ESD測試項目操作規(guī)范

1、 程序文件：靜電接地系統(tǒng)操作規(guī)范版 本：A文 件 編 號: XA/QWI/7.5.3/14第 - 13 - 頁 共 13 頁生 效 日 期: 2012-9-11.0 目的:規(guī)范ESD測試項目正確的測量作業(yè)步驟和方法，減少因不同人員測量方法上的差異，而影響實際量 測數(shù)值之精確度。2.0 適用范圍:適用本公司靜電防護區(qū)域所有需測試項目。3.0 定義: 3.1 EPA：Electrostatic discharge Protected Area靜電防護區(qū)域3.2 表面電阻：在一給定的通電時間之后，施加于材料表面上的標準電極之間的直流電壓對于電極之間的電流的比值，在電極上可能的極化現(xiàn)象忽略不計。3.3

2、體積電阻：在一給定的通電時間之后，施加于與一塊材料的相對兩個面上相接觸的兩個引入電極之間的直流電壓對于該兩個電極之間的電流的比值，在該兩個電極上可能的極化現(xiàn)象忽略不計。4.0 權責: 4.1 IQC負責靜電敏感組件來料包材及自購料輔助材料之入廠檢測項目；4.2行政科負責設備接地主線、靜電接地主線、接地樁和防靜電地板對地電阻項目測試；4.3各部門負責靜電皮/墊、靜電扣、靜電環(huán)、靜電鞋、靜電服/帽、流水線體、工作臺、料架/周轉(zhuǎn)車、防靜電工作椅、離子風機、靜電地板表面、電烙鐵、電動起子等項目測試；4.4各EPA部門主管負責監(jiān)督本部門人員進入EPA靜電環(huán)和人體綜合電阻測試；4.5各EPA部門主管負責監(jiān)

3、控本區(qū)域環(huán)境溫濕度并記錄；4.6各測試項目負責部門保存相關測試記錄；4.7各部門負責本部門ESD測試設備的維護與保養(yǎng)。5.0 內(nèi)容：5.1 包材/生產(chǎn)周轉(zhuǎn)輔材表面阻抗測試： 5.1.1 IQC負責供應商靜電敏感組件來料之內(nèi)包裝材料入廠檢測，以及氣泡袋、保護膜自購料等包裝輔助材料之入廠檢測，測試設備使用重錘測試儀，被測件需放于絕緣臺上，絕緣臺的表面電阻和體積電阻均要大于1*1013，其幾何周邊尺寸均大于被測材料100mm，且兩錘之間的間距不小于300mm，測試方法如下： 1）重錘測試儀測試線如下圖方式連接，將兩錘分別放置于被測材料表面； 2）按住紅色按鈕“TEST”鍵并保持開始測試，直至上面LE

4、D不跳動并讀數(shù)，LED假如在108下方，則表示被測材料表面電阻為108； 3）防靜電包裝材料表面阻抗規(guī)格具體如下：ESSD來料包裝輔材：1*1010，氣泡袋：1*1041*1011；保護膜：1*109；泡棉墊1*1010,Tray盤:1*1041*1011檢驗員需將測量結果記錄于檢驗報告中。 5.2 靜電皮/墊與靜電線導通、表面阻抗測試；靜電支線（含靜電扣）導通測試：5.2.1各部門負責靜電皮之體積電阻和表面阻抗測試，測試設備使用重錘測試儀，測試方法與步驟如下： 1）重錘測試儀測試線如下圖方式連接，表面電阻測試如下左圖所示將兩錘分別放置于被測材料表面，兩錘之間的間距不小于300mm；體積電阻測

5、試如下右圖所示將一錘放置于被測靜電皮上，另一錘放置于靜電地板上，測靜電皮體積電阻時工作臺本身對地電阻需滿足標準要求（工作臺對靜電地板電阻測試見5.4），兩錘之間的間距不小于500mm； 2）按住紅色按鈕“TEST”鍵并保持開始測試，直至LED不跳動并讀數(shù)； 3）靜電皮/墊之體積電阻和表面阻抗規(guī)格為1*1041*109，測試結束后即將測試值記錄于【靜電皮阻抗測試記錄表】上，并注明測試日期，各部門負責記錄之保存。5.2.2 各部門負責靜電支線（靜電扣）導通測試，測試設備使用萬用表，測試方法與步驟如下： 1）打開萬用表開關，將測試檔位調(diào)整到“200”檔； 2）將萬用表的測試線一端接觸一靜電支線，另一

