掃描電鏡Zeiss Supra55簡明操作指南

1、-作者xxxx-日期xxxx掃描電鏡Zeiss Supra55簡明操作指南【精品文檔】Zeiss-Supra55掃描電子顯微鏡簡明操作指南一、開機啟動1、 按下綠鍵。按下綠鍵后，電腦會自動啟動，輸入計算機密碼：zeiss2、 啟動SmartSEM軟件。用戶名：system 密碼： 無 3、 檢查真空值。二、換樣品(換樣或加高壓觀察樣品)1、 裝試樣。在備用樣品座上裝好樣品，并記錄樣品形狀、編號和位置。注意：各樣品觀察點高度基本一致。確認樣品不會脫落，并用洗耳球吹一下。2、 關高壓。3、 檢查插入式探測器狀態(tài)打開TV，將EBSD等插入式探測器拉出。4、 放氣。點Vent等待3-5 分鐘。注意：確

2、認Z move on vent選上，這樣，放氣時樣品臺會自動下降。5、 拉開艙門。注意：拉開艙門前，確認樣品臺已經降下來，周圍探測器處于安全位置。6、 更換樣品座注意：抓樣品座時戴手套，避免碰觸樣品。7、 關上艙門。注意：艙門上O圈有時會脫落，關門時勿夾到異物。8、 抽真空。點擊Pump，等待真空就緒(留意Vacuum面板上真空狀態(tài))，等待3-5分鐘。注意：當System Vacuum210-5mBar時，會自動打開CIV閥門(column isolation valve)，并啟動離子泵。 當Gun Vacuum=5kV，以獲得較好分辨率。對于輕元素樣品，為減小電子穿透深度，可選擇EHT10m

3、m具有陰影效應，立體感較好，低倍效果好AsB一般10kV 810mm反應元素襯度AsB背散射探測器使用步驟。先使用Inlens或SE2探測器調好圖像，再切換至AsB探測器，打開BSD控制界面（菜單欄DetectionBSD control），設置BSD gain=High；對比度需在80左右。4、 光闌選擇。30um標準光闌：束流強度適中，分辨率最好，適用于拍高倍圖像。另外，低EHT效果較好。 60、120um光闌：束流較強，分辨率稍差，適用于拍低倍圖像和采集EDX、EBSD譜。五、常見問題問題解決方案樣品臺無法移動做初始化。若初始化長時間不結束，Stage面板上點Stage stop，報告蔡

4、司服務工程師。樣品臺移動無法停止樣品臺狀態(tài)一直是Busy按F12或操縱桿上Break鍵強制停止。檢查操縱桿能否復位，并嘗試禁用操縱桿。抽真空時間太長放氣，取出樣品，檢查樣品倉門O圈，重新抽真空。若15分鐘內未能到就緒狀態(tài)，報告蔡司服務工程師。循環(huán)水冷機報警檢查水位，加水，按Res鍵。若缺水報警頻繁，有漏水，報告蔡司服務工程師。電子槍真空較差Gun vacuum難以抽到510-9mBar以下，需做烘烤。燈絲正常工作時，Gun vacuum一般小于510-9mBar電腦死機按下黃鍵待機，等待20s后，再按綠鍵重啟，一般重啟后需做樣品臺初始化。圖像漂移樣品表面導電性或接地不好，重新制樣，可蒸碳或鍍金

5、改善導電性。高倍圖像有鋸齒場地有振動或磁場干擾，也可能減震氣墊系統漏氣。圖像無法存盤清理磁盤。鼠標右鍵點擊C盤屬性清理磁盤，刪除所有垃圾文件。停電停電前關機。若停電時間較短，UPS電量夠用，可關至待機狀態(tài)。六、日常維護檢查內容周期說明房間溫度每天記錄，嚴格控制在1725C房間濕度每天記錄，相對濕度65%房間衛(wèi)生每周清理房間灰塵系統真空極限值每周記錄，極限系統真空值510-6mBar電子槍真空每周記錄，燈絲開時Gun vacuum510-9mBar引出電流每周記錄EHT開關前后引出電流值，EHT=10kV抽真空時間每月測試并記錄，由放氣狀態(tài)抽到就緒狀態(tài)的時間。一般不超過10分鐘。樣品倉每月檢查清

6、理，樣品倉內或樣品臺上若有異物，可用吸塵器清理，或用無塵布擦。注意勿碰觸探測器。樣品臺初始化每月若發(fā)現樣品臺導航器或坐標值不準確，立即做樣品臺初始化。氮氣每月空氣壓縮機每季出口輸出氣壓56 Bar循環(huán)水冷機每季檢查水位。打開水箱旋鈕，檢查并加水。工作時，水壓在23Bar，水溫在1822C油式真空泵每季檢查油位，必要時，加油。電腦每年整理文件夾；清理磁盤，刪除所有臨時文件和舊壓縮文件。附錄一、專業(yè)詞匯Airlock 樣品交換室Annotation 標注Aperture 光闌Bakeout 烘烤Column 鏡筒Column chamber valve, Column Isolation valve (CIV) 鏡筒隔離閥Cycle time 掃描循環(huán)時間EHT 加速電壓Emission 發(fā)射像Extractor 引出電極Focus wobble 聚焦搖擺Freeze 凍結圖片、停止掃描LUT (look up table) 信號變換關系