FAB環(huán)境及品質(zhì)觀念

1、 FABFAB環(huán)境及品質(zhì)觀念環(huán)境及品質(zhì)觀念品質(zhì)部品質(zhì)部李凌清李凌清培訓(xùn)目的培訓(xùn)目的： 因?yàn)槲覀児旧a(chǎn)平面光波導(dǎo)集成光路器件產(chǎn)因?yàn)槲覀児旧a(chǎn)平面光波導(dǎo)集成光路器件產(chǎn)品，這對(duì)品，這對(duì)FABFAB環(huán)境及工藝制程有特殊要求環(huán)境及工藝制程有特殊要求, ,所以品質(zhì)所以品質(zhì)部為確保其品質(zhì)部為確保其品質(zhì), ,特制定了特制定了潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)操作潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)操作規(guī)范規(guī)范、預(yù)防預(yù)防FABFAB環(huán)境污染規(guī)范環(huán)境污染規(guī)范等規(guī)范，目的等規(guī)范，目的是讓各位養(yǎng)成優(yōu)良的品質(zhì)觀念！是讓各位養(yǎng)成優(yōu)良的品質(zhì)觀念！ 簡(jiǎn)單地說(shuō)：為確保潔凈室良好的工作環(huán)境、符簡(jiǎn)單地說(shuō)：為確保潔凈室良好的工作環(huán)境、符合半導(dǎo)體制程的要求，確保產(chǎn)品品質(zhì)！

2、望大家遵守合半導(dǎo)體制程的要求，確保產(chǎn)品品質(zhì)！望大家遵守好相關(guān)規(guī)范要求。好相關(guān)規(guī)范要求。 1、潔凈室塵埃等級(jí)的規(guī)定、潔凈室塵埃等級(jí)的規(guī)定 一、一、FAB潔凈室環(huán)境要求潔凈室環(huán)境要求 2 2、潔凈室溫濕度控制范圍潔凈室溫濕度控制范圍 3 3、噪音控制范圍、噪音控制范圍 二、怎樣預(yù)防二、怎樣預(yù)防FABFAB內(nèi)環(huán)境污染內(nèi)環(huán)境污染1 1、衛(wèi)生打掃區(qū)域規(guī)定衛(wèi)生打掃區(qū)域規(guī)定 附：2 2、清潔方式、清潔周期和時(shí)間，以及清潔的特殊方式、清潔方式、清潔周期和時(shí)間，以及清潔的特殊方式 規(guī)定規(guī)定：A A 清潔用清潔用無(wú)塵布無(wú)塵布使用規(guī)定使用規(guī)定（1 1）操作間使用操作間使用1010級(jí)級(jí)無(wú)塵布做清潔。無(wú)塵布做清潔。（2

3、 2）灰區(qū)使用灰區(qū)使用100100級(jí)級(jí)無(wú)塵布做清潔。無(wú)塵布做清潔。3 3 、晶舟盒檢查規(guī)定、晶舟盒檢查規(guī)定（1 1）制造部依照）制造部依照晶舟清洗工藝標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)規(guī)范晶舟清洗工藝標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)規(guī)范進(jìn)行清洗，進(jìn)行清洗，QAQA對(duì)晶舟衛(wèi)生每月進(jìn)行不定期檢查。對(duì)晶舟衛(wèi)生每月進(jìn)行不定期檢查。凡有肉眼可見(jiàn)顆粒凡有肉眼可見(jiàn)顆粒和臟污為不合格晶舟盒和臟污為不合格晶舟盒，QAQA應(yīng)立即通知制造部或品質(zhì)部應(yīng)立即通知制造部或品質(zhì)部班長(zhǎng)，需將晶片置放于干凈晶舟盒并對(duì)不合格晶舟盒安班長(zhǎng)，需將晶片置放于干凈晶舟盒并對(duì)不合格晶舟盒安排清潔，排清潔，QAQA負(fù)責(zé)進(jìn)行跟進(jìn)。負(fù)責(zé)進(jìn)行跟進(jìn)。4 4、衛(wèi)生檢查規(guī)定、衛(wèi)生檢查規(guī)定（1 1） 各

