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1、微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系X Tsinghua University微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系密碼 芯片的物理攻擊與防護(hù) 對(duì)策微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系淸華大學(xué)微電子學(xué)研究所許軍2012年8戸27日內(nèi)客提要密碼 芯片面臨的 安全性挑戰(zhàn) 各種常見的物理攻擊技術(shù)分析 針對(duì)不同 物理攻擊手段的 防護(hù) 對(duì)策 總結(jié)與展望微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系闖容提要密碼 芯片面臨的 安全性挑戰(zhàn)微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系(Eave
2、sdropping )竊聽攻擊方法近年來,涉及信息安全的密碼芯片面臨著越來 越嚴(yán)重的安全性挑戰(zhàn),已經(jīng)出現(xiàn)了各種不同層次、 不同水平的攻擊手段,概括起來主要可以劃分為以 下幾種:(1)(2)軟件攻擊方法(Software Attacks )A非被壞 性攻擊(3)故障生成方法(Fault Generation) (4)微區(qū)探測(cè)方法(Microprobing )破壞性 攻擊W茲丿場(chǎng)微電子學(xué)研究所切g(shù)U金矗微電子與納電子學(xué)系I 一T(1)斕聽攻擊方法VddPFETDVinS這種攻擊方法既不需打開芯片的封裝,也不需 耍操縱芯片的工作過程,只需通過檢測(cè)、分析密碼 芯片正常工作時(shí)泄漏出來的各種電磁輻射估號(hào)的
3、組 成、電源供電電流的起伏漲落、各種借號(hào)線上的泄 漏電流以及各種通訊協(xié)議的時(shí)序等,就可以分析破 解獲訝密碼芯片中的相關(guān)加密信息。 有時(shí)也稱之為“旁路攻擊方法 例如:功耗分析方法 包括:簡(jiǎn)草功耗分析 差分功耗分析 (一階、髙階)CMOS電路結(jié)構(gòu) NFET(2) 軟件攻擊方法這種攻擊方法圭耍是利用 密碼芯片的通訊協(xié)議、 密碼算法及其電路實(shí)現(xiàn)過程中存在的各種安全性漏 洞,采用正常的標(biāo)準(zhǔn)通訊接口對(duì)密碼芯片進(jìn)行攻擊, 從而獲取芯片中相關(guān)的加 WtfrMo 例如:軟件審舉搜索法等(3) 故障生成方法這種 攻擊方法通過使密碼 芯片工作在特殊的 外 部環(huán)境應(yīng)力條件下(例如髙低遍、電源電壓拉佈和 峰值沖擊、時(shí)鐘
4、相位跳變、電離輻射、違反通訊協(xié) 議以及強(qiáng)制局部電路復(fù)位等), 來誘發(fā)關(guān)鍵器件的 失效行為,擾亂電路中的加密系綻,從而激發(fā)芯片 的內(nèi)部故障,最終獲取芯片的相關(guān)加密估息。微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系(4)微區(qū)探測(cè)方法這種攻擊方法需要打開密碼芯片的封裝,然后 利用微探針探測(cè)芯片內(nèi) 部的關(guān)鍵數(shù)據(jù)通道等相關(guān)結(jié)構(gòu),從而截獲芯片的相關(guān)加密信息。這是一種破壞性的物理攻擊方法,如果它與芯片的光學(xué)反向工程技術(shù)相配合,甚至最終可以憲成蓬個(gè)密碼電路芯片的版置構(gòu)O矍物卩了/ f微電子與納電子學(xué)系淀人2 Tsinghua Universityo,最終完成密碼感鄉(xiāng)卩Pu乂 f微電子與納電子學(xué)系0將歹 Tsinghua
