鍍膜值班工程師培訓(xùn)資料

1、培訓(xùn)資料一、 浮法玻璃1、 平板玻璃的含義浮法玻璃是通過(guò)連續(xù)的在金屬槽上熔鑄和漂浮而生產(chǎn)出來(lái)的，平坦、透明、無(wú)色硅酸鹽玻璃，它具有平行而光滑的平面。一般來(lái)說(shuō)，浮法玻璃的厚度范圍在319mm之間。不過(guò)技術(shù)上講，可以生產(chǎn)小于1mm到25mm的產(chǎn)品?，F(xiàn)在使用的浮法玻璃中大多數(shù)都是鈉鈣硅酸鹽玻璃，主要原料有石英砂，石灰石，白云石(mgco3)以及一些堿，硫酸鹽等。玻璃的組成成分和結(jié)構(gòu)是影響玻璃性能的主要因素。浮法玻璃是在錫槽上形成的，這就使它具有兩個(gè)不同的表面。成型期間，上表面一直與還原合成氣體接觸（95%的氮?dú)夂?%的氫氣），而下表面一直保留在熔融的錫液中，所以，上表面被叫著空氣面，下表面叫錫面?？?/p>

2、氣面明顯的光滑于錫面，但容易受腐蝕，所以一般使用時(shí)都將錫面用于外表面。兩個(gè)面的差異很顯然會(huì)對(duì)鍍膜結(jié)果造成不同的影響。由于錫槽相連接，錫面上的鈉含量會(huì)比空氣面的低。正是由于這種接觸，錫離子sn2+會(huì)擴(kuò)散到錫面內(nèi)部，這種擴(kuò)散導(dǎo)致錫面的折射系數(shù)、抗刮削能力和抗化學(xué)腐蝕都強(qiáng)于空氣面。但是，錫離子sn2+在錫面不均衡的分布和玻璃上的水發(fā)生反應(yīng)，這就使得錫面的抗水性能不如空氣面。兩個(gè)面由于結(jié)構(gòu)不同，體現(xiàn)的光學(xué)性能也不相同，所以相同的膜鍍?cè)趦蓚€(gè)面上體現(xiàn)的顏色結(jié)果也是不同的。2、 玻璃的光學(xué)性能 浮法玻璃的最主要的性能是它對(duì)陽(yáng)光輻射的高透過(guò)性。由于玻璃本身是一種電絕緣物質(zhì)，所以除了光波范圍的近紅外區(qū)域，它幾乎

3、不吸收陽(yáng)光輻射。理論上，折射率指數(shù)n和玻璃厚度可以決定浮法玻璃的光學(xué)特性。由于白玻幾乎不吸收可見(jiàn)光線，所以在這個(gè)波長(zhǎng)范圍內(nèi)，它的折射率很小，n=1.52。白玻在它的每個(gè)面的反射率大約都是4%，即在整個(gè)玻璃片上在反射大約是8%，由于吸收效應(yīng)，著色玻璃的整體反射率一般都低于白玻。3、 玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性 因?yàn)楦》úＡУ幕瘜W(xué)穩(wěn)定性關(guān)系到玻璃片的表面，甚至影響到鍍膜工藝，所以玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性是非常重要的。一般來(lái)說(shuō)，玻璃抗酸性能極好（除了氫氟酸和熱磷酸），抗堿性能較好，抗水性能一般。4、 玻璃加工 玻璃加工是指改變玻璃性能并賦予新的或者不同的功能的技術(shù)。深加工就是提升浮法玻璃的附加值。隨著新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和市

4、場(chǎng)的拓展，它的附加值越來(lái)越高。深加工工藝一般分為四大類：l 改變玻璃形式的工藝，如：切片、磨邊、鉆孔l 改變玻璃晶格結(jié)構(gòu)工藝，如：熱彎、鋼化l 表面處理工藝，如：鍍膜、彩釉l 利用連接技術(shù)加工加工的工藝，如：夾層現(xiàn)代越來(lái)越多的簡(jiǎn)單產(chǎn)品也采用多種深加工工藝，建筑玻璃一般都會(huì)用到一種或者幾種加工工藝。例如，汽車玻璃的前檔風(fēng)玻璃就將4種加工方式完全利用，第一，玻璃要切割，磨邊，第二，玻璃要彎曲，鋼化，第三，玻璃要能防止紫外線輻射，往往需要鍍膜等，第四，玻璃要夾層。二、 鍍膜1、 膜層 用于建筑玻璃的鍍膜玻璃一般都鍍薄膜。我們把厚度低于1um的膜層叫薄膜，厚度高于1um的膜叫厚膜。鍍膜工藝是用不同的材

