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文檔簡(jiǎn)介

1、TFT-LCD Process- Titan tao,Agenda,TFT-LCD Structure & Principium TFT-LCD Structure Function of Each Part on TFT- LCD TFT-LCD Principium TFT-LCD Process Color Filter Fabrication Process TFT Array Process Liquid Crystal Cell Process Module Assembly Process TFT-LCD in China,TFT-LCD Structure & Principi

2、um,TFTThin Film Transistor 薄膜電晶體 LCDLiquid Crystal Display 液晶顯示器 由于TFT-LCD具有體積小,重量輕,低輻射,低耗電量,全彩化等優(yōu)點(diǎn),因此在各類顯示器材上得到了廣泛的應(yīng)用。,TFT-LCD Structure,TFT-LCD各結(jié)構(gòu)的功能,背光板模組:提供光的來(lái)源. 上下偏光板,TFT Glass Substrate,液晶:形成偏振光,控制光線的通過(guò)與否。 彩色濾光片:提供TFT LCD紅,綠,藍(lán)(光的三原色)的來(lái)源。 ITO透明導(dǎo)電層:提供透明的導(dǎo)電通路。 Photo Spacer:提供一固定高度給彩色濾光片和TFT Glass

3、 Substrate。作為灌入液晶時(shí)的空間.及作為上下兩層Glass的支撐。,TFT-LCD Structure - (Side View),TFT-LCD名詞解釋,分辨率(Display Resolution ):顯示器上水平方向和垂直方向上相素(Pixel)的數(shù)目。注:一個(gè)相素有R、G、B三個(gè)子相素(Sub-Pixel)。 對(duì)比(Contrast Ratio):顯示器最大亮度值(全白)與最小亮度值(全黑)之比值。一般TFT-LCD的對(duì)比值為200:1至400:1。 視角(Viewing Angle):在大角度觀看的情況下,顯示器亮暗對(duì)比變差會(huì)使畫(huà)面失真,而在可接受的觀測(cè)角度范圍就稱為視角。

4、 反應(yīng)時(shí)間(Response Time):從輸入信號(hào)到輸出影像所經(jīng)歷的時(shí)間,一般液晶顯示器反應(yīng)時(shí)間為2030毫秒。(標(biāo)準(zhǔn)電影格式每畫(huà)面為40毫秒),液晶簡(jiǎn)介 光與液晶分子產(chǎn)生的效果 偏光板的特性 將偏光板、槽狀表面、液晶組合后產(chǎn)生的光學(xué)效果 TFT-LCD顯像原理,TFT-LCD顯示原理,液晶簡(jiǎn)介(1),TFT-LCD使用的液晶為TN(Twist Nematic)型液晶,液晶分子呈橢圓狀。,TN型液晶一般是順著長(zhǎng)軸方向串接,長(zhǎng)軸間彼此平行方式排列。 當(dāng)接觸到槽裝表面時(shí),液晶分子就會(huì)順著槽的方向排列于槽中。,液晶簡(jiǎn)介(2),液晶簡(jiǎn)介(3),當(dāng)液晶被包含在兩個(gè)槽狀表面中間,且槽的方向互相垂直,則液

5、晶分子的排列為: 上表面分子:沿著a方向 下表面分子:沿著b方向 介于上下表面中間的分子:產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)的效應(yīng)。因此液晶分子在兩槽狀表面間產(chǎn)生90度的旋轉(zhuǎn)。,光與液晶分子產(chǎn)生的效果(1),當(dāng)線性偏極光射入上層槽狀表面時(shí),此光線隨著液晶分子的旋轉(zhuǎn)也產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)。 當(dāng)線性偏極光射出下層槽狀表面時(shí),此光線已經(jīng)產(chǎn)生了90度的旋轉(zhuǎn)。,光與液晶分子產(chǎn)生的效果(2),當(dāng)在上下表面之間加電壓時(shí),液晶分子會(huì)順著電場(chǎng)方向排列,形成直立排列的現(xiàn)象。此時(shí)入射光線不受液晶分子影響,直線射出下表面。,偏光板的特性,作用:將非偏極光(一般光線)過(guò)濾成偏極光。 當(dāng)非偏極光通過(guò)a方向的偏光片時(shí),光線被過(guò)濾成與a方向平行的線性偏極光。,上