6、測試線端接觸另一靜電支線金屬線部位，讀取電阻值。 3）測試完關閉萬用表開關。4）各部門測試人員需將測試數(shù)據(jù)記錄于【靜電線阻抗測試記錄表】并保存，測試結果如大于4，各部門自行負責進行檢修 5.2.3 測量結果記錄于檢驗報告中，測試結果如判定合格，需在被測物上貼上測試合格標簽，并注明測試有效期限，如測試后判定不合格，由各部門負責進行檢修或按更換，修理或更換后需經(jīng)再測試合格后方可投入使用。測試靜電支線導通測試萬用表兩側頭測試置位置5.3靜電服/帽子/手套表面阻抗測試：5.3.1各部門負責靜電服和帽子之表面阻抗測量，測試設備使用重錘測試儀，被測件需放于絕緣臺上，絕緣臺的表面電阻和體積電阻均要大于1*1

7、013，要有足夠的尺寸，點對點測量至少要測量3個不同位置的值，且兩錘之間的間距不小于300mm，點對點表面阻抗測量是指內(nèi)表面和外表面之間的電阻，測試方法與步驟如下： 1）準備工作：被測試靜電服/帽子應預先洗凈。洗滌后的靜電服帽，在6010溫度下干燥1h后，以模擬穿用狀態(tài)（正面朝外，扣上紐扣、拉鎖），在常溫下靜置24h。 2）將兩重錘與測試儀用配套之測試線連接后，分別將重錘測試儀兩錘放置于靜電服內(nèi)表面和外表面上（如下圖），連接兩個電極的軸線應與服裝纖維的軸線方向不同。 3）將重錘測試儀測試檔打到“100V” 檔位，按住紅色按鈕“TEST”鍵并保持開始測試，直至有讀數(shù)顯示后方可松開按鍵并讀數(shù)。4）

8、靜電服帽表面阻抗電阻規(guī)格為1*1061*1011。測試靜電服表面阻抗重錘測試儀兩重錘放置位置 5）測試結束后即將測試值記錄于【靜電服/帽阻抗測試記錄表】上，并注明測試日期，各部門負責記錄之保存。6）測試頻率及檢驗樣本要求：每三個月需對全廠人員抽測一次，抽檢樣本為總人數(shù)的5%，新購服裝需進行抽測合格后再發(fā)放各單位人員。7）測試不合格靜電服帽需要求淘汰更換新的合格靜電服帽。5.4周轉(zhuǎn)車/料架、工作臺與靜電地板導通狀況測試： 5.4.1各部門負責周轉(zhuǎn)車、料架及工作臺對防靜電地板之阻抗測試，測試設備使用重錘測試儀，測試方法與步驟如下：1）將重錘測試儀一端墊一塊導電薄片材料，使其與防靜電地板充分緊密接觸

9、； 重錘測試儀 電極1 防靜電工作臺 導靜電地腳螺栓 導靜電地面 導電薄片材料 電極2 2）將兩重錘與測試儀用配套之測試線連接后，分別將重錘測試儀兩錘放置于導電薄片材料和周轉(zhuǎn)車、料架、工作臺表面上（如上圖），有鋪防靜電皮之工作臺或臺車，需將置于臺面的一重錘放置于靜電皮上； 3）將重錘測試儀測試檔打到“100V” 檔位，按住紅色按鈕“TEST”鍵并保持開始測試，直至有讀數(shù)顯示后方可松開按鍵，顯示值如為“7.5 E 8”，則其讀數(shù)以及周轉(zhuǎn)車、料架車、工作臺對地板電阻表示為“7.5*108”； 4）測試時雙手不可接觸重錘測試儀背面兩電極，或是將重錘測試儀儀表部分置于絕緣體上進行測試。5）周轉(zhuǎn)車、料架

10、車、工作臺對地板電阻規(guī)格為1*1041*109。6）測試結束后即將測試值記錄于【臺車阻抗測試記錄表】上，并注明測試日期，各部門負責記錄之保存。7）測試頻率及檢驗樣本要求：每周需測試一次，靜電防護區(qū)域場所周轉(zhuǎn)車、料架車、工作臺對地板電阻需全部進行檢測，新購入之工作臺/車需測試合格后才可驗收投入使用。8）測試后如判定合格，需在被測物上貼上測試合格標簽，并注明測試有效期限，如測試后判定不合格，由各部門人員對其進行作相關標識要求停止使用，并負責進行檢修，修理后需經(jīng)再測試合格后方可投入使用。5.5 流水線(傳送帶對地電阻/流水線體接地)5.4.1傳送帶對地電阻: 使用重錘式表面阻抗測試儀，一重錘放置于待