5、料在基片表面形成新表面的方法。鍍膜的方法很多，真空蒸發(fā)、真空濺射、化學(xué)還原、溶膠凝膠法等。它要求膜層要有非常強(qiáng)的附著力，附著力不強(qiáng)的叫覆蓋。通過(guò)鍍膜可以改變的屬性有：l 光學(xué)性能：包括影響透過(guò)率，反射率或者吸收的膜層l 電學(xué)性能：包括改變玻璃的電學(xué)性能以及熱輻射率等相關(guān)功能的膜層l 機(jī)械性能：包括改變玻璃破裂的路徑，賦予玻璃抵御灰塵和水能力的膜層l 化學(xué)性能：包括阻擋玻璃內(nèi)部原子的擴(kuò)散和阻擋玻璃片受到化學(xué)侵蝕的膜層l 裝飾性能：包括改變并提高玻璃光潔度或者用于特殊目的的膜層膜層的性能取決于以下幾個(gè)因素：l 被鍍材料的性能（玻璃基片，特別是表面）l 鍍膜材料l 鍍膜工藝?yán)纾焊鶕?jù)鍍膜技術(shù)的不同，

6、相同材料在真空中是蒸發(fā)還是濺射，表現(xiàn)出不同的性能。這是由于鍍膜過(guò)程中不同膜層增長(zhǎng)條件造成的。即使在同類設(shè)備，相同的鍍膜工藝沉積相同厚度的相同材料的膜層也可能存在差異?？傊?，要在某一特定基片上生成具有特定功能的膜層，必須綜合考慮和調(diào)整基片及其表面的性能、鍍膜材料和鍍膜技術(shù)性能，以及它們之間的相互作用。2、 材料由于用途不同，用于鍍膜的材料也不同，一般來(lái)說(shuō)，商業(yè)性的濺射鍍膜工藝中所使用的材料包括：l 金屬材料：ag、au、nicr、sst、al等，其中ag、au、al等導(dǎo)電性能好的材料具有較好的輻射率，是良好的輻射材料l 半導(dǎo)體材料：insnox等，主要用于鍍導(dǎo)電膜，偶爾也在其中摻雜l 介質(zhì)材料：

7、主要有snox、znox、tiox等介質(zhì)材料，具有良好的吸收，反射率低使用這些材料進(jìn)行組合，可以得到形形色色的各種膜系，根據(jù)實(shí)際需要，選擇不同的材料，由于材料種類多，靈活性大，更具有商業(yè)運(yùn)作價(jià)值。材料種類多，可代替性大，在商業(yè)運(yùn)作中可以使用價(jià)格低而性能好的材料，可降低生產(chǎn)成本以達(dá)到使用目的。例如：在生產(chǎn)low-e玻璃時(shí)，ag、au都具有良好的輻射率，而ag的價(jià)格遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于au的價(jià)格，商業(yè)運(yùn)作中都使用ag，基本不使用au。生產(chǎn)ag鏡時(shí)，客戶需要的主要是高反射，鍍ag和鍍al都可以得到較高的反射率，目前都在使用al代替ag來(lái)降低生產(chǎn)成本。在實(shí)際生產(chǎn)運(yùn)行過(guò)程中，選擇材料要根據(jù)實(shí)際需要實(shí)現(xiàn)的功能，材料價(jià)

8、格，生產(chǎn)可行性等多方面去進(jìn)行綜合比較。3、 鍍膜前的清潔在進(jìn)行鍍膜前都必須將基片進(jìn)行清潔，對(duì)于在線鍍膜來(lái)說(shuō)，這是很小的事情，但對(duì)離線鍍膜來(lái)說(shuō)卻相當(dāng)重要，而且操作起來(lái)也比較困難，對(duì)于大面積的鍍膜來(lái)說(shuō)，將玻璃基片完全清潔干凈是不可能的，因此，如何達(dá)到鍍膜所必須要求的潔凈程度就變得非常重要。要保持清潔程度足夠高，如果清潔程度不夠，膜層容易老化，甚至脫膜等現(xiàn)象。不同用途，不同加工工藝的膜層對(duì)清潔程度要求是不一樣的，對(duì)于目前我司生產(chǎn)的玻璃來(lái)說(shuō)，low-e玻璃要求的玻璃潔凈度不如熱反射玻璃高。目前要為鍍膜準(zhǔn)備大面積的鍍膜玻璃基片，主要采用的是一種濕式清潔技術(shù)，這種技術(shù)包括三部分：l 松動(dòng)玻璃表面的雜質(zhì)l

