淺談機電一體化在多晶硅生產(chǎn)中的應用

1、 題目： 淺談機電一體化在多晶硅生產(chǎn)中的應用 目 錄1機電一體化的介紹及其發(fā)展41.1機電一體化的介紹41.2機電一體化的發(fā)展42多晶硅的發(fā)展及其介紹61.1多晶硅的發(fā)展61.2多晶硅的介紹63機電一體化在多晶硅生產(chǎn)中的應用前景73.1多晶硅生產(chǎn)為何要引進機電一體化73.2 機電一體化的發(fā)展趨勢7總結10致謝11參考文獻12摘 要機電一體化技術和產(chǎn)品的發(fā)展，是實現(xiàn)高效、安全、機械化生產(chǎn)多晶硅的重要途徑。隨著機電一體化在多晶硅行業(yè)的快速發(fā)展，它對多晶硅系統(tǒng)產(chǎn)生了很大沖擊，采用機電一體化產(chǎn)品將大大改善多晶硅生產(chǎn)的勞動強度、工作環(huán)境及安全系數(shù)，同時在降低能耗、保證安全生產(chǎn)方面也實現(xiàn)了特定價值。關鍵字

2、：機電一體化;多晶硅;1機電一體化的介紹及其發(fā)展11機電一體化介紹機電一體化是指在機構得主功能、動力功能、信息處理功能和控制功能上引進電子技術，將機械裝置與電子化設計及軟件結合起來所構成的系統(tǒng)的總稱。機電一體化技術定義機電一體化又稱機械電子學，英語稱為mechatronics，它是由英文機械學mechanics 的前半部分與電子學electronics 的后半部分組合而成。機電一體化技術是將機械技術、電工電子技術、微電子技術、信息技術、傳感器技術、接口技術、信號變換技術等多種技術進行有機地結合，并綜合應用到實際中去的綜合技術。是現(xiàn)代化的自動生產(chǎn)設備幾乎可以說都是機電一體化的設備。機電一體化最早

3、出現(xiàn)在1971 年日本雜志機械設計的副刊上，隨著機電一體化技術的快速發(fā)展，機電一體化的概念被我們廣泛接受和普遍應用。隨著計算機技術的迅猛發(fā)展和廣泛應用,機電一體化技術獲得前所未有的發(fā)展。現(xiàn)在的機電一體化技術，是機械和微電子技術緊密集合的一門技術，他的發(fā)展使冷冰冰的機器有了人性化，智能化。機電一體化技術的應用在現(xiàn)代機械制造業(yè)中的應用。傳統(tǒng)機械制造業(yè)是建立在規(guī)模經(jīng)濟的基礎上，靠企業(yè)規(guī)模、生產(chǎn)批量、產(chǎn)品結構和重復性來獲得競爭優(yōu)勢的，它強調(diào)資源的有效利用，以低成本獲得高質(zhì)量和高效率，其生產(chǎn)盈利是靠機器取代人力，靠復雜的專業(yè)加工取代人的技能來獲取的。先進的機械制造業(yè)是以信息為主導，采用先進生產(chǎn)模式、先進

4、制造系統(tǒng)、先進制造技術和先進組織管理形式的全新的機械制造業(yè)，其特征是全球化、網(wǎng)絡化、虛擬化、智能化以及環(huán)保協(xié)調(diào)的綠色制造。現(xiàn)代制造業(yè)集成了現(xiàn)代科學技術的發(fā)展，充分利用電子計算機技術，使制造技術提高到新的高度。1.2機電一體化的發(fā)展機電一體化的發(fā)展過程機電一體化的發(fā)展過程大體可以分為三個階段。 初級階段20 世紀60 年代以前為初級階段。在這一時期，人們自覺不自覺地利用電子技術的初步成果來完善機械產(chǎn)品的性能。那時，研制和開發(fā)從總體上看還處于自發(fā)狀態(tài)。由于當時電子技術的發(fā)展尚未達到一定水平，機械技術與電子技術的結合還不可能廣泛和深入發(fā)展，已經(jīng)開發(fā)的產(chǎn)品也無法大量推廣。蓬勃發(fā)展階段20 世紀7080

