2014年項(xiàng)目指引說明

1、附件1 2014年項(xiàng)目指南說明 1. 項(xiàng)目任務(wù)：40nn集成電路制造用300m硅片技術(shù)研發(fā) 項(xiàng)目編號(hào)：2014ZX02405 項(xiàng)目類別：材料技術(shù)研發(fā) 項(xiàng)目目標(biāo)： 1）研究開發(fā)300mm硅單晶生長、硅片加工、外延片制備、硅片分 析檢測等300mn硅片產(chǎn)業(yè)化全套生產(chǎn)技術(shù)，滿足 40nm集成電 路生產(chǎn)線產(chǎn)品技術(shù)要求，通過用戶企業(yè)驗(yàn)證考核及供應(yīng)商資 質(zhì)認(rèn)證，實(shí)現(xiàn)批量供貨； 2）承擔(dān)企業(yè)應(yīng)有月產(chǎn)不低于10萬片300mm硅片的投資與實(shí)施計(jì) 戈構(gòu)建與集成電路行業(yè)國際先進(jìn)水平接軌的技術(shù)和管理人 才團(tuán)隊(duì)，建立完善的技術(shù)開發(fā)、生產(chǎn)運(yùn)行、品質(zhì)管理、市場 開拓運(yùn)行體系； 3）項(xiàng)目完成時(shí)，月銷售不低于1萬片。 項(xiàng)目承擔(dān)

2、單位要求：中國大陸境內(nèi)注冊(cè)的、具有獨(dú)立法人資格的 硅片制造企業(yè)。 組織實(shí)施方式：公開發(fā)布、擇優(yōu)支持 資金來源： 中央：地方：企業(yè)=1:0.5:1，前立項(xiàng)后補(bǔ)助 執(zhí)行期限： 2014-2016 2.項(xiàng)目任務(wù)： 電子級(jí)多晶硅材料研發(fā) 項(xiàng)目編號(hào)： 2014ZX02404 項(xiàng)目類別： 材料技術(shù)研發(fā) 項(xiàng)目目標(biāo)：針對(duì)40nm集成電路用12英寸硅單晶產(chǎn)品要求，研究 開發(fā)電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)技術(shù)，提升產(chǎn)品品質(zhì)，產(chǎn)品純度高于11N;本 征基磷電阻率高于500 Ohmcm,本征基硼電阻率高于5000 Ohmcm碳 含量低于80ppba;體金屬總含量小于1.5ppbw;表面金屬含量要求： Fe 小于 0.25ppba、

3、Cu 小于 0.025 ppba、Ni 小于 0.04 ppba、Cr 小 于 0.045 ppba、Zn 小于 0.09 ppba、Na小于 0.98 ppba、Al 小于 0.52 ppba、K小于0.43 ppba ;通過硅片生產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)品驗(yàn)證考核與供應(yīng)商 資質(zhì)認(rèn)證，簽訂長期供應(yīng)合同，集成電路硅片用多晶硅年銷售不低于 200 噸。 項(xiàng)目承擔(dān)單位要求：中國大陸境內(nèi)注冊(cè)的、具有獨(dú)立法人資格的 多晶硅制造企業(yè)。 組織實(shí)施方式：公開發(fā)布、擇優(yōu)支持 資金來源： 執(zhí)行期限： 中央：地方：企業(yè)=1:0.5:1 2014-2016 ，后立項(xiàng)后補(bǔ)助 3.項(xiàng)目任務(wù)： 先進(jìn)裝備與材料在AMOLE D域中的應(yīng)用開

4、發(fā) 項(xiàng)目類別： 裝備技術(shù)研發(fā) 項(xiàng)目編號(hào)： 2014ZX02601 項(xiàng)目目標(biāo)： 基于02專項(xiàng)在集成電路裝備、材料等領(lǐng)域研發(fā)取得 的相關(guān)技術(shù)，支持在 AMOLE等新型顯示領(lǐng)域開發(fā)應(yīng)用，推動(dòng)新型顯 示裝備、材料開發(fā)應(yīng)用，提升顯示產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力。 重點(diǎn)支持： 1. AMOLE設(shè)備應(yīng)用：面向G4.5及以上AMOLE等平板顯示領(lǐng)域 需求，針對(duì)新型顯示領(lǐng)域?qū)饪虣C(jī)、刻蝕機(jī)、 PVD CVD清洗 機(jī)、激光退火等要求，聯(lián)合集成電路裝備企業(yè)開展相關(guān)技術(shù)的 應(yīng)用開發(fā)及工藝驗(yàn)證，用過用戶考核，形成批量制造能力并實(shí) 現(xiàn)銷售； 2. AMOLE材料應(yīng)用：針對(duì)G4.5及以上平板顯示領(lǐng)域?qū)﹃P(guān)鍵材料 的要求，聯(lián)合集成電路靶材、特種氣體、顯影液、刻蝕液、光 刻膠等關(guān)鍵材料企業(yè)，進(jìn)行相關(guān)技術(shù)的應(yīng)用開發(fā)及工藝驗(yàn)證， 通過用戶考核，實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵材料的長期供貨。 項(xiàng)目承擔(dān)單位要求：中國大陸境內(nèi)注冊(cè)的、具有獨(dú)立法人資格的 大型平板顯示產(chǎn)品制造企業(yè)，聯(lián)合裝備、材