9、去除已經(jīng)松動(dòng)的、分離的雜質(zhì)l 干燥已經(jīng)清潔的玻璃表面對(duì)于松動(dòng)雜質(zhì)來(lái)說(shuō)，我們把這段叫預(yù)清洗，一般都使用刷洗的方法，刷洗的原理是用毛刷機(jī)械的分離玻璃表面的灰塵，再利用噴嘴把水或者其他清潔液噴到玻璃上來(lái)去除大顆?；覊m。在預(yù)清洗過(guò)程中，基本都使用毛比較粗的盤刷進(jìn)行清洗，多個(gè)小盤刷連接在一個(gè)軸承上組成一組，一個(gè)清洗機(jī)都有多組。在進(jìn)行清潔時(shí)，盤刷本身轉(zhuǎn)動(dòng)，利用毛刷的彈力松動(dòng)玻璃表面的雜質(zhì)，同時(shí)連接軸承左右平動(dòng)，保證清潔到玻璃的每個(gè)部位。在這個(gè)部分里，一般都使用自來(lái)水。如果玻璃基片存放時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，或者長(zhǎng)時(shí)間放在潮濕的環(huán)境里，玻璃容易發(fā)霉，發(fā)霉玻璃的霉斑很難通過(guò)一般的刷洗清潔掉，往往進(jìn)行拋光。拋光使用的盤刷的刷

10、子要粗，往往加入氧化鈰或者檸檬酸在拋光水箱中。氧化鈰是一種粘性物質(zhì)，可以增加盤刷和玻璃之間的摩擦力，檸檬酸可以適當(dāng)分解有機(jī)物質(zhì)。使用氧化鈰容易污染清洗機(jī)輥道，不容易清潔保養(yǎng)清洗機(jī)，一般情況下都不使用。在每組盤刷之間都安裝多個(gè)噴嘴，以一定角度一定壓力對(duì)玻璃表面進(jìn)行噴射自來(lái)水，清潔松動(dòng)的大顆粒雜質(zhì)，由于使用的是自來(lái)水，不能將微小的雜質(zhì)進(jìn)行去除。去除分離的小顆粒雜質(zhì)部分我們把它叫清洗部分，在預(yù)清洗和清洗部分之間往往有一段間隔，在這段內(nèi)，只有噴水，沒(méi)有毛刷，噴嘴的方向是向著預(yù)清洗部分的，目的是讓預(yù)清洗的大顆?；蛘吆芘K的物質(zhì)不帶入清洗部分，有利于清洗機(jī)的保養(yǎng)維護(hù)。在清洗部分，大部分使用輥刷，也使用1組或

11、者兩組盤刷，輥刷只能清潔已經(jīng)松動(dòng)的雜質(zhì)或者和玻璃表面結(jié)合不牢固的雜質(zhì)，在這段中使用盤刷進(jìn)一步松動(dòng)結(jié)合牢固的雜質(zhì)，然后利用輥刷清潔干凈。同樣的道理，清洗段也有噴嘴噴水，不同的是清洗段使用純水，純水的是從最后一排噴嘴噴射到玻璃表面，然后回收到水箱，再將回收的低純水從倒數(shù)第二排噴射到玻璃表面，依次類推。用于實(shí)際的大規(guī)模生產(chǎn)鍍膜玻璃的生產(chǎn)線一般都使用風(fēng)刀進(jìn)行干燥玻璃基片表面。它利用壓縮空氣經(jīng)過(guò)狹縫噴嘴吹到濕玻璃表面上，從狹縫吹出來(lái)的風(fēng)象刀刃一樣，可以立即將玻璃基片表面的水膜分離開(kāi)并使其霧化，最后隨著空氣一起排出去。壓縮空氣必須要非常清潔，也就是說(shuō)它必須經(jīng)過(guò)特殊的過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾。風(fēng)刀干燥具有很多優(yōu)點(diǎn)；即

12、可以快速去除水膜還能保持玻璃基片一直處于低溫狀態(tài)。這就降低了析出效應(yīng)，而且清潔過(guò)的玻璃上析出材料形成的點(diǎn)或者條紋也會(huì)下降到最低。風(fēng)刀的角度和風(fēng)刀口的大小一般都是固定的，不能輕易更改，所以在保養(yǎng)維護(hù)時(shí)就不能輕易拆卸，而風(fēng)刀內(nèi)部始終會(huì)臟，導(dǎo)致玻璃在干燥時(shí)受到污染，保養(yǎng)維護(hù)時(shí)清潔風(fēng)刀顯得非常重要，并且具有一定的難度。4、 鍍膜原理這里所說(shuō)的鍍膜主要指真空磁控濺射鍍膜，其他的不作介紹。總體來(lái)說(shuō)，濺射鍍膜利用2個(gè)原理：輝光放電、連續(xù)撞擊。濺射過(guò)程是建立在氣體放電基礎(chǔ)上的，這種放電是在低氣壓下開(kāi)始的，它會(huì)與鍍膜材料（靶）相互作用，在這個(gè)過(guò)程中，離子不斷的撞擊靶表面，靶材從靶表面被轟擊下來(lái)然后在靶附近的基片