5、 年代為蓬勃發(fā)展階段。這一時期，計算機技術、控制技術、通信技術的發(fā)展，為機電一體化的發(fā)展奠定了技術基礎。大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路和微型計算機的出現(xiàn)，為機電一體化的發(fā)展提供了充分的物質(zhì)基礎。這個時期的特點是：mechatronics 一詞首先在日本被普遍接受，大約到20 世紀80 年代末期在世界范圍內(nèi)得到比較廣泛的承認；機電一體化技術和產(chǎn)品得到了極大發(fā)展；各國均開始對機電一體化技術和產(chǎn)品給予很大的關注和支持。智能化階段20 世紀90 年代后期，開始了機電一體化技術向智能化方向邁進的新階段，機電一體化進入深入發(fā)展時期。一方面，光學、通信技術等進入機電一體化，微細加工技術也在機電一體化中嶄露頭腳，出

6、現(xiàn)了光機電一體化和微機電一體化等新分支;另一方面，對機電一體化系統(tǒng)的建模設計、分析和集成方法，機電一體化的學科體系和發(fā)展趨勢都進行了深入研究。同時，人工智能技術、神經(jīng)網(wǎng)絡技術及光纖技術等領域取得的巨大進步，為機電一體化技術開辟了發(fā)展的廣闊天地。這些研究，使機電一體化進一步建立了堅實的基礎,并且逐漸形成完整的學科體系。2多晶硅的發(fā)展及其介紹2.1多晶硅的發(fā)展眾所周知,太陽能是一種“取之不盡，用之不竭”可再生資源。愛迪生早在1932年就說過，人們遲早將不得不從太陽直接獲取能量作為主要能源的供應。隨著時間的推移，直接從太陽光轉(zhuǎn)換為電力將會引起人們越來越多的重視硅材料是太陽能產(chǎn)業(yè)最重要的基礎原材料，其

7、中又以晶體硅材料為主。但隨著近年來太陽能電池產(chǎn)量的顯著增長，晶體硅材料開始出現(xiàn)短缺，并導致其價格不斷上漲，嚴重制約了太陽能產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。為了應對原材料不斷短缺與價格不斷上漲的壓力，研究界與產(chǎn)業(yè)界積極通過擴展設備和引入新的制備工藝來提高晶體硅材料的生產(chǎn)能力。為此，多晶硅產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展成為必然。2.2多晶硅的現(xiàn)狀及發(fā)展多晶硅生產(chǎn)過程中，涉及到的危險化學品主要有硅粉、四氯化硅、三氯硅烷（三氯氫硅）、二氯硅烷（二氯二氫硅）、氫、硝酸、氫氟酸、氯化氫、氮、氬、氧化鈣、氫氧化鈉等。它們分別以液態(tài)、氣態(tài)和固體存在，且在不同的狀態(tài)下分別具有其相對應的物理、化學性質(zhì)及危險、危害特性。危險、有害因素有各種各樣的表現(xiàn)

8、形式，但從本質(zhì)上講，其之所以能造成有害后果，主要是存在能量、有害物質(zhì)失去控制兩個方面的綜合作用，并導致能量意外釋放和有害物質(zhì)泄漏、揮發(fā)的結果。因此，存在能量、有害物質(zhì)和能量、有害物質(zhì)失去控制，是危險因素產(chǎn)生的根本原因。生產(chǎn)設備和技術的改善可以幫助企業(yè)降低危險因素，提高工作效率，降低生產(chǎn)成本。這就需要企業(yè)研發(fā)、應用機電一體化技術3機電一體化在多晶硅生產(chǎn)中的應用前景3.1多晶硅生產(chǎn)為何要引進機電一體化由于客觀上存在著不安全因素及各種社會因素和環(huán)境條件的影響，以及人的不安全行為是誘發(fā)事故發(fā)生的基本原因。如何保護企業(yè)工人的安全成為企業(yè)的首要考慮因素，機電一體化在多晶硅生產(chǎn)中的應用就顯得尤為重要，表現(xiàn)在

9、：第一，生產(chǎn)設備密閉化，保證設備的密閉性，使有毒物質(zhì)不能散發(fā)出來造成危害；隔離操作或自動控制。將操作室與生產(chǎn)設備隔離開。第二，用機電一體化產(chǎn)品取代技術含量和附加值低，耗能、耗水、耗材高，污染、擾民產(chǎn)品的責任重，有意義。在工業(yè)系統(tǒng)中，能耗、耗水大戶，對環(huán)境污染嚴重的企業(yè)還占相當大的比重，且不少地處城區(qū)和近郊區(qū)。近年來工業(yè)結構、產(chǎn)品結構雖然幾經(jīng)調(diào)整，但由于多種原因，成效一直不夠明顯。這里面固然有上級領導部門的政出多門問題，有企業(yè)的故土難離死守故業(yè)問題，但不可否認也有優(yōu)化不出理想的產(chǎn)業(yè)，優(yōu)選不出中意的產(chǎn)品問題。上佳的答案早就擺在了這些企業(yè)的面前，這就是發(fā)展機電一體化，開發(fā)和生產(chǎn)有關的機電一體化產(chǎn)品。

