傳感器在生產(chǎn)制造中的應(yīng)用及發(fā)展趨向研究重點(diǎn)

1、摘要：近年來，傳感器正處于傳統(tǒng)型向新型傳感器轉(zhuǎn)型的發(fā)展階段。新型傳感器的特點(diǎn)是微型化、數(shù)字化、智能化、多功能化、系統(tǒng)化、網(wǎng)絡(luò)化，它不僅促進(jìn)了 傳統(tǒng)儀器儀表產(chǎn)業(yè)的改造，而且可導(dǎo)致建立新型工業(yè)和軍事變革，是21世紀(jì)新的經(jīng)濟(jì)增長點(diǎn)。關(guān)鍵詞：傳感器現(xiàn)代工業(yè) 未來趨勢1 傳感器及基本特征國家標(biāo)準(zhǔn)GB7665-87對傳感器下的定義是：“能感受規(guī)定的被測量并按照 一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用信號的器件或裝置，通常由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組 成”。傳感器是一種檢測裝置，能感受到被測量的信息，并能將檢測感受 到的信息，按一定規(guī)律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出，以滿 足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。

2、它是實(shí)現(xiàn)自動檢 測和自動控制的首要環(huán)節(jié)。傳感器的特性是指傳感器的輸入量和輸出量之間的對應(yīng)關(guān)系。通常把傳感器的特 性分為兩種：靜態(tài)特性和動態(tài)特性。靜態(tài)特性是指輸入不隨時間而變化的特性，它表示傳感器在被測量各個值處 于穩(wěn)定狀態(tài)下輸入輸出的關(guān)系。動態(tài)特性是指輸入隨時間而變化的特性，它表示傳感器對隨時間變化的輸入 量的響應(yīng)特性。一般來說，傳感器的輸入和輸出關(guān)系可用微分方程來描述。 理論上，將微分 方程中的一階及以上的微分項(xiàng)取為零時，即可得到靜態(tài)特性。因此傳感器的靜特 性是其動特性的一個特例。傳感器除了描述輸入與輸出量之間的關(guān)系特性外，還有與使用條件、使用環(huán)境、使用要求等有關(guān)的特性。字串61傳感器的靜特

3、性傳感器的輸入-輸出關(guān)系：輸入（外部影響：沖振、電磁場、線性、滯后、重 復(fù)性、靈敏度、誤差因素）一傳感器一輸出（外部影響：溫度、供電、各種干擾 穩(wěn)定性、溫漂、穩(wěn)定性（零漂）、分辨力、誤差因素）。字串5人們總希望傳感器的輸入與輸出成唯一的對應(yīng)關(guān)系，而且最好呈線性關(guān)系。但一般情況下，輸入輸出不會完全符合所要求的線性關(guān)系， 因傳感器本身存在著 遲滯、蠕變、摩擦等各種因素，以及受外界條件的各種影響。字串1傳感器靜態(tài)特性的主要指標(biāo)有：線性度、靈敏度、重復(fù)性、遲滯、分辨率、 漂移、穩(wěn)定性等。字串62傳感器的動特性1動特性是指傳感器對隨時間變化的輸入量的響應(yīng)特性。很多傳感器要在動態(tài)條件下檢測，被測量可能以各

4、種形式隨時間變化。 只要 輸入量是時間的函數(shù)，則其輸出量也將是時間的函數(shù)，其間關(guān)系要用動特性來說 明。設(shè)計傳感器時要根據(jù)其動態(tài)性能要求與使用條件選擇合理的方案和確定合適 的參數(shù)；使用傳感器時要根據(jù)其動態(tài)特性與使用條件確定合適的使用方法，同時對給定條件下的傳感器動態(tài)誤差作出估計。 總之，動特性是傳感器性能的一個重 要方面，對其進(jìn)行研究與分析十分必要。 總的來說，傳感器的動特性取決于傳感 器本身，另一方面也與被測量的形式有關(guān)。字串5（1） 規(guī)律性的：1）周期性的：正弦周期輸入、復(fù)雜周期輸入；2）非周期 性的：階躍輸入、線性輸入、其他瞬變輸入（2） 隨機(jī)性的：1）平穩(wěn)的：多態(tài)歷經(jīng)過程、非多態(tài)歷經(jīng)過程