13、（玻璃）上沉積下來(lái)，凝結(jié)成一層膜。當(dāng)氣體通入真空室后，氣體在低氣壓高電壓的情況下迅速電離，ar原子電離為ar+和e-，帶正電的ar+離子在電場(chǎng)的作用下向陰極運(yùn)動(dòng)，最終撞擊靶材，能量傳遞給靶材，當(dāng)較多的ar+離子撞擊靶材，靶材表面原子所受到的撞擊力大于靶材內(nèi)部應(yīng)力時(shí)，靶表面原子就從靶表面析出。帶負(fù)電的電子e-在電場(chǎng)作用下向帶正電的陽(yáng)極運(yùn)動(dòng)，而陰極上是裝有磁體的，真空室內(nèi)同時(shí)具有磁場(chǎng)，電子在電磁場(chǎng)的作用下作圓周運(yùn)動(dòng)，而真空室內(nèi)步斷的在補(bǔ)充氣體，電子會(huì)撞擊補(bǔ)充的氣體分子，加速氣體分子的電離，電子撞擊氣體分子后能量減小，運(yùn)動(dòng)半徑減小，多次撞擊后能量消失，故電子的運(yùn)動(dòng)軌跡是螺旋形。常見(jiàn)的濺射有兩種：不反

14、應(yīng)濺射和反應(yīng)濺射。不反應(yīng)濺射指濺射氣體和鍍膜材料之間不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。因此不反應(yīng)濺射所使用的氣體為惰性氣體，一般使用ar，我們把a(bǔ)r叫工作氣體。不反應(yīng)濺射一般都用在鍍金屬膜層上，一般都使用平面靶。反應(yīng)濺射就是在反應(yīng)氣體環(huán)境中鍍膜，由于濺射過(guò)程中靶材會(huì)與濺射氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，所以它與不反應(yīng)濺射之間存在差異。反應(yīng)濺射一般沉積不導(dǎo)電的膜層，例如：snox，znox，siox，sinx等。在反應(yīng)濺射系統(tǒng)中，一般都加入ar加速反應(yīng)速度，即提高濺射速率，ar的電離速度明顯大于氧氣和氮?dú)猓?種常用的反應(yīng)氣體）。反應(yīng)濺射過(guò)程種，靶表面逐漸形成一層氧化膜或者氮化膜，靶表面濺射速率會(huì)下降，最終趨于恒定。在反應(yīng)濺射氣

15、氛中，加入工作氣體越多，濺射速率越高，當(dāng)加入的工作氣體過(guò)多時(shí)，反應(yīng)氣體來(lái)不急將所有濺射出來(lái)的原子反應(yīng)掉，膜層內(nèi)就會(huì)含有金屬，我們把這種狀態(tài)叫翻轉(zhuǎn)。在日常生產(chǎn)過(guò)程中，我們需要高的濺射速率，減小使用功率和靶材使用數(shù)量，但不能翻轉(zhuǎn)。在反應(yīng)濺射過(guò)程中，無(wú)論翻轉(zhuǎn)與正常狀態(tài)，靶的濺射速率都沒(méi)有不反應(yīng)濺射速率高。在不反應(yīng)濺射中，導(dǎo)電性能越好的材料，濺射速率越高。為了比較不同設(shè)備上相同材料的濺射速率，或者相同設(shè)備不同材料的濺射速率，我們引入動(dòng)態(tài)濺射工藝中的一個(gè)重要參數(shù)；動(dòng)態(tài)沉積速率。動(dòng)態(tài)沉積速率是指對(duì)于給定的陰極和濺射條件，當(dāng)陰極和基片之間以1m/min的速度相對(duì)移動(dòng)時(shí)所得到的膜層厚度。假定陰極表面為一個(gè)平面

16、，而且在陰極整體上的濺射是均勻的，那么動(dòng)態(tài)沉積速率rdyn可以用下面的公式表示： rdyn=rd*b/vrd指靜態(tài)沉積速率，給定的材料的靜態(tài)沉積速率是一定的，b指陰極寬度，v是指基片和濺射源之間的相對(duì)位移速度。也就是說(shuō)，在濺射氣氛相同的情況下，靶材的濺射速率和陰極的尺寸有關(guān)系，和傳動(dòng)速度有關(guān)系，與其他因素沒(méi)有關(guān)系。5、 鍍膜設(shè)備目前的鍍膜設(shè)備，就天津南玻的鍍膜設(shè)備來(lái)說(shuō)，生產(chǎn)線由以下幾個(gè)部分組成：l 裝載大板原片的裝片臺(tái)l 裝載小規(guī)格基片的裝片臺(tái)l 前清洗機(jī)l 清洗后的觀察臺(tái)l 鍍膜主體l 鍍膜后的光學(xué)性能檢測(cè)l 檢驗(yàn)臺(tái)l 大板玻璃卸片臺(tái)l 小玻璃卸片臺(tái)對(duì)于鍍膜主體部分，大致上可以分為三部分：進(jìn)

