純水箱純水泵(把原念頭的機(jī)械能變?yōu)樗芰繌亩_(dá)到抽送水的機(jī)械)(吸進(jìn)和排出流體的機(jī)械)后置慎密過(guò)濾器(或稱(chēng)保安過(guò)濾器)(保送介質(zhì)的管道中清除介質(zhì)中雜質(zhì)的一種過(guò)濾裝置)用水滴。三種制備電子工業(yè)用超純水(水中導(dǎo)電介質(zhì)、膠體物質(zhì)、無(wú)機(jī)物等簡(jiǎn)直全部往除的水)的工藝比擬今朝制備電子工業(yè)用超純水(水中導(dǎo)電介質(zhì)、膠體物質(zhì)、無(wú)機(jī)物等簡(jiǎn)直全部往除的水)的工藝基礎(chǔ)上是以上三種，其他的工藝流程年夜都是在以上三種基礎(chǔ)工藝流程的基礎(chǔ)長(zhǎng)停止分歧組合搭配衍生而來(lái)。現(xiàn)將他們的優(yōu)毛病分辨列于下面：1、第一種采用離子交換樹(shù)脂(用化學(xué)法將高分子共聚物制成的無(wú)機(jī)單體顆粒的離子交換劑)(普通也稱(chēng)離子交換樹(shù)脂(用化學(xué)法將高分子共聚物制成的無(wú)機(jī)單體顆粒的離子交換劑)(用化學(xué)法將高分子共聚物制成的無(wú)機(jī)單體顆粒的離子交換劑)(又稱(chēng)離子交換劑)其長(zhǎng)處在于初投資少，占用的處所少，但毛病就是需要常常停止離子再生，耗費(fèi)年夜批酸堿，而且對(duì)情況有必定的損壞。2、第二種采用反滲透作為預(yù)處理再配上離子交換(利用交換劑中的離子與稀溶液中的離子停止交換,以提純或往除離子的過(guò)程)(經(jīng)由過(guò)程離子交換的方法制取純水、高純水的裝置)，其特點(diǎn)為初投次比采用離子交換樹(shù)脂(用化學(xué)法將高分子共聚物制成的無(wú)機(jī)單體顆粒的離子交換劑)(普通也稱(chēng)離子交換樹(shù)脂(用化學(xué)法將高分子共聚物制成的無(wú)機(jī)單體顆粒的離子交換劑)(用化學(xué)法將高分子共聚物制成的無(wú)機(jī)單體顆粒的離子交換劑)(又稱(chēng)離子交換劑)方法要高，但離子設(shè)備再生周期相對(duì)要長(zhǎng)，耗費(fèi)的酸堿比純真采用離子樹(shù)脂(普通也稱(chēng)離子交換樹(shù)脂(用化學(xué)法將高分子共聚物制成的無(wú)機(jī)單體顆粒的離子交換劑)的方法要少良多。但對(duì)情況仍是有必定的損壞性。3、第三種采用反滲透作預(yù)處理再配上電往離子(又稱(chēng)填充床電滲析EDI純水系統(tǒng)(電阻率請(qǐng)求在1-18.2M.cm(25)的超純水)/CDI純水設(shè)備(實(shí)用于制備電阻率請(qǐng)求很高的純水系統(tǒng))(EDI純水系統(tǒng)(電阻率請(qǐng)求在1-18.2M.cm(25)的超純水)(電往離子(又稱(chēng)填充床電滲析EDI純水系統(tǒng)(電阻率請(qǐng)求在1-18.2M.cm(25)的超純水)/CDI純水設(shè)備(實(shí)用于制備電阻率請(qǐng)求很高的純水系統(tǒng))(Electrodeionization)的簡(jiǎn)稱(chēng))裝置，這是今朝制取超純水(水中導(dǎo)電介質(zhì)