10、機電一體化產(chǎn)品功能強、性能好、質(zhì)量高、成本低，且具有柔性，可根據(jù)市場需要和用戶反映時產(chǎn)品結構和生產(chǎn)過程做必要的調(diào)整、改革，而無須改換設備。這是解決機電產(chǎn)品多品種、少批量生產(chǎn)的重要出路。同時，可為傳統(tǒng)的機械工業(yè)注入新鮮血液，帶來新的活力，把機械生產(chǎn)從繁重的體力勞動中解脫出來，實現(xiàn)文明生產(chǎn)。最后，機電一體化技術是眾多科學技術發(fā)展的結晶，是社會生產(chǎn)力發(fā)展到一定階段的必然要求。它促使機械工業(yè)發(fā)生戰(zhàn)略性的變革，使傳統(tǒng)的機械設計方法和設計概念發(fā)生著革命性的變化。大力發(fā)展新一代機電一體化產(chǎn)品，不僅是改造傳統(tǒng)機械設備的要求，而且是推動機械產(chǎn)品更新?lián)Q代和開辟新領域、發(fā)展與振興機械工業(yè)的必由之路。3.2機電一體化

11、的發(fā)展趨勢機電一體化是集機械、電子、光學、控制、計算機、信息等多學科的交叉綜合，它的發(fā)展和進步依賴并促進相關技術的發(fā)展和進步。因此, 機電一體化的主要發(fā)展方向如下一、智能化智能化是21世紀機電一體化技術發(fā)展的一個重要發(fā)展方向。人工智能在機電一體化建設者的研究日益得到重視，機器人與數(shù)控機床的智能化就是重要應用。這里所說的智能化是對機器行為的描述，是在控制理論的基礎上，吸收人工智能、運籌學、計算機科學、模糊數(shù)學、心理學、生理學和混沌動力學等新思想、新方法，模擬人類智能，使它具有判斷推理、邏輯思維、自主決策等能力，以求得到更高的控制目標。誠然，使機電一體化產(chǎn)品具有與人完全相同的智能，是不可能的，也是

12、不必要的。但是，高性能、高速的微處理器使機電一體化產(chǎn)品賦有低級智能或人的部分智能，則是完全可能而又必要的。二、綠色化工業(yè)的發(fā)達給人們生活帶來了巨大變化。一方面，物質(zhì)豐富，生活舒適；另一方面，資源減少，生態(tài)環(huán)境受到嚴重污染。于是，人們呼吁保護環(huán)境資源，回歸自然。綠色產(chǎn)品概念在這種呼聲下應運而生，綠色化是時代的趨勢。綠色產(chǎn)品在其設計、制造、使用和銷毀的生命過程中，符合特定的環(huán)境保護和人類健康的要求，對生態(tài)環(huán)境無害或危害極少，資源利用率極高。設計綠色的機電一體化產(chǎn)品，具有遠大的發(fā)展前途。機電一體化產(chǎn)品的綠色化主要是指，使用時不污染生態(tài)環(huán)境，報廢后能回收利用。三、系統(tǒng)化系統(tǒng)可以靈活組態(tài)，進行任意剪裁和

13、組合，同時尋求實現(xiàn)多子系統(tǒng)協(xié)調(diào)控制和綜合管理。表現(xiàn)之二是通信功能的大大加強，一般除rs232外，還有rs485、dcs人格化。未來的機電一體化更加注重產(chǎn)品與人的關系，機電一體化的人格化有兩層含義。一層是，機電一體化產(chǎn)品的最終使用對象是人，如何賦予機電一體化產(chǎn)品人的智能、情感、人性顯得越來越重要，特別是對家用機器人，其高層境界就是人機一體化。另一層是模仿生物機理，研制各種機電一體化產(chǎn)品。事實上，許多機電一體化產(chǎn)品都是受動物的啟發(fā)研制出來的。四、模塊化模塊化也是機電一體化產(chǎn)品的一個發(fā)展趨勢,是一項重要而艱巨的工程。由于機電一體化產(chǎn)品種類和生產(chǎn)廠家繁多，研制和開發(fā)具有標準機械接口、電氣接口、動力接口