17、口部分，鍍膜腔室，出口部分。進(jìn)口同樣分三部分：進(jìn)口鎖室，它的入口和出口都用狹縫閥緊密密封起來(lái)，當(dāng)進(jìn)口鎖室在大氣狀態(tài)下時(shí)，狹縫閥打開(kāi)，玻璃進(jìn)入進(jìn)口鎖室，關(guān)閉狹縫閥，開(kāi)始抽氣，抽到大約10-2mbar時(shí)，進(jìn)口鎖室出口門打開(kāi)，玻璃進(jìn)入進(jìn)口保持室，關(guān)閉進(jìn)口鎖室出口的閥門，進(jìn)口緩保持室開(kāi)始抽氣，抽到大約10-4mbar的時(shí)候，進(jìn)口保持室出口閥門開(kāi)啟，玻璃進(jìn)入進(jìn)口緩沖室。進(jìn)口緩沖室和鍍膜主腔室之間不再有閥門，這個(gè)室主要作用是利用同步電機(jī)改變玻璃傳送速度，使玻璃能連續(xù)不斷的在鍍膜腔室內(nèi)進(jìn)行鍍膜。出口部分是進(jìn)口部分的反過(guò)程。鍍膜主體內(nèi)，主要是陰極。陰極分為平面陰極和旋轉(zhuǎn)陰極,平面陰極又分平面雙陰極和平面單陰極

18、,旋轉(zhuǎn)陰極又分直流旋轉(zhuǎn)陰極和交流旋轉(zhuǎn)陰極.目前市面上使用最多的是平面單陰極和交流旋轉(zhuǎn)陰極.平面陰極一般使用直流電源，陰極結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，常用于不反應(yīng)濺射，靶材消耗高，一般利用率為30%，交流陰極使用交流電源，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，主要是在動(dòng)密封上，用于反應(yīng)濺射較多，靶材利用率高，大約為80%。由于每個(gè)陰極上都有磁場(chǎng)，為了得到均勻的膜層，必須保證磁場(chǎng)強(qiáng)度在陰極方向上盡可能的一致，所以就必須將磁場(chǎng)強(qiáng)度匹配起來(lái)，磁場(chǎng)強(qiáng)度應(yīng)該控制在1%以內(nèi)。平面陰極的磁場(chǎng)都是由小塊磁鐵來(lái)做的，利用積分的原理來(lái)細(xì)化磁鐵組合，保證磁場(chǎng)穩(wěn)定性。陰極在工作時(shí)必須進(jìn)行冷卻，靶材同傳熱性好的石墨紙連接，石墨紙?jiān)偻鋮s銅管連接，銅管內(nèi)通入冷卻水，確

19、保陰極溫度。平面陰極靶材為磚頭形，濺射時(shí)消耗靶材中部較大，在整個(gè)靶材表面形成橢圓形槽，靶材本身材質(zhì)的均勻性對(duì)膜層均勻性影響較大。平面陰極一般使用直流方波電，靶材始終處于負(fù)電位，陽(yáng)極處于0電位，在陽(yáng)極和靶材之間形成電壓差，使氣體分子進(jìn)行電離。交流旋轉(zhuǎn)陰極是通過(guò)電路板對(duì)高壓電進(jìn)行變頻，再加在陰極上的，旋轉(zhuǎn)陰極電源頻率大約為50hz。利用交流電的正鉉波，當(dāng)一個(gè)靶筒上帶正電時(shí)，另一個(gè)靶筒帶負(fù)電，在兩個(gè)靶筒之間產(chǎn)生電壓差，形成電場(chǎng)，使氣體分子電離。旋轉(zhuǎn)陰極的磁場(chǎng)處于靶材內(nèi)部的不銹鋼筒內(nèi)，有獨(dú)立的支撐，使磁鋼和不銹鋼筒分離開(kāi)，磁鋼上磁場(chǎng)可以進(jìn)行調(diào)節(jié)。磁鋼上磁場(chǎng)的調(diào)節(jié)是通過(guò)調(diào)整磁鋼墊片來(lái)實(shí)現(xiàn)的，當(dāng)加入磁鋼墊