5、；2）非平穩(wěn) 的隨機(jī)過程。在研究動態(tài)特性時，通常只能根據(jù)“規(guī)律性”的輸入來考慮傳感器的響應(yīng)。 復(fù)雜周期輸入信號可以分解為各種諧波， 所以可用正弦周期輸入信號來代替。其 它瞬變輸入不及階躍輸入來得嚴(yán)峻， 可用階躍輸入代表。因此，“標(biāo)準(zhǔn)”輸入只 有三種；正弦周期輸入、階躍輸入和線性輸入。而經(jīng)常使用的是前兩種。2 傳感器的種類可以用不同的觀點(diǎn)對傳感器進(jìn)行分類：它們的轉(zhuǎn)換原理 （傳感器工作的基本物理 或化學(xué)效應(yīng)）；它們的用途；它們的輸出信號類型以及制作它們的材料和工藝等。 根據(jù)傳感器工作原理，可分為物理傳感器和化學(xué)傳感器二大類：傳感器工作原理的分類物理傳感器應(yīng)用的是物理效應(yīng)，諸如壓電效應(yīng)，磁致伸縮現(xiàn)象

6、，離化、極化、熱電、光電、磁電等效應(yīng)。被測信號量的微小變化都將轉(zhuǎn)換 成電信號?；瘜W(xué)傳感器包括那些以化學(xué)吸附、 電化學(xué)反應(yīng)等現(xiàn)象為因果關(guān)系的傳感器， 被測 信號量的微小變化也將轉(zhuǎn)換成電信號。有些傳感器既不能劃分到物理類，也不能劃分為化學(xué)類。大多數(shù)傳感器是以物理 原理為基礎(chǔ)運(yùn)作的?；瘜W(xué)傳感器技術(shù)問題較多，例如可靠性問題，規(guī)模生產(chǎn)的可2能性，價格問題等，解決了這類難題，化學(xué)傳感器的應(yīng)用將會有巨大增長 按照其用途，傳感器可分類為：壓力敏和力敏傳感器位置傳感器液面?zhèn)鞲衅髂芎膫鞲衅魉俣葌鞲衅鳠崦魝鞲衅?加速度傳感器射線輻射傳感器 振動傳感器濕敏傳感器 磁敏傳感器氣敏傳感器 真空度傳感器生物傳感器等。以其輸

7、出信號為標(biāo)準(zhǔn)可將傳感器分為：模擬傳感器將被測量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成模擬電信號。 數(shù)字傳感器將被測量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成數(shù)字輸出信號 ( 包括直接和間接轉(zhuǎn)換 )。膺數(shù)字傳感器將被測量的信號量轉(zhuǎn)換成頻率信號或短周期信號的輸出 ( 包括直接 或間接轉(zhuǎn)換 ) 。開關(guān)傳感器當(dāng)一個被測量的信號達(dá)到某個特定的閾值時， 傳感器相應(yīng)地輸出一個 設(shè)定的低電平或高電平信號。在外界因素的作用下， 所有材料都會作出相應(yīng)的、 具有特征性的反應(yīng)。 它們中的 那些對外界作用最敏感的材料， 即那些具有功能特性的材料， 被用來制作傳感器 的敏感元件。從所應(yīng)用的材料觀點(diǎn)出發(fā)可將傳感器分成下列幾類：(1) 按照其所用材料的類別分金屬聚合物陶