6、圖:線性偏極光繼續(xù)前進(jìn),通過(guò)第二片偏光片時(shí),光線通過(guò)。 下圖:通過(guò)第二片時(shí),光線被完全阻擋。,將偏光板、槽狀表面、液晶組合后產(chǎn)生的光學(xué)效果(1),當(dāng)上下偏光片相互垂直時(shí),若未施加電壓,光線可通過(guò)。,當(dāng)施加電壓時(shí),光線被完全阻擋。,將偏光板、槽狀表面、液晶組合后產(chǎn)生的光學(xué)效果(2),TFT-LCD顯像原理(1),SCAN IC傳輸信號(hào)。 DRIVER IC傳輸顯像控制信號(hào)。 當(dāng)某一Sub-Pixel導(dǎo)通時(shí),該Sub-Pixel因無(wú)法透光呈現(xiàn)黑色。 若該Sub-Pixel未導(dǎo)通,則因光通過(guò)CF而顯示顏色。 經(jīng)過(guò)光的合成效果,顯示器即可產(chǎn)生彩色效果。,TFT-LCD顯像原理(2),TFT-LCD顯像

7、原理(3),Color Filter Fabrication Process TFT Array Process Liquid Crystal Cell Process Module Assembly Process,TFT-LCD Process,C/F Introduce and Process,彩色濾光片基本結(jié)構(gòu)是由玻璃基板(Glass Substrate),黑色矩陣(Black Matrix),彩色層(Color Layer),保護(hù)層(Over Coat),ITO導(dǎo)電膜組成。一般穿透式TFT用彩色光片結(jié)構(gòu)如下圖。,C/F 的結(jié)構(gòu),C/F Process,C/F Pixel Array,

8、馬賽克式::顯示AV動(dòng)態(tài)畫(huà)面 直條式:較常顯示文字畫(huà)面,(Note Book)。,Possible Defects On C/F,Particles Pattern Defects Pinholes Tokki Mixed Color Mura,ITO透明導(dǎo)電層的作用,Photo Spacer簡(jiǎn)介,Color Filter Fabrication Process TFT Array Process Liquid Crystal Cell Process Module Assembly Process,TFT-LCD Process,TFT Array preview,因TFT組件的動(dòng)作類似一個(gè)

9、開(kāi)關(guān)(Switch),液晶組件的作用類似一個(gè)電容,藉Switch的ON/OFF對(duì)電容儲(chǔ)存的電壓值進(jìn)行更新/保持。 SW ON時(shí)信號(hào)寫(xiě)入(加入、記錄)在液晶電容上,在以外時(shí)間 SW OFF,可防止信號(hào)從液晶電容泄漏。 在必要時(shí)可將保持電容與液晶電容并聯(lián),以改善其保持特性。,TFT Array 等效電路,TFT Array Structure,A Unit Pixel & Its Equivalent Circuit,(Cs on gate),TFT-Array Manufacturing Process,TFT-Array Process,Gate Metal Sputter Depositon

10、,Gate Metal Patterning Using 1st MASK,Deposition of nt a-Si/a-SVSiN x 3-Layer Using PECVD Method,Patterning of a-Si lslands Using 2nd MASK,Pixel ITO Sputer Deposition,Pixel ITO Patterning Using 3rd MASK,這是5次光刻形成TFT圖形,采用底柵背溝道刻蝕的工藝。以玻璃為基板。第一次光刻形成柵線原料為Cr。第二次光刻形成“硅島”SiNx,a-Si,n+-a-Si層,第三次光刻形成ITO導(dǎo)電膜,第四次光

11、刻形成源極漏極,材料為Cr,并進(jìn)行n+切斷,基本形成TFT。最后第五次光刻形成SiNx保護(hù)膜。,TFT-Array Process,Data Bus Line and S/D Metal Sputtering,Data Bus Line and S/D Patterning Using 4th MASK,Etch-Back of n+a-Si Using S/D Layer as a MASK,Passivation SiNx Deposition Using PECVD,Passivation SiNx Atch Using RIE,Possible Defects on a TFT Arr

12、ay,Aperture Ratio of a Pixel,APERTURE RATIO = APERTURE / PIXEL AREA * 100%,Color Filter Fabrication Process TFT Array Process Liquid Crystal Cell Process Module Assembly Process,TFT-LCD Process,Cell Process,Cell Process(1),Cleaning,PI Coating,APR: Asahi Photosensitive Resin,PI 制程原理,將PI液滴在Anilox Roll

