芯片生產(chǎn)工藝流程課件

1、芯片生產(chǎn)工藝流程（課件）,單晶拉制（1）,單晶拉制（2）,單晶拉制（3）,單晶拉制（4）,單晶拉制（5）,環(huán)境和著裝,單項工藝-擴(kuò)散(1),臥式4爐管擴(kuò)散/氧化爐,擴(kuò)散/氧化進(jìn)爐實景圖,單項工藝-擴(kuò)散(2),立式擴(kuò)散/氧化爐,擴(kuò)散/氧化進(jìn)爐實景圖,單項工藝-擴(kuò)散(3),擴(kuò)散工序作業(yè)現(xiàn)場,單項工藝-光刻(1),先進(jìn)光刻曝光設(shè)備,單項工藝-光刻(2),現(xiàn)場用光刻曝光設(shè)備,單項工藝-光刻(3),檢查用顯微鏡,單項工藝-光刻(4),清 洗,淀積/生長隔離層,勻 膠,（SiO2 Si3N4 金屬）,-HMDS噴淋（增加Si的粘性） -勻光刻膠,單項工藝-光刻(5),前 烘,對 版,勻 膠,-對每個圓片必

2、須按要求對版,-用弧光燈將光刻版上的圖案轉(zhuǎn) 移到光刻膠上。,-增加黏附作用 -促進(jìn)有機(jī)溶劑揮發(fā),單項工藝-光刻(6),顯影/漂洗,堅 膜,腐 蝕,-硬化光刻膠。 -增加與硅片的附著性。,-將圓片進(jìn)行顯影/漂洗，不需要的的光刻膠溶解到有機(jī)溶劑。,去 膠,-干法腐蝕/濕法腐蝕,單項工藝-光刻(7),光刻工藝過程,單項工藝-CVD（1）,單項工藝-CVD（2）,初級離子氣體被吸收到硅片表面,單項工藝-CVD（3）,初級離子氣體在硅片表面分解,單項工藝-CVD（4）,玻 璃 的 解 吸,單項工藝-CVD（5）,單相工藝-離子注入（1）,單相工藝-離子注入（2）,單相工藝-離子注入（3）,單相工藝-蒸發(fā)

3、（1）,蒸發(fā)原理示意圖,單相工藝-蒸發(fā)（2）,濺射原理示意圖,單相工藝-蒸發(fā)（3）,單相工藝-清洗,基礎(chǔ)認(rèn)知,襯底材料,擴(kuò)散層,外延層,單晶片,擴(kuò)散片,外延片,一次氧化,sio,2,外延層,基區(qū)光刻,sio,2,外延層,干氧氧化,sio,外延層,2,離子注入,sio,外延層,2,雜質(zhì)注入,基區(qū)擴(kuò)散,sio,外延層,2,基區(qū),發(fā)射區(qū)光刻,sio,外延層,2,基區(qū),發(fā)射區(qū)預(yù)淀積,sio,外延層,2,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),發(fā)射區(qū)擴(kuò)散（*）,sio,外延層,2,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),發(fā)射區(qū)低溫氧化（*）,sio,外延層,2,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),氫氣處理,sio,外延層,2,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),N+

4、光刻（適用于P型片）,sio,外延層,2,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),N+淀積擴(kuò)散（適用P型片）,sio,外延層,2,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),N+低溫氧化（適用P型片）,sio,外延層,2,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),氫氣處理（適用P型片）,sio,外延層,2,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),3B光刻,sio,外延層,2,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),鋁蒸發(fā),AL,外延層,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),四次光刻,AL,外延層,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),氮氫合金,AL,外延層,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),AL上CVD,SiO,外延層,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),2,氮氣烘焙（適用N型片）,SiO,外延層,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),2,五次光刻,SiO,外

5、延層,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),2,中測抽測,SiO,外延層,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),2,測試系統(tǒng),減薄、拋光,SiO,外延層,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),2,減薄和拋光部分,蒸金/銀,SiO,外延層,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),2,背金合金,SiO,外延層,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),2,芯片測試,SiO,外延層,基區(qū),發(fā)射區(qū),集電區(qū),2,測試系統(tǒng),N型片制造（一般）工藝流程,N型片投片和編批,一次氧化,基區(qū)光刻,干氧氧化,硼離子注入,基區(qū)擴(kuò)散,發(fā)射區(qū)光刻,發(fā)射區(qū)磷預(yù)淀積,發(fā)射區(qū)擴(kuò)散,發(fā)射區(qū)低溫氧化,3次光刻,鋁蒸發(fā),氮氫合金,鋁上CVD,五次光刻,氮氣烘焙,中測抽測,背面合金,芯片測試,減薄/拋光,四次光刻,氫氣