8、瓷混合物(2) 按材料的物理性質(zhì)分導(dǎo)體絕緣體半導(dǎo)體磁性材料(3) 按材料的晶體結(jié)構(gòu)分單晶多晶非晶材料 與采用新材料緊密相關(guān)的傳感器開發(fā)工作，可以歸納為下述三個方向：(1) 在已知的材料中探索新的現(xiàn)象、效應(yīng)和反應(yīng)，然后使它們能在傳感器技術(shù)中 得到實(shí)際使用。(2) 探索新的材料，應(yīng)用那些已知的現(xiàn)象、效應(yīng)和反應(yīng)來改進(jìn)傳感器技術(shù)。(3) 在研究新型材料的基礎(chǔ)上探索新現(xiàn)象、新效應(yīng)和反應(yīng)，并在傳感器技術(shù)中加 以具體實(shí)施按照其制造工藝，可以將傳感器區(qū)分為：集成傳感器薄膜傳感器厚膜傳感器陶瓷傳感器 集成傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的。 通常還將用 于初步處理被測信號的部分電路也集成在同

9、一芯片上。薄膜傳感器則是通過沉積在介質(zhì)襯底 ( 基板)上的，相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的。 使用混合工藝時，同樣可將部分電路制造在此基板上。厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料，涂覆在陶瓷基片上制成的，基片通常是AI2O3制成的，然后進(jìn)行熱處理，使厚膜成形。 陶瓷傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝 ( 溶膠- 凝膠等) 生產(chǎn)。 完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后， 已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。 厚膜和陶瓷傳感 器這二種工藝之間有許多共同特性， 在某些方面， 可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝 的一種變型。每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足。 由于研究、開發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較 低，以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因，

10、采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。轉(zhuǎn)速傳感器-就是旋轉(zhuǎn)編碼器，將轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)換成脈沖波(5VDC送入PLC或其它 處理器進(jìn)行處理。電流傳感器-就是電流變送器，將 0-5A或更大的電流信號轉(zhuǎn)換成 420mA或 020mA勺標(biāo)準(zhǔn)控制信號給處理器。4電壓傳感器-就是電壓變送器，將0100V或更大的電壓信號轉(zhuǎn)換成010V的標(biāo) 準(zhǔn)控制信號給處理器。振動傳感器 檢測機(jī)械設(shè)備的振動，進(jìn)行線性輸出或繼電器輸出。 霍爾傳感器 就是電感式的接近開關(guān)，采用霍爾原理。檢測距離不會超過 10mm輸出信號一般都是直流三線制的 PNP或 NPN俞出。缸壓傳感器就是壓力傳感器，可以輸出繼電器信號也可以是線性信號。 空氣流量傳感器可以輸

11、出繼電器信號或電壓、電流的線性信號。氧傳感器 節(jié)氣門位置傳感器 溫度傳感器這個一般都是線性的電壓輸出。4新型傳感器近年來， 傳感器正處于傳統(tǒng)型向新型傳感器轉(zhuǎn)型的發(fā)展階段。 新型傳感 器的特點(diǎn)是微型化、數(shù)字化、智能化、多功能化、系統(tǒng)化、網(wǎng)絡(luò)化，它不僅促進(jìn) 了傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的改造，而且可導(dǎo)致建立新型工業(yè)和軍事變革，是 21 世紀(jì)新的經(jīng)濟(jì) 增長點(diǎn)。微型化是建立在微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEM）技術(shù)基礎(chǔ)上的，目前已成功應(yīng) 用在硅器件上形成硅壓力傳感器。微電子機(jī)械加工技術(shù)包括體微機(jī)械加工技術(shù)、 表面微機(jī)械加工技術(shù)、LIGA技術(shù)（X光深層光刻、微電鑄和微復(fù)制技術(shù)）、激光 微加工技術(shù)和微型封裝技術(shù)等。MEMS的發(fā)展把傳感