20、片，磁鋼距離玻璃的距離減小，磁場(chǎng)強(qiáng)度增加，濺射率升高，同樣濺射氣氛下，膜厚增加，顏色發(fā)生變化。旋轉(zhuǎn)陰極的冷卻水同樣通在靶材內(nèi)部的不銹鋼筒內(nèi)，由于磁鋼的支撐塊的阻擋，冷卻水在旋轉(zhuǎn)陰極流動(dòng)呈螺旋形，使冷卻水流動(dòng)速度減慢，冷卻效果更好。旋轉(zhuǎn)陰極的旋轉(zhuǎn)速度越快，外部負(fù)荷越大，電機(jī)發(fā)熱越大，電機(jī)更容易跳，但膜層均勻性越好。一般出廠的旋轉(zhuǎn)速度在040轉(zhuǎn)/min之間，常用在1520轉(zhuǎn)/min。旋轉(zhuǎn)靶使用功率要高于平面靶，一般都可以輸出110kw左右，但不同的靶材所能承受的功率是不一樣的，例如：sn靶的熔點(diǎn)低，在使用超過(guò)60kw時(shí)，靶材發(fā)熱很大，靶材容易熔化，故sn靶的使用功率一般不超過(guò)60kw。所有的陰極都

21、是在真空狀態(tài)下進(jìn)行工作的，要使鍍膜主體達(dá)到陰極工作要求就必須對(duì)鍍膜線進(jìn)行抽真空。抽真空的設(shè)備有：螺桿泵，蘿茨泵，分子泵（擴(kuò)散泵）。螺桿泵是抽氣速率非常大的設(shè)備，在大氣下可直接進(jìn)行抽氣，而蘿茨泵利用葉片高速旋轉(zhuǎn)對(duì)空氣進(jìn)行壓縮，本身不能抽氣，在大氣下不能直接開(kāi)啟，和螺桿泵配套使用。分子泵只有在高真空狀態(tài)下才能開(kāi)啟，分子泵最下端為斜形葉片，當(dāng)分子撞擊到葉片上，分子向分子泵出口運(yùn)動(dòng)，分子泵內(nèi)部安裝有高速旋轉(zhuǎn)葉片，將分子帶到出口抽出真空室。真空室內(nèi)有各種儀表:pg表,測(cè)量粗真空,測(cè)量范圍在大氣壓到1.0*10-4mbar,測(cè)量范圍廣,測(cè)量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性不好,cg表測(cè)量精確真空度,測(cè)量范圍在1.0*10-2m

22、bar1.0*10-3mbar,主要用于陰極工作時(shí),ig表測(cè)量高真空度,測(cè)量范圍在1.0*10-31.0*10-6mbar之間,主要用于測(cè)量本底真空度.三、 光學(xué)1、 光譜分布在整個(gè)電磁波譜中，能引起人眼視覺(jué)的只是一小部分（可見(jiàn)光），與玻璃光熱性能相關(guān)的也只是其中的一小部分。根據(jù)前人實(shí)驗(yàn)研究，一般將此段光譜按如下方式劃分 l (mm )0.05mm0.400.762.010500紫外可見(jiàn)近紅外中紅外遠(yuǎn)紅外紅外紫外光譜：20nm400nm可見(jiàn)光譜：380nm780nm太陽(yáng)光譜：300nm1800nm（有的資料介紹：300nm2500nm）近紅外光譜：750nm2500nm中遠(yuǎn)紅外光譜：2.5um

23、500um太陽(yáng)光中的熱量主要集中在近紅外光譜范圍內(nèi)，一般占太陽(yáng)光能量的70%以上。而一般物體在吸收太陽(yáng)光能以后，將以遠(yuǎn)紅外線的形式將熱量散發(fā)出來(lái)。2、 光源與標(biāo)準(zhǔn)照明體光源是指能發(fā)光的物理輻射體，其發(fā)出的光是由單色光組成的復(fù)色光，不同光源的光譜分布是不一樣的。照明體是指特定的光譜分布，這不一定能用一個(gè)具體的光源來(lái)實(shí)現(xiàn)。國(guó)際照明委員會(huì)cie推薦的標(biāo)準(zhǔn)照明體有a、b、c、d、e幾種，照明體d代表各時(shí)相日光的相對(duì)光譜功率分布，也叫典型日光或重組日光。cie優(yōu)先推薦d55、d65、d75的相對(duì)光譜功率分布作為代表日光的標(biāo)準(zhǔn)照明體，并建議盡可能應(yīng)用d65代表日光，d65光譜分布相當(dāng)于相關(guān)色溫6500k的

24、d標(biāo)準(zhǔn)照明體。3、 光的反射與透射、吸收光射到物體上，會(huì)發(fā)生反射、透射和吸收現(xiàn)象。透射分為漫透射和正透射，漫透射是光穿過(guò)物體時(shí)光線將會(huì)發(fā)散后透過(guò)物體，而正透射則是光穿過(guò)物體時(shí)不會(huì)發(fā)散。反射分漫反射和鏡面反射，漫反射是物體反射一束光時(shí)光線將會(huì)發(fā)散，而鏡面反射則嚴(yán)格遵守幾何光學(xué)的定義。一般我們測(cè)量玻璃時(shí)，主要測(cè)量玻璃的正透射和鏡面反射，玻璃的漫反射分量非常小，一般可以不計(jì)。low-e鍍膜玻璃在日光照射下呈現(xiàn)出彩色的現(xiàn)象，是因?yàn)槿展庹丈涞絣ow-e鍍膜玻璃表面上，經(jīng)low-e玻璃膜層上下表面分別反射的光波疊加而產(chǎn)生干涉的現(xiàn)象。光的干涉：光的干涉現(xiàn)象的產(chǎn)生，是因?yàn)閮墒蚨嗍獠ǖ寞B加。兩束光波產(chǎn)生相干