13、 上。 Doctor Roll將Anilox Roll上的PI液整平。 APR板上的圓型凸出物將Anilox Rool凹槽內(nèi)PI擠壓出來(lái)并帶走。 將APR 板上PI均勻轉(zhuǎn)印到基板上,提供液晶配向?qū)印?PI Rubbing(1),PI膜配向:基板和Roller成45度角, TFT和CF基板方向差 90 度. Roller高速旋轉(zhuǎn)時(shí),絨毛上的纖維會(huì)甩立起來(lái),將PI膜刷出紋路. Rubbing的情況,類似於重鋪柏油馬路之前的刨路機(jī),將路面刨出紋路.,PI Rubbing(2),Cell Process(2),Seal Printing(1),Seal Printing(2),SCREEN MASK,

14、DISPENSER,通常使用的兩種方法:,Spacer Spray制程:將間隙粒子均勻地分布在基板上,以作為TFT與CF間的支撐,使整個(gè)面板擁有均勻的間隙。,Spacer spray(1),WET TYPE,DRY TYPE,Spacer spray(2),濕式灑布,Std Spacer Qty: 11025/mm2,Attachment,Alignment,Hot Pressure,GAP: 4.85um,Hot Press,Side elevation - (finished Cell2),Cell Process(3),Scribing & Breaking,Cutting Method

15、,Cutting Process,E.g. 第1代面板,E.g. 第3.5代面板,對(duì)設(shè)備的影響 玻璃基板的尺寸變大直接音響電極圖案形成設(shè)備。(Array) e.g.成膜設(shè)備:占地面積加大與確保膜厚均勻性等問(wèn)題。 e.g.濕式設(shè)備:更換效率與節(jié)省水等問(wèn)題。 切割尺寸增大直接影響面板組裝設(shè)備。(CELL) e.g.液晶注入設(shè)備:處理時(shí)間過(guò)長(zhǎng)等問(wèn)題。 次代交替快,產(chǎn)品生命周期短,廠商設(shè)備開(kāi)發(fā)成本高。,LCD面板世代,資料來(lái)源:工研院經(jīng)資中心IT IS計(jì)劃書(shū)(2002/10),LC Injection(1),將容器抽真空 將裝有LC的容器上升與PANEL的注入端接觸,此時(shí)LC通過(guò)毛細(xì)現(xiàn)象上升。 過(guò)一段

16、時(shí)間后充入潔凈的空氣或氮?dú)馄普婵罩脸骸?通過(guò)真空差壓的原理,LC經(jīng)過(guò)一段時(shí)間后充滿PANEL。,LC Injection(2),Injection Type,Dip Method,浸漬法:將PANEL注入口完全浸漬到LC中。利用真空差壓與毛細(xì)力上升方式。,Touch Method,Dispense Method,Yarn Method,表面張力法:LC以表面張力布滿LC皿,上升后與注入口接觸。利用真空差壓與毛細(xì)力上升方式。,含浸法:將PANEL注入口與含LC的海綿或彈簧等接觸供給LC。利用真空差壓與毛細(xì)力上升方式。,滴下法:由可微量供給LC的供給裝置,將LC滴在注入口。利用注入的方式。,LC

17、 Resistance,End Seal,目的:將灌好LC的PANEL封口。,LC remove,UV Adhesive,UV Adhesive Leaking,End Seal Process,UV Adhesive Curing Process,Beveling,目的:將切裂后的玻璃毛邊用磨輪磨出倒角,并去除外圍的短路棒(Shorting Bar),Remove liquid crystal,Seal,LC,Detergent,Dissolve,Cleaning,Polarizer Attachment,偏光片貼附,上下偏光片濾光角度差90度,Polarizer Attach Proces

18、s,Auto Clave,加壓,將Ploarizer Attach時(shí)產(chǎn)生的氣泡擠出來(lái)。,CELL Test,目的:用電性能測(cè)試的方式檢測(cè)做完的PANEL,看是否有缺陷。 方法:將Date Line的R線并連,G線并練,B線并練。,Short,Open,Electric Defect,Cross Short Line,Color Filter Fabrication Process TFT Array Process Liquid Crystal Cell Process Module Assembly Process,TFT-LCD Process,Module Assembly Process,后段模組組裝制程是將CELL制程后的玻璃與其它如背光板、電路、外框等多種零組件組裝的生產(chǎn)作業(yè)。,The Assembly of LCD Driving Circuits,Driver Attachment,Anisotropic Conductive Film (ACF) Applied before Bonding,ACF After Driver Flex Circuit Bonding,Packa

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