12、器的微型化、智能化、多功 能化和可靠性水平提高到了新的高度。傳感器和檢測儀表在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上， 內(nèi)置微處理器，或把微傳感器和微處理器及相關(guān)集成電路等封裝在一起完成了數(shù) 字化、智能化、網(wǎng)絡(luò)化、系統(tǒng)化。MEM技術(shù)還完成了微電動機(jī)或執(zhí)行器等產(chǎn)品。 網(wǎng)絡(luò)化方面，目前主要是指采用多種現(xiàn)場總線和以太網(wǎng)（互聯(lián)網(wǎng)） ，這要按各行 業(yè)的特點(diǎn)，選擇其中的一種或多種，近年內(nèi)最流行的有FF、 Profibus 、 CAN、LonWorks、 AS-i 、 Interbus 、 TCP/IP 等。除 MEM 外，新型傳感器的發(fā)展還有賴于新型敏感材料、敏感 元件和納米技術(shù)，如新一代光纖傳感器、超導(dǎo)傳感器、焦平面陳列紅外

13、探測器、 生物傳感器、納米傳感器、新型量子傳感器、微型陀螺、網(wǎng)絡(luò)化傳感器、智能傳 感器、模糊傳感器、多功能傳感器等。多傳感器數(shù)據(jù)融合技術(shù)正在形成熱點(diǎn)，它形成于 20 世紀(jì) 80 年代，它不同于一般信號處理， 也不同于單個或多個傳感器的監(jiān)測和測量， 而是 對基于多個5 傳感器測量結(jié)果上的更高層次的綜合決策過程。 鑒于傳感器技術(shù)的微型化、 智能 化程度提高， 在信息獲得基礎(chǔ)上， 多種功能進(jìn)一步集成以致于融合， 這是必然的 趨勢，多傳感器數(shù)據(jù)融合技術(shù)也促進(jìn)了傳感器技術(shù)的發(fā)展。 多傳感器數(shù)據(jù)融合的 定義概括為：把分布在不同位置的多個同類或不同類傳感器所提供的局部數(shù)據(jù)資 源加以綜合， 采用計算機(jī)技術(shù)對其

14、進(jìn)行分析， 消除多傳感器信息之間可能存在的 冗余和矛盾，加以互補(bǔ)，降低其不確定性，獲得對被測對象的一致性解釋與描述， 從而提高系統(tǒng)決策、規(guī)劃、反應(yīng)的快速性和正確性，使系統(tǒng)獲得更充分的信息。 其信息融合在不同信息層次上出現(xiàn)，包括數(shù)據(jù)層（像素層）融合、特征層融合、 決策層（證據(jù)）融合。由于它比單一傳感器信息有如下優(yōu)點(diǎn)， 即容錯性、 互補(bǔ)性、 實(shí)時性、經(jīng)濟(jì)性，所以逐步得到推廣應(yīng)用；應(yīng)用領(lǐng)域除軍事外，已適用于自動化 技術(shù)。5傳感器的發(fā)展趨向1、向高精度發(fā)展：隨著自動化生產(chǎn)程度的不斷提高， 對傳感器的要求也在不斷提高， 必須研制 出具有靈敏度高、 精確度高、響應(yīng)速度快、 互換性好的新型傳感器以確保生產(chǎn)自

15、 動化的可靠性。 目前能生產(chǎn)萬分之一以上的傳感器的廠家為數(shù)很少， 其產(chǎn)量也遠(yuǎn) 遠(yuǎn)不能滿足要求。2、向高可靠性、寬溫度范圍發(fā)展：傳感器的可靠性直接影響到電子設(shè)備的抗干擾等性能， 研制高可靠性、 寬溫 度范圍的傳感器將是永久性的方向。 提高溫度范圍歷來是大課題， 大部分傳感器 其工作范圍都在-20 C70C,在軍用系統(tǒng)中要求工作溫度在-40 C85C范圍， 而汽車鍋爐等場合要求傳感器的溫度要求更高，因此發(fā)展新興材料 （如陶瓷） 的傳感器將很有前途。3、向微型化發(fā)展：6各種控制儀器設(shè)備的功能越來越大，要求各個部件體積能占位置越小越好， 因而傳感器本身體積也是越小越好， 這就要求發(fā)展新的材料及加工技術(shù)