4、區(qū)域班長(zhǎng)在各區(qū)域班長(zhǎng)在每次交接班后每次交接班后首先進(jìn)行衛(wèi)生檢查。首先進(jìn)行衛(wèi)生檢查。（2 2） QAQA采用采用隨機(jī)抽樣隨機(jī)抽樣的方式，的方式，使用無(wú)塵紙擦拭潔凈室內(nèi)所使用無(wú)塵紙擦拭潔凈室內(nèi)所 有物品時(shí)，應(yīng)無(wú)肉眼可見(jiàn)顆粒和臟污。有物品時(shí)，應(yīng)無(wú)肉眼可見(jiàn)顆粒和臟污。5 5、 ParticleParticle測(cè)試規(guī)定測(cè)試規(guī)定（1 1） QAQA對(duì)對(duì)FABFAB內(nèi)大環(huán)境、工作臺(tái)、貨架等處進(jìn)行內(nèi)大環(huán)境、工作臺(tái)、貨架等處進(jìn)行ParticleParticle測(cè)測(cè)試監(jiān)控，其測(cè)試數(shù)據(jù)應(yīng)符合潔凈室環(huán)境監(jiān)控操作規(guī)范試監(jiān)控，其測(cè)試數(shù)據(jù)應(yīng)符合潔凈室環(huán)境監(jiān)控操作規(guī)范的相關(guān)規(guī)定。當(dāng)?shù)南嚓P(guān)規(guī)定。當(dāng) ParticlePartic

5、le測(cè)定超出規(guī)格時(shí)，測(cè)定超出規(guī)格時(shí)，QAQA開(kāi)立潔凈開(kāi)立潔凈室環(huán)境異常室環(huán)境異常OCAP記錄記錄 通知相關(guān)人員，申請(qǐng)通知相關(guān)人員，申請(qǐng)STOPSTOP改善改善處理！處理！6 6、衛(wèi)生檢查不合格的處理、衛(wèi)生檢查不合格的處理（1 1）當(dāng)）當(dāng)QAQA檢查衛(wèi)生不符合規(guī)定要求、或未按規(guī)定方式進(jìn)行清檢查衛(wèi)生不符合規(guī)定要求、或未按規(guī)定方式進(jìn)行清潔時(shí)，立即提出重新打掃的要求。潔時(shí)，立即提出重新打掃的要求。（2 2）潔凈室衛(wèi)生不合格責(zé)任人）潔凈室衛(wèi)生不合格責(zé)任人應(yīng)在半小時(shí)內(nèi)完成衛(wèi)生改善工應(yīng)在半小時(shí)內(nèi)完成衛(wèi)生改善工作作，QAQA在半小時(shí)之后按照原標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行檢查，不合格時(shí)依照在半小時(shí)之后按照原標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行檢查，不合格時(shí)依

6、照相應(yīng)相應(yīng)SOPSOP執(zhí)行，執(zhí)行，直至衛(wèi)生檢查合格為止直至衛(wèi)生檢查合格為止。7 7、潔凈室不能帶入之物品的規(guī)定、潔凈室不能帶入之物品的規(guī)定（1 1）表面不干凈的，生銹的工具或材料。如：內(nèi)六角斑手）表面不干凈的，生銹的工具或材料。如：內(nèi)六角斑手 材質(zhì)易掉鐵屑、有毛邊等不良時(shí)，切勿帶入材質(zhì)易掉鐵屑、有毛邊等不良時(shí)，切勿帶入FABFAB內(nèi)。內(nèi)。（2 2）表面油漆剝落的物品。）表面油漆剝落的物品。（3 3）毛線，絨線等易掉纖維物品。）毛線，絨線等易掉纖維物品。（4 4）木制，竹制物品。）木制，竹制物品。（5 5）不明液體。）不明液體。（6 6）施工用的電器需要有公安標(biāo)識(shí)。）施工用的電器需要有公安標(biāo)識(shí)。

7、（7 7）有揮發(fā)性材料（如膠水、油漆、涂料等）搬入）有揮發(fā)性材料（如膠水、油漆、涂料等）搬入 FAB FAB 施工需填寫(xiě)化學(xué)物質(zhì)使用申請(qǐng)單，并拿揮發(fā)量參數(shù)的施工需填寫(xiě)化學(xué)物質(zhì)使用申請(qǐng)單，并拿揮發(fā)量參數(shù)的 證明材料經(jīng)證明材料經(jīng) QRA QRA 計(jì)算核可后方可搬入。計(jì)算核可后方可搬入。三、潔凈室特別管制要求三、潔凈室特別管制要求1 1、進(jìn)、進(jìn)FAB FAB 潔凈室時(shí)須知潔凈室時(shí)須知進(jìn)入潔凈室人員必須進(jìn)入潔凈室人員必須具備有維持高潔凈度具備有維持高潔凈度標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)的品質(zhì)觀念品質(zhì)觀念。嚴(yán)禁穿毛線外套人員進(jìn)入潔凈室、更衣室嚴(yán)禁穿毛線外套人員進(jìn)入潔凈室、更衣室。毛線外套毛線外套特指：特指： A A、長(zhǎng)毛線