25、涉必須滿足下列條件。a) 兩束光波的頻率必須相同；b) 在相遇點(diǎn)兩束光波有固定不變的位相差；c) 在相遇點(diǎn)兩束光波振動(dòng)矢量不應(yīng)相互垂直；d) 兩束光波的振幅不要相差太大，否則光涉不明顯。干涉產(chǎn)生原理：設(shè)有一頻率為的單色光，在真空中波長(zhǎng)為在折射率為的介質(zhì)中，波長(zhǎng)變?yōu)閚=/；如果光波在介質(zhì)中傳播的幾何路程為l，則相位的變化是：公式表明：光在介質(zhì)中傳播時(shí),其相位的變化不僅與光波傳播的幾何路程和光波在真空中的波長(zhǎng)有關(guān)外，還與介質(zhì)的折射率有關(guān)光程：光程在數(shù)值上等于在相同時(shí)間內(nèi)光在真空中所通過(guò)的路程。則在介質(zhì)中的光程等于介質(zhì)折射率n和光在介質(zhì)中幾何路程l的乘積nl。光程差：從同一點(diǎn)光源發(fā)出的兩束相干光，各

26、自通過(guò)不同的介質(zhì)和路徑后，在空間某點(diǎn)相遇時(shí),它們的光程之差。光程差與相位差的關(guān)系： 干涉加強(qiáng)、減弱條件：加強(qiáng)減弱 透鏡不引起附加的光程差通過(guò)光軸的光線波程最短，但在透鏡中的光程長(zhǎng)；遠(yuǎn)離光軸的光線波程長(zhǎng)，但在透鏡中的光程短?？偟膩?lái)講，各條光線的光程都是相同的薄膜干涉:單色光以入射角 i 從折射率為 n1媒質(zhì) 進(jìn)入折射率為 n2 的媒質(zhì)。在薄膜的上下兩表面產(chǎn)生的反射光 . 光、光，滿足相干光的條件，能產(chǎn)生干涉，經(jīng)透鏡匯聚，在焦平面上產(chǎn)生干涉條紋。從焦點(diǎn)p到cd波面，兩條光的光程差為0，則在未考慮半波損失時(shí)光、光的光程差為：由折射定律顯然未考慮半波損失時(shí)有：實(shí)際情況下：當(dāng)n1n2n2n3(簡(jiǎn)稱薄膜處

27、在“中”環(huán)境)時(shí)，由于在兩個(gè)介面上反射都有半波損失，半波損失對(duì)光程差就沒(méi)有影響。當(dāng) n1n3和n1n20.008856)a*=500(x/xn)1/3-(y/yn)1/3 (x/xn0.008856)b*=200(y/yn)1/3-(z/zn)1/3 (z/zn0.008856)e*ab=(l*)2+(a*)2+(b*)21/2式中：xyz為樣品的三刺激值；xn、yn、zn為在標(biāo)準(zhǔn)照明體照射下，完全漫反射體的三刺激值；我們常使用的是x10、y10、z10，即10度視場(chǎng)下完全漫反射體的三刺激值；l*為米制明度，大小在0100之間；a*b*為米制色品，a*軸為紅綠軸，正為紅，負(fù)為綠，b*軸為黃藍(lán)軸

28、，正為黃，負(fù)為藍(lán)；e*ab為在l*a*b*均勻色空間中兩顏色之間的色差；在最優(yōu)條件下人眼剛可察覺(jué)到的色差大約為0.2，一般情況下人眼的色差感覺(jué)值可見(jiàn)下表。 色差 色差的感覺(jué)值 00.5 痕 跡 0.51.5 輕 微 1.53 可覺(jué)察 3.06.0 可識(shí)別 6.012.0 大 12.0以上 非常大5、 顏色的測(cè)量測(cè)量幾何條件：在顏色測(cè)量過(guò)程中，光源照明和探測(cè)器收集光能的幾何條件不一致，將會(huì)贊成測(cè)量結(jié)果的差異。為此，cie規(guī)定了統(tǒng)一的幾何條件。透射：測(cè)量樣品透射時(shí)，采用對(duì)樣品表面垂直方向照明，透射方向探測(cè)。照明光束的光軸與樣品表面法線的夾角不超過(guò)10。exsitu、cqxe均是采用的這種方法測(cè)量玻

