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1、微米納米微結(jié)構(gòu)光纖傳感器的研究現(xiàn)狀摘要:介紹了最近發(fā)展起來(lái)的微米納米微結(jié)構(gòu)光纖傳感器,特別是表面等離子體共振光纖傳感器和光子晶體光纖傳感器。介紹了表面等離子共振傳感器的原理,影響參量以及各種不同的結(jié)構(gòu)。同時(shí)介紹了不同類型的光子晶體光纖傳感器和它們的應(yīng)用。關(guān)鍵字: 表面等離子共振傳感器 表面等離子振蕩 光子晶體光纖 光纖傳感器對(duì)光纖傳感器的研究已經(jīng)有很長(zhǎng)一段時(shí)間了,從研究的角度看很多光纖傳感技術(shù)已經(jīng)趨于成熟,一些已經(jīng)商業(yè)化了。然而隨著最近在表面等離子共振(spr)和光子晶體光纖(pcf)技術(shù)上取得的巨大進(jìn)展,微米結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)的光纖傳感器的研究引起了研究者巨大的興趣。這篇文章首先介紹spr的原理
2、和光纖spr傳感器的結(jié)構(gòu),影響其靈敏度的因素等;然后介紹不同類型的pcf傳感器以及簡(jiǎn)單應(yīng)用。1. 表面等離子共振光纖傳感器表面等離子共振現(xiàn)象應(yīng)用在傳感器系統(tǒng)中已經(jīng)很長(zhǎng)時(shí)間了。光纖spr傳感器的發(fā)展始于上世紀(jì)90年代初。盡管1990年就有文章提出用光纖作為spr傳感器的耦合器件,真正意義上用光纖作為傳感器頭部的光纖spr傳感器出現(xiàn)在1993年。隨后,光纖spr傳感器就得到了人們持續(xù)的關(guān)注和研究。光纖spr傳感器可以探測(cè)外部折射率的變化,并且通過(guò)調(diào)整金屬層和覆蓋層的厚度等參數(shù)可以優(yōu)化傳感器的性能。1.1 光纖表面等離子傳感器的原理如圖1所示,在金屬和電介質(zhì)或者空氣的界面處,由于電子濃度的梯度分布,
3、存在著自由電子的濃度振蕩,當(dāng)其與電磁波耦合時(shí)就會(huì)產(chǎn)生表面等離子振蕩(spps)。表面等離子體波(spws)沿著金屬和電介質(zhì)的界面向前傳播。 由于表面正常電場(chǎng)成分的存在,只有tm??梢约ぐl(fā)spr。spps的一個(gè)重要的特征就是在金屬和電介質(zhì)層的交界處,電場(chǎng)的振幅為最大值,在兩邊的材料內(nèi)按照指數(shù)衰減,如圖1(b)所示。造成這個(gè)獨(dú)特的特性的原因是對(duì)光來(lái)說(shuō),金、銀、銅、鋁等金屬的介電常數(shù)是負(fù)的(金屬的介電常數(shù)是復(fù)數(shù),其實(shí)部是負(fù)數(shù)),而電介質(zhì)的介電常數(shù)是正的。在眾多金屬中,銀有最尖銳的spr共振峰,而金則有卓越的表面穩(wěn)定性,這兩種金屬最常被應(yīng)用。 圖2 激發(fā)spr的方法有很多種,例如棱鏡耦合,波導(dǎo)耦合,光
4、纖耦合以及光柵耦合等。最常用的方法是棱鏡耦合的衰減全發(fā)射,就是所謂的kretschmann方法。圖2所示為kretschmann結(jié)構(gòu):高折射率棱鏡的折射率為np ,底部覆蓋一層介電常數(shù)為,厚度為d的金屬薄膜,金屬膜外面是折射率為()的電介質(zhì),。在棱鏡中傳播的光線入射到金屬薄膜時(shí),如果入射角大于由和的關(guān)系決定的臨界角時(shí),光線基本上全部反射回棱鏡。倏逝波則穿透進(jìn)入金屬薄膜(因?yàn)楸∧ず鼙?,一般小?00納米),因此在金屬和電介質(zhì)的界面處依然有電場(chǎng)存在。在滿足相位匹配條件的時(shí)候,這就可能在界面處激發(fā)出表面等離子共振波,spw隨后沿著分界面向前傳播。spws的傳播常數(shù)與電介質(zhì)的關(guān)系式可以表示為為 其中,
