無塵室空調(diào)方案的比較(基本原創(chuàng)).doc

隨著信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)的發(fā)展，許多電子產(chǎn)品性能、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過程的微細(xì)化，越來越要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度和環(huán)境的控制。今年我有幸參加的常州晶瑞半導(dǎo)體工程的施工（主要是10000級無塵室和1000級無塵室），就無塵室暢談一下。在無塵車間潔凈工程的設(shè)計過程中，應(yīng)根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況，同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力，綜合各種因素來確定采用何種凈化方案，這樣才可設(shè)計出一個能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實用的方案。一、無塵車間的特點1、無塵車間的潔凈度本工程主要生產(chǎn)LED產(chǎn)品，大部分房間要求萬級，光刻間及光晶體間要求千級。復(fù)合LED生產(chǎn)廠房的基本要求。2、室內(nèi)空氣參數(shù)要求（1）溫濕度要求：溫度一般為24+2，相對濕度為55+5。（2）新風(fēng)量大。由于這類車間內(nèi)，人員比較多，可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最大值：非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30；補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量；保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量40m3/h。（3）送風(fēng)量大。為了滿足無塵車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風(fēng)量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級，送風(fēng)量就需要3002.530=22500m3/h的送風(fēng)量（換氣次數(shù)，是25次/h）；如果是十萬級，送風(fēng)量就需要3002.520=15000m3/h的送風(fēng)量（換氣次數(shù)，是15次/h）。二、空調(diào)方案的選用比較1、組合式空氣處理機(jī)組冷水機(jī)組高效送風(fēng)口這是一個最傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風(fēng)段（或中間段）、加熱段、加濕段、中效過濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。優(yōu)點：A空氣處理效果好，因空氣經(jīng)過集中處理，在送風(fēng)過程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度、濕度的控制比較精確；B比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房；C空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨(dú)立冷熱源；D維修頻率較低；E車間的噪音低。缺點：A需要有配套的冷凍機(jī)房或有放置熱泵機(jī)組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機(jī)組的空調(diào)機(jī)房，如25000m3/h的組合式空氣處理機(jī)組，常用外形尺寸為645018502250mm左右。對于舊廠房改造項目來說比較困難空出一個20-30的機(jī)房的；B造價高。特點：A.建議新風(fēng)經(jīng)過集中處理后再與回風(fēng)混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān)；C這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。2、水冷柜機(jī)增壓風(fēng)柜高效送風(fēng)口與第一種方案比較，這是相對比較簡單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機(jī)房的面積，水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房內(nèi)或凈化車間內(nèi)，增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房內(nèi)或吊在機(jī)房內(nèi)或在夾層內(nèi)。優(yōu)點：A空氣處理效果較好的，處理過后的空氣在送風(fēng)過程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達(dá)到較好的控制。主要在空氣處理機(jī)組（增壓風(fēng)柜）里進(jìn)行控制；B布置靈活。自帶冷源；C大小廠房、新舊廠房都適用；D維修頻率較低；E車間噪音低。缺點：A需要小面積的機(jī)房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置；B空調(diào)機(jī)組與空調(diào)處理機(jī)組要集中布置；C造價較低。特點：這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng)，具體根據(jù)車間的大小情況而定；這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。3、分體空調(diào)柜機(jī)+FFU送風(fēng)口這是最簡易的一個空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護(hù)起來，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口（帶初效過濾網(wǎng)）；FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。優(yōu)點：A不需要占用機(jī)房面積，布置很靈活的；B可以滿足空氣的潔凈度；C造價最低。如300的無塵車間初投資約需要40萬；D送風(fēng)均勻度好。缺點：A溫濕度控制較差；B可以滿足空氣的潔凈度；CFFU的維修頻率高?？偨Y(jié)對于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計，應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來選用哪種空調(diào)設(shè)計方案，以滿足生產(chǎn)工藝