29、璃透過(guò)色。反射：測(cè)量樣品反射時(shí)，cie推薦了四種測(cè)色的標(biāo)準(zhǔn)照明和觀察條件。e) 垂直/45（縮寫0/45）：樣品被一束光照明，照明光束的光軸與樣品表面法線的夾角不超過(guò)10。在與樣品表面法線成455的方向觀測(cè)。f) 45/垂直（縮寫45/0）：樣品被一束或多束光照明，照明光束的光軸與樣品表面法線成455。觀測(cè)方向與樣品表面法線的夾角不超過(guò)10。g) 垂直/漫射（縮寫0/d）：樣品被一束光照明，照明光束的光軸和樣品法線之間的夾角不超過(guò)10。用積分球收集樣品的反射光通量。積分球內(nèi)表面涂有反射率極高的baso4或spectralon材料，其開(kāi)孔的總面積不應(yīng)超過(guò)積分球內(nèi)反射表面總面積的10%。h) 漫射

30、/垂直（縮寫d /0）：用積分球漫射照明樣品，樣品的法線和觀測(cè)光軸之間的夾角不應(yīng)超過(guò)10。對(duì)積分球要求同c。分光光度計(jì)cqxe測(cè)量反射時(shí)所采用的d/8就是采用的這種方法，d/8表示漫射照明樣品，在與樣品法線方向夾角成8的方向觀察。手提測(cè)色儀miniscan的照明觀測(cè)幾何條件也是采用的d/8方法。測(cè)量?jī)x器：根據(jù)cie標(biāo)準(zhǔn)色度系統(tǒng)，我們可以通過(guò)對(duì)物體顏色三刺激值的測(cè)量來(lái)確定顏色。由于獲得三刺激的方式不同，測(cè)色儀器可以分三類：分光測(cè)色儀器（分光光度計(jì)）、色度計(jì)和彩色密度計(jì)。我公司使用的ex_situ、cqxe屬于分光光度計(jì)，miniscan屬于色度計(jì)，兩都的區(qū)別在于：分光光度計(jì)是測(cè)量物體的光譜反射或

31、光譜透射特性，然后選用cie推薦的標(biāo)準(zhǔn)照明體光譜和標(biāo)準(zhǔn)觀察者光譜，通過(guò)積分計(jì)算求得物體的三刺激值；而色度計(jì)是通過(guò)模擬顏色匹配（參見(jiàn)光混合匹配實(shí)驗(yàn)）的方式來(lái)獲得物體的三刺激值。分光光度計(jì)一般由照明光源、單色器、光度計(jì)量部分、輸出裝置等組成。光源：要求在儀器工作的整個(gè)光譜范圍內(nèi)發(fā)出連續(xù)的光輻射（連續(xù)光譜），并且有足夠的強(qiáng)度，使探測(cè)元件有足夠的信噪比。單色器：能輸出不同波長(zhǎng)單色光的裝置叫單色器，是分光光度中最主要的部分，分光光度計(jì)的測(cè)量精度、準(zhǔn)確度都與它有關(guān)。單色器一般有棱鏡或光柵、濾光片、可調(diào)諧激光單色器，其中棱鏡或光柵的單色性最好，價(jià)格高。6、 光熱學(xué)名詞解釋：可見(jiàn)光透射比：在可見(jiàn)光譜38078

32、0nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)，透過(guò)玻璃光強(qiáng)度與入射玻璃光強(qiáng)度的百分比?？梢?jiàn)光反射比：在可見(jiàn)光譜380780nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)，玻璃表面反射光強(qiáng)度與入射玻璃光強(qiáng)度的百分比。太陽(yáng)能透射比：在太陽(yáng)光譜3002500nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)，透過(guò)玻璃的紫外光、可見(jiàn)光和近紅外光總能量的百分比。太陽(yáng)能反射比：在太陽(yáng)光譜3002500nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)，玻璃表面的紫外光、可見(jiàn)光和近紅外光總能量的百分比。遮陽(yáng)系數(shù)sc：指在相同條件下，太陽(yáng)輻射能量通過(guò)玻璃的熱量與通過(guò)3mm透明玻璃的熱量之比，遮陽(yáng)系數(shù)越小，阻擋光直接輻射的性能越好。傳熱系數(shù)u或k值：指物體兩側(cè)溫度相差1時(shí)，在單位面積內(nèi)通過(guò)物體所傳遞的熱量。其值與測(cè)試條件有關(guān)，同一種玻璃在不同測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)條件下，其傳熱系數(shù)的值是不同的。目前國(guó)際上有三種標(biāo)準(zhǔn)，分別為美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)、歐洲標(biāo)準(zhǔn)、中國(guó)標(biāo)