5、和分別是電介質(zhì)和金屬的介電常數(shù),是真空中的波長(zhǎng),在棱鏡和金屬界面處的倏逝波的傳播常數(shù),是圖2中所示的光線的入射角。如果和相等,spws就會(huì)被激發(fā)。我們注意到在金屬和棱鏡界面處(m/p)沒(méi)有spw。spws只會(huì)在的情況下出現(xiàn)在金屬和電介質(zhì)的界面處(m/d)。 穿透金屬的倏逝波在m/d界面處引發(fā)發(fā)生表面等離子振蕩,使得光被輻射回金屬。這些光線與反射光發(fā)生相消干涉,使得總的反射光減少。在理想狀況下,總反射變?yōu)?,所有的透射光轉(zhuǎn)化為m/d表面處的spws。在一般的絕緣體-金屬-絕緣體結(jié)構(gòu)中,對(duì)稱的和不對(duì)稱的spp模式都是可能存在的,然而在kretschmann激發(fā)模式中,這些模式不可能存在。圖3 sp
6、w也可以被金屬表面的光柵激發(fā)出來(lái),如圖3所示。如果光柵衍射光的波矢與光柵表面平行,并且和spps的傳播常數(shù)相等的話,光就會(huì)被耦合進(jìn)spw,如下面方程所示:,其中m是代表衍射級(jí)數(shù)的整數(shù),是光柵周期。由于在光柵耦合中,入射光直接照在金屬表面,因此樣品層或者樣品液必須是光學(xué)透明以便光線通過(guò)。這種方法也可以反過(guò)來(lái)用,即利用光柵把spws轉(zhuǎn)化成光。光纖spr傳感器和kretschmann棱鏡結(jié)構(gòu)大體一致,只不過(guò)棱鏡被一個(gè)光纖的纖芯所替代,如圖4所示。圖4顯示了光纖spr傳感器的基本結(jié)構(gòu),光纖的包層被去掉,纖芯對(duì)稱的被金屬層覆蓋。光纖可以輕松靈活的激發(fā)出spw。從上面的方程我們可以得到:(4) 圖4是光纖
7、纖芯的折射率,是樣品媒質(zhì)的介電常數(shù)。由于spws存在于金屬和樣品媒質(zhì)的界面處,因此對(duì)界面處條件的任何變化如金屬表面吸收分子非常敏感。上面覆蓋層折射率的變化將導(dǎo)致spw傳播常數(shù)的改變,這個(gè)可以通過(guò)與spw干涉的光波的特性的改變觀察到。在方程4中,的變化導(dǎo)致spr角度或者波長(zhǎng)的變化。當(dāng)角度和波長(zhǎng)固定的時(shí)候,的變化由于破壞了相位匹配條件,將導(dǎo)致反射光強(qiáng)的變化??傮w來(lái)說(shuō),檢測(cè)共振波長(zhǎng)或者共振角的光纖spr傳感器是應(yīng)用最廣泛的。上面已經(jīng)指出,spws的光場(chǎng)在界面處最大,在兩側(cè)的金屬和電介質(zhì)中迅速衰減。在電介質(zhì)中的穿透深度(定義為場(chǎng)強(qiáng)衰減到最大值的exp(-1)時(shí)的深度)可以表示為: . (5)表1顯示出
8、不同的金屬,電介質(zhì),波長(zhǎng)時(shí)的介電常數(shù)和穿透深度。633nm1550nm金屬電介質(zhì)銀(0.135+i3.99)金(0.197+i3.09)金屬電介質(zhì)銀(0.469+i9.32)金(0.559+i9.81)空氣(1.00)水(1.33)二氧化硅(1.54)1.2 光纖spr傳感器的優(yōu)缺點(diǎn)和靈敏度與傳統(tǒng)的傳感器相比,spr傳感器有很多優(yōu)點(diǎn)。首先,spr傳感器靈敏高,響應(yīng)速度快幾倍,感應(yīng)區(qū)域?。╯pw典型的傳輸距離在微米量級(jí))。另外,spr傳感器,特別是金屬納米顆粒傳感器,同時(shí)存在lspr效應(yīng)和表面增強(qiáng)的拉曼散射(sers)。通過(guò)sers,對(duì)粘合的東西的探測(cè)以及被分析物的定性,即使是在生物研究中的單個(gè)