6、處理,蒸金,1、不是井里沒有水，而是你挖的不夠深。不是成功來得慢，而是你努力的不夠多。 2、孤單一人的時間使自己變得優(yōu)秀，給來的人一個驚喜，也給自己一個好的交代。 3、命運給你一個比別人低的起點是想告訴你，讓你用你的一生去奮斗出一個絕地反擊的故事，所以有什么理由不努力! 4、心中沒有過分的貪求，自然苦就少?？诶锊徽f多余的話，自然禍就少。腹內(nèi)的食物能減少，自然病就少。思緒中沒有過分欲，自然憂就少。大悲是無淚的，同樣大悟無言。緣來盡量要惜，緣盡就放。人生本來就空，對人家笑笑，對自己笑笑，笑著看天下，看日出日落，花謝花開，豈不自在，哪里來的塵埃! 25、你不能拼爹的時候，你就只能去拼命！ 26、如果

7、人生的旅程上沒有障礙，人還有什么可做的呢。 27、我們無法選擇自己的出身，可是我們的未來是自己去改變的。勵志名言：比別人多一點執(zhí)著，你就會創(chuàng)造奇跡 28、偉人之所以偉大，是因為他與別人共處逆境時，別人失去了信心，他卻下決心實現(xiàn)自己的目標(biāo)。 29、人生就像一道漫長的階梯，任何人也無法逆向而行，只能在急促而繁忙的進(jìn)程中，偶爾轉(zhuǎn)過頭來，回望自己留下的蹣跚腳印。 30、時間，帶不走真正的朋友；歲月，留不住虛幻的擁有。時光轉(zhuǎn)換，體會到緣分善變；平淡無語，感受了人情冷暖。有心的人，不管你在與不在，都會惦念；無心的情，無論你好與不好，只是漠然。走過一段路，總能有一次領(lǐng)悟；經(jīng)歷一些事，才能看清一些人。 31、

8、我們無法選擇自己的出身，可是我們的未來是自己去改變的。 32、命好不如習(xí)慣好。養(yǎng)成好習(xí)慣，一輩子受用不盡。 33、比別人多一點執(zhí)著，你就會創(chuàng)造奇跡。 50、想像力比知識更重要。不是無知，而是對無知的無知，才是知的死亡。 51、對于最有能力的領(lǐng)航人風(fēng)浪總是格外的洶涌。 52、思想如鉆子，必須集中在一點鉆下去才有力量。 53、年少時，夢想在心中激揚迸進(jìn)，勢不可擋，只是我們還沒學(xué)會去戰(zhàn)斗。經(jīng)過一番努力，我們終于學(xué)會了戰(zhàn)斗，卻已沒有了拼搏的勇氣。因此，我們轉(zhuǎn)向自身，攻擊自己，成為自己最大的敵人。 54、最偉大的思想和行動往往需要最微不足道的開始。 55、不積小流無以成江海，不積跬步無以至千里。 56、

9、遠(yuǎn)大抱負(fù)始于高中，輝煌人生起于今日。 57、理想的路總是為有信心的人預(yù)備著。 58、抱最大的希望，為最大的努力，做最壞的打算。 59、世上除了生死，都是小事。從今天開始，每天微笑吧。 60、一勤天下無難事，一懶天下皆難事。 61、在清醒中孤獨，總好過于在喧囂人群中寂寞。 62、心里的感覺總會是這樣，你越期待的會越行越遠(yuǎn)，你越在乎的對你的傷害越大。 63、彩虹風(fēng)雨后，成功細(xì)節(jié)中。 64、有些事你是繞不過去的，你現(xiàn)在逃避，你以后就會話十倍的精力去面對。 65、只要有信心，就能在信念中行走。 66、每天告訴自己一次，我真的很不錯。 67、心中有理想 再累也快樂 68、發(fā)光并非太陽的專利，你也可以發(fā)光

10、。 69、任何山都可以移動，只要把沙土一卡車一卡車運走即可。 70、當(dāng)你的希望一個個落空，你也要堅定，要沉著！ 71、生命太過短暫，今天放棄了明天不一定能得到。 72、只要路是對的，就不怕路遠(yuǎn)。 73、如果一個人愛你、特別在乎你，有一個表現(xiàn)是他還是有點怕你。 74、先知三日，富貴十年。付諸行動，你就會得到力量。 75、愛的力量大到可以使人忘記一切，卻又小到連一粒嫉妒的沙石也不能容納。 1、這世上，沒有誰活得比誰容易，只是有人在呼天搶地，有人在默默努力。 2、當(dāng)熱誠變成習(xí)慣，恐懼和憂慮即無處容身。缺乏熱誠的人也沒有明確的目標(biāo)。熱誠使想象的輪子轉(zhuǎn)動。一個人缺乏熱誠就象汽車沒有汽油。善于安排玩樂和工