5、University(6)對(duì)于傳統(tǒng)的ROM存儲(chǔ)陣列,在去除各種覆蓋 層之后,根據(jù)其場(chǎng)裟邊界和擴(kuò)散 區(qū)形狀及分布情況, 即可確定和獲取ROM 存儲(chǔ)陣列 中的編碼借息;it0bijIhokhh)1)1)N(j(0b)blol0(5l 微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系000同拒邛麗詬甌1工上門仃心【微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系晶硅和金屬后的擴(kuò)散區(qū)形,右側(cè)中綠色為多晶硅示為一個(gè)16 X 10的ROM存儲(chǔ)陣列,左側(cè)為去除多字線,藍(lán)色為金屬數(shù)據(jù)線,無色為接地線。Tsinghua University(7)對(duì)于釆用離子注入方法改變MOS器件閾值電壓進(jìn)行ROM編碼的存儲(chǔ)陣列
6、,其編碼估息無法通過擴(kuò)微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系散區(qū)的形狀及分布情況獲爲(wèi),但是還可以采用去除多晶 硅字線之后對(duì)器件有源 區(qū)表面進(jìn)行晶體染色的 方法來顯示,這種晶體染色的方法利用不同濃度摻雜區(qū)域具有不同的腐蝕速卒,來區(qū)別具*不同閾值電壓的瑟髓 N嫁丿微電子學(xué)研究所I 一T內(nèi)(大(金屬薄膜或絕(8)對(duì)于EEPROM和Flash等不揮發(fā)存儲(chǔ)器,可以通 過對(duì)普通的SEM進(jìn)行增強(qiáng)改造,增加電壓襯度函 數(shù),利用初始電子(例如:25kV, 5nA)轟擊芯片 中 相應(yīng)的 目 標(biāo)位Jt產(chǎn)生二次電子,再借助維/儀和探 測(cè)器記錄二次電子的數(shù)愛及其能量,就可以顯示出芯 片中不同位
7、置處電場(chǎng)及電勢(shì)的區(qū)別,由此就可以確定 EEPROM或Flash存儲(chǔ)單元中存儲(chǔ)的估息;部修正與更改。緣層),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)密碼芯片內(nèi)部電路連接關(guān)系的局(9)釆用 聚集離子束技術(shù)還可以在微區(qū)范 約在幾十納米)去除或淀積某些材料矍物卩了/ f微電子與納電子學(xué)系淀人2 Tsinghua University常見的物理攻擊技術(shù)分析:從上面介紹的物理攻擊步驟中我們可以看到,攻 擊者對(duì)于密碼芯片 中相關(guān)加密估恵的物理攻擊手段基 本上可以分為 以下三個(gè)層次:(1) 焊盤宜接訪問:充分利用 電路芯片中原有的封 裝Pad和內(nèi)部預(yù)留的測(cè)試Pad, 宜接訪問CPU或存儲(chǔ) 器的數(shù)據(jù)總線,獲訝相關(guān)的符儲(chǔ)信息;(2) 微睦探測(cè)
8、截獲:在無法宜接訪問的儕況下,可 以利用澈光局部切割和微區(qū)探針檢測(cè)的方法,對(duì)芯片 中的關(guān)鍵數(shù)據(jù)通道進(jìn)行探測(cè)和估息截獲;間接分析獲得:通過芯片的反向解剖工程,進(jìn) 行電路版圖鷲構(gòu),同時(shí)借助各種輔助分析手段間揍獲 得芯片中 存儲(chǔ)的估息。W茲丿場(chǎng)微電子學(xué)研究所切g(shù)U金矗微電子與納電子學(xué)系I 一T澤卅屮心券卅屮卡沽5朗常廉單聲尊矗畀*%訊g 堆4UFW茲丿場(chǎng)微電子學(xué)研究所切g(shù)U金矗微電子與納電子學(xué)系I 一TW茲丿場(chǎng)微電子學(xué)研究所切g(shù)U金矗微電子與納電子學(xué)系I 一T針對(duì)上述三個(gè)層次的物理攻擊手段,我們可以分 別采取不同的應(yīng)對(duì)防護(hù)措施。前從電路設(shè)計(jì):審度采(1) 針對(duì)“焊盤宜接訪問”的防護(hù)措施: 這種攻擊手