16、， 目前利 用硅材料制作的傳感器體積已經(jīng)很小。 如傳統(tǒng)的加速度傳感器是由重力塊和彈簧 等制成的，體積較大、穩(wěn)定性差、壽命也短，而利用激光等各種微細(xì)加工技術(shù)制 成的硅加速度傳感器體積非常小、互換性可靠性都較好。4、向微功耗及無源化發(fā)展：傳感器一般都是非電量向電量的轉(zhuǎn)化， 工作時離不開電源， 在野外現(xiàn)場或遠(yuǎn) 離電網(wǎng)的地方， 往往是用電池供電或用太陽能等供電， 開發(fā)微功耗的傳感器及無 源傳感器是必然的發(fā)展方向，這樣既可以節(jié)省能源又可以提高系統(tǒng)壽命。目前， 低功耗損的芯片發(fā)展很快，如 T12702運(yùn)算放大器，靜態(tài)功耗只有1.5卩A,而工 作電壓只需25V。5、向智能化數(shù)字化發(fā)展：隨著現(xiàn)代化的發(fā)展， 傳

17、感器的功能已突破傳統(tǒng)的功能， 其輸出不再是一個單 一的模擬信號（如010mV）,而是經(jīng)過微電腦處理好后的數(shù)字信號，有的甚至帶 有控制功能，這就是所說的數(shù)字傳感器。一些傳感器市場比如壓力傳感器、 溫度傳感器、流量傳感器、 水平傳感器已表現(xiàn) 出成熟市場的特征。流量傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器的市場規(guī)模最大，分 別占到整個傳感器市場的 21%、19%和 14%。傳感器市場的主要增長來自于無線傳 感器、MEMSMicro-Electro-MechanicalSystems,微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器、生物傳感器等新興傳感器。 其中，無線傳感器在 2007-2010 年復(fù)合年增長率預(yù)計會超 過 25%。目前，

18、全球的傳感器市場在不斷變化的創(chuàng)新之中呈現(xiàn)出快速增長的趨 勢。傳感器領(lǐng)域的主要技術(shù)將在現(xiàn)有基礎(chǔ)上予以延伸和提高， 各國將競相加速新 一代傳感器的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化， 競爭也將日益激烈。 新技術(shù)的發(fā)展將重新定義未來 的傳感器市場， 比如無線傳感器、 光纖傳感器、 智能傳感器和金屬氧化傳感器等 傳感器的出現(xiàn)與市場份額的擴(kuò)大。引入新技術(shù)發(fā)展新功能 隨著人們對自然認(rèn)識的深化， 會不斷發(fā)現(xiàn)一些新的物理效應(yīng)、 化學(xué)效應(yīng)、 生物效 應(yīng)等。利用這些新的效應(yīng)可開發(fā)出相應(yīng)的新型傳感器， 從而為提高傳感器性能和 拓展傳感器的應(yīng)用范圍提供新的可能。 圖爾克市場技術(shù)部產(chǎn)品經(jīng)理兼技術(shù)支持主 管楊德友向記者表示， “目前傳感器界的