9、分子的水平也是可能的。盡管基于棱鏡的spr傳感器是最方便的spr裝置,但它體積大并且包括很多光學(xué)和機(jī)械部分,使得系統(tǒng)優(yōu)化和商業(yè)化以及大規(guī)模的遠(yuǎn)程傳感很難實(shí)現(xiàn)。通過(guò)使用光纖可以使得spr傳感器系統(tǒng)小型化。使用光纖的一個(gè)重要的原因就是它的直徑很小,使得可以用在很小容積的情況下。其他的優(yōu)勢(shì)包括光學(xué)設(shè)計(jì)的簡(jiǎn)單化以及遠(yuǎn)程感應(yīng)的能力。然而,光纖spr傳感器也有一些缺點(diǎn)。與棱鏡裝置不同,其入射角不能被控制,使得透射光譜中的感應(yīng)曲線展寬,導(dǎo)致靈敏度和可探測(cè)極限下降。用單模光纖(smf)代替多模光纖(mmf)可以提高傳感器的性能。另一個(gè)缺點(diǎn)是很難對(duì)光纖spr傳感器進(jìn)行理論分析。一般采用平面結(jié)構(gòu)近似或者理想的對(duì)稱
10、圓柱假想設(shè)進(jìn)行理論分析。雖然通過(guò)進(jìn)行精確的三維分析和平行計(jì)算可以做出一個(gè)完整的三維數(shù)值分析,但是這相當(dāng)消耗時(shí)間的。基于棱鏡的spr裝置中,一般使用單色的光源,調(diào)制入射角是;光纖spr傳感器與之不同,它可以使用白光作為光源。這樣就有一個(gè)很寬的光譜范圍來(lái)探測(cè)共振波長(zhǎng)。光纖中的入射角被纖芯-包層的全反射角所限制。盡管可以用單色光并且探測(cè)它在光纖中的傳輸強(qiáng)度的變化,但如果用寬帶的白光,就可以在透射光譜強(qiáng)度分布中監(jiān)測(cè)共振波長(zhǎng)的變化。如圖5所示,透射光功率譜中可以觀察到在共振波長(zhǎng)處有一個(gè)很尖銳的凹陷。當(dāng)探測(cè)區(qū)域的折射率變化時(shí),共振波長(zhǎng)會(huì)產(chǎn)生漂移。如果折射率變化量是,共振波長(zhǎng)變化量是,則spr傳感器的靈敏度
11、s就可以定義為 圖5為了計(jì)算靈敏度,可以畫(huà)成是的函數(shù),那么斜率就是傳感器的靈敏度。spr共振波長(zhǎng)探測(cè)的準(zhǔn)確性依賴于透射光譜中響應(yīng)曲線的寬度。這表明寬度越窄,準(zhǔn)確度越高。1.3 影響光纖spr傳感器性能的因素下面,我們研究影響spr光纖傳感器性能的參數(shù)。首先,如圖6和表2所示,現(xiàn)在多種多樣的spr光纖傳感器結(jié)構(gòu),例如對(duì)稱的結(jié)構(gòu)有簡(jiǎn)單的被金屬覆蓋的有包層光纖和無(wú)包層光纖,細(xì)光纖;不對(duì)稱的結(jié)構(gòu)有單面拋光光纖(d型光纖),單邊鍍膜的有包層光纖和無(wú)包層光纖。它們都可能包含覆蓋層或者多層結(jié)構(gòu)。覆蓋層是附著在金屬層上面的一層,可以有效的改變光纖spr傳感器的測(cè)量范圍。許多spr光纖傳感器采用的更進(jìn)一步改進(jìn)的
12、結(jié)構(gòu),例如利用各種類型的光柵,異芯光纖,納米微孔等。圖6:各種spr光纖傳感器的結(jié)構(gòu)圖:(a)d型光纖(b) 無(wú)包層光纖(c)尾端反射鏡(d)尖尾端 (e)細(xì)化光纖由于多模光纖spr傳感器對(duì)機(jī)械擾動(dòng)很敏感,所以輸出的光強(qiáng)會(huì)隨時(shí)間抖動(dòng)。但是由于到達(dá)探測(cè)器的光能量很充足,一般探測(cè)相對(duì)比較簡(jiǎn)單,并且信噪比很好。另外,這種設(shè)備很適合測(cè)量大的折射率幅度。與mmf相比,smf的透射曲線中共振波長(zhǎng)處的凹陷更窄,因此,靈敏度更好。尾端加工過(guò)的光纖spr傳感器通常用作基于反射的局部spr光纖探測(cè)器,其他類型的spr傳感器則是傳輸型的。 要發(fā)展spr光纖傳感器,我們首先要把倏逝波引導(dǎo)到光纖纖芯和包層的分界面處。為
13、了達(dá)到這個(gè)目的,可以把光纖的包層通過(guò)化學(xué)腐蝕,精確的火焰控制加熱、打磨等方法部分或者全部的去掉。另一個(gè)運(yùn)用倏逝波的方法是細(xì)化光纖,當(dāng)光纖被火焰加熱的時(shí)候拉伸以細(xì)化。在把光纖纖芯區(qū)域暴漏出來(lái)以后,需要把金屬膜覆蓋在裸露的纖芯上面。spr傳感系統(tǒng)中用到的金屬通常是金或者銀。當(dāng)傳感層的折射率發(fā)生變化的時(shí)候,金的共振參量變化大,并且化學(xué)性能穩(wěn)定;在透射波譜上銀的共振凹陷窄,因此spr傳感的靈敏度很高,但是在空氣中不穩(wěn)定,特別是在水中更加不穩(wěn)定。因此如果要把銀用在實(shí)際傳感器中,必須在它的表面鍍一層薄而密的覆蓋層。為了設(shè)計(jì)和分析傳感器,我們需要知道金屬薄膜的介電常數(shù)的散射。在大多數(shù)spr傳感器中,波長(zhǎng)范圍