14、、信息接口的機電一體化產(chǎn)品單元是一項復雜而重要的事，它需要制訂一系列標準,以便各部件、單元的匹配和接口。機電一體化產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)可利用標準單元迅速開發(fā)新產(chǎn)品，同時也可以不斷擴大生產(chǎn)規(guī)模。顯然，從電氣產(chǎn)品的標準化、系列化帶來的好處可以肯定，無論是對生產(chǎn)標準機電一體化單元的企業(yè)，還是對生產(chǎn)機電一體化產(chǎn)品的企業(yè),模塊化將給機電一體化企業(yè)帶來美好的前程。五、人性化人性化機電一體化產(chǎn)品的最終使用對象是人如何給機電一體化產(chǎn)品賦予人的智能、情感和人性顯得愈來愈(，) 重要，機電一體化產(chǎn)品除了完善的性能外，還要求在色彩、造型等方面與環(huán)境相協(xié)調(diào)，使用這些產(chǎn)品，對人來說還是一種藝術享受機電一體化技術的應用在現(xiàn)代機械

15、制造業(yè)中的應用。傳統(tǒng)機械制造業(yè)是建立在規(guī)模經(jīng)濟的基礎上，靠企業(yè)規(guī)模、生產(chǎn)批量、產(chǎn)品結構和重復性來獲得競爭優(yōu)勢的，它強調(diào)資源的有效利用，以低成本獲得高質(zhì)量和高效率，其生產(chǎn)盈利是靠機器取代人力，靠復雜的專業(yè)加工取代人的技能來獲取的。先進的機械制造業(yè)是以信息為主導，采用先進生產(chǎn)模式、先進制造系統(tǒng)、先進制造技術和先進組織管理形式的全新的機械制造業(yè)，其特征是全球化、網(wǎng)絡化、虛擬化、智能化以及環(huán)保協(xié)調(diào)的綠色制造?，F(xiàn)代制造業(yè)集成了現(xiàn)代科學技術的發(fā)展，充分利用電子計算機技術，使制造技術提高到新的高度。結 論 隨著機電一體化技術的發(fā)展，多晶硅產(chǎn)品與裝置實現(xiàn)機電一體化，有利實現(xiàn)整體優(yōu)化，提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率，縮

16、短開發(fā)新產(chǎn)品的生產(chǎn)準備周期，加速科技成果向商品轉(zhuǎn)化，有利推動傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)發(fā)生深刻變革，同時，隨著新產(chǎn)品的研發(fā)及高精密等設備的發(fā)展，要求新一代機電一體化技術、產(chǎn)品及系統(tǒng)朝著高性能、智能化、系統(tǒng)化以及輕量化、微型化方向發(fā)展，從而為國家?guī)砀蟮慕?jīng)濟效益與社會效益。 致 謝首先感謝江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司給我提供了這么好的崗位以方便我更好地完成我的畢業(yè)論文感謝我的爸爸媽媽，養(yǎng)育之恩，無以回報，你們永遠健康快樂是我最大的心愿。在論文即將完成之際，我的心情無法平靜，從開始進入課題到論文的順利完成，師傅、學長、同學、朋友給了我那么多幫助，我想對他們表達我真誠的謝意！謝謝你們！參 考 文 獻:1、中國硅產(chǎn)業(yè)

17、信息網(wǎng) 發(fā)表于 2007-12-202、多晶硅生產(chǎn):毒污染高耗能不容忽視 中國質(zhì)量萬里行 2008/05 中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 3、國內(nèi)多晶硅生產(chǎn)現(xiàn)狀與發(fā)展 科技創(chuàng)新導報 2008/03 中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 4、機電一體化技術的發(fā)展趨勢5、機電一體化技術的發(fā)展過程6、淺析機電一體化技術的現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢 腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅

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19、芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀

20、膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇

21、膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅

22、蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂

23、荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀

24、莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇

25、羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄

26、節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿

27、膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇

28、肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄

29、蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂

30、莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿

31、芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆

32、芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄

33、膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁

34、腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆蚇芅肀螅蚆羅蒞蟻蚅肇膈薇蚄膀莄蒃蚃衿膆荿蚃羂莂蚇螂肄膅薃螁膆莀葿螀羆膃蒅蝿肈蒈莁螈膀芁蝕螇袀蕆薆螇羂芀蒂袆肅蒅莈裊膇羋蚇襖袇肁薃袃聿芆蕿袂膁腿蒅袁袁莄莀袁羃膇蠆袀肆莃薅罿膈膆蒁羈袈莁莇羇羀膄螆羆膂荿螞羆芄節(jié)薈羅羄蒈蒄薁肆芀莀薀腿蒆蚈蕿袈艿薄蠆羈蒄蒀蚈肅芇莆