11、作，兩者保持熱誠，就是最快樂的人。熱誠使平凡的話題變得生動。 3、起點低怕什么，大不了加倍努力。人生就像一場馬拉松比賽，拼的不是起點，而是堅持的耐力和成長的速度。只要努力不止，進(jìn)步也會不止。 4、如果你不相信努力和時光，那么時光第一個就會辜負(fù)你。不要去否定你的過去，也不要用你的過去牽扯你的未來。不是因為有希望才去努力，而是努力了，才能看到希望。 5、人生每天都要笑，生活的下一秒發(fā)生什么，我們誰也不知道。所以，放下心里的糾結(jié)，放下腦中的煩惱，放下生活的不愉快，活在當(dāng)下。人生喜怒哀樂，百般形態(tài)，不如在心里全部淡然處之，輕輕一笑，讓心更自在，生命更恒久。積極者相信只有推動自己才能推動世界，只要推動自

12、己就能推動世界。 6、人性本善，純?nèi)缜逑魉冬摖q。欲望與情緒如風(fēng)沙襲擾，把原本如天空曠蔚藍(lán)的心蒙蔽。但我知道，每個人的心靈深處，不管烏云密布還是陰淤蒼茫，但依然有一道彩虹，亮麗于心中某處。 7、每個人的心里，都藏著一個了不起的自己，只要你不頹廢，不消極，一直悄悄醞釀著樂觀，培養(yǎng)著豁達(dá)，堅持著善良，只要在路上，就沒有到達(dá)不了的遠(yuǎn)方！ 8、不要活在別人眼中，更不要活在別人嘴中。世界不會因為你的抱怨不滿而為你改變，你能做到的只有改變你自己！ 9、欲戴王冠，必承其重。哪有什么好命天賜，不都是一路披荊斬棘才換來的。 10、放手如拔牙。牙被拔掉的那一刻，你會覺得解脫。但舌頭總會不由自主地往那個空空的牙

13、洞里舔，一天數(shù)次。不痛了不代表你能完全無視，留下的那個空缺永遠(yuǎn)都在，偶爾甚至?xí)惓炷?。適應(yīng)是需要時間的，但牙總是要拔，因為太痛，所以終歸還是要放手，隨它去。 11、這個世界其實很公平，你想要比別人強(qiáng)，你就必須去做別人不想做的事，你想要過更好的生活，你就必須去承受更多的困難，承受別人不能承受的壓力。 12、逆境給人寶貴的磨煉機(jī)會。只有經(jīng)得起環(huán)境考驗的人，才能算是真正的強(qiáng)者。自古以來的偉人，大多是抱著不屈不撓的精神，從逆境中掙扎奮斗過來的。 13、不同的人生，有不同的幸福。去發(fā)現(xiàn)你所擁有幸運，少抱怨上蒼的不公，把握屬于自己的幸福。你，我，我們大家都可以經(jīng)歷幸福的人生。 14、給自己一份堅強(qiáng)，擦干

14、眼淚；給自己一份自信，不卑不亢；給自己一份灑脫，悠然前行。輕輕品，靜靜藏。為了看陽光，我來到這世上；為了與陽光同行，我笑對憂傷。 15、總不能流血就喊痛，怕黑就開燈，想念就聯(lián)系，疲憊就放空，被孤立就討好，脆弱就想家，不要被現(xiàn)在而蒙蔽雙眼，終究是要長大，最漆黑的那段路終要自己走完。 21、每個人都有潛在的能量，只是很容易：被習(xí)慣所掩蓋，被時間所迷離，被惰性所消磨。 22、不論你在什么時候開始，重要的是開始之后就不要輕言放棄。 23、恨別人，痛苦的卻是自己。 24、每天醒來，敲醒自己的不是鐘聲，而是夢想。 25、你不能拼爹的時候，你就只能去拼命！ 26、如果人生的旅程上沒有障礙，人還有什么可做的呢。 27、我們無法選擇自己的出身，可是我們的未來是自己去改變的。勵志名言：比別人多一點執(zhí)著，你就會創(chuàng)造奇跡 28、偉人之所以偉大，是因為他與別人共處逆境時，別人失去了信心，他卻下決心實現(xiàn)自己的目標(biāo)。 29、人生就像一道漫長的階梯，任何人也無法逆向而行，只能