9、段最為低劣, 取的諸多隔離和加密措施 已經(jīng)可以疽效地防范和 抵御, 但是在電路設(shè)計(jì)中仍需注意: 在密碼芯片的設(shè)計(jì)中盡畳不要保留(戒少保留) 內(nèi)部測(cè)試用的Pad;尤其是芯片內(nèi)部各類數(shù)據(jù)總線上提供給片上測(cè)試 用的并行/串行轉(zhuǎn)換器電路等測(cè)試結(jié)構(gòu)在憲成測(cè)試 功能后也必須他底毀壞;還可以盡畳將這些內(nèi)部測(cè)試用Pad以及輔助測(cè)試 電路結(jié)構(gòu)安排在相鄰芯片之間的切割道中。W茲丿場(chǎng)微電子學(xué)研究所切g(shù)U金矗微電子與納電子學(xué)系I 一T瑟髓 N嫁丿微電子學(xué)研究所矍物卩了/ f微電子與納電子學(xué)系淀人2 Tsinghua University(2) 針對(duì)“微眩探測(cè)截獲”的防護(hù)措施:這種微實(shí)探測(cè)截獲手段具有校強(qiáng)的攻擊性,針對(duì)
10、 這種攻擊,電路設(shè)計(jì)師在電路設(shè)計(jì)中除了采取傳統(tǒng)的 防護(hù)措施之外,還應(yīng)特別注意: 盡采用 高端的 先進(jìn)工藝技術(shù)來制 造芯片; 盡畳將相關(guān)的數(shù)據(jù)總線、控制總線等關(guān)鍵數(shù)據(jù)通 道設(shè)計(jì)在多層金屬互連布線的底層;在各類關(guān)鍵數(shù)據(jù)通道布線的上方盡可能設(shè)計(jì)多層 必要的 電源、地線和時(shí)鐘估號(hào)線網(wǎng) 絡(luò);在上述底層關(guān)鍵數(shù)據(jù)通道布線的頂層或中間層設(shè) 計(jì)密集的金屬傳感器網(wǎng)絡(luò),在電路毎次啟動(dòng)的過 程中首先檢測(cè)傳感器網(wǎng)絡(luò)否發(fā)生斷路或短路, 從而觸發(fā)內(nèi)部電路報(bào)警(例如終止處理器的運(yùn)行 或完成Flash存儲(chǔ)估息的他底擦除等)o微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系所示為在多層金屬布線的頂層戒中間層設(shè)計(jì)(SENSEOGNDSENSE的密
11、集金屬傳感器網(wǎng)絡(luò),用于檢測(cè)是否出現(xiàn)微區(qū)局部 切割等物理攻擊。VCCO亙左圖為出現(xiàn)物理攻擊時(shí)的情形,傳感網(wǎng)絡(luò)將觸發(fā)電路報(bào)警并釆取抵御措施。亙(3) 針對(duì)“反向解剖工程”的防護(hù)措施:這種反向 解剖 分析手段對(duì)于密碼芯片具有最大的威脅性,針對(duì)這種攻擊,電路設(shè)計(jì)師在電路設(shè)計(jì)中可 釆取的應(yīng)對(duì)措施包括: 盡采用 高端的 先進(jìn)工藝技術(shù)來制 造芯片; 芯片中固化的ROM 存儲(chǔ)陣列盡可能釆用 兩種反型的離子注入摻雜來調(diào)itMOS晶體管的開啟電壓; 電路中用到的不揮發(fā)存儲(chǔ)器盡可能選用SONOS等 結(jié)構(gòu)的電荷俘獲型存儲(chǔ)器,進(jìn)免使用傳統(tǒng)的浮柵 型不揮發(fā)存儲(chǔ)器; 在多層金屬布線的頂層和中間層設(shè)計(jì)大査的冗余 金屬防護(hù)結(jié)構(gòu)
12、; 盡采用 不逑明且不易被各種酸堿腐蝕液去除的 表面鈍化保護(hù)材料。瑟髓 N嫁丿微電子學(xué)研究所矍物卩了/ f微電子與納電子學(xué)系淀人2 Tsinghua University關(guān)于芯片表面物理防護(hù)的等級(jí): 普通的鈍化保護(hù):通常為二氧化硅. 氮化硅等絕緣 介質(zhì)或聚酰亞臉等高分子聚合物材料,其特點(diǎn)是工 藝技術(shù)兼容性好、寄生效應(yīng)小、物理化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定, 存在問題是材料本身透明、易于腐蝕去除; 中等的物理防護(hù):我面可以選用合適的難熔金屬薄 膜等不逑明材料,能夠抵御各種可見光、X射線、 紅外線、紫外線的穿透,存在問題是可能會(huì)帶來校 大的寄生效應(yīng),對(duì)于FIB刻蝕也是無能為力的;. 不透明材料,負(fù)豈夠耐受各先進(jìn)的物