8、或易脫落毛線外套長(zhǎng)毛線或易脫落毛線外套 B B、化纖易帶靜電毛線外套化纖易帶靜電毛線外套2 2、穿戴潔凈服注意事項(xiàng)、穿戴潔凈服注意事項(xiàng)配戴口罩時(shí)配戴口罩時(shí)，要將兩邊帶子掛到耳朵上，并，要將兩邊帶子掛到耳朵上，并將上下兩邊拉伸將上下兩邊拉伸遮住口鼻部位遮住口鼻部位。頭罩頭罩要將要將頭發(fā)全部罩住頭發(fā)全部罩住，不能將頭發(fā)露在外面不能將頭發(fā)露在外面。 戴潔凈帽戴潔凈帽時(shí)要將帽子的時(shí)要將帽子的尾端完全放入潔凈衣內(nèi)尾端完全放入潔凈衣內(nèi)，再將衣服拉，再將衣服拉鏈拉好、扣上扣子。鏈拉好、扣上扣子。 潔凈鞋潔凈鞋要將鞋邊的要將鞋邊的護(hù)套向上套在潔凈褲外且拉直護(hù)套向上套在潔凈褲外且拉直。 戴手套戴手套時(shí)衣服時(shí)衣服

9、袖口要壓住手套口袖口要壓住手套口，不能將皮膚裸露在外不能將皮膚裸露在外。 潔凈服不得拖（丟）在地上潔凈服不得拖（丟）在地上。 嚴(yán)禁不吹塵或吹塵時(shí)間不夠嚴(yán)禁不吹塵或吹塵時(shí)間不夠；吹風(fēng)時(shí)雙手舉起吹風(fēng)時(shí)雙手舉起且身體不停轉(zhuǎn)且身體不停轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)。 若以上注意事項(xiàng)沒(méi)做好，則若以上注意事項(xiàng)沒(méi)做好，則FABFAB潔凈室環(huán)境易污染！產(chǎn)潔凈室環(huán)境易污染！產(chǎn)品質(zhì)量難于保證！品質(zhì)量難于保證！ 3 3、出潔凈室注意事項(xiàng)出潔凈室注意事項(xiàng) 手套、口罩屬一次性用品，取下后應(yīng)立即報(bào)廢手套、口罩屬一次性用品，取下后應(yīng)立即報(bào)廢。 廢棄的口罩、手套及頭罩應(yīng)立即放進(jìn)垃圾桶內(nèi)，嚴(yán)禁亂扔廢棄的口罩、手套及頭罩應(yīng)立即放進(jìn)垃圾桶內(nèi)，嚴(yán)禁亂扔。

10、頭罩放入潔凈帽內(nèi)，帽子要放進(jìn)衣領(lǐng)內(nèi)衣架上，潔凈服掛頭罩放入潔凈帽內(nèi)，帽子要放進(jìn)衣領(lǐng)內(nèi)衣架上，潔凈服掛 放時(shí)將拉鏈拉好，按規(guī)定區(qū)域掛整齊。放時(shí)將拉鏈拉好，按規(guī)定區(qū)域掛整齊。 放時(shí)將拉鏈拉好，按規(guī)定區(qū)域掛整齊放時(shí)將拉鏈拉好，按規(guī)定區(qū)域掛整齊。 脫下潔凈鞋后，將潔凈鞋正方向（或鞋底對(duì)齊側(cè)方向）鞋脫下潔凈鞋后，將潔凈鞋正方向（或鞋底對(duì)齊側(cè)方向）鞋尖朝內(nèi)，鞋跟在外，靠攏并齊放入更衣室指定的鞋柜內(nèi)，尖朝內(nèi)，鞋跟在外，靠攏并齊放入更衣室指定的鞋柜內(nèi)，護(hù)套不得壓在鞋底下面避免臟污護(hù)套不得壓在鞋底下面避免臟污。 4、潔凈室通用行為規(guī)定潔凈室通用行為規(guī)定 注意個(gè)人衛(wèi)生時(shí)常保持潔凈，帶有濃烈體味者將被拒絕進(jìn)入潔凈注

11、意個(gè)人衛(wèi)生時(shí)常保持潔凈，帶有濃烈體味者將被拒絕進(jìn)入潔凈室室。 剛做完劇烈運(yùn)動(dòng)、流汗者嚴(yán)禁進(jìn)入潔凈室剛做完劇烈運(yùn)動(dòng)、流汗者嚴(yán)禁進(jìn)入潔凈室。 吸煙后半小時(shí)內(nèi)不允許進(jìn)入潔凈室吸煙后半小時(shí)內(nèi)不允許進(jìn)入潔凈室。 開(kāi)關(guān)門(mén)時(shí)要輕，避免引起較大震動(dòng)。嚴(yán)禁在操作區(qū)域內(nèi)做與操作開(kāi)關(guān)門(mén)時(shí)要輕，避免引起較大震動(dòng)。嚴(yán)禁在操作區(qū)域內(nèi)做與操作無(wú)關(guān)的事情無(wú)關(guān)的事情。 嚴(yán)禁將與操作無(wú)關(guān)的任何物品帶入更衣室及潔凈室，更衣室鞋柜嚴(yán)禁將與操作無(wú)關(guān)的任何物品帶入更衣室及潔凈室，更衣室鞋柜除放置潔凈鞋外不允許放置其它任何物品，如水杯、礦泉水瓶、筆除放置潔凈鞋外不允許放置其它任何物品，如水杯、礦泉水瓶、筆記本等記本等。 如產(chǎn)生垃圾應(yīng)立即找

