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文檔簡介
P-Si與A-Si的區(qū)別 什么是低溫多晶硅:低溫多晶硅LTPS是Low Temperature Ploy Silicon的縮寫,一般情況下低溫多晶硅的制程溫度應低于攝氏600度,尤其對LTPS區(qū)別于a-Si制造的制造程序“激光照射”(laser anneal)要求更是如此。與a-Si相比,LTPS的電子移動速度要比a-Si快100倍,這個特點可以解釋兩個問題:首先,每個LTPS PANEL 都比a-Si PANEL反應速度快;其次,LTPS PANEL 外觀尺寸都比a-Si PANEL小。下面是LTPS與a-Si 相比所持有的顯著優(yōu)點:1、把驅動IC的外圍電路集成到面板基板上的可行性更強;2、反應速度更快,外觀尺寸更小,聯(lián)結和組件更少;3、面板系統(tǒng)設計更簡單;4、面板的穩(wěn)定性更強;5、解析度更高,激光照射:p-Si 與 a-Si的顯著區(qū)別是LTPS TFT在制造過程中應用了激光照射。LTPS制造過程中在a-Si層上進行了激光照射以使a-Si結晶。由于封裝過程中要在基板上完成多晶硅的轉化,LTPS必須利用激光的能量把非結晶硅轉化成多晶硅,這個過程叫做激光照射。 電子移動性:a-Si TFT的電子移動速率低于1 cm2/V.sec,同時驅動IC需要較高的運算速率來驅動電路。這就是為什么a-Si TFT不易將驅動IC集成到基板上。相比之下,p-Si電子的移動速率可以達到100 cm2/V.sec,同時也更容易將驅動IC集成到基板上。結果是,首先由于將驅動IC、PCB和聯(lián)結器集成到基板上而降低了生產(chǎn)成本,其次使產(chǎn)品重量更輕、厚度更薄。 解析度:由于p-Si TFT 比傳統(tǒng)的a-Si小,所以解析度可以更高。穩(wěn)定性:p-Si TFT的驅動IC合成在玻璃基板上有兩點好處:首先,與玻璃基板相連
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