14、為400納米到800納米,或者是在1500納米附近??梢詮膮⒖嘉墨I(xiàn)中查到金屬的介電常數(shù)。drude模型可以用來(lái)分析金屬的散射,表示為:其中是高頻介電常數(shù)方程,是等離子體的頻率,是衰減頻率。對(duì)金屬納米顆粒層,因?yàn)榇嬖诟郊拥谋砻嫔⑸湫枰罁?jù)所用的微粒的尺寸進(jìn)行修正,:其中,r是微粒的尺寸,是費(fèi)米速度。一般所說(shuō)的spr傳感器,當(dāng)外界折射率變化一個(gè)單位(riu)的時(shí)候,共振波長(zhǎng)偏移nm。靈敏度和共振波長(zhǎng)可以通過(guò)改變薄膜的材料,金屬薄膜的厚度和覆蓋層的厚度來(lái)進(jìn)行一定范圍的調(diào)整。金屬層的厚度對(duì)spr光纖傳感器來(lái)說(shuō)是一個(gè)至關(guān)重要的參量。要獲得靈敏度高的spr傳感器,必須使得透射波譜的共振凹陷深并且尖銳。因此
15、要提高傳感器的性能,必須優(yōu)化金屬層的厚度。例如,在有金屬膜的d型spr光纖傳感器中,如果增加金屬膜的厚度,共振波長(zhǎng)將會(huì)向長(zhǎng)波漂移,凹陷處會(huì)變得更加窄。然而共振波長(zhǎng)處的傳輸功率凹陷將會(huì)變淺。這表明金屬薄膜應(yīng)該薄一點(diǎn),因?yàn)橘渴挪ㄔ诮饘賹又谐芍笖?shù)衰減,當(dāng)厚度增加時(shí),spr會(huì)變?nèi)?。通過(guò)減少感應(yīng)區(qū)的長(zhǎng)度也可以在透射光譜中得到深的共振凹陷。長(zhǎng)的感應(yīng)區(qū)增加了金屬對(duì)傳輸光的吸收,導(dǎo)致深的共振凹陷和靈敏度的降低。因此,在制作光纖spr傳感器的時(shí)候應(yīng)該使得感應(yīng)區(qū)盡可能的短來(lái)獲得高的靈敏度和解析度。值得注意的是,如果剩余的包層厚度超過(guò)幾微米的話,倏逝波和spw耦合就會(huì)變得困難,共振凹陷就會(huì)變淺。spr傳感器中所用的
16、覆蓋層也會(huì)影響共振波長(zhǎng)。覆蓋層是用來(lái)保護(hù)銀的表面的。另一方面,覆蓋層也可以用來(lái)調(diào)整共振波長(zhǎng)。有人已經(jīng)提出了光纖表面金銀雙層的結(jié)構(gòu)51。與金膜相似,這種結(jié)構(gòu)共振參量偏移量很高;另一方面又表現(xiàn)與銀相似的很窄的共振凹陷,因此在保護(hù)銀氧化的同時(shí)表現(xiàn)出高的解析度。 覆蓋層也會(huì)影響對(duì)折射率的探測(cè)范圍。沒(méi)有覆蓋層的話,如果被測(cè)區(qū)的折射率高于纖芯的,導(dǎo)波就會(huì)泄露出光纖。這就限制了對(duì)折射率的測(cè)量范圍。因此,在纖芯上覆蓋一層高折射率的物質(zhì)可以使探測(cè)范圍就提高到一個(gè)新的水平。使用高折射率材料作為纖芯的光纖也可以達(dá)到同樣的效果。 1.4 新型spr光纖傳感器結(jié)構(gòu) 光纖spr傳感器最重要的參數(shù)是靈敏度。設(shè)計(jì)各種結(jié)構(gòu)首先
17、要使得纖芯的光和包層的光發(fā)生耦合并且滿足相位匹配條件,即首先要產(chǎn)生表面等離子體共振。科學(xué)家提出使用光柵來(lái)實(shí)現(xiàn)。he等提出使用級(jí)聯(lián)的長(zhǎng)周期光柵結(jié)構(gòu)65,理論計(jì)算表明可以滿足相位條件。tang66等在光纖spr傳感器中使用長(zhǎng)周期光柵來(lái)測(cè)量化學(xué)溶液的濃度以及在納米顆粒表面無(wú)標(biāo)記的探測(cè)生物細(xì)胞的融合。它的靈敏度可以達(dá)到-23.45nm/riu,遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于普通的lpg折射率傳感器。nemova and kashyap 提出使用光纖布拉格光柵(fbg)。由于fbg不能把纖芯模耦合到包層模,因此采用fbg時(shí)要對(duì)光纖結(jié)構(gòu)進(jìn)行特殊設(shè)計(jì)。其他類型的光柵,例如傾斜光柵【69】,金屬光柵【70】也已經(jīng)被采用。這兩種光柵