13、理防護(hù):堅(jiān)種酸、械溶液腐蝕且難以去除(或者在去除的同時(shí) 將弓I起芯片內(nèi)部器件或電路結(jié)構(gòu)的破壞), 工藝放 術(shù)兼容性好、寄生效應(yīng)小(? ? ? ) o微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系彳虧鄉(xiāng)卩Pu乂 f微電子與納電子學(xué)系淀人2 Tsinghua Universityi針對(duì)以上分析的各種常見的密碼芯片物理解剖 攻擊方法,我們提出了一種“在頂層互連a孔處及 其附近進(jìn)行下層 電路結(jié)構(gòu)與金屬布線的加 密處理并 同 時(shí)覆蓋大面積頂層金屬陣列和傳感網(wǎng) 絡(luò)交錯(cuò)結(jié)構(gòu)” 的抗物理解剖技術(shù),該技術(shù)的基本思想就是利用前集成 電路制 造工藝中業(yè) 已成煎的多層金屬 布線工 藝技術(shù),達(dá)到如下幾點(diǎn)抗物理攻擊的目的: 利用芯片表
14、面大面積的頂層金屬陣列覆蓋,可以 阻擋各種宜接的顯微照相技術(shù)的實(shí)施,包括普通 顯微照相技術(shù)、紅外顯微照相技術(shù)、x射線顯微 照相技術(shù)等,阻止攻擊者對(duì)密碼芯片基體結(jié)構(gòu)、 電路功竟邑分塊、焊盤弓I腳定義的直觀判 斷;當(dāng)攻擊者試?yán)肍IB或激光切 割技術(shù)局部去除表面金屬層從而探測(cè)芯片內(nèi) 部關(guān)鍵數(shù)據(jù)通道時(shí),金 屬傳感網(wǎng) 絡(luò)將觸發(fā)電路報(bào)警并采取相應(yīng)的終止處 理器運(yùn)行或擦除Flash存儲(chǔ)信息等抵卿措施; 在大面積頂層金屬陣列的下方可設(shè)置大量的互連通孔,當(dāng)攻擊者試圖通過化學(xué)腐蝕或干法刻蝕等 多種薄膜剝離技術(shù)對(duì)頂層金屬進(jìn)行逐層剝離時(shí), 將會(huì)使通孔處及其附近的下層電路結(jié)構(gòu)和金屬布 碼芯片電路的完推恢復(fù)和版圖證構(gòu);
15、 利用頂層金屬陣列的覆蓋,對(duì)通孔處及其附近的 下層金屬布線和電路結(jié)構(gòu)可進(jìn)行必耍的加密處理, 從而進(jìn)一步提高密碼芯片抗物理攻擊的強(qiáng)度。線受到 不同 程度的侵蝕和破壞,從而難以實(shí)現(xiàn)密微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系Tsinghua University微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系內(nèi)容提要微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系總結(jié)與展望微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系頂層設(shè)置網(wǎng) 狀金屬傳感器和加密金屬陣列可能是近期 密碼芯片物理防護(hù)的一個(gè)有效措施。攻擊與防御是密碼芯片研究領(lǐng)域
16、 中的 兩個(gè)永恒 的主題,任何一種防護(hù)對(duì)策都有可維4艮快面臨衙的 攻擊技術(shù)的挑戰(zhàn)。從物理防護(hù)的升度來看,未來戒許可以利用SIP技術(shù)進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)密碼芯片的攻擊觸發(fā)自毀功能。微電子學(xué)研究所微電子與納電子學(xué)系參考文獻(xiàn):S. Blythe, et al,u Layout Reconstruction of Complex Silicon Chips J IEEE Journal of Solid-State Circuits, 28(2),pp.l38145, February 1993.FIPS PUB 140-1, u Security Requirements for Cryptographic Modules/5 National Institute of Standards and Technology, U.S. Department of Commerce,11 January 1994.Oliver Komme
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