氣體純化技術

1、氣體純化技術技術基于：purificationv基于“fab”模式純化所有的大宗氣體（n2、o2、ar、he、和cad）v可以將純度低于1ppb的氣體純度提高到0.1ppbv產(chǎn)氣流量范圍從10m3/hr到3000m3/hr。v對大量的特氣也能純化。pure gas technologiesv吹掃/柜式純化器v點使用式純化器v區(qū)域純化器v大型純化器bulk gas purification technologiesv材料及操作原則v雜質去除v應用materialsgetters:均質金屬（無支撐）：球狀鋯、釩、鈦supported metals:支撐性材料、反應金屬：球狀銅、鎳、鉑、保護性物質z

2、eolites：均質金屬：球狀、分子篩operationv純化進程1、催化氧化2、物理吸收3、化學吸收催化氧化v催化氧化進程：將甲烷、非甲烷碳氫化合物氧化co2和h2o。v方法：催化器+加溫+o2v保護性物質+鉑，300400 ，富氧環(huán)境v反應過程： 2h2+o2=2h2o 2co+1o2=2co2 1ch4+2o2=1co2+2h2o催化氧化n2/aro2coh2ch4co2h2oh2oco2co2h2opdpdooo2pdo物理吸收v分子篩v優(yōu)點： 1、能有效去除co2與h2o（不去除o2） 2、筒室溫度可控 3、進程在高溫下完全可逆v缺點： 1、常量普通 物理吸附n2/aro2coh2c

3、h4co2h2oco2h2o h2oh2oco2化學吸收v支撐性金屬（吸收器）：銅、鎳、等v優(yōu)點：1、金屬能化學吸附o2、co、h22、金屬網(wǎng)格能物理吸附h2o與co23、筒室溫度可控4、進程在高溫下完全可逆：nio+h2+加溫=ni+h2o5、局部壓力不會造成重大影響化學吸附支撐性金屬n2/arcoh2h2oco2ninioo2ni oonini化學吸收v捕獲器：鋯、釩、鈦、等v優(yōu)點：1、化學方式吸收n2、ch4、o2、h2o、co、h2、co22、筒室溫度可控（低產(chǎn)量）或加熱過程最優(yōu)化3、相對較高的產(chǎn)量4、局部壓力不會造成重大影響化學吸附捕獲器he/arhzrzroo2zr nczrco2

4、/con2ch4熱擴散 表面雜質 擴散至大宗氣體300-400 0 c氧氣純化工藝催化床吸附床ps6裝配圖儀表氣體系統(tǒng)圖ps6純化器人機界面vstatus指示性的顯示系統(tǒng)狀態(tài)vtime為當前進行步驟計時vtemp& pressure指示性的顯示當前的壓力溫度vflow當前進程氣體流量數(shù)人機界面按鍵v在任何界面下激活目錄條v回到主界面v在任何界面下進入報警和警告界面v關閉報警聲 提高/減低所需值 在多個文檔中切換 人機界面操作v按下 后出現(xiàn)的界面：restart：啟動初純化器，或者在出現(xiàn)報警后取消報警并重啟純化器。details:深入顯示當前系統(tǒng)的控制點參數(shù)。alarms:激活報警界面，顯示激活的報警，警告及信息。events:激活歷史事件表，顯示最多500條歷史事件。人機界面操作v按下 后的界面人機界面操作人機界面操作故障處理v故障報警界面：v按下 后顯示的界面。故障處理v當出現(xiàn)故障的時候status信息會從system ok變到閃爍的alarm、warning信息。vaccept:點擊確認單個報警信息。vall：點擊確認所有報警信息。vaccept后的警報信息會顯示為灰色v未accept得警報信息會