18、的透射譜中有多個(gè)峰值,很難設(shè)定參考波長(zhǎng),但是它們的共振凹陷很尖銳,信噪比高。與傳統(tǒng)的spr傳感器相比,光柵spr光纖傳感器的靈敏度稍微低一點(diǎn),為102103nm/riu. 圖8(b)所示為為了提高spr效應(yīng)設(shè)計(jì)的級(jí)聯(lián)單邊拋光光纖。在第一個(gè)spr感應(yīng)區(qū)域內(nèi)導(dǎo)波光的tm模式迅速耗盡,在兩個(gè)感應(yīng)區(qū)之間te模式的一半耦合進(jìn)tm模式,在第二個(gè)感應(yīng)區(qū)內(nèi)tm模式變多并再次被耗盡。這種設(shè)計(jì)使得透射譜中的共振凹陷更理想。通過(guò)使用2個(gè)led可以提高傳感器的性能。測(cè)量?jī)蓚€(gè)波長(zhǎng)處的折射率的差可以使靈敏度翻一番,達(dá)到5.2*10-4riu.許多科學(xué)家提出了基于pcf的spr傳感器,它的原理是順著金屬化的微結(jié)構(gòu)把纖芯泄露
19、模耦合進(jìn)spp模式。2008年,hautakropi等提出并理論分析了基于三孔微結(jié)構(gòu)光纖的spr傳感器,微結(jié)構(gòu)的孔都附著了金薄膜。數(shù)值分析結(jié)果顯示這種結(jié)構(gòu)光損耗很小,并且解析度可以達(dá)到riu。在這之前,hassani等提出了使用微溶液微結(jié)構(gòu)的光纖spr傳感器,靈敏度為riu,結(jié)構(gòu)導(dǎo)致透射光的強(qiáng)度變化1%。除此之外還有多種多樣的基于pcf的spr傳感器?!?4-76,81】。2 微米納米微結(jié)構(gòu)光纖傳感器 微結(jié)構(gòu)的光纖包括pcf和其他在光纖尾部或者側(cè)面有納米結(jié)構(gòu)的光纖等。根據(jù)電介質(zhì)在橫截面分布的不同,pcf可以分為:光子帶隙光纖,多孔光纖,孔輔助光纖,和布拉格光纖等。pcf中周期性的電介質(zhì)結(jié)構(gòu)的周
20、期在波長(zhǎng)的量級(jí),使得光子帶隙增加。當(dāng)入射光的波長(zhǎng)在帶隙范圍內(nèi)時(shí),入射光不能穿過(guò)光子晶體區(qū)域,因此透射波譜存在著很寬的帶隙。通過(guò)局部破壞纖芯的周期,在帶隙內(nèi)可以產(chǎn)生光子缺陷模式,使得透射譜中的透射峰相對(duì)很尖銳。透射峰中心在波譜中的位置對(duì)外界局部環(huán)境的變化很敏感。如果液體或者氣體分子被缺陷束縛的話,局部的環(huán)境如折射率會(huì)發(fā)生變化。這可以用來(lái)探測(cè)信號(hào)的轉(zhuǎn)化。由于光子帶隙對(duì)光的限制作用非常強(qiáng),并且通過(guò)精確的調(diào)整結(jié)構(gòu)參數(shù)可以改變光子帶隙中的缺陷模式的波長(zhǎng),因此pcf傳感器有很好的應(yīng)用前景。2.1 微結(jié)構(gòu)光纖傳感器的結(jié)構(gòu)和性能。 通過(guò)部分的去除光纖的包層得到的d型光纖可以增強(qiáng)導(dǎo)波光與外部物質(zhì)的相互作用。很多