11、測之傳送帶上，另一重錘放置于靜電地板上進行測試。其范圍：1*1041*109。各部門測試人員需將測試數(shù)據(jù)記錄于相應表單并保存，測試結果如不在此范圍內(nèi)，各部門負責對此流水線進行檢修，在檢修后需重新確認。測試傳送帶對地電阻重錘測試儀兩重錘放置位置5.4.2 流水線體接地電阻測試：使用萬用表進行測試，測試方法與步驟如下： 1）打開萬用表開關，將測試檔位調(diào)整到“200”檔； 2）將萬用表的測試線一端接觸流水線體金屬部位，另一測試線端接觸電源插座接地端，即可讀取接地阻抗值。 3）測試完關閉萬用表開關。4）各部門測試人員需將測試數(shù)據(jù)記錄于相應表單并保存，測試結果如大于1，各部門負責對此流水線進行檢修，在檢

12、修后需重新確認。5.6 電烙鐵/電動起子接地電阻測試： 5.6.1各部門每天負責電烙鐵接地電阻測試，并記錄與保存相關測試記錄。使用萬用表進行測試，測試方法與步驟如下圖： 1）打開萬用表開關，將測試檔位調(diào)整到“200”檔； 2）將萬用表的測試線一端接觸烙鐵頭，另一測試線端接觸烙鐵插頭的接地端，即可讀取烙鐵的接地阻抗值。 3）測試完關閉萬用表開關。5.6.2 各部門每周一次負責電動起子接地電阻測試，并記錄與保存相關測試記錄。使用萬用表進行測試，測試方法與步驟如下： 1）打開萬用表開關，將測試檔位調(diào)整到“200”檔；2）將萬用表的測試線一端電動起子頭，另一測試線端接觸電動起子插頭的接地端，即可讀取電

13、動起子的接地阻抗值。3）測試完關閉萬用表開關。5.6.3電烙鐵/電動起子接地電阻測試結束后，各部門測試人員需將測試數(shù)據(jù)記錄于【漏電電阻測試】并保存，測試結果如大于20，各部門負責對此設備進行維修。測試電烙鐵接地電阻萬用表兩測試頭放置位置5.7 防靜電地板接地電阻、表面阻抗測試與摩擦起電電壓測試：5.7.1總務課負責防靜電地板接地電阻測試，使用重錘測試儀進行測試，每個靜電防護區(qū)域之防靜電地板均需作檢測，測試點應隨機取樣，測試方法與步驟如下： 1）將重錘測試儀一根測試線連接一個重錘后放置于待測靜電地板表面，另一測試線端使用夾子夾在ESD靜電主線裸線上。 2）將測試儀開關打到“10V”檔，按下紅色按

14、鈕并保持開始測試，直至有讀數(shù)顯示后方可松開按鍵，讀其液晶顯示屏讀數(shù)，顯示值如為“7.5 E 8”，則其讀數(shù)表示為7.5*108。 3）測試時雙手不可接觸重錘測試儀背面兩電極，或是將重錘測試儀置于絕緣體上進行測試。4）防靜電地板對地電阻規(guī)格為小于1*109，測試頻率為每三個月測試一次。5）測試結果如果超出規(guī)格，廠務課需負責檢查防靜電地板與地板下銅帶結束是否良好，綜合防靜電地板表面阻抗值等測試數(shù)據(jù)分析其原因，并采取相應改善措施。6）廠務課負責將測試數(shù)據(jù)記錄在【接地電阻測試記錄表】上并保存。5.7.2總務課負責防靜電地板表面阻抗測試，使用重錘測試儀進行測試，測試方法與步驟如下： 1）兩重錘與測試儀用

15、配套之測試線連接后，將兩重錘分別放置于靜電地板表面，測試點距地板的邊緣不得小于100mm，且兩重錘相距9001000mm距離（如下左圖所示）。2）將重錘測試儀開關打到“10V” 檔，按住紅色按鈕“TEST”鍵并保持開始測試，直至有讀數(shù)顯示后方可松開按鍵，顯示值如為“7.5 E 8”，則其讀數(shù)以及地板表面電阻表示為7.5*108。 3）測試時雙手不可接觸重錘測試儀背面兩電極，或是將重錘測試儀置于絕緣體上進行測試。4）測試時每4m2隨機抽取5點并取中心對四角4次測試結果的平均值(如上右圖所示)，并將測試結果記錄于【靜電地板阻抗測試記錄表】上。5）防靜電地板表面阻抗規(guī)格為1*1041*109，測試頻

16、率為每6個月測試一次。6）測試結果如果超出規(guī)格，采用防靜電地板蠟進行打蠟拋光。5.7.3 總務課負責防靜電地板摩擦起電電壓測試，使用靜電壓測試儀進行測試，測試方法與步驟如下： 1）將靜電壓測試儀接地線接地連接； 2）用絕緣體勻速地在待測地板上來回摩擦至少10次； 3）打開電源開關（按“POWER”鍵），按“IB”鍵將單位轉(zhuǎn)換為“V”，按“ZERO”鍵清零，用帶有激光攝像頭面垂直于被測試地板表面，測試摩擦位置表面靜電壓； 4）測試距離25mm，當兩個激光攝像頭光源重合在一起時即可讀取數(shù)值； 5）測試時如不方便讀數(shù)，可按一下“HOLD”鍵，鎖定顯示屏方便讀數(shù)； 6）設備測試工程師負責填寫測試記錄并