12、到指定位置的垃圾桶，放入其中，并應(yīng)分類(lèi)如產(chǎn)生垃圾應(yīng)立即找到指定位置的垃圾桶，放入其中，并應(yīng)分類(lèi)擺放。嚴(yán)禁將垃圾桶隨意移動(dòng)擺放。嚴(yán)禁將垃圾桶隨意移動(dòng)。 嚴(yán)禁穿著潔凈服和潔凈鞋到更衣室以外的非凈化區(qū)去嚴(yán)禁穿著潔凈服和潔凈鞋到更衣室以外的非凈化區(qū)去。 凡進(jìn)入潔凈室的物品，應(yīng)在污染區(qū)拆包裝，在更衣室擦拭干凈方凡進(jìn)入潔凈室的物品，應(yīng)在污染區(qū)拆包裝，在更衣室擦拭干凈方可進(jìn)入潔凈室可進(jìn)入潔凈室。 所有外套不允許掛于更衣室，進(jìn)入更衣室人員應(yīng)先將外套脫放于所有外套不允許掛于更衣室，進(jìn)入更衣室人員應(yīng)先將外套脫放于辦公室或指定及個(gè)人放置地點(diǎn)辦公室或指定及個(gè)人放置地點(diǎn)。5 5、FABFAB潔凈室操作注意事項(xiàng)潔凈室操作

13、注意事項(xiàng) 嚴(yán)禁用手直接碰觸硅片（無(wú)論有無(wú)戴嚴(yán)禁用手直接碰觸硅片（無(wú)論有無(wú)戴PVC手套），并且不準(zhǔn)在硅片上方手套），并且不準(zhǔn)在硅片上方 活動(dòng)，防止活動(dòng)，防止Particle吹落在硅片上。吹落在硅片上。 操作晶舟時(shí)，為防止污染不準(zhǔn)手拿晶舟內(nèi)緣。操作晶舟時(shí)，為防止污染不準(zhǔn)手拿晶舟內(nèi)緣。 不準(zhǔn)直接用手拿取石英晶舟，應(yīng)使用專(zhuān)門(mén)工具（晶舟叉）。不準(zhǔn)直接用手拿取石英晶舟，應(yīng)使用專(zhuān)門(mén)工具（晶舟叉）。 禁止對(duì)著硅片講話(huà)。禁止對(duì)著硅片講話(huà)。 遞送生產(chǎn)硅片過(guò)程中，必須將晶片放置于傳送晶舟中，并且用手推車(chē)（超遞送生產(chǎn)硅片過(guò)程中，必須將晶片放置于傳送晶舟中，并且用手推車(chē)（超 過(guò)兩盒時(shí)）或提藍(lán)（一至兩盒時(shí)）送到下一站；非

14、生產(chǎn)硅片允許雙手過(guò)兩盒時(shí)）或提藍(lán)（一至兩盒時(shí)）送到下一站；非生產(chǎn)硅片允許雙手 抱一盒硅片。抱一盒硅片。 任何與產(chǎn)品有關(guān)的操作要在潔凈工作臺(tái)上進(jìn)行，操作過(guò)程中及結(jié)束時(shí)應(yīng)任何與產(chǎn)品有關(guān)的操作要在潔凈工作臺(tái)上進(jìn)行，操作過(guò)程中及結(jié)束時(shí)應(yīng) 隨時(shí)對(duì)工作臺(tái)及操作設(shè)備進(jìn)行清潔保養(yǎng)。隨時(shí)對(duì)工作臺(tái)及操作設(shè)備進(jìn)行清潔保養(yǎng)。 設(shè)備人員修機(jī)過(guò)程中，在戴手套操作會(huì)造成危險(xiǎn)時(shí)可以取下手套，但必設(shè)備人員修機(jī)過(guò)程中，在戴手套操作會(huì)造成危險(xiǎn)時(shí)可以取下手套，但必 須及時(shí)戴上并對(duì)設(shè)備進(jìn)行清潔。須及時(shí)戴上并對(duì)設(shè)備進(jìn)行清潔。 設(shè)備維修應(yīng)避免在操作間進(jìn)行，如無(wú)法避免應(yīng)注意不得圍觀、防止阻礙設(shè)備維修應(yīng)避免在操作間進(jìn)行，如無(wú)法避免應(yīng)注意不得圍觀、防止阻礙 交