21、科學(xué)家都致力于研究d型光纖的制造和應(yīng)用。gaston等運(yùn)用單邊拋光單模光纖做出了溫度、相對(duì)濕度、ph傳感器83。傳感器對(duì)溫度的靈敏度為8db/c,濕度靈敏度為0.5db,當(dāng)ph從2變化到11時(shí),輸出功率變化15db。chandani和jaeger的溫度傳感器使用稀釋的氫氟酸腐蝕得到的d型光纖85。在保持纖芯邊緣和平面的距離恒定的前提下,這種方法得到的d型光纖干涉距離要長(zhǎng)很多。franco等把單邊拋光的做法應(yīng)用到微結(jié)構(gòu)光纖中86。通過(guò)減小切割平面附近的孔的直徑(如圖9)可以提高倏逝波和外部介質(zhì)的耦合效率,從而提高對(duì)外母折射率變化的靈敏度。在最佳的參數(shù)設(shè)計(jì)下,溫度探測(cè)范圍為185c,靈敏度為0.1
22、0.38db/c。圖9 單邊拋光的微結(jié)構(gòu)光纖:靠近切面處的孔直徑小多孔pcf傳感器的纖芯是中空的,包層中有很多孔。這些孔都充滿了氣體或者液體的被測(cè)物。光波和被測(cè)物的相互作用使得傳輸特性發(fā)生變化。與d型微結(jié)構(gòu)光纖相比,由于多孔pcf的干涉距離長(zhǎng),對(duì)模式的限制作用強(qiáng),所以所用的樣品很少。缺點(diǎn)是填灌被測(cè)物有點(diǎn)困難,準(zhǔn)備時(shí)間長(zhǎng)。對(duì)細(xì)化結(jié)構(gòu)或者啁啾pcf光纖傳感器的研究也很多。人們提出了一種微細(xì)化的pcf氣體傳感器(圖10)97,這種微細(xì)化的光線只支持兩個(gè)相對(duì)高階模。把有三個(gè)氣孔的pcf細(xì)化套35微米的時(shí)候,光纖中只存在兩個(gè)高階模(和)。這兩個(gè)模式的傳播常數(shù)相差很大,因此干涉周期很短。在細(xì)化區(qū)域外的空氣
23、分子會(huì)導(dǎo)致折射率的變化,使得干涉類型也發(fā)生變化。這種方法的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是不需要在氣孔中填充被測(cè)物。圖10 氣體探測(cè)用的微細(xì)化結(jié)構(gòu)的pcfpisco等提出了啁啾fbg的結(jié)構(gòu),其中包括一個(gè)啁啾布拉格光柵和一個(gè)或者多個(gè)缺陷98。通過(guò)改變覆蓋層薄化區(qū)域周圍的折射率,可以改變纖芯的傳播特性,從而導(dǎo)致折射率譜的變化。在周圍折射率為1.45和1.33時(shí),靈敏度分別為和。雖然和其他方法相比,折射率有點(diǎn)低,但這種方法成本低,并且在化學(xué)探測(cè)中可以使用多點(diǎn)折射計(jì)。科學(xué)家在試驗(yàn)中提出了基于有缺陷孔的純硅pcf光纖的倏逝場(chǎng)吸收傳感器(見(jiàn)圖11)99。由于空氣孔和氣體液體滲透之間的作用區(qū)域很大,倏逝場(chǎng)被顯著地增強(qiáng),因此這種裝
24、置的靈敏度要高很多。作為吸收體,不同濃度的(0.010.50mol)被添加入光纖。透射譜顯示隨著濃度的增加吸收增強(qiáng)。并且縱向探測(cè)的靈敏度要比垂直的高將近60倍。圖10:基于缺陷孔的純硅pcf光纖倏逝場(chǎng)吸收傳感器眾所周知,氣體對(duì)光的吸收峰一般在中紅外范圍(大約3微米)。在這個(gè)波長(zhǎng)范圍大多數(shù)光纖都不支持導(dǎo)波模。因此要與近紅外光干涉,需要更高的吸收模式,更長(zhǎng)的干涉距離以及高靈敏的探測(cè)技術(shù)。gayraud等提出了新型的pbf設(shè)計(jì)100,在3200納米處探測(cè)甲烷。通過(guò)使用飛秒光參量振蕩器作為光源和傅里葉變化紅外光譜計(jì),可以探測(cè)出1000ppm的甲烷。他們預(yù)測(cè),通過(guò)使用新型光源可以把靈敏度提高到50ppm
25、。在pcf內(nèi)雕刻長(zhǎng)周期光柵(lpg)可以釋憲案纖芯模和包層模的模式耦合,提高靈敏度。zhu等通過(guò)數(shù)值模擬方法測(cè)試了單模lpg-pcf的折射率靈敏度【102】。結(jié)果顯示,由于倏逝場(chǎng)能夠有效的覆蓋被測(cè)物,靈敏度可以達(dá)到riu。同時(shí),飛秒激光處理領(lǐng)域的新技術(shù)被用來(lái)制造微流體設(shè)備。在階躍光纖中寫入的微流體通道可以改變纖芯導(dǎo)波光的散射特性。利用這一特性,petrovic等提出了一種微縫折射率傳感器【104】。利用的原理是當(dāng)階躍光纖的微縫的折射率變化時(shí)光纖中的傳輸特性會(huì)發(fā)生改變。通過(guò)在尺寸和形狀上的優(yōu)化處理這種傳感器可以用在很多特殊的場(chǎng)合??偨Y(jié)本文介紹了光纖spr傳感器的原理,影響靈敏度的因素,各種不同的