19、最大特點(diǎn)就是不斷引入新技術(shù)發(fā)展新功 能。”如檢測金屬產(chǎn)品位置的電感式接近開關(guān)， 它利用金屬物體接近能產(chǎn)生電磁 場的振蕩感應(yīng)頭時在被測金屬上形成的渦流效應(yīng)來檢測金屬產(chǎn)品的位置。 由于不 同金屬渦流效應(yīng)的效果不同， 因此不同金屬的檢測距離是不一樣的， 尤其是面對 各類合金時， 普通的電感式接近開關(guān)就顯得力不從心， 這就要求生產(chǎn)廠商在提高 產(chǎn)品功能上下功夫。 由于電感式接近開關(guān)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)是在鐵氧體磁芯上繞制線圈 作為電感線圈，而鐵氧體磁芯自身的限制使得電感式傳感器不可能在已有的設(shè)計 理念下發(fā)展，那么只能在技術(shù)上開發(fā)出可以替代鐵氧體線圈的產(chǎn)品來提高產(chǎn)品的 性能。圖爾克公司的電感式接近開關(guān)就摒棄了鐵氧體

20、磁芯， 從而去掉了磁芯的限 制。這樣在檢測不同金屬時可以通過電路調(diào)節(jié)提高產(chǎn)品的檢測距離， 并且全金屬 檢測距離無衰減，抗干擾能力也有所提升。而美國邦納工程國際有限公司上海代表處的產(chǎn)品經(jīng)理何廣軍也表示， 如 何在產(chǎn)品中引用新技術(shù)已成為傳感器制造商獲得突破的關(guān)鍵。 如雷達(dá)傳感器， 雖 然這項(xiàng)技術(shù)是在美國發(fā)展起來的， 但是在中國卻有著巨大的市場， 邦納及時的把 這項(xiàng)技術(shù)引入到中國的市場中來，研發(fā)出了R-Gage QT50R雷達(dá)傳感器。R-GageQT50R雷達(dá)傳感器是針對光學(xué)和超聲波傳感器無法發(fā)揮作用的條件而研發(fā)的，并且能夠用于檢測多普勒雷達(dá)無法檢測的固定物體。 可通過 DIP 開關(guān)輕而易舉地設(shè) 置

21、檢測范圍，并能忽略設(shè)定距離之外的物體。何廣軍經(jīng)理補(bǔ)充說，“24GH雷達(dá)波的特性決定其可以應(yīng)用在戶外， 用于檢測大型鐵磁性物體有無或者港口機(jī)械防 用?！?利用新材料發(fā)展新產(chǎn)品傳感器材料是傳感器技術(shù)的重要基礎(chǔ)， 隨著材料科學(xué)的進(jìn)步， 人們可制 造出各種新型傳感器。 例如用高分子聚合物薄膜制成溫度傳感器， 光導(dǎo)纖維能制 成壓力、流量、溫度、位移等多種傳感器，用陶瓷制成壓力傳感器。高分子聚合物能隨周圍環(huán)境的相對濕度大小成比例地吸附和釋放水分 子。將高分子電介質(zhì)做成電容器，測定電容容量的變化，即可得出相對濕度。利 用這個原理制成的等離子聚合法聚苯乙烯薄膜溫度傳感器， 具有測濕范圍寬、 溫 度范圍寬、響應(yīng)

22、速度快、尺寸小、可用于小空間測濕、溫度系數(shù)小等特點(diǎn)。陶瓷電容式壓力傳感器是一種無中介液的干式壓力傳感器。 采用先進(jìn)的 陶瓷技術(shù)，厚膜電子技術(shù)，其技術(shù)性能穩(wěn)定， 年漂移量的滿量程誤差不超過 0.1%， 溫漂小，抗過載更可達(dá)量程的數(shù)百倍。光導(dǎo)纖維的應(yīng)用是傳感材料的重大突破， 光纖傳感器與傳統(tǒng)傳感器相比 有許多特點(diǎn)： 靈敏度高、結(jié)構(gòu)簡單、體積小、耐腐蝕、電絕緣性好、光路可彎曲、 便于實(shí)現(xiàn)遙測等。 而光纖傳感器與集成光路技術(shù)的結(jié)合， 加速了光纖傳感器技術(shù) 的發(fā)展。將集成光路器件代替原有光學(xué)元件和無源光器件， 光纖傳感器又具有了 高帶寬、低信號處理電壓、可靠性高、成本低等特點(diǎn)。緊跟用戶需求更易操作傳感器