17、保存； 7）防靜電地板摩擦起電電壓標準為小于100V，測試結果如果超出規(guī)格，由總務課采取相應措施。 8）防靜電地板測試頻率為每6個月測試一次。 9）測試結果記錄于【靜電地板阻抗測試記錄表】上并保存。5.8 離子風扇之離子平衡度和靜電消散時間測試：5.8.1各部門負責離子風扇之離子平衡度和靜電消散時間的測試，或每三個月申請委托供應商測試一次，測試方法依供應商測試作業(yè)規(guī)定；開啟離子風扇后，將靜電壓測試儀安裝測試極板距離風扇介于30cm50cm處清零后進行測試，待讀值穩(wěn)定后讀數(shù)5.8.2離子風扇之離子平衡度要求小于50V，靜電消散時間從1000伏下降到100伏的時間要求小于5秒；5.8.3測試結束后

18、，要求供應商出具記錄相應結果數(shù)據(jù)之離子風扇報告； 5.8.4測試后如判定合格，需在設備上貼上測試合格標簽，并注明測試有效期限，如測試后判定不合格，由各部門人員對設備進行作相關標識要求停止使用，并負責委外修理或申請報廢，修理后之設備需經(jīng)再測試合格后方可投入使用；5.8.5 各部門負責相關記錄之保存。5.10 靜電環(huán)釋放能力/保護電阻阻值測試5.10.1各靜電防護區(qū)域部門主管負責進入本區(qū)域需要佩戴靜電環(huán)作業(yè)人員的測試點檢，要求進入EPA時必須點檢靜電環(huán)，測試合格后方可進入EPA現(xiàn)場。1）測試方法及步驟依靜電環(huán)點檢作業(yè)指導書文件規(guī)定進行，進入EPA現(xiàn)場佩戴靜電環(huán)之人員，每天至少一次需將測試結果記錄于

19、【靜電環(huán)點檢記錄表】上，或簽上姓名以示檢測合格。2) 測試不合格則要求佩戴人員進行更換新的靜電環(huán)。5.10.2 靜電環(huán)保護電阻阻值：將萬用表測試檔位調(diào)整到“K”檔，萬用表的測試線一端接觸靜電手環(huán)腕帶金屬部位，另一測試線端接觸香蕉插頭金屬部位，讀取電阻值。其值范圍：0.8*1051.2*1065.10.3 各部門負責發(fā)放相關記錄表單至各EPA區(qū)域并定期收集測試記錄予以保存5.11靜電鞋對地電阻/靜電鞋人體綜合電阻點檢測試：5.11.1使用重錘式表面阻抗測試儀測試靜電鞋對地電阻，將待測靜電鞋放置于靜電地板上，一重錘放置于靜電鞋內(nèi)，另一重錘放置于靜電地板上進行測試。5.11.2各靜電防護區(qū)域部門主管

20、負責進入本區(qū)域人員的測試點檢，要求進入EPA前的所有人員必須進行人體綜合電阻測試，測試合格后方可進入EPA現(xiàn)場。5.11.3測試方法及步驟依人體綜合電阻測試操作規(guī)范文件規(guī)定進行，進入EPA現(xiàn)場人員，每天至少一次需將測試結果記錄于相應表單上，或簽上姓名以示檢測合格。5.11.4測試不合格則要求所測試人員進行清洗更或換新的靜電鞋。5.11.5靜電鞋對地電阻范圍：1*1051*108；5.11.6各部門負責發(fā)放相關記錄表單至各EPA區(qū)域并定期收集測試記錄予以保存。測試靜電鞋對地電阻重錘測試儀兩錘放置位置5.12 生產(chǎn)/檢測設備外殼接地阻抗5.12.1各部門負責生產(chǎn)/檢測設備外殼接地阻抗測試，測試方法如下圖：將萬用表測試檔位調(diào)整到“200”檔，萬用表的測試線一端接觸設備外殼金屬部位，另一測試線端接觸電源插座接地端，讀取接地阻抗值。測試結果如大于1，各部門負責對此設備進行維。 測試生產(chǎn)/檢測設備外殼接地阻抗萬用表兩測試頭放置位置5.13 備主接地線與接地樁對地電阻測試：5.13.1總務課負責定期對設備主接地線與接地樁