26、結(jié)構(gòu)包括加入微結(jié)構(gòu)的光纖spr傳感器。另外簡(jiǎn)要概括了近年來(lái)信出現(xiàn)的pcf傳感器,介紹了幾種新型的結(jié)構(gòu)、基本原理、可以達(dá)到的技術(shù)水平以及應(yīng)用。光纖spr傳感器和pcf傳感器具有獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn),特別是加入微結(jié)構(gòu)以后,表現(xiàn)出了很多優(yōu)良的特性,對(duì)它們的研究肯定會(huì)進(jìn)一步深入。參考文獻(xiàn): 51 k. balaa, m. kanso, s. cuenot, t. minea, g. louarn, experimental realization and numerical simulation of wavelength-modulated fiber optic sensor based in surfac
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38、芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿
39、膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃
40、羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈
41、腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅
42、肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿
43、芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃
44、膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇
45、羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂
46、膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆
47、肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅
48、芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇
49、肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈
50、羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆
51、膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀
52、肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄
53、芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁肇芅蝕襖羃芄袂蚇莂芃薂羂羋節(jié)蚄螅膄芁螆羈肀芀蒆螃羆芀薈罿芄荿蟻螂膀莈螃羇肆莇蒃螀肂莆蚅肅羈蒞螇?mèng)缕P莄蕆肄膃莄蕿袇聿莃螞肂羅蒂螄裊芃蒁蒄蚈腿蒀薆袃膅葿螈蚆肁蒈蒈羈羇蒈薀螄芆蕆螞羀膂蒆螅螃肈薅蒄羈羄薄薇螁芃薃蠆羆艿薂袁衿膅薂薁肅肁膈蚃袇羇膇螆肅芅膆蒅袆膁芅薈肁
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