23、在技術(shù)水平和功能上的迅速發(fā)展， 一方面來自于計算機(jī)、 檢測等 技術(shù)的發(fā)展， 另一方面則源于應(yīng)用領(lǐng)域需求的驅(qū)動。 廣州市施克傳感器有限公司 高級產(chǎn)品經(jīng)理崔麗麗表示， 用戶的新要求在推動著傳感器技術(shù)的發(fā)展。 “以機(jī)器 視覺傳感器為例，以前用戶可能只需要 2D的效果，現(xiàn)在越來越多的用戶開始要 求能夠?qū)崿F(xiàn)3D的檢測效果，施克的3D視覺傳感器就是跟隨著用戶的需要而研發(fā) 出來的?！贝摞慃惤?jīng)理介紹說，施克的 Ranger C 產(chǎn)品系列采用相機(jī)連接技術(shù)與 PC進(jìn)行連接，這樣就簡化了集成過程并且提高了采集速率。 在3D模式下，Ran ger C每秒采集約30000幅圖片，每一張圖片包含1536個高質(zhì)量三維坐標(biāo)，

24、相當(dāng)于 每秒4500萬個3D點(diǎn)。整套3D算法在相機(jī)內(nèi)完成，這樣就節(jié)省了購買昂貴的后 處理器的花銷。 Ranger C 還可以在多路掃描模式下進(jìn)行操作，用戶可以從一個 相機(jī)中同時得到包括3D形狀以及包括灰度等級、光澤度、激光分散度在內(nèi)的多 種密度數(shù)據(jù)。在線掃描模式下，所有的特征圖像在物體通過相機(jī)時被捕捉下來，后通過相機(jī)連接接口送到PC上用于簡單的系統(tǒng)集成。在用戶需求催生出越來越多傳感器新品的同時， 廠商也開始越發(fā)重視讓 產(chǎn)品更適用于用戶的操作和需要。 邦納的產(chǎn)品經(jīng)理何廣軍表示， 傳感器制造商注 重用戶需求的最大體現(xiàn)就是對友好操作的注重。 何廣軍經(jīng)理說， “在業(yè)內(nèi)，我們 有一種說法就是讓傳感器遠(yuǎn)離

25、計算機(jī)專家， 意思就是讓用戶實(shí)現(xiàn)簡單操作。 ” 上 海倍加福工業(yè)自動化貿(mào)易有限公司產(chǎn)品市場總監(jiān) John Saw 也表示，如何通過對 多種智能傳感器的組合讓用戶更簡單的使用傳感器已經(jīng)成為公司發(fā)展的一個方 向。如作為專用于傳感器和執(zhí)行器之間聯(lián)網(wǎng)通訊的國際標(biāo)準(zhǔn)的 AS-I（EN50295）， 它摒棄了傳統(tǒng)接線中， 電源必須連接到每只傳感器并且信號線必須連到 I/O 模塊 中的限制。一個 AS-I 網(wǎng)絡(luò)中最多可包含 124 只簡單的傳感器或 31 個可編程的 AS-I 傳感器，用戶可組合使用。MEM技術(shù)帶動傳感器的發(fā)展半導(dǎo)體技術(shù)中的加工方法有氧化、光刻、擴(kuò)散、沉積、平面電子工藝、 各向?qū)愿g及蒸鍍， 濺射薄膜等， 這些都已引進(jìn)到傳感器制造。 因而產(chǎn)生了各 種新型傳感器， 如利用半導(dǎo)體技術(shù)制造出硅微傳感器， 利用薄膜工藝制造出快速 響應(yīng)的氣敏、濕敏傳感器， 利用濺射薄膜工藝制造壓力傳感器等。 精量電子市場 總監(jiān)陳振指出，MEM